光纖掃描器、照明裝置及觀察裝置的製作方法

2023-05-08 07:46:21 1

本發明涉及光纖掃描器、照明裝置及觀察裝置。

背景技術：

以往已知的光纖掃描器使用了筒狀的致動器，該致動器由鋯鈦酸鉛(PZT)構成，將光纖保持成單支撐梁狀(例如，參照專利文獻1)。在對致動器施加交變電壓時，致動器沿光纖的長度方向進行伸縮振動，由此對光纖激勵彎曲振動。因此，能夠使作為自由端的光纖的末端振動，並掃描從該末端射出的光。

【現有技術文獻】

【專利文獻】

【專利文獻1】日本特表2008－504557號公報

技術實現要素：

發明要解決的問題

但是，專利文獻1的光纖掃描器存在如下問題：在光纖的機械特性由於溫度變化等外部因素和部件隨時間經過而劣化等內部因素而產生變化時，光纖的振動狀態變化，將不能沿著期望的軌跡掃描光。

本發明正是鑑於上述情況而完成的，其目的在於，提供光纖掃描器、照明裝置及觀察裝置，即使是在機械特性產生變化的情況下，也能夠使光纖的振動狀態保持固定狀態，並得到期望的掃描軌跡。

用於解決問題的手段

為了達到上述目的，本發明提供以下的方案。

本發明的第一方式的光纖掃描器具有：細長的光纖，其能夠引導光從末端射出；驅動用壓電元件，其設於該光纖的外周面，由於交變電壓的施加而在所述光纖的長度方向上進行伸縮振動，由此使所述光纖的末端部分產生與所述長度方向相交的方向上的彎曲振動；檢測用壓電元件，其設於所述光纖的所述末端部分的外周面；以及控制部，其對所述驅動用壓電元件施加所述交變電壓，並且根據所述檢測用壓電元件產生的電壓控制所述交變電壓。

根據本發明的第一方式，在對壓電元件施加交變電壓時，通過壓電元件的伸縮振動在光纖的末端部分激勵彎曲振動，光纖的末端在其橫向上進行振動。由此，能夠掃描從光纖的末端射出的照明光。

在這種情況下，隨著光纖的末端部分的彎曲振動，在檢測用壓電元件產生變形，該檢測用壓電元件產生對應於光纖的末端部分的彎曲振動而振動的電壓。

控制部控制施加給驅動用壓電元件的交變電壓，使得檢測用壓電元件產生的電壓的振動狀態成為規定的狀態，即光纖的末端部分的振動狀態成為規定的狀態。因此，即使是在光纖和壓電元件等部件的機械特性產生變化的情況下，也能夠使光纖的末端部分的振動狀態保持固定狀態，並沿著期望的軌跡掃描光。

在上述第一方式中也可以是，所述檢測用壓電元件設於所述光纖的外周面中在所述末端部分進行彎曲振動的方向上對置的兩個位置中的至少一個位置。

這樣，檢測用壓電元件產生的電壓的振動通過光纖的末端部分的彎曲振動而成為一致的振動，能夠以更高的靈敏度檢測光纖的振動狀態。

在上述第一方式中也可以是，在所述兩個位置雙方設有一對所述檢測用壓電元件。

這樣，能夠根據一對檢測用壓電元件產生的電壓之間的差分電壓，以更高的靈敏度檢測光纖的振動狀態。

在上述第一方式中也可以是，具有由筒狀的彈性體構成的振動傳遞部，該振動傳遞部設於所述光纖的外周面和所述驅動用壓電元件之間。

這樣，能夠通過振動傳遞部將壓電元件的伸縮振動高效地傳遞給光纖。

在上述第一方式中也可以是，具有筒狀的導電部，該導電部設於所述光纖的所述末端部分的外周面與所述驅動用壓電元件及檢測用壓電元件之間，並與所述驅動用壓電元件及檢測用壓電元件電連接。

