用於傳送電子模塊的方法和裝置的製作方法

2023-05-19 00:28:56

專利名稱：用於傳送電子模塊的方法和裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及微電子領域，並可涉及檢測電子模塊的方法。
背景技術：
對於集成電路的製造，需要對這種電路進行檢測。為了這個目的，電路必須在進行 這種檢測行為時被傳送。傳送設備被提供用於將電路輸送到檢測設備或從檢測設備輸送電 路。

發明內容
檢測電子模塊的方法可包括，製造具有接納開口和定位裝置的薄傳送支撐件的步 驟，和通過非永久性粘合機構將電子模塊定位和保持在所述薄支撐件的所述接納開口中的步驟。檢測電子模塊的方法可包括，通過相對於檢測設備的定位機構放置所述薄支撐件 的至少某些位置定位裝置而將所述薄支撐件安裝到所述檢測設備上的步驟，使所述電子模 塊的電連接接觸器與連接到電子檢測裝置的所述檢測設備的接觸機構相接觸的步驟，執行 所述檢測的步驟，將所述電子模塊和所述接觸機構分離的步驟。檢測電子模塊的方法可包括，將所述電子模塊和所述薄傳送支撐件分離的步驟。根據檢測方法，所述電子模塊可被一個接一個地放入檢測位置或連續地以組的形 式放入檢測位置。根據檢測方法，生產薄傳送支撐件的步驟可包括通過製造穿過板或條狀物的開 口和將非永久性膠帶的粘性面粘到該板或條狀物的一個面上而生產所述薄傳送支撐件的 步驟，其中定位和保持所述電子模塊的步驟包括將所述電子模塊定位在所述穿通開口中 並且將這些電子模塊粘在所述膠帶的所述粘性面上。根據檢測方法，定位和保持所述電子模塊的步驟包括在所述膠帶的粘性面上的 開口中沉澱能流動的粘性材料，並且將所述電子模塊定位在該粘性材料上。根據檢測方法，定位步驟可包括建立所述電子模塊與所述薄支撐件的電連接機構 之間的電連接。根據檢測方法，定位和保持步驟可包括通過使帶有用於電連接的接觸器的所述電 子模塊與所述薄傳送支撐件接觸而建立電連接的步驟。一個實施例可涉及用於傳送電子模塊的方法。一種傳送方法，可包括生產具有接納開口和定位裝置的薄傳送支撐件的步驟，和 通過非永久性粘合機構將電子模塊定位和保持在所述薄傳送支撐件的所述接納開口中的步驟。根據傳送方法，生產所述薄傳送支撐件的步驟可包括製造穿過板或條狀物的開口 和將非永久性膠帶的粘性面粘貼到該板或該條狀物的面上，並且其中，定位和保持所述電 子模塊的步驟包括將所述電子模塊定位在所述開口中和將這些電子模塊粘在所述膠帶的所述粘性面上。根據傳送方法，所述定位和保持所述電子模塊的步驟可包括在所述膠帶的所述粘 性面上的所述開口中沉澱能流動的粘性材料，以及將所述電子模塊定位在該粘性材料上。根據傳送方法，所述定位步驟可包括建立所述電子模塊與提供在所述薄支撐件上 的電連接器之間的電連接。根據傳送方法，所述定位和保持步驟可包括建立所述電子模塊與提供在所述薄傳 送支撐件上的接觸器之間的電連接。根據傳送方法，所述電子模塊可被夾緊抵靠在所述開口的至少一個壁上。一個實施例可涉及用於傳送電子模塊的裝置，包括具有用於接納所述電子模塊的 開口的薄支撐件和定位機構，該支撐件被提供具有用於將所述電子模塊粘附在這些開口中 的非永久性粘合機構。薄支撐件可包括具有通孔的板或條狀物和具有粘貼面的非永久性粘性保持帶，該 粘性面粘貼在該板或該條狀物的一個面上並可以通過粘貼保持所述電子模塊。薄支撐件可包括剛性板。薄支撐件可包括由柔性材料製造的條狀物，該條狀物在其平面上不能變形。能流動的韭J^A粘性材料可布置在所述膠帶和所述電子模塊之間。薄支撐件可包括電連接機構。