壓電元件及其製造方法以及磁頭折片組合及磁碟驅動裝置的製作方法
2023-05-08 03:12:11
專利名稱：壓電元件及其製造方法以及磁頭折片組合及磁碟驅動裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種磁碟驅動裝置，尤其涉及一種磁碟驅動裝置的壓電元件及該壓電元件的製造方法。
背景技術：
一種常用信息存儲裝置是磁碟驅動裝置，一種磁碟驅動裝置是磁碟驅動裝置，利用磁介質存儲數據，並具有一可移動的磁性讀/寫頭定位在磁介質上，以選擇性地從磁碟讀取或寫入磁碟數據。
消費者一直在期望這類磁碟驅動裝置的存儲容量更大，且其讀寫速度及準確度更高。因此，磁碟驅動裝置製造商一直在致力於開發高存儲容量的磁碟驅動裝置，例如通過使用窄軌道寬度和/或軌道間距相對較小的磁碟來增加磁碟的信道密度。然而，隨著磁碟軌道密度的增加，對磁碟驅動裝置內讀/寫頭的位置控制要求也相應增加，以便在使用高密度磁碟時，能夠實現快速而準確的讀/寫操作。隨著磁碟軌道密度的增加，藉助傳統的技術來將讀/寫頭快速而準確地定位在存儲介質的特定信道上變得越來越困難。因此，為了利用軌道密度不斷增大所帶來的益處，磁碟驅動裝置製造商一直在尋找能提高讀/寫頭位置控制的方法。
一種經常被磁碟驅動裝置製造商使用的、能提高在高密度磁碟上使用的讀/寫頭位置控制的方法為採用一個副驅動器(secondary actuator)，即業界所知的微驅動器。該微驅動器與一主驅動器共同使用以便快速而準確地控制讀/寫頭的位置。包含該微驅動器的磁碟驅動裝置被稱為雙重驅動器系統。
過去業界已經開發了各種雙重驅動器系統，用於提高存取速度及讀/寫頭在高密度存儲介質的特定軌道上的位置微調。這類雙重驅動器系統通常包括一主音圈馬達驅動器(VCM)及一次微驅動器，比如壓電微驅動器。該音圈馬達驅動器由一伺服控制系統所控制，該伺服控制系統可使承載讀/寫頭的驅動臂旋轉，以便將讀/寫頭定位於存儲介質的特定信息軌道上。該壓電微驅動器與音圈馬達驅動器共同使用，以便提高存取速度及讀/寫磁頭在特定軌道上的位置微調。這樣，音圈馬達驅動器粗調讀/寫頭的位置，而壓電微驅動器精調讀/寫頭相對於存儲介質的位置。該壓電微驅動器與音圈馬達驅動器共同作用，使得數據信息可準確有效地被寫入高密度存儲介質中或自高密度存儲介質中讀出。
一種已知的用於微調讀/寫頭位置的微驅動器含有壓電元件。該微驅動器上具有相關電路用於激發微驅動器上的壓電元件，使該壓電元件選擇性地收縮或膨脹。該微驅動器具有適當配置使得壓電元件的收縮或膨脹可使該微驅動器移動，進而使讀/寫頭移動。相對於僅僅使用音圈馬達驅動器的磁碟驅動裝置，該讀/寫頭的移動可更加快速而精確地調整讀/寫頭的位置。名稱為「微驅動器及磁頭折片組合」的日本專利申請第JP2002-133803號，及名稱為「具有位置微調的微驅動器的磁頭折片組合、具有該磁頭折片組合的磁碟驅動器及磁頭折片組合的製造方法」的日本專利申請第JP2002-074871號，均揭露了壓電微驅動器的結構。
圖1a所示為傳統的磁碟驅動裝置，其中磁碟101安裝在用以旋轉磁碟101的主軸馬達102上。音圈馬達臂104承載一個磁頭折片組合100，該磁頭折片組合100包括具有讀/寫頭的磁頭103及微驅動器105。音圈馬達115控制音圈馬達臂104的運動，進而控制磁頭103沿磁碟101的表面從一個軌道移動到另一個軌道，從而令讀/寫頭可從磁碟101讀寫數據。工作時，旋轉的磁碟101與包含讀/寫頭的磁頭103之間形成空氣動力作用，並產生提升力。該提升力與磁頭折片組合100的懸臂件上施加的彈力的大小相等、方向相反，這樣在音圈馬達臂104的全逕行程中，該升力使音圈馬達臂104在磁碟101表面上保持一定的飛行高度。。