這樣，導電部作為驅動用壓電元件及檢測用壓電元件的共同的GND(接地)電極發揮作用，因而能夠將GND導線減少為一條。

在上述第一方式中也可以是，所述檢測用壓電元件遍及所述末端部分的大致全長而設置。

這樣，隨著光纖的末端部分的彎曲振動，檢測用壓電元件產生的電壓增大，因而能夠以更高的靈敏度檢測光纖的末端部分的振動狀態。

本發明的第二方式的照明裝置具有：上述任意一項所述的光纖掃描器；光源，其配置於該光纖掃描器的基端側，對所述光纖提供照明光；照明透鏡，其配置於所述光纖掃描器的末端側，將從所述光纖的末端射出的照明光會聚於被攝體；以及細長的外筒，其收納所述光纖掃描器和所述照明透鏡。

本發明的第三方式的觀察裝置具有前面所述的照明裝置；以及光檢測部，其檢測通過該照明裝置向被攝體照射照明光而從所述被攝體返回來的回光。

發明效果

根據本發明發揮如下的效果：即使是在機械特性產生變化的情況下，也能夠使光纖的振動狀態保持固定狀態，並得到期望的掃描軌跡。

附圖說明

圖1是本發明的第1實施方式的觀察裝置的整體結構圖。

圖2A是示出本發明的第1實施方式的光纖掃描器的結構的側視圖。

圖2B是圖2A的光纖掃描器的從末端側觀察時的主視圖。

圖3A是示出圖2A的光纖掃描器的變形例的側視圖。

圖3B是圖3A的光纖掃描器的從末端側觀察時的主視圖。

圖4A是示出圖2A的光纖掃描器的另一變形例的側視圖。

圖4B是圖4A的光纖掃描器的從末端側觀察時的主視圖。

圖5是示出圖2A的光纖掃描器的另一變形例的側視圖。

圖6A是示出圖2A的光纖掃描器的另一變形例的側視圖。

圖6B是圖6A的光纖掃描器的從末端側觀察時的主視圖。

圖7A是示出本發明的第2實施方式的光纖掃描器的結構的側視圖。

圖7B是圖7A的光纖掃描器的從末端側觀察時的主視圖。

圖8A是示出圖7A的光纖掃描器的變形例的側視圖。

圖8B是圖8A的光纖掃描器的從末端側觀察時的主視圖。

圖9A是示出圖7A的光纖掃描器的另一變形例的側視圖。

圖9B是圖9A的光纖掃描器的從末端側觀察時的主視圖。

圖10A是示出本發明的第3實施方式的光纖掃描器的結構的側視圖。

圖10B是圖10A的光纖掃描器的從末端側觀察時的主視圖。

圖11A是示出圖10A的光纖掃描器的變形例的側視圖。

圖11B是圖11A的光纖掃描器的從末端側觀察時的主視圖。

圖12A是示出圖10A的光纖掃描器的另一變形例的側視圖。

圖12B是圖12A的光纖掃描器的從末端側觀察時的主視圖。

圖13A是示出本發明的第4實施方式的光纖掃描器的結構的側視圖。

圖13B是圖13A的光纖掃描器的從末端側觀察時的主視圖。

圖14A是示出圖13A的光纖掃描器的變形例的側視圖。

圖14B是圖14A的光纖掃描器的從末端側觀察時的主視圖。

圖15A是示出圖13A的光纖掃描器的另一變形例的側視圖。

圖15B是圖15A的光纖掃描器的從末端側觀察時的主視圖。

具體實施方式

(第1實施方式)

下面，關於本發明的第1實施方式的光纖掃描器1、照明裝置20及觀察裝置100，參照圖1～圖6B進行說明。

本實施方式的觀察裝置100是如內窺鏡那樣的探針型的觀察裝置，如圖1所示具有：照明裝置20，其向被攝體X的表面照射照明光L；以及檢測用光纖31及光檢測器(光檢測部)32，它們檢測來自被攝體X的照明光L的回光L』。