薄支撐件可包括位於所述薄支撐件的開口中的被提供具有電連接器的臺肩。本發明可涉及一種用於處理電子模塊的設備。該設備可包括用於接納至少一個具有接納開口和包括非永久件粘合機構的保持 機構的薄傳送支撐件的機構，被設計為選擇性地移動電子模塊的操作裝置，以及用於致動 所述操作裝置以將電子模塊定位在所述薄傳送支撐件的所述接納開口中的機構，從而通過 與所述薄傳送支撐件支承的保持機構配合而使這些電子模塊被保持在這些接納開口中。在該處理設備中，所述操作機構可包括操作或抓持頭。該處理設備可包括用於相對於所述用於接納的機構定位所述薄傳送支撐件和/ 或所述電子模塊的位置的裝置。一個實施例可涉及用於檢測電子模塊的設備。該檢測設備可包括接納至少一個具有接納開口的薄傳送支撐件的機構，電子模 塊通過非永久性粘合機構被選擇性地保持在所述接納開口中；支承電接觸機構的電連接 頭；以及用於致動該電連接頭以選擇性地將所述電接觸機構放置為與所述電子模塊上的電 連接接觸器或球體相接觸和/或與所述薄傳送支撐件電接觸，並將它們分別分離的機構。所述檢測設備可包括定位所述薄傳送支撐件和/或所述電子模塊相對於用於接 納的機構的位置的機構。下面將參照附圖，以非限制性的示例的方式，通過對電焊接區的實施例的描述而 描繪本發明。


圖1是傳送支撐件的俯視圖；圖2是被裝的傳送支撐件的剖視圖3是位於裝位置的傳送支撐件的剖視圖；圖4是位於檢測位置的傳送支撐件的剖視圖；圖5是另一個傳送支撐件的剖視圖；圖6是另一個傳送支撐件的剖視圖；以及圖7是位於裝位置的該另一個傳送支撐件的剖視圖。
具體實施例方式參考圖1-4，可見已經示出薄傳送支撐件1，薄傳送支撐件1包括例如為矩形的縱 向薄板2，通過該薄板形成有接納開口 3，接納開口 3例如為矩形或方形，排列成例如方陣。 薄板2可由在所述板的平面上不能變形的剛性或柔性材料製成，例如金屬或諸如塑料材料 的其它材料。如圖1所示，接納開口 3可被提供為在多條縱向線上對齊，例如在四條縱向線 上對齊。傳送支撐件1還包括例如薄膠帶4的非永久件粘合機構,其前表面5粘貼到開孔 的薄板2的後表面6上。傳送支撐件1還具有定位孔7，定位孔7形成在例如靠近傳送支撐件1的邊緣且位 於形成有開口3的區域外部。開口 3的直徑適於使每個開口 3能夠接納平臥的電子模塊8，電子模塊8在本例 中為平行六面體形狀，其前表面上具有電連接接觸器或球體8a，使得這些模塊8的後表面9 抵靠膠帶4的前表面5並粘貼在那。薄板2的厚度可與電子模塊8的厚度相適應。通過一方面具有傳送支撐件1，另一方面具有從先前的製造並通過例如鋸分離成 單元的電子模塊8，有可能例如使用一設備自動地將電子模塊8定位在開口 3中，並且通過 非永久性粘合機構的粘貼來保持電子模塊8。如圖3所示，該操作設備可適於將傳送支撐件1放置到具有穿過膠帶4並接合在 定位孔7中的定位銷10的接納臺9上，並適於致動操作或抓持頭11，操作或抓持頭11例 如通過吸引使其前表面9抓持電子模塊，將電子模塊個別地或成組地插入開口 3中，將電子 模塊疊置於膠帶4上以將它們粘貼，並隨後釋放。還可以提供其它的定位裝置，例如光學機 構。—些空的傳送支撐件1可存在於一個合適的儲料臺中，裝有電子模塊8的傳送支 撐件1可放置在另一個合適的儲料臺中。如圖4所示，裝有電子模塊8的薄傳送支撐件1隨後可被送往檢測設備，該檢測設 備包括具有突出定位銷13的接納臺12、位於所述工作檯上方與所述工作檯相距一定距離 並且具有向下延伸的接觸指部15的電連接頭14、以及連接到電連接頭14的電子檢測裝置 16。