圖1b所示為圖1a中包含雙重驅動器的傳統磁碟驅動裝置的磁頭折片組合100。然而，由於音圈馬達及磁頭懸臂組合(HSA)的固有公差，磁頭103無法實現快速而準確的位置控制，這將極大地影響讀/寫頭準確地從磁碟讀寫數據。因此，必須使用如上所述的壓電微驅動器105來改善磁頭及讀/寫頭的位置控制。更具體地講，相對於音圈馬達，該壓電微驅動器105以更小的幅度糾正磁頭103的位移，以便補償音圈馬達和/或磁頭懸臂組合的共振公差。所述微驅動器105的存在，使得使用具有較小磁軌間距的磁碟成為可能，且可使磁碟驅動裝置的TPI值(tracks per inch)提高50％，同時可以有效縮短磁頭尋軌及定位時間。因此，壓電微驅動器105可使信息存儲磁碟的表面記錄密度大幅度提高。
請參考圖1c和1d，傳統的壓電微驅動器是U形壓電微驅動器105。該U形壓電微驅動器105具有U形陶瓷框架，U形陶瓷框架具有兩陶瓷臂107，每一陶瓷臂107上具有一個壓電元件。兩陶瓷臂107將磁頭103固持在其間，並通過陶瓷臂107的移動使得該磁頭103產生位移。如圖1b和圖1c所示，該壓電微驅動器105物理連接到懸臂件113的撓性件114上。三個電連接球109(金球焊接GBB或錫球焊接SBB)將該壓電微驅動器105連接到位於每一陶瓷臂107一側的懸臂電纜110上。另外，四個金屬球108(GBB或SBB)將磁頭103連接到懸臂電纜110上。圖1d展示了磁頭103組裝到壓電微驅動器105的典型過程，如圖1d和2所示，磁頭103通過環氧膠112在兩預定位置106連接到兩陶瓷臂107，該連接方式導致磁頭103的移動取決於兩陶瓷臂107的移動。壓電微驅動器105的每一陶瓷臂107上安裝一個壓電元件116，以便通過激發壓電元件116來控制磁頭103的運動。更具體地講，當通過懸臂電纜110對壓電元件116供電時，該壓電元件116會膨脹或收縮，結果導致U形微驅動器的兩陶瓷臂107產生變形，進而導致磁頭103在磁碟的磁軌上運動，從而微調讀/寫頭的位置。通過這種方式，藉助磁頭103的可控制的運動可實現位置微調。
圖1e展示了圖1d所示的磁頭103及壓電微驅動器105組裝在一起後的情況。圖1e和圖2還展示了兩個可能的平移運動，如箭頭117a和117b所示，該平移運動是壓電微驅動器105受激發時所產生，同時在壓電微驅動器105的基部產生合成反作用力118a、118b。
然而，如圖2所示，當對壓電元件116施加電壓時，壓電元件116隻在沿垂直於電極層171和壓電層172的厚度方向上產生彎曲位移，而在平行電極層171和壓電層172的寬度方向(或橫向)不產生彎曲位移。這大大限制了壓電元件116的應用範圍。
因此需要一種改良的壓電元件及其製造方法來克服上述缺點。
發明內容
基於現有技術的不足，本發明之一目的在於提供一種壓電元件，對其施加電壓時，該壓電元件可以沿其橫向產生彎曲位移。
本發明之另一目的在於提供一種具有壓電元件的磁頭折片組合，該壓電元件可以沿其橫向產生彎曲位移。
本發明之又一目的在於提供一種壓電元件的製造方法，使該壓電元件可以沿其橫向產生彎曲位移。