照明裝置20具有：光纖掃描器1，其掃描通過使光纖2的末端2a振動而從該末端2a射出的照明光L；照明透鏡21，其配置在該光纖掃描器1的末端側；細長的圓筒狀的外筒22，其收納光纖掃描器1和照明透鏡21；以及光源23，其向光纖2的基端提供照明光L。

照明透鏡21以其後側焦點位置與光纖2的末端2a大致一致的方式配置，使從光纖2的末端2a射出的照明光L會聚於被攝體X。

光源23配置於外筒22的基端側，並與光纖2的基端連接。

在外筒22內，在光纖掃描器1的外側沿周向排列設有多個檢測用光纖31。檢測用光纖31的末端面配置於外筒22的末端面。

光檢測器32配置於外筒22的基端側，並與檢測用光纖31的基端連接。

如圖2A及圖2B所示，本實施方式的光纖掃描器1具有：由玻璃材料構成的細長的圓棒狀的光纖2；設於該光纖2的外周面的彈性部件3；設於該彈性部件3的外周面的板狀的4片驅動用壓電元件4A、4B、4C、4D；設於光纖2的兩片檢測用壓電元件5A、5B；控制施加給驅動用壓電元件4A、4B、4C、4D的交變電壓的控制部6；以及將光纖掃描器1固定於外筒22的固定部件7。在本實施方式的說明中，採用以光纖2的徑向為X方向及Y方向、以光纖2的長度方向為Z方向的垂直坐標系X、Y、Z。

彈性部件(振動傳遞部)3是由鎳或銅等導電性的金屬材料構成的四稜柱狀的部件。彈性部件3具有貫通孔，該貫通孔沿著彈性部件3的長度方向的中心軸從末端面形成到基端面，並嵌合於光纖2的外周面。光纖2使其末端部分突出地插入貫通孔內。下面，將光纖2的從彈性部件3向末端側突出的部分稱為光掃描部2b。

驅動用壓電元件4A、4B、4C、4D是由鋯鈦酸鉛(PZT)等壓電陶瓷材料形成的板狀的部件。對驅動用壓電元件4A、4B、4C、4D的表面和背面分別進行電極處理，使得表面成為+極、背面成為-極。由此，驅動用壓電元件4A、4B、4C、4D如箭頭P所示，在從+極朝向-極的方向上被極化。驅動用壓電元件4A、4B、4C、4D使作為極化方向P的厚度方向朝向光纖2的徑向，分別用一片粘接劑12粘貼在彈性部件3的4個側面上。4片驅動用壓電元件4A、4B、4C、4D通過使用絕緣用的粘接劑12，並利用氧化鋯等絕緣材料形成彈性部件3等，與彈性部件3電絕緣。

其中，在X方向上相互對置的兩片驅動用壓電元件4A、4B以使極化方向P相同的方式粘貼在彈性部件3上。GND(地)導線9通過焊料和導電性粘接劑等與驅動用壓電元件4A、4B的彈性部件3側的電極面電連接。A相的驅動用導線8A通過焊料和導電性粘接劑等與驅動用壓電元件4A、4B的和彈性部件3相反側的電極面電連接。在通過驅動用導線8A從控制部6對驅動用壓電元件4A、4B施加A相的交變電壓時，驅動用壓電元件4A、4B在與極化方向P垂直的Z方向進行伸縮振動。此時，兩片驅動用壓電元件4A、4B中一方在Z方向收縮、另一方在Z方向伸展，由此在彈性部件3產生X方向的彎曲振動。該彈性部件3的X方向的彎曲振動傳遞給光纖2，由此光纖2的光掃描部2b在X方向進行彎曲振動，光纖2的末端2a在X方向進行直線振動。