傳送支撐件1可安裝在工作檯12上，並且通過使突出定位銷13接合所述薄支撐 件1的定位孔7而被放置在預定的位置。工作檯12和電連接頭14隨後可朝向彼此移動，以選擇性地使電檢測連接接觸器 或球體8a與接觸指部15相接觸，從而使電子模塊8與電子檢測裝置16電連接，工作檯12 和電連接頭14還可以遠離彼此移動以斷開它們之間的連接。通過在每個循環之間使電連接頭14相對於工作檯12水平移動，電連接頭14可允許接觸指部15按順序並相繼地進行傳送支撐件1支承的電子模塊8的一個接一個的連接、 檢測和斷開循環。根據另一個變形，通過在每個循環之間使電連接頭14相對於工作檯12水平移動， 電連接頭14可允許接觸指部15按順序並相繼地進行傳送支撐件1支承的多組電子模塊8 中的電子模塊8的一個接一個的連接、檢測和斷開循環。從而容易地使所述電子模塊的數 量和位置足夠或符合所述檢測設備的能力。當完成了對安裝在傳送支撐件1上的電子模塊8的檢測時，該支撐件從所述檢測 設備中取出。一些裝有未檢測的電子模塊8的傳送支撐件1可存在於一個合適的儲料臺中，以 便被獨立地裝載到檢測設備中，來自檢測設備的裝有檢測過的電子模塊8的傳送支撐件1 可放置在另一個合適的儲料臺中。隨後，檢測過的電子模塊8可從傳送支撐件1分離並被分類。例如，拆卸頭可選擇性地抓持電子模塊8的前表面並將它們選擇性地放置在另一 個位置。根據另一個例子，推桿可沿前向方向作用在膠帶4的後表面上或者沿前向方向通 過膠帶4作用在電子模塊8的後表面上，以選擇性地拆卸電子模塊8，並通過重力朝另一個 位置選擇性地排空它們。參考圖5，可見，傳送支撐件17包括薄板18，例如由塑料製造的基底，其具有適於 接納電子模塊20的開口 19，電子模塊20除了前電連接接觸器或球體20a之外，還具有形成 在周邊臺肩21上的後電連接接觸器20b。薄板18的周邊臺肩22位於其開口 19中，並具有集成電連接網23，集成電連接網 23選擇性地連接形成在這些臺肩22上的前電連接接觸器24和形成在所述薄板的前表面上 的與開庫19相距一定距離並位於孔19外圍的前電連接接觸器25。在前述例子中，當電子模塊20安裝在薄板18的開口 19中時，它們的後表面26被 粘貼到先前被粘貼在薄板20的後表面上的膠帶27的前表面上。當之前已經將導電材料球體已放置到接觸器20b和/或接觸器24中的至少一些 上時，這些球體被擠壓以分別在這些互相面對的接觸器20b和24之間形成導電路徑23a。因此，裝有電子模塊20的傳送支撐件17可放置到檢測設備上，如前文所述那樣， 檢測設備的檢測頭14可具有電接觸指部15，電接觸指部15適於選擇性地接觸電子模塊20 的前接觸器20a中的至少一些和薄板18的前接觸器25中的至少一些。參考圖6，可見，示出了另一個變形的實施例，根據該實施例，傳送支撐件28包括 薄板29，薄板29具有適於接納電子模塊31的開口 30，並包括粘在薄板29的後表面上的膠
32 ο電子模塊31在其前表面上具有前電連接接觸器或球體31a，和在其後表面上具有 不同尺寸的突出元件33。電子模塊31被放置在所述開口中，使它們的前表面與薄板29的前表面大約處於 相同的水平面上，並且元件33與膠帶32相距一定距離。在形成於薄板29的開口 30中並使電子模塊31與膠帶33分離的空間中，形成有 由粘件的、非永久件粘合材料製造的固定塊34，通過將固定塊34置於，中間電子模塊31被保持。
