振蕩微機械角速度傳感器的製作方法

2023-11-03 13:21:02 2

專利名稱：振蕩微機械角速度傳感器的製作方法
技術領域：
本發明涉及在測量角速度中使用的測量裝置，並且更具體地， 涉及振蕩微機械角速度傳感器。本發明目的在於提供一種特別在緊 湊型振蕩微機械角速度傳感器解決方案中能夠進行可靠和有效測量 的改進的傳感器結構。
背景技術：
基于振蕩角速度傳感器的測量已經證明有簡單的原理，並且可 提供測量角速度的可靠方法。最一般地應用在振蕩角速度傳感器的操作原理是所謂的音叉(tuning fork)原理。在振蕩角速度傳感器中，某些已知的主運動產生並保持在傳感 器中。另一方面，通過傳感器測量的所希望的運動，淨史檢測作為在 主運動中的偏差。在音叉原理中，主運動是兩個振動線性諧振器的 反相振蕩。在垂直於諧振器運動方向的方向上影響傳感器的外部角速度， 在相反方向上感應質量(masses)上的科裡奧利力(coriolis force)。與角 速度成正比的科裡奧利力，可直接從質量檢測到，或者使質量連接 到相同的旋轉軸，並且然後檢測運動是在角速度軸線的方向上的角 度振蕩。對振動和衝擊的抗性是角速度的傳感器要求的主要特徵。特別 在某些高要求應用中，類似地，例如，在汽車工業中的電子穩定性 程序，這些要求是極其地嚴格。即使是強的衝擊，類似地，例如， 由石頭引起的外部衝擊，或者由小汽車音頻播放器引起的振動，也 不應該影響角速度傳感器的輸出。
在根據音叉原理的測量中，檢測運動是角度振蕩或差分線性振 蕩，並且這樣，任何外部線性加速度將不會連到在理想結構中的檢 測諧振器。然而，不可避免地，由於在材料和支撐物中的振蕩，相 對於角速度傳感器的檢測軸線的角度加速度也將總是從沖擊和振蕩 產生。這樣，檢測諧振器的運動將不可避免地被幹擾，並且，特別 當幹擾頻率接近傳感器的操作頻率時，這會引起在角速度傳感器的 輸出信號中的偏差。根據現有技術的角速度傳感器也已發展，其中主運動和檢測運 動都是角度振蕩。
一項這樣的用於角速度傳感器的現有技術解決方案在例如美國專利號6349597中描述過。在該美國專利中描述的用 於角速度傳感器的解決方案中的主運動，是作為發生在晶片平面上 圍繞z軸線的角度振蕩來實現的。角速度檢測運動相應地測量作為晶 片相對於z平面的傾斜。在目前的解決方案中，由角速度產生的力矩 除了與振蕩結構的質量成正比外，在角速度軸線的方向上與質量塊 長度的平方成正比。然而，以上描述的現有技術解決方案，如基於音叉原理的結構， 對於外部的的機械幹擾，幾乎展現出相同程度的敏感性。只有角度 振蕩的主運動，對於線性加速度是較少敏感的，但是無論如何，主 逸動比檢測運動明顯地對於外部應力是較少敏感的。由於對振蕩動的敏感性，目前通常已知的角速度的微機械傳感 器的測量原理，不是最好的可能存在的原理。這樣，本發明的目的 就是提供用於角速度振蕩傳感器的結構，與根據現有技術的解決方 案相比較，其對於機械幹擾的聯接是略微較少敏感的。.發明內容本發明的目的是提供這樣一種改進的角速度振蕩傳感器，特別 在緊湊型振蕩角速度傳感器解決方案中，其能夠進行可靠和有效的
測量，並且與根據現有技術的解決方案相比較，其對於機械幹擾的 聯接是相當地較少敏感的。
根據本發明，提供振蕩微機械角速度傳感器，其包括在支撐區域附接到傳感器部件主體上的兩個測震(seismic)質量，以及位於質量 之間的連接彈簧。使得-在角速度傳感器中，必須產生的主運動是圍繞支撐區域的兩 個測震質量的反相角振蕩。-通過至少一個彎曲彈簧，測震質量彼此相連，機械地同步於 它們的主運動，並且-通過彈簧，或者通過彈簧和剛性輔助結構，測震質量附接到 支撐區域，相對於與它們構成的圓盤相垂直的旋轉軸線，並在圓盤 平面方向上相對於至少一個旋轉軸線，給予質量自由度。優選地，角速度傳感器是相對於一個軸線測量角速度的角速度 傳感器，在該傳感器中，通過至少兩個附接點(spot),兩個測震質量 附接到傳感器部件的主體上。此外，優選地，彎曲彈簧基本上是比 其寬更高(higher than it is wide)。優選地，角速度傳感器包括-用於主運動的旋轉彈簧，該彈簧相對於主運動具有撓性，並且-用於檢測運動的扭轉彈簧，該彈簧相對於外部角速度傳入的 扭轉力矩產生的扭轉振蕩具有撓性。優選地，通過位於質量上方或下方的電極，電容性地檢測由外 部角速度產生的振蕩。此外，優選地，電極生長到到密閉(hermetically colsing)傳感器結構的晶片內表面。優選地，角速度傳感器包括，基本上在相同方向延伸的第二彎 曲彈簧，其附接到與角速度傳感器的質量連接的彈簧的中心。優選地，通過附接點，並且另外通過安裝在中心處的附接點， 使質量附接到主體。備選地，通過附接點，另外通過安裝在拐角或
在邊沿的附接點，使質量附接到主體。此外，備選地，通過附接點， 使質量附接到主體，該附接點通過設計的剛性輔助結構在一側附接 到質量。此外，備選地，通過附接點，使質量附接到主體，該附接 點通過彈簧在一側附接到質量。此外，備選地，通過安裝在端部中 心處的附接點，並且附加地，通過附接點(該附接點通過彈簧在一側 連到質量)，使質量附接到主體。優選地，角速度傳感器包括張力減輕結構。優選地，角速度傳感器包括梳形結構。優選地，角速度傳感器包括;改射狀的梳形結構。優選地，角速度傳感器是相對於兩個軸線測量角速度的角速度 傳感器，在該傳感器中，兩個測震質量在兩個附接點處附接到傳感 器部件的主體。優選地，彎曲的彈簧基本上是比其寬更高。優選地，角速度傳感器包括-用於主運動的旋轉彈簧，該彈簧相對於主運動具有撓性，-在第一方向上用於檢測運動的扭轉彈簧，該彈簧相對於在第 一方向上的檢測運動具有撓性，並且-在第二方向上用於檢測運動的扭轉彈簧，該彈簧相對於在第 二方向上的檢測運動具有撓性優選地，通過位於質量上方或下方的電極方式，電容性地檢測 由外部角速度產生的振蕩。此外，優選地，電極生長到密閉傳感器 結構的晶片內表面。優選地，附接點以陽極方式接合到密閉傳感器結構的晶片上。 備選地，附接點通過熔化節點的方式接合到密閉傳感器結構的晶片 上。