同樣地，在Y方向上相互對置的兩片驅動用壓電元件4C、4D以使極化方向P相同的方式粘貼在彈性部件3上。GND導線9通過焊料和導電性粘接劑等與驅動用壓電元件4C、4D的彈性部件3側的電極面電連接。B相的驅動用導線8B通過焊料和導電性粘接劑等與驅動用壓電元件4C、4D的和彈性部件3相反側的電極面電連接。在通過驅動用導線8B從控制部6對驅動用壓電元件4C、4D施加B相的交變電壓時，驅動用壓電元件4C、4D在與極化方向P垂直的Z方向進行伸縮振動。此時，兩片驅動用壓電元件4C、4D中一方在Z方向收縮、另一方在Z方向伸展，由此在彈性部件3產生Y方向的彎曲振動。該彈性部件3的Y方向的彎曲振動傳遞給光纖2，由此光纖2的光掃描部2b在Y方向進行彎曲振動，光纖2的末端2a在Y方向進行直線振動。

檢測用壓電元件5A、5B與驅動用壓電元件4A、4B、4C、4D一樣是由PZT等壓電陶瓷材料形成的板狀的部件，在厚度方向上進行極化。一個檢測用壓電元件5A設於光掃描部2b的外周面中夾著光掃描部2b的中心軸在X方向上對置的兩個位置中的一個位置，通過導電性粘接劑粘接在光掃描部2b的外周面上。另一個檢測用壓電元件5B設於光掃描部2b的外周面中夾著光掃描部2b的中心軸在Y方向上對置的兩個位置中的一個位置，通過導電性粘接劑粘接在光掃描部2b的外周面上。

GND導線9通過焊料和導電性粘接劑等與檢測用壓電元件5A、5B的光掃描部2b側的電極面電連接。檢測用導線10通過焊料和導電性粘接劑等與檢測用壓電元件5A、5B的和光掃描部2b相反側的電極面電連接。

另外，檢測用壓電元件5A、5B也可以由壓電陶瓷材料的膜構成，該膜使用氣浮沉積法(AD法)等形成於光掃描部2b的外周面。

各導線8A、8B、9、10通過壓電元件4、5的間隙、和在固定部件7中沿Z方向形成的通孔(省略圖示)，大致沿著光纖2的外周面進行配線，並在固定部件7的基端側被捆綁成一體。在圖1中，為了防止附圖變複雜，僅圖示了導線8A、8B、9、10中與驅動用壓電元件4A連接的導線8A、9。

控制部6具有GND端子，所有的壓電元件4A、4B、4C、4D、5A、5B的GND導線9與共同的GND端子連接。由此，驅動用導線8A、8B及檢測用導線10在電氣方面成為+極性。

驅動用導線8A、8B及檢測用導線10與控制部6電連接。控制部6通過驅動用導線8A、8B對驅動用壓電元件4A、4B、4C、4D施加規定的所設定的交變電壓。並且，控制部6在施加規定的所設定的交變電壓後，根據通過檢測用導線10檢測出的檢測用壓電元件5A、5B的電壓控制交變電壓。

具體而言，在檢測用壓電元件5A、5B隨著光掃描部2b的彎曲振動而產生變形時，檢測用壓電元件5A、5B藉助壓電效應產生周期地振動的電壓。所產生的電壓(以下稱為檢測電壓)通過檢測用導線10由控制部6進行檢測。

控制部6調整A相的交變電壓的相位，使得在比較此前剛剛施加給驅動用壓電元件4A、4B的A相的交變電壓和檢測用壓電元件5A的檢測電壓的相位時，它們的相位差達到規定的目標值。並且，控制部6調整A相的交變電壓的振幅，使得檢測用壓電元件5A的振幅達到規定的目標值。

