測量用的信號傳播延遲時間測量電路及測量方法
2023-11-02 07:29:32
專利名稱：測量用的信號傳播延遲時間測量電路及測量方法
技術領域：
本發明涉及在構成IC(集成電路)測試器的測量站的IC設備接口部的多個測量用的信號傳播系統線路中用於通過反射法簡易而精確地測量各個傳播延遲時間的傳播延遲時間測量電路及其測量方法。
圖4和圖5是根據以往技術、在IC設備接口部的多個系統線路中通過反射法測量從信號發生部到IC設備的傳播延遲時間的系統線路結構的示意圖。
如圖4所示的那樣，構成IC測試器的測量站的IC設備接口部是由用多層印刷電路布線底板組成的IC插座板A1等構成的。作為用IC測試器測量電特性的對象的IC設備2成為安裝在與多層印刷電路布線底板上的布線電路相連接的IC插座內而被測量的結構。
另外，在圖示的IC插座板A1的結構中形成用於進行阻抗匹配的電路結構。即該電路是由50Ω終端電阻5和繼電器6以及帶狀傳輸線4等形成的。而且，IC測試器的信號發生部21以及比較器部22經特性板等用同軸電纜與設備接口部連接。
隨著近來被測量對象IC設備2的工作速度的高速化，在具有多個IC設備的各個測量端子上，由信號發生部21所產生的測量用的信號到達時間的偏差允許範圍變窄。作為一個具體例子，實際情況是由IC測試器用戶所測得的IC設備2的各測量端子之間的信號到達時間的偏差在0.1nsec(納秒)以下。
因此，作為IC測試器廠商，必須適慶用戶的要求，追求在構成IC測試器的測量站的IC設備接口部能最大地減小信號到達時間的偏差的電路結構。
然後，抓住在各個IC設備2的各測量端子處測量用的信號到達時間的偏差不放，為確認作為IC測試器的功能是在能適應用戶要求的允許範圍之內，可以採用通過來自IC測試器內的信號發生21的測量信號經同軸電纜8到達IC插座板A1並測量用比較器22觀察時的信號傳播延遲時間、即TPD(TIMEOF PROPAGATION DELAY＝以下稱TPD)23進行判斷(允許範圍)的方法。
另外，若用比較器部22測量TPD23，就能觀察圖5所示的波形。此處，TPD23＝2×(TPDA11+TPDB12+TPDC13)；但想要精確測量的傳播延遲時間為TPDA11。即，到達作為同軸電纜8和設備接口部的IC插座的接點的各通孔A3的信號傳播延遲時間TPDA11。這時，就存在這樣的問題，即如圖4所示，由於從通孔A3起將帶狀傳輸線附加到由所構成的布線系統線路所形成的TPDB12中、並使由繼電器6的雜散電容CS7所形成的TPDC13也一起加到TPDA11中後進行測量，因而不可能只提高TPDA11的測量精度。
本發明要解決的課題就是要獲得在構成IC測試器的測量站的IC設備接口部的多個測量用的信號傳播系統線路中能夠簡易而且高精度地測量各個傳播延遲時間的電路結構。即，將分別在具有多個IC測試器的各端子處將測量用的信號到達時間的偏差減少到極限、並把提供能進行高精度測量工作速度已高速化的IC設備的功能的IC測試器作為目的。
在本發明的IC測試器的IC設備接口部中的測量用信號傳播系統線路中，具有能夠用連接器裝卸IC設備接口部的IC插座板A的構造，另外還設置了從與對作為被測量對象IC設備進行測量的IC插座板A一同製造的同一批產品中刪除了通孔部的導體的測量用的IC插座板B。
並且，該電路具備以下結構，即通過將所述IC插座板B安裝在IC設備接口部並測量測量用的信號傳播延遲時間，就有可能只對是所期望的被測對象傳播延遲時間直接進行測量。測量結束後，可以將IC插座板B從IC設備接口部卸下，用IC插座板A代替IC插座板B。
(1)本電路是根據本發明構成的測量用的信號傳播系統線路，在測量測量用信號傳播延遲時間時，由於刪除了通孔部，則存在於通孔部以後的TPDB以及TPDC被斷開。為此，由於只對作為目標的TPDA直接測量，故能提高測量精度。
(2)由於該測量電路是這樣構成的，即，作為適合於被測對象IC設備的測量的IC插座板A，從已製造的同一批產品中選取並刪除它的通孔部的測量用的信號傳播延遲時間測量電路，因此，也很容易與IC插座板的設計變更後的修訂版相對應。另外，由於使用同一批產品，生產質量相同，因此不會由於批量生產的產品差異引起的偏差而降低測量精度。
另外，根據本發明，作為測量用的信號傳播延遲時間測量方法，將按以下次序測量。
首先，使用刪除了通孔的導體的插座板31，測量IC設備接口部33的延遲時間(步驟110)。
其次，將所述的延遲時間數據反饋給IC測試器，補償IC設備接口部33的延遲時間。