如圖7所示，為了產生這樣的組件，有可能將適配於膠帶32的薄板29安裝到定位 設備的工作檯35上，以從上方將適量的所述粘性材料的能流動滴劑36放置到開口 36底部 中，位於所述膠帶上，然後使用定位頭37抓持電子模塊31並將電子模塊31安裝到開口 30 中。在這之後，電子模塊31對滴劑36施加壓力並使所述粘性材料擴散，以構成保持塊34。如前文所述，裝有電子模塊31的傳送支撐件28因此可放置在如前文所述的檢測 設備上。在上述例子中的已經描述的所述傳送支撐件可為剛性或柔性的。在柔性傳送支撐 件情況下，其可適於形成為即使在它們裝有電子模塊的情況下也能捲起或打開的相對長的 條狀物。這種條狀物可隨後被打開然後捲起，以便在打開和捲起部分之間形成平坦部，該 平坦部能安裝到用於放置或移出電子模塊的設備上，並安裝到用於檢測由該平坦部支承的 所述電子模塊的檢測設備上。另外，這種條狀物可具有沿其長度從頭至尾分布的定位孔7， 以能夠通過累次增量將其放置到這些設備的連續的參考位置上。所述柔性條狀物在其平面 上不能變形，當所述條狀物的縱向部分放置在設備上且孔與該設備的定位銷10配合時，所 述電子模塊相對於定位孔7的位置被確定。由於電子模塊被安裝在沿多條縱向線放置的接納開口 3中，從而可以同時對多個 電子模塊執行操作。雖然本發明所述方法和裝置的優選實施例已在附圖中說明和在上述具體實施方 式中描述，但應該理解的是，本發明不限於已公開的實施例，而是可以在不背離由權利要求 所提出和限定的發明精神的情況下，能夠進行許多重新配置、修改和替代。
權利要求
一種方法，包括通過非永久性粘合機構將電子模塊(8)定位並保持在形成在薄傳送支撐件(1)中的多個接納開口(3)中，所述薄傳送支撐件(1)還具有定位開口(7)；通過相對於定位開口來放置位置定位結構而將所述傳送薄支撐件安裝到檢測設備上；使所述電子模塊的電連接接觸器接觸與電子檢測裝置相關聯的檢測設備的接觸指部；執行電子檢測；將所述接觸指部與所述電子模塊分離；將所述電子模塊與所述薄傳送支撐件分離。
2.根據權利要求1所述的方法，其中所述電子模塊被一個接一個地放入檢測位置或以 連續的組的形式放入檢測位置。
3.根據權利要求1-2任一項所述的方法，進一步包括通過製造穿過板或條狀物的開 口和將非永久性膠帶的粘性面粘到該板或條狀物的一個面上而生產所述薄傳送支撐件，其 中，定位和保持所述電子模塊包括將所述電子模塊定位在所述穿通開口中並且將這些電 子模塊粘在所述膠帶的所述粘性面上。
4.根據權利要求1-3任一項所述的方法，其中定位和保持所述電子模塊包括在所述 接納開口中沉澱能流動的粘性材料，並且將所述電子模塊定位在該粘性材料上。
5.根據權利要求1-4任一項所述的方法，其中定位包括建立所述電子模塊與提供在 所述薄傳送支撐件上的電連接路徑之間的電連接。
6.根據權利要求1-5任一項所述的方法，其中定位和保持包括通過使帶有用於電連 接的接觸器的所述電子模塊與所述薄傳送支撐件接觸而建立電連接。
7.根據權利要求1-6任一項所述的方法，其中，所述電子模塊被夾緊抵靠在所述接納 開口的至少一個壁上。
8.一種方法，包括生產具有接納開口(3)和定位開口(7)的薄傳送支撐件(2)，和通 過非永久性粘合機構將電子模塊(8)定位和保持在所述薄傳送支撐件的所述接納開口中。
9.根據權利要求8所述的方法，其中生產所述薄傳送支撐件包括製造穿過板或條狀 物的開口和將非永久性膠帶的粘性面粘貼到該板或條狀物的面上，並且其中，定位和保持 所述電子模塊包括將所述電子模塊定位在所述開口中和將這些電子模塊粘在所述膠帶的 所述粘性面上。
10.根據權利要求8-9任一項所述的方法，其中定位和保持所述電子模塊包括在所述 開口中沉澱能流動的粘性材料，以及將所述電子模塊定位在該粘性材料上。