本發明之再一目的在於提供一種具有壓電元件的磁碟驅動裝置，該壓電元件可以沿其橫向產生彎曲位移。
為了實現上述第一目的，本發明提供的壓電元件包括疊層件(laminatedstructure)和至少一個支撐件。所述疊層件是由電極層和壓電層交替層壓而成並界定一厚度方向的疊層結構，其中每一壓電層夾在兩相鄰電極層之間。所述支撐件設於所述疊層件的一側，並沿所述疊層件的縱向延伸，當通過所述電極層對壓電元件施加電壓時，壓電元件至少沿其橫向彎曲。
在本發明的一個實施例中，所述支撐件設於所述疊層件的一側面，該側面平行於所述壓電元件的厚度方向。
在本發明的另一個實施例中，所述支撐件包括絕緣層和設於其上的支撐層，所述絕緣層夾在所述支撐層和所述疊層件之間。
在本發明的又一個實施例中，所述疊層件內開設有槽口(notch)或狹槽(slot)，使壓電元件更容易彎曲。
為了實現上述另一目的，本發明提供的磁頭折片組合包括磁頭、壓電元件及支撐所述磁頭和所述壓電元件的懸臂件，所述壓電元件夾在所述磁頭和所述懸臂件之間，所述壓電元件包括疊層件及至少一個支撐件，所述疊層件是由電極層和壓電層交替層壓而成並界定一厚度方向的疊層結構，其中每一壓電層夾在兩相鄰電極層之間。所述支撐件設於所述疊層件的一側，並沿所述疊層件的縱向延伸，當通過所述電極層對壓電元件施加電壓時，壓電元件至少沿其橫向彎曲。
為了實現上述又一目的，本發明提供的壓電元件的製造方法包括以下步驟(1)沿厚度方向交替層壓電極層和壓電層以使每一個壓電層夾在兩相鄰電極層之間，從而形成疊層件；(2)在疊層件的一側組裝至少一支撐件，以使支撐件沿疊層件的縱向延伸。
為了實現上述再一目的，本發明提供的磁碟驅動裝置包括磁頭折片組合、連接所述磁頭折片組合的驅動臂、碟片以及使所述碟片旋轉的主軸馬達，其中所述磁頭折片組合包括磁頭、壓電元件及支撐所述磁頭和所述壓電元件的懸臂件，所述壓電元件夾在所述磁頭和所述懸臂件之間，所述壓電元件包括疊層件及至少一個支撐件，所述疊層件是由電極層和壓電層交替層壓而成並界定一厚度方向的疊層結構，其中每一壓電層夾在兩相鄰電極層之間。所述支撐件設於所述疊層件的一側，並沿所述疊層件的縱向延伸，當通過所述電極層對壓電元件施加電壓時，壓電元件至少沿其橫向彎曲。
與現有技術相比，壓電元件不但在厚度方向上可以產生彎曲位移，還可以沿橫向產生彎曲位移，從而精確控制與其連接的磁頭的位置。
為使本發明更加容易理解，下面將結合附圖和實施例對本發明作進一步詳細的描述。
圖1a為傳統磁碟驅動裝置的部分立體圖。
圖1b為傳統磁頭折片組合的立體圖。
圖1c為圖1b所示磁頭折片組合的局部放大圖。
圖1d展示了磁頭組裝到圖1b所示磁頭折片組合的微驅動器的過程。
圖1e為現有技術之磁頭與微驅動器組裝後的立體圖。
圖2為圖1e的俯視圖，以展示壓電元件的彎曲方向。
圖3a為本發明第一實施例之壓電元件的立體圖。
圖3b為圖3a所示壓電元件另一視角的立體圖。
圖3c為圖3a所示壓電元件的立體分解圖。
圖4為本發明第二實施例之壓電元件的立體圖。
圖5為本發明第三實施例之壓電元件的立體圖。
圖6為本發明第四實施例之壓電元件的立體圖。
圖7為本發明第五實施例之壓電元件的立體圖。
圖8為本發明第六實施例之壓電元件的立體圖。
圖9為本發明第七實施例之壓電元件的立體圖。
圖10a為圖3a所示壓電元件的電連接的示意圖。