(步驟120)接著，使用連接通孔導體的原來的插座板1測量IC設備2(步驟130)。
根據這樣的測量用的信號傳播延遲時間測量方法的次序，就有可能精確測量、補償來自連接測試頭的特性板35、由同軸電纜形成的測量用的信號傳播系統線路產生的傳播延遲時間來測量IC設備。
圖1是表示根據本發明的測量用的信號傳播延遲時間測量電路的結構示意圖；圖2是表示本發明的IC插座板B31能夠裝卸的結構說明圖；圖3是表示根據本發明的測量用的信號傳播延遲時間測量方法的流程圖；圖4是表示在根據以往技術的IC設備接口部的多個系統線路中，作為測量用的信號傳播延遲時間被測量的對象的系統線路的結構示意圖；圖5是用反射法測量傳播延遲時間時的波形圖。
本發明的詳細說明(1)圖1是表示根據本發明的測量用的信號傳播延遲時間測量電路的結構示意圖。
如圖1所示在本發明的IC插座板B31中，通過對通孔部打孔並隨後加工設置了刪除導體的通孔B32。因此，由帶狀傳輸線4形成的TPDB12和由繼電器的雜散電容CS7形成的TPDC13也可以從作為測量目標的TPDA11中斷開。
(2)另外，如圖2所示，本發明的IC插座板B31以及IC插座板A1通過使用連接器34形成可能從IC設備接口部33進行裝卸的結構。
並且，如圖2(B)所示，使用作為測量用的信號傳播延遲時間測量電路的IC插座板B31，首先進行TPDA11的測量。接著，若測量結束，就從IC設備接口部33卸下，接下來，如圖2(C)所示，安裝IC插座板A1來替代IC插座板B31。
(3)圖3是表示根據本發明的測量用的信號傳播延遲時間測量方法的流程圖。
首先，使用刪除通孔導體的插座板B31，測量IC設備接口部33的延遲時間(步驟110)。
其次，將所述的延遲時間數據反饋給IC測試器，補償修正IC設備接口部33的延遲時間差。
(步驟120)接著，使用連接3通孔導體的原來的插座板1，測量IC設備2(步驟130)。
按照這樣的測量用的信號傳播(傳輸)延遲時間測量方法的順序，就能夠精確地測量、修正來自連接測試頭的特性板35、由同軸電纜8形成的測量用的信號傳播系統線路所產生的傳播延遲時間來測量IC設備。
(4)另外，通過形成本發明的測量用的信號傳播延遲時間測量電路的結構，就有可能高精度地測量來自連接測試頭的特性板35、由同軸電纜8形成的測量用的信號傳播系統線路所產生的傳播延遲時間。
由於本發明具有以上的結構，因而使以下所記載的效果起作用。
(1)通過構成根據本發明的測量用的信號傳播延遲時間測量電路，就能夠真正而直接地測量作為本來目標的TPDA11。
(2)因此，由於能夠使到達被測對象IC設備的各測量端子的測量信號的傳播速度的偏差減小到極限，因而就能實現能正確測量近來工作速度特別高速化的IC設備的特性的IC測試器。
權利要求
1.測量用的信號傳播延遲時間測量電路，其特徵在於，在IC測試器的IC設備接口部(33)的測定用的信號傳播系統線路中，使用IC設備接口部(33)和連接器(34)，設置從具有可裝卸的結構的IC插座板A(1)的同一批產品中拆除通孔A(3)的導體的測量電路用的IC插座板B(31)，並進行高精度測量。
2.測量用的信號傳播延遲時間測量方法，其特性在於，在IC測試器的IC設備接口部(33)的測量用的信號傳播延遲時間測量方法中，首先，使用拆除了通孔導體的插座板(31)，來測量IC設備接口部(33)的延遲時間(步驟110)，其次，將所述的延遲時間數據返饋到IC測試器，修正IC設備接口部(33)的延遲時間(步驟120)，接著，使用連接通孔導體的原來的插座板(1)來測量IC設備2(步驟130)，從而能實現高精度測量。
全文摘要
在IC測試器中的IC設備接口部的多個測量用的信號傳播系統線路中,提供了用來簡易而精確地測量各個傳播延遲時間的電路結構和測量方法。為此,在IC測試器的IC設備接口部33的測量用的信號傳播系統線路中,做成用連接器34能裝卸IC設備接口部33的IC插座板A1的構造,設置從與IC插座板A1的同一批產品中拆卸了通孔部導體的IC插座板B31,並將它安裝在IC設備接口部33中,在只對測量目標的TPDA11直接測量以後,卸掉IC插座板B31,安裝IC插座板A1以代替IC插座板B31而進行置換,通過形成這樣的結構進行測量。
文檔編號G01R31/28GK1175695SQ9611180
公開日1998年3月11日 申請日期1996年9月4日 優先權日1996年9月4日
發明者森川裕八 申請人:株式會社愛德萬測試