同樣地，控制部6調整B相的交變電壓的相位，使得在比較此前剛剛施加給驅動用壓電元件4C、4D的B相的交變電壓和檢測用壓電元件5B的檢測電壓的相位時，它們的相位差達到規定的目標值。並且，控制部6調整B相的交變電壓的振幅，使得檢測用壓電元件5B的振幅達到規定的目標值。

固定部件7是由不鏽鋼等金屬材料形成的圓筒狀的部件。固定部件7的內周面在彈性部件3的基端側被粘接固定於光纖2的外周面。固定部件7的外周面通過環氧類粘接劑被固定於外筒22的內周面。

下面，對這樣構成的光纖掃描器1、照明裝置20及觀察裝置100的作用進行說明。

在使用本實施方式的觀察裝置100觀察被攝體X時，在將照明透鏡21與被攝體X對置配置的狀態下，從光源23對光纖2提供照明光L，使光纖2的末端2a振動，由此使照明光L在被攝體X上掃射。

具體而言，將具有與光掃描部2b的彎曲共振振動頻率對應的頻率的A相的交變電壓、通過驅動用導線8A施加給驅動用壓電元件4A、4B。由此，在光掃描部2b激勵X方向的彎曲振動，從光纖2的末端2a射出的照明光L在X方向進行直線掃描。同樣，將具有與光掃描部2b的彎曲共振振動頻率對應的頻率的B相的交變電壓、通過驅動用導線8B施加給驅動用壓電元件4C、4D。由此，在光掃描部2b激勵Y方向的彎曲振動，從光纖2的末端2a射出的照明光L在Y方向進行直線掃描。

在此，通過使A相的交變電壓的相位和B相的交變電壓的相位相互錯開π/2，光纖2的末端2a沿著圓狀的軌跡進行振動。另外，通過在該狀態下使A相的交變電壓和B相的交變電壓的振幅呈正弦波狀變化，光纖2的末端2a沿著螺旋狀的軌跡進行振動。

從光纖2的末端2a射出的照明光L通過照明透鏡21會聚後照射被攝體X，在被攝體X上沿著螺旋狀的軌跡進行二維掃描。來自被攝體X的照明光L的回光L』被多條檢測用光纖31接受，其強度由光檢測器32進行檢測。觀察裝置100通過與照明光L的掃描周期同步地由光檢測器32檢測回光L』，使檢測出的回光L』的強度與照明光L的掃描位置相對應，生成被攝體X的圖像。

在這種情況下，由於溫度變化和隨時間經過而劣化等原因，光掃描部2b的機械特性產生變化，由此光掃描部2b的振動狀態產生變化，此時光掃描部2b的振動狀態的變化作為檢測用壓電元件5A、5B產生的檢測電壓的振動狀態的變化馬上由控制部6檢測出來。並且，控制部6對交變電壓的相位及振幅進行反饋控制，使得檢測電壓的相位相對於提供給驅動用壓電元件4A、4B、4C、4D的交變電壓的延遲、和檢測電壓的振幅分別達到目標值。這樣，通過檢測光掃描部2b的實際的振動狀態，並根據檢測結果控制交變電壓使得光掃描部2b的振動狀態與作為目標的狀態一致，具有能夠將光掃描部2b的振動狀態保持固定、並沿著期望的掃描軌跡持續掃描照明光L的優點。

在本實施方式中，在從開始交變電壓的調整起經過了規定的時間後光掃描部2b的振動狀態也沒有達到作為目標的狀態的情況下，控制部6也可以停止對驅動用壓電元件4A、4B、4C、4D的交變電壓的施加及來自光源23的照明光L的輸出。

在光纖2損傷的情況下，光纖2的振動狀態也產生變化。例如在光纖2折斷時，光纖2的振幅減小，通過檢測用壓電元件5A、5B檢測的電壓的振幅減小。在這種情況下，難以通過交變電壓的調整使光纖2的振動狀態恢復成作為目標的狀態。因此，在通過控制部6調整交變電壓後仍持續檢測出光掃描部2b不正常的振動狀態的情況下，能夠檢測出光纖2的故障。