圖10b為圖3a所示壓電元件的另一電連接的示意圖。
圖10c展示了本發明壓電元件的電極層間的連接結構。
圖11展示了圖3a所示壓電元件的工作狀態。
圖12為本發明磁頭折片組合的立體分解圖。
圖13為本發明磁碟驅動裝置的立體分解圖。
圖中各元件的附圖標記說明如下壓電元件90a、90b、90c、90d、90e、90f、90g疊層件 91、911、912、913 支撐件 94、944、945末端92 自由末端 93壓電層 201電極層 202導電觸點203、204 絕緣層 205支撐層 206槽口 501
固定部507縱向701極化方向 801厚度方向802橫向 901磁頭折片組合 70 磁頭71懸臂件30 基板321鉸鏈 324撓性件 325負載杆326懸臂舌片328磁碟驅動裝置 80 碟片801主軸馬達 802音圈馬達807殼體 808具體實施方式
現在結合說明書附圖3-13對本發明的幾個最佳實施例進行描述，各附圖中相同的元件以相同的附圖標記標出。如上文所述，本發明旨在提供一種壓電元件，該壓電元件包括一疊層件，該疊層件是由電極層和壓電層交替層壓而成的疊層結構，具有一厚度方向，其中每一壓電層夾在兩相鄰電極層之間；及至少一支撐件，設在疊層件的一側，並沿疊層件的縱向方向延伸。當通過電極層對壓電元件施加電壓時，壓電元件至少沿其橫向彎曲。通過在疊層件的一側設置至少一支撐件，本發明之壓電元件獲得一平行電極層和壓電層的特定彎曲方向。換句話說，本發明之壓電元件可以用於使物體，例如使磁頭沿平行於電極層和壓電層的彎曲方向位移。
請參考圖3a-3c，為本發明之壓電元件的第一實施例，該壓電元件90a包括一疊層件91和一支撐件94。該疊層件91是通過交替層壓電極層和壓電層形成的，例如，交替層壓四層電極層202和三層壓電層201。這樣，每一壓電層201都被夾在兩相鄰的電極層202之間，通過電極層202就可對壓電層201施加激發電壓。在本發明的一個實施例中，有用到薄膜成型法，如鍍覆工藝或光掩模工藝，逐層製作疊層件91的壓電層201，該方法相對簡單，而且成本低。此外，還有若干導電觸點，例如二導電觸點203、204設在最外側電極層202的一末端，以便通過導電觸點203、204對壓電元件90a施加電壓。
請參考圖3a，壓電元件90a界定一縱向701、一厚度方向802和一橫向901，這三個方向彼此相互垂直，其中縱向701和橫向901平行壓電層201和電極層202，厚度方向802垂直壓電層201和電極層202。在本發明的一個實施例中，所有的壓電層201都有相同的厚度和相同的結構。請參考圖10a，每一壓電層201還具有一極化方向801，該極化方向801是經過磁化處理而形成的，該磁化處理既可在疊層件91形成之前，也可在形成之後進行。在本發明的一個實施例中，相鄰的壓電層201的極化方向是相反的。
再請參考圖3a，電極層202是由銅、黃金或其他具有良好電導率的導電材料製成的。電極層202的尺寸與壓電層201大致相同，以便電極層202能夠完全覆蓋壓電層201的表面。在本發明的一個實施例中，所有電極層202具有相同的厚度及相同的結構。
續請參考圖3a，二導電觸點203、204之間沒有電連接，而是分別電連接於相鄰的電極層202，其中相鄰的兩層電極層202之間夾一層壓電層201。這樣，當兩個導電觸點203、204分別與外部電源(圖未示)連接時，電壓就施加在每一壓電層201上，從而使壓電層201伸長或縮短。
