直接充裝mo源的裝置製造方法

2023-11-09 18:47:47 1

直接充裝mo源的裝置製造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種直接充裝MO源的裝置，包括MO源儲罐和MO源鋼瓶，所述MO源鋼瓶上設置有進氣管和出氣管，所述MO源儲罐設置有出料口，所述MO源儲罐的出料口通過三通接頭連接在進氣管上，所述MO源鋼瓶內部設置有液位探頭，所述液位探頭通過PLC控制器連接在MOCVD信號接收器上，所述PLC控制器與三通接頭電連接，通過液位探頭和MOCVD信號接收器探測到的信號對三通接頭進行控制。無需將MO源鋼瓶拆卸更換，通過三通接頭將MO源鋼瓶和MO源儲罐連接在一起，並通過惰性氣體將MO源儲罐中的MO源帶入MO源鋼管中，解決了MO源充裝困難的問題。
【專利說明】直接充裝MO源的裝置

【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及一種充裝裝置，尤其一種可直接對M0源進行充裝工作的裝置。

【技術領域】
[0002] M0源在M0CVD設備中使用非常特殊，物料在使用時需要保持恆溫（±0. 1 °C )，恆壓 (± ltorr)，穩定氣體流量（± lsccm)。M0源存儲在鋼瓶(一般稱為M0源鋼瓶衝，惰性氣體 (一般用氫氣或者氮氣）通過深入鋼瓶內部的管道進入M0源鋼瓶中，經過M0源時產生鼓泡 效應，M0源在鼓泡過程中大量蒸發，形成M0源的飽和蒸汽與惰性氣體混合輸送出來。而目 前在對於M0源進行充裝的領域內，並沒有一種較為有效的手段在不拆卸M0源鋼瓶的情況 下對其進行充裝，而拆卸M0源鋼瓶進行更換耗費時間，工作效率低下。因此，解決M0源充 裝困難的問題就顯得尤為重要了。 實用新型內容
[0003] 本實用新型的目的是提供了一種可直接對M0源進行充裝工作的裝置，無需將M0 源鋼瓶拆卸更換，通過三通接頭將M0源鋼瓶和M0源儲罐連接在一起，並通過惰性氣體將M0 源儲罐中的M0源帶入M0源鋼管中，解決了 M0源充裝困難的問題。
[0004] 為了解決上述問題，本實用新型提供一種直接充裝M0源的裝置，包括M0源儲罐和 M0源鋼瓶，所述M0源鋼瓶上設置有進氣管和出氣管，所述M0源儲罐設置有出料口，所述M0 源儲罐的出料口通過三通接頭連接在進氣管上，所述M0源鋼瓶內部設置有液位探頭，所述 液位探頭通過PLC控制器連接在M0CVD信號接收器上，所述PLC控制器與三通接頭電連接， 通過液位探頭和M0CVD信號接收器探測到的信號對三通接頭進行控制。
[0005] 進一步改進在於：所述M0源儲罐的數量為兩個，一個使用，另一個備用，所述兩個 M0源儲罐的出料口同時連接在三通接頭上，所述M0源儲罐使用惰性氣體進行充裝載體。
[0006] 進一步改進在於：所述兩個M0源儲罐為一組，每組M0源儲罐可充裝三個M0源鋼 瓶，所述每個M0源鋼瓶放置在恆溫水浴槽中。
[0007] 進一步改進在於：所述M0源儲罐內部同樣設置有液位探頭，所述M0源儲罐上設置 有警報燈，所述液位探頭電連接在警報燈上。
[0008] 在M0源鋼瓶上安裝1個液位探頭。設置1個高位報警點和1個低位報警點。高 位報警點用於控制充裝。低於低位報警點時提醒用戶進行設備檢查。
[0009] 液位探頭需要滿足：探頭與M0源接觸部分均是316L材質不鏽鋼，探頭接口是1/2" VCR接口，信號響應及時（< ls)，液位測量精度高(< 2mm)。
[0010] 在不改變現有M0源鋼瓶結構時，在M0源鋼瓶的進出口處增加三通管道接頭和閥 門，通過1/4" VCR接頭與M0源鋼瓶相連。
[0011] M0源儲槽與M0CVD設備上M0源鋼瓶通過管道連接，管道上採用氣動隔膜閥，並通 過PLC控制器進行控制，根據設備使用狀態，實時自動補充M0源。
[0012] 本實用新型的有益效果是：通過液位探頭對M0源鋼瓶中的M0源量進行測量，並在 MO源不足時通過PLC控制器對三通接頭進行控制，使MO源儲罐中的MO源通過惰性氣體帶 入M0源鋼瓶中，解決了 M0源鋼瓶無法充裝，必須拆卸更換的問題，提高了工作效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013] 圖1是本實用新型的示意圖。
[0014] 其中：1-M0源儲罐，2-M0源鋼瓶，3-進氣管，4-出氣管，5-三通接頭，6-液位探頭， 7-PLC控制器，8-M0CVD信號接收器，9-出料口，10-恆溫水浴槽，11-警報燈。