在本實施方式中，將驅動用壓電元件4A、4B、4C、4D粘接在稜柱狀的彈性部件3的外周面上，但光纖掃描器1的具體結構不限於此。

例如，如圖3A及圖3B所示，彈性部件3也可以是圓筒狀。或者，也可以如圖4A及圖4B所示省略彈性部件3，而在光纖2的外周面上直接粘接驅動用壓電元件4A、4B、4C、4D。

在本實施方式中，也可以適當變更驅動用壓電元件4A、4B、4C、4D的GND導線9的連接位置。例如，GND導線9也可以如圖5所示，與驅動用壓電元件4A、4B、4C、4D的末端側的側面連接。

在本實施方式中，設置X方向的振動檢測用的檢測用壓電元件5A和Y方向的振動檢測用的檢測用壓電元件5B各一片，但也可以如圖6A及圖6B所示設置各兩片。在這種情況下，兩片檢測用壓電元件5A設於光掃描部2b的外周面上在X方向上對置的兩個位置，兩片檢測用壓電元件5B設於光掃描部2b的外周面上在Y方向上對置的兩個位置。

這樣，光掃描部2b的X方向的振動狀態被檢測為兩片檢測用壓電元件5A產生的電壓之間的差分電壓，光掃描部2b的Y方向的振動狀態被檢測為兩片檢測用壓電元件5B產生的電壓之間的差分電壓。由此，能夠以更高的靈敏度檢測各方向的光掃描部2b的振動狀態。

(第2實施方式)

下面，關於本發明的第2實施方式的光纖掃描器101、照明裝置及觀察裝置，參照圖7A～圖9B進行說明。

本實施方式的照明裝置及觀察裝置是在圖1的照明裝置20及觀察裝置100中，將光纖掃描器1變更為光纖掃描器101構成的。

本實施方式的光纖掃描器101如圖7A及圖7B所示，在光掃描部2b和檢測用壓電元件5A、5B之間具備導電部11，主要是這一點與第1實施方式不同。因此，在本實施方式中，主要對導電部11進行說明，對與第1實施方式相同的結構標註相同的標號，並省略說明。

導電部11是設於光掃描部2b的基端部分的外周面的筒狀的部件，由導電性的金屬材料構成。導電部11例如通過在光掃描部2b的外周面實施電解或者無電解鍍敷等導電性皮膜處理或者塗覆導電性粘接劑而形成。檢測用壓電元件5A、5B利用導電性粘接劑固定於導電部11的外周面。導電部11的基端側的一部分插入於光纖2和彈性部件3之間，導電部11和彈性部件3利用導電性粘接劑進行固定。由此，彈性部件3作為四片驅動用壓電元件4A、4B、4C、4D和兩片檢測用壓電元件5A、5B的共同的GND發揮作用，彈性部件3與一條GND導線9連接。

本實施方式的光纖掃描器101、照明裝置及觀察裝置的作用與第1實施方式相同，因而省略說明。

這樣，根據本實施方式，通過設置被配置於光纖2的外周面和壓電元件4A、4B、4C、4D、5A、5B之間的導電部11，將該導電部11與所有的壓電元件4A、4B、4C、4D、5A、5B電連接，具有能夠對所有的壓電元件4A、4B、4C、4D、5A、5B僅使用一條GND導線9即可的優點。關於本實施方式的其它效果，與第1實施方式相同，因而省略說明。

在本實施方式中，也可以如圖8A及圖8B所示，採用圓筒狀的彈性部件3，還可以如圖9A及圖9B所示，省略彈性部件3，而在光纖2的外周面上直接粘接驅動用壓電元件4A、4B、4C、4D。

(第3實施方式)

