一種用於弧放電高密度等離子體發生裝置的陰極電極的製作方法
2023-04-22 21:24:21
專利名稱：一種用於弧放電高密度等離子體發生裝置的陰極電極的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種用於弧放電高密度等離子體發生裝置的陰極電極。
背景技術：
等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)是製備晶矽和薄膜太陽能電池的關鍵設備。按等離子體源與樣品的關係可將PECVD技術分為直接和間接技術。多級直流弧放電等離子體PECVD技術是間接PECVD技術一種，這種沉積裝置中等離子體源和沉積腔室間的壓力相差很大，達到亞大氣壓，在這種等離子體源中氬氣氣體的離化率可達10%，NH3分解率可達100%。這樣陽極噴嘴噴出的等離子體噴射擴展到沉積腔室時會有大量活性的離子或中性原子存在，而且低壓的沉積腔室可以有效的避免不同活性粒子之間的複合。由於實現了樣品和等離子體源的分離，可以降低等離子體中離子對薄膜的濺射和損傷，實現高速的沉積率，達到20nm/s (普通的射頻等離子體源沉積速率是30nm/min)。PECVD設備中最關鍵、最 核心的部件是等離子體源(即等離子體發生裝置)，它直接決定了太陽能電池的產能、自動化程度以及電池的有效使用面積。多級直流弧放電等離子體源中陰極是關鍵部件之一，它直接關係到等離子體特性。目前多級直流弧放電等離子體發生裝置所採用的陰極主要存在如下問題一是由於氬氣和氫氣是從放電腔室的導入口直接進入放電腔室，未經過陰極，因此陰極的冷卻效果較差，降低了陰極的使用壽命；二是陰極的安裝與維護不方便，陰極不能連續使用，從而不能有效的利用陰極電極材料而降低使用成本。
發明內容本實用新型的目的在於提供一種使用壽命長、安裝維修簡便的用於弧放電高密度等離子體發生裝置的陰極電極。為達到上述目的，本實用新型採用的解決方案是該陰極電極包括陰極、陰極本體、密封罩和絕緣隔套，密封罩通過螺帽和0型密封圈安裝於陰極本體的上部，絕緣隔套套裝於陰極本體的下部，陰極通過緊定螺釘固定於陰極本體的中心孔內，其上端穿出陰極本體位於密封罩內，陰極本體上設有逆變直流電源的接頭和氬氣、氫氣的導入口。本實用新型具有如下效果(I)由於在陰極本體上設有氬氣、氫氣的導入口，使得氬氣和氫氣沿陰極進入放電腔室的過程中可對陰極進行冷卻，從而可提高陰極的使用壽命；(2)由於陰極採用緊定螺釘固定於陰極本體上，因而可方便陰極的安裝與維護，使得陰極在調節後可連續使用，有利於陰極材料的利用和降低使用成本。
附圖為本實用新型的剖視圖。圖中1-密封罩2-陰極3-緊定螺釘4-0型密封圈5-螺帽6_絕緣隔套7_放電腔室8-陰極本體801-逆變直流電源的接頭802-氬氣、氫氣的導入口具體實施方式
為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，
以下結合附圖及實施例，對本實用新型作進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，並不用於限定本實用新型。如附圖所示，本實用新型由密封罩I、陰極2、緊定螺釘3、0型密封圈4、螺帽5、絕緣隔套6、陰極本體8和陰極本體8組成，密封罩I採用螺帽5固定於陰極本體8的上部，並通過0型密封圈密封。絕緣隔套6套裝於陰極本體8的下部，其與陰極本體8之間為密封連接，它的作用在於使陰極2和放電腔室7絕緣隔離。陰極2通過緊定螺釘3固定於陰極本體8的中心孔內，其上端穿出陰極本體8位於密封罩I內，下端穿出陰極本體8位於放電腔室7內，陰極本體8上設有逆變直流電源的接頭801和氬氣、氫氣的導入口 802。
陰極2的材料可選用鎢或鑰以及它們的合金，絕緣隔套6的材料可選用陶瓷或聚四氟乙烯。
權利要求1.一種用於弧放電高密度等離子體發生裝置的陰極電極，包括陰極(2)，其特徵在於還包括陰極本體(8)、密封罩(I)和絕緣隔套￠)，密封罩(I)通過螺帽(5)和O型密封圈(4)安裝於陰極本體(8)的上部，絕緣隔套(6)套裝於陰極本體(8)的下部，陰極(2)通過緊定螺釘(3)固定於陰極本體(8)的中心孔內，其上端穿出陰極本體(8)位於密封罩(I)內，陰極本體(8)上設有逆變直流電源的接頭(801)和氬氣、氫氣的導入口(802)。
專利摘要本實用新型公開了一種用於弧放電高密度等離子體發生裝置的陰極電極，包括陰極(2)、陰極本體(8)、密封罩(1)和絕緣隔套(6)，密封罩(1)通過螺帽(5)和O型密封圈(4)安裝於陰極本體(8)的上部，絕緣隔套(6)套裝於陰極本體(8)的下部，陰極(2)通過緊定螺釘(3)固定於陰極本體(8)的中心孔內，其上端穿出陰極本體(8)位於密封罩(1)內，陰極本體(8)上設有逆變直流電源的接頭(801)和氬氣、氫氣的導入口(802)。本實用新型使用壽命長、安裝維修簡便。
文檔編號H05H1/34GK202465872SQ201120574359
公開日2012年10月3日 申請日期2011年12月31日 優先權日2011年12月31日
發明者陳波 申請人:成都科尚科技有限公司