【具體實施方式】
[0015] 為了加深對本實用新型的理解，下面將結合實施例對本實用新型作進一步詳述， 該實施例僅用於解釋本實用新型，並不構成對本實用新型保護範圍的限定。
[0016] 如圖1所示，本實施例提供了一種直接充裝M0源的裝置，包括M0源儲罐1和M0 源鋼瓶2,所述M0源鋼瓶2上設置有進氣管3和出氣管4,所述M0源儲罐1設置有出料口 9,所述M0源儲罐1的出料口 9通過三通接頭5連接在進氣管3上，所述M0源鋼瓶2內部 設置有液位探頭6,所述液位探頭6通過PLC控制器7連接在M0CVD信號接收器8上，所述 PLC控制器7與三通接頭5電連接，通過液位探頭6和M0CVD信號接收器8探測到的信號對 三通接頭5進行控制。所述M0源儲罐1的數量為兩個，一個使用，另一個備用，所述兩個M0 源儲罐1的出料口 9同時連接在三通接頭5上，所述M0源儲罐1使用惰性氣體進行充裝載 體。所述兩個M0源儲罐為1 一組，每組M0源儲罐1可充裝三個M0源鋼瓶2,所述每個M0 源鋼瓶2放置在恆溫水浴槽10中。所述M0源儲罐1內部同樣設置有液位探頭6,所述M0 源儲罐1上設置有警報燈11，所述液位探頭6電連接在警報燈11上。通過液位探頭6對 M0源鋼瓶2中的M0源量進行測量，並在M0源不足時通過PLC控制器7對三通接頭5進行 控制，使M0源儲罐1中的M0源通過惰性氣體帶入M0源鋼瓶2中，解決了 M0源鋼瓶無法充 裝，必須拆卸更換的問題，提高了工作效率。
【權利要求】
1. 一種直接充裝MO源的裝置，其特徵在於：包括MO源儲罐（1)和MO源鋼瓶（2)，所述 M0源鋼瓶（2)上設置有進氣管（3)和出氣管（4)，所述M0源儲罐（1)設置有出料口（9)，所 述M0源儲罐（1)的出料口（9)通過三通接頭（5)連接在進氣管（3)上，所述M0源鋼瓶（2) 內部設置有液位探頭（6 )，所述液位探頭（6 )通過PLC控制器（7 )連接在M0CVD信號接收器 (8)上，所述PLC控制器（7)與三通接頭（5)電連接，通過液位探頭（6)和M0CVD信號接收 器（8)探測到的信號對三通接頭（5)進行控制。
2. 如權利要求1所述的直接充裝M0源的裝置，其特徵在於：所述M0源儲罐（1)的數量 為兩個，一個使用，另一個備用，所述兩個M0源儲罐（1)的出料口（ 9 )同時連接在三通接頭 (5)上，所述M0源儲罐（1)使用惰性氣體進行充裝載體。
3. 如權利要求2所述的直接充裝M0源的裝置，其特徵在於：所述兩個M0源儲罐（1)為 一組，每組M0源儲罐（1)可充裝三個M0源鋼瓶（2 )，所述每個M0源鋼瓶（2 )放置在恆溫水 浴槽（10)中。
4. 如權利要求1-3任意一項所述的直接充裝M0源的裝置，其特徵在於：所述M0源儲 罐（1)內部同樣設置有液位探頭（6 )，所述M0源儲罐（1)上設置有警報燈（11)，所述液位探 頭（6)電連接在警報燈（11)上。
【文檔編號】B67C3/10GK203890029SQ201420204367
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2014年4月25日 優先權日:2014年4月25日
【發明者】俞冬雷, 武利曙, 徐昕 申請人:安徽亞格盛電子新材料有限公司