仍請參考圖3a，支撐件94設在疊層件91的一側，並沿疊層件91的縱向701延伸。在本發明的一個實施例中，支撐件94包括一絕緣層205和一支撐層206，支撐層206位於絕緣層205的外面。在本發明的一個實施例中，支撐層206可以具有導電性，由不鏽鋼、矽、銅合金或其他合適的導電材料製成。當支撐件94組裝在疊層件91上時，絕緣層205被夾在支撐層206和疊層件91之間，以阻止支撐層206與疊層件91電接觸，從而防止短路。
在本發明的另外一個實施例中，支撐層206也可用合適的非導電材料製作，在這種情況下，支撐件94中就可以不用絕緣層205。
圖4-5分別顯示了本發明壓電元件可選擇的第二、第三實施例。請參考圖4，第二實施例之壓電元件90b的結構與圖3a所示之壓電元件90a相似，但是壓電元件90b的疊層件911內設有一個槽口501，此槽口501的設計可使壓電元件90b容易彎曲。在本實施例中，槽口501呈矩形，但槽口501的形狀並不局限於矩形，任何其他適當的形狀也都適用。請參考圖5，壓電元件90c的疊層件912內設有三個槽口501，這樣可使壓電元件90c更容易彎曲。可以理解的是，在本發明壓電元件的疊層件上可以設置任何適當個數的槽口501。而且，槽口(notch)501也可用狹縫(slot)等適當的結構代替，只要能使壓電元件容易彎曲。
圖6所示為本發明第四實施例之壓電元件90d。該壓電元件90d的結構與圖3a所示的壓電元件90a相似。不同的是，壓電元件90d有兩個支撐件944，代替壓電元件9a中的一個支撐件94。兩個支撐件944分別裝在疊層件91一側的上表面和下表面，並與疊層件91的電極層202和壓電層201相平行。
圖7所示為本發明第五實施例之壓電元件90e。該壓電元件90e的結構與圖6所示的壓電元件90d相似。不同的是，在壓電元件90e的疊層件91的一末端上形成一固定部507，該固定部507的設置是為了將壓電元件90e安裝在支撐部件如懸臂件30上(如圖12所示)。
圖8所示為本發明第六實施例之壓電元件90f。該壓電元件90f的疊層件913是通過將兩層電極層202和一層壓電層201交替層壓形成的，由絕緣層205和支撐層206組成的支撐件94組裝在疊層件913的一側。
圖9所示為本發明第七實施例之壓電元件90g。該壓電元件90g的結構與圖8所示的壓電元件90f相似。不同的是，壓電元件90g的支撐件945是一個，支撐件945固定在疊層件913一側的上表面，並與疊層件913的電極層202和壓電層201平行。
圖10a為圖3a所示的壓電元件90a的電連接示意圖，並顯示了其中相鄰壓電層201的極化方向801是相反的。可以理解的是，圖10a所示電連接也可適用於圖4-9所示的壓電元件90b-90g。
再請參考圖10a，每兩相鄰電極層202之一通過導電觸點203被施加電壓V，另一電極層202通過導電觸點204接地。這樣，加在每一壓電層201上的電壓與該壓電層201的極化方向801相反，從而使所有的壓電層201同時縮短或同時伸長。
圖10b為圖3a所示的壓電元件90a的另一電連接的示意圖，其中導電觸點203接地，而導電觸點204被施加電壓V。這樣加在每一壓電層201上的電壓就與該壓電層201的極化方向801相一致，從而使所有的壓電層201同時伸長或者同時縮短。