下面，關於本發明的第3實施方式的光纖掃描器102、照明裝置及觀察裝置，參照圖10A～圖12B進行說明。

本實施方式的照明裝置及觀察裝置是在圖1的照明裝置20及觀察裝置100中，將光纖掃描器1變更為光纖掃描器102構成的。

本實施方式的光纖掃描器102如圖10A及圖10B所示，具有上述的導電部11，還具有兩片檢測用壓電元件5A、5B，主要是這一點與第1及第2實施方式不同。因此，在本實施方式中，主要對檢測用壓電元件5A、5B進行說明，對與第1及第2實施方式相同的結構標註相同的標號，並省略說明。

本實施方式的光纖掃描器102具有X方向的振動檢測用的兩片檢測用壓電元件5A，並具有Y方向的振動檢測用的兩片檢測用壓電元件5B。兩片檢測用壓電元件5A以在X方向上對置的方式設於光掃描部2b的外周面。兩片檢測用壓電元件5A、5B以在Y方向上對置的方式設於光掃描部2b的外周面。

根據這樣構成的光纖掃描器102，光掃描部2b的X方向的振動狀態被檢測為兩片檢測用壓電元件5A產生的電壓之間的差分電壓，光掃描部2b的Y方向的振動狀態被檢測為兩片檢測用壓電元件5B產生的電壓之間的差分電壓。因此，能夠以更高的靈敏度檢測各方向的光掃描部2b的振動狀態，因而具有控制部6能夠更恰當地調整各相的交變電壓的優點。

本實施方式的光纖掃描器102、照明裝置及觀察裝置的其它作用及效果與第1實施方式相同，因而省略說明。

在本實施方式中，也可以如圖11A及圖11B所示，採用圓筒狀的彈性部件3，也可以如圖12A及圖12B所示，省略彈性部件3，而在光纖2的外周面上直接粘接驅動用壓電元件4A、4B、4C、4D。

(第4實施方式)

下面，關於本發明的第4實施方式的光纖掃描器103、照明裝置及觀察裝置，參照圖13A～圖15B進行說明。

本實施方式的照明裝置及觀察裝置是在圖1的照明裝置20及觀察裝置100中，將光纖掃描器1變更為光纖掃描器102而得到的。

如圖13A及圖13B所示，本實施方式的光纖掃描器103是將第3實施方式的光纖掃描器102變形而得到的，導電部11及檢測用壓電元件5A、5B遍及光掃描部2b的大致全長而設置，這一點與第3實施方式不同。因此，在本實施方式中，主要對導電部11及檢測用壓電元件5A、5B進行說明，對與第1～第3實施方式相同的結構標註相同的標號，並省略說明。

根據這樣構成的光纖掃描器103，檢測用壓電元件5A、5B的與光掃描部2b的接觸面積增大，因而隨著光掃描部2b的彎曲振動在各個檢測用壓電元件5A、5B產生的變形量增大，各個檢測用壓電元件5A、5B產生的電壓的振幅也增大。因此，具有能夠以更高的靈敏度檢測光掃描部2b的振動狀態的優點。

本實施方式的光纖掃描器103、照明裝置及觀察裝置的其它作用及效果與第1～第3實施方式相同，因而省略說明。

在本實施方式中，也可以如圖14A及圖14B所示，採用圓筒狀的彈性部件3，也可以如圖15A及圖15B所示，省略彈性部件3，而在光纖2的外周面上直接粘接驅動用壓電元件4A、4B、4C、4D。

標號說明

1、101、102、103光纖掃描器；2光纖；2a末端；2b光掃描部(末端部分)；3彈性部件(振動傳遞部)；4A、4B、4C、4D驅動用壓電元件；5A、5B檢測用壓電元件；6控制部；7固定部件；8A、8B驅動用導線；9GND導線；10檢測用導線；11導電部；12粘接劑；20照明裝置；21照明透鏡；22外筒；23光源；31檢測用光纖；32光檢測器；100觀察裝置；L照明光；L』回光；X被攝體。