11.根據權利要求8-10任一項所述的方法，其中定位包括建立所述電子模塊與提供 在所述薄支撐件上的電連接器之間的電連接。
12.根據權利要求8-11任一項所述的方法，其中定位和保持包括建立所述電子模塊 與提供在所述薄傳送支撐件上的接觸器之間的電連接。
13.根據權利要求8-12任一項所述的方法，進一步包括夾緊所述電子模塊使其抵靠所 述開口的至少一個壁。
14.一種器械，包括包括薄支撐件(1)用於傳送電子模塊的裝置，該薄支撐件(1)具有用於接納電子模塊(8)的開口(3)，所述薄支撐件進一步具有定位開口(7)，該薄支撐件 進一步被提供具有用於將所述電子模塊粘附在這些開口中的非永久性粘合機構。
15.根據權利要求14所述的器械，其中所述薄支撐件包括板或條狀物和粘性保持帶， 所述板或條狀物具有穿過該板或條狀物自身的開口，所述粘性保持帶具有粘在該板或條狀 物的一個面上的粘貼面，所述粘性保持帶通過粘貼將被接納的電子模塊保持在所述開口 中。
16.根據權利要求14-15任一項所述的器械，其中所述薄支撐件包括剛性板。
17.根據權利要求14-15任一項所述的器械，其中所述薄支撐件包括由柔性材料製造 的條狀物，該條狀物在其平面上不能變形。
18.根據權利要求14-17任一項所述的器械，其中用於保持的機構包括提供在所述開 口中的能流動的非永久性粘性材料。
19.根據權利要求14-18任一項所述的器械，其中所述薄支撐件進一步包括用於與被 接納的電子模塊形成電接觸的電連接器。
20.根據權利要求14-19任一項所述的器械，其中所述薄支撐件包括位於所述薄支撐 件的開口中的被提供具有電連接器的臺肩。
21.一種用於處理電子模塊的設備，包括用於接納至少一個具有接納開口(3)和保持 機構(4)的薄傳送支撐件(1)的機構(9)，用於選擇性地移動電子模塊(8)的操作機構；以 及用於致動所述操作機構以將電子模塊定位在所述薄傳送支撐件的所述接納開口中的機 構，其中所述薄傳送支撐件包括用於將所述電子模塊保持在所述接納開口中的保持機構， 所述保持機構包括非永久性粘合機構。
22.根據權利要求21所述的設備，其中所述操作機構包括操作或抓持頭。
23.根據權利要求21-22任一項所述的設備，進一步包括用於相對於所述用於接納的 機構定位包括電子模塊的所述薄傳送支撐件的位置的機構。
24.一種用於檢測電子模塊的設備，包括接納至少一個具有接納開口(3)的薄傳送支 撐件(1)的機構(12)，待檢測的電子模塊(8)通過非永久性粘合機構被保持在所述接納開 口⑶中；支承電接觸機構(15)的電連接頭(14)；以及用於致動所述電連接頭以選擇性地 將所述電接觸機構放置為與所述電子模塊上的電連接接觸器或球體相接觸和/或與所述 薄傳送支撐件電接觸的機構，其中所述薄支撐件具有連接所述電子模塊的電連接器(23)。
25.根據權利要求24所述的設備，進一步包括用於定位包括有電子模塊的所述薄傳送 支撐件相對於所述用於接納的機構的位置的機構。
全文摘要
電子模塊相對於用於操作和檢測電子模塊的設備被傳送。該傳送器由具有用於接納電子模塊的開口(3)的薄支撐件(1)形成。與所述薄支撐件相關的定位機構用於相對於傳送器和檢測設備定位所述支撐件。機械裝置(4)進一步被提供用於在傳送和檢測期間將所述被接納的電子模塊保持在所述開口中。
文檔編號G01R1/04GK101971041SQ200980103610
公開日2011年2月9日 申請日期2009年1月28日 優先權日2008年1月30日
發明者菲利普·普拉內列斯, 雷奈·蒙內特 申請人:St微電子(格勒諾布爾)有限公司