圖10c為圖3a所示的電極層202之間的典型連接。如圖所示，相鄰的電極層202之間沒有電連接，但是每隔一層的電極層202之間通過其中的導電層相互電連接。
圖11顯示了圖3a所示的壓電元件90a的工作狀態。當疊層件91，也就是壓電層201(見圖3a)，被施加電壓時，他們同時縮短或者同時伸長。然而，由於支撐件94具有適當的硬度，從而制約了壓電層201的縮短或者伸長，所以壓電層201的縮短或者伸長就會對支撐件94施加一個反作用力，並使支撐件94和疊層件91一起沿著其橫向901彎曲，該橫向901與壓電層201平行。在本發明中，壓電元件90a的一末端92固定在一硬支撐部件上，例如如圖12所示的懸臂件30，另一末端為自由末端93，可以產生位移，從而精確控制物體如磁頭的位置。壓電元件90a的詳細工作過程相信為本領域的技術人員所熟悉，因此不再作進一步的討論。
在本發明中，壓電元件的製造方法包含以下步驟(1)沿厚度方向交替層壓電極層和壓電層以使每一個壓電層夾在兩相鄰電極層之間，從而形成疊層件；(2)在疊層件的一側組裝至少一支撐件，並使支撐件沿疊層件的縱向延伸。在本發明的一個實施例中，支撐件組裝在疊層件的一側面上，此側面與所述壓電元件的厚度方向平行。在本發明的另一個實施例中，形成支撐件的步驟包括形成絕緣層，並在絕緣層外側形成支撐層；將絕緣層與疊層件連接一起。在本發明中，形成疊層件的步驟還包括在疊層件內形成至少一槽口或狹縫，以使壓電元件容易彎曲。
請參考圖12，本發明之磁頭折片組合70包括一磁頭71、一壓電元件90a及支撐磁頭71和壓電元件90a的懸臂件30。該懸臂件30具有基板321、鉸鏈324、撓性件325和負載杆326，這些部件組裝在一起。撓性件325有一懸臂舌片328，壓電元件90a安裝在懸臂舌片328上，夾在磁頭71和懸臂舌片328之間。具體的講，壓電元件90a的一末端92固定在懸臂件30上，自由末端93用來精確地調節磁頭71的位置。可理解的是，本發明其他實施例中的壓電元件也同樣適用於磁頭折片組合。
請參考圖13，根據本發明的一種實施方式，本發明之磁碟驅動裝置80由殼體808、碟片801、主軸馬達802、音圈馬達807和本發明之磁頭折片組合70組成。由於本發明磁碟驅動裝置的組裝工藝為本技術領域的普通技術人員所熟知，因此不再詳述。
可以預期本發明之磁碟驅動裝置80不但適用於的磁碟裝置，例如如圖13所示的磁碟，而且還適用於其他形式的裝置，如用驅動器調節光頭位置的光碟驅動裝置，但並不局限於光碟驅動裝置，只要是用驅動器調節磁頭位置的磁碟驅動裝置均可。因此，圖13所示的磁碟裝置僅是本發明的一個實施例，當然不是對本發明的限制。相應的，也無意把本發明的申請限制在特定的裝置上，如磁碟裝置。
以上所揭露的僅為本發明的較佳實施例而已，當然不能以此來限定本發明之權利範圍，因此依本發明申請專利範圍所作的等同變化，仍屬於本發明所涵蓋的範圍。
權利要求
1.一種壓電元件，包括疊層件，所述疊層件是由電極層和壓電層交替層壓而成並界定一厚度方向的疊層結構，其中每一壓電層夾在兩相鄰電極層之間，其特徵在於所述壓電元件還包括至少一支撐件，該支撐件設於所述疊層件的一側，並沿所述疊層件的縱向延伸，當通過所述電極層對壓電元件施加電壓時，壓電元件至少沿其橫向彎曲。
2.如權利要求1所述的壓電元件，其特徵在於所述支撐件設於所述疊層件的一側面，該側面平行於所述壓電元件的厚度方向。
3.如權利要求1所述的壓電元件，其特徵在於所述支撐件包括絕緣層和位於其上的支撐層，所述絕緣層夾在所述支撐層和所述疊層件之間。
4.如權利要求1所述的壓電元件，其特徵在於所述疊層件內開設有至少一槽口或狹槽。
5.一種磁頭折片組合，包括磁頭、壓電元件及支撐所述磁頭和所述壓電元件的懸臂件，所述壓電元件夾在所述磁頭和所述懸臂件之間，包括疊層件，所述疊層件是由電極層和壓電層交替層壓而成並界定一厚度方向的疊層結構，其中每一壓電層夾在兩相鄰電極層之間，其特徵在於所述壓電元件還包括至少一支撐件，該支撐件設於所述疊層件的一側，並沿所述疊層件的縱向延伸，當通過所述電極層對壓電元件施加電壓時，壓電元件至少沿其橫向彎曲。
6.如權利要求5所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述支撐件設於所述疊層件的一側面，該側面平行於所述壓電元件的厚度方向。
7.如權利要求5所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述支撐件包括絕緣層和位於其上的支撐層，所述絕緣層夾在所述支撐層和所述疊層件之間。
8.如權利要求5所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述疊層件內開設有至少一槽口或狹槽。
9.一種壓電元件的製造方法，其特徵在於包括以下步驟(1)沿厚度方向交替層壓電極層和壓電層以使每一個壓電層夾在兩相鄰電極層之間，從而形成疊層件；及(2)在疊層件的一側附設至少一支撐件，以使所述支撐件沿疊層件的縱向延伸。
10.如權利要求9所述的壓電元件的製造方法，其特徵在於所述支撐件連接於所述疊層件的一側面，該側面平行於所述壓電元件的厚度方向。
11.如權利要求9所述的壓電元件的製造方法，其特徵在於所述支撐件的形成步驟包括形成絕緣層及所述絕緣層上的支撐層；將所述絕緣層與所述疊層件連接在一起。
12.如權利要求9所述的壓電元件的製造方法，其特徵在於形成所述疊層件的步驟還包括在所述疊層件內開設至少一槽口或狹槽。
13.一種磁碟驅動裝置，包括磁頭折片組合、連接所述磁頭折片組合的驅動臂、碟片以及使所述碟片旋轉的主軸馬達，其中所述磁頭折片組合包括磁頭、壓電元件及支撐所述磁頭和所述壓電元件的懸臂件，所述壓電元件夾在所述磁頭和所述懸臂件之間，所述壓電元件包括疊層件，所述疊層件是由電極層和壓電層交替層壓而成並界定一厚度方向的疊層結構，其中每一壓電層夾在兩相鄰電極層之間，其特徵在於所述壓電元件還包括至少一支撐件，該支撐件設於所述疊層件的一側，並沿所述疊層件的縱向延伸，當通過所述電極層對壓電元件施加電壓時，壓電元件至少沿其橫向彎曲。
全文摘要
本發明公開了一種壓電元件，該壓電元件包括疊層件，所述疊層件是由電極層和壓電層交替層壓而成並界定一厚度方向的疊層結構，其中每一壓電層夾在兩相鄰電極層之間，其特徵在於所述壓電元件還包括至少一支撐件，該支撐件設於所述疊層件的一側，並沿所述疊層件的縱向延伸，當通過所述電極層對壓電元件施加電壓時，壓電元件至少沿其橫向彎曲，從而精確控制與其連接的磁頭的位置。本發明同時公開了該壓電元件的製造方法，還公開了具有該壓電元件的磁頭折片組合及磁碟驅動裝置。
文檔編號G11B21/10GK101079468SQ20061008410
公開日2007年11月28日 申請日期2006年5月23日 優先權日2006年5月23日
發明者李漢輝 申請人:新科實業有限公司