以下，結合示例性的參考附圖，將詳細描述本發明及其優選實 施例，其中 圖1顯示了根據本發明的才展蕩角速度傳感器的可移動質量的結 構透視描述。圖2顯示了在主運動中根^^居本發明的振蕩角速度傳感器的可移 動質量。移動質量。圖4顯示了根據本發明的振蕩角速度傳感器的可移動質量的備 選結構。圖5顯示了根據本發明的振蕩角速度傳感器的可移動質量的第 二備選結構。圖6顯示了根據本發明的4^蕩角速度傳感器的可移動質量的第 三備選結構。圖7顯示了根據本發明的振蕩角速度傳感器的可移動質量的第 四備選結構。圖8顯示了在主運動中，根據本發明的第五備選振蕩角速度傳 感器的可移動質量。圖9顯示了在檢測運動中，根據本發明的第五備選振蕩角速度 傳感器的可移動質量。圖10顯示了根據本發明的具有雙軸線的裱蕩角速度傳感器的可 移動質量的結構透4見描述圖11顯示了在相對於Y軸線的角速度產生的檢測運動中，根據 本發明的具有雙軸線的振蕩角速度傳感器的可移動質量。圖12顯示了在相對於X軸線的角速度產生的檢測運動中，根據 本發明的具有雙軸線的振蕩角速度傳感器的可移動質量。
具體實施方式
在根據本發明的角速度傳感器中，必須產生的主運動是至少兩 個可移動的測震質量在相反方向圍繞支撐區域(其將質量附接到傳感
器部件的主體)的角度振蕩。對於每一質量有至少一個支撐區域，並 且通過彈簧的方式或通過彈簧和剛性輔助結構的方式，使它們連接 到周圍的質量，給予質量相對於垂直於晶片平面的旋轉軸線，並相 對於在如晶片平面相同方向上的至少一個旋轉軸線的自由度。通過 至少一個彎曲彈簧的方式，使質量彼此連接，其機械地同步於它們的主運動。本技術領域已知的結構能夠用來產生該運動。圖1顯示了根據本發明的^^蕩角速度傳感器的可移動質量的結 構透視描述。根據本發明的角速度傳感器包括在兩個附接點3， 4附接到傳感器部件主體的兩個測震質量1， 2 。在質量1, 2中心處的 附接點3， 4能夠通過例如陽極方式或通過熔化節點的方式接合到部件的主體。根據本發明的振蕩角速度傳感器進一步包括用於主運動的旋轉彈簧5， 6 ，用於檢測運動的扭轉彈簧7-10，以及將測震質量l， 2 彼此連接的彎曲彈簧11。圖2顯示了在主運動中，i^艮據本發明的振蕩角速度傳感器的可 移動質量。啟動根據本發明的角速度傳感器進入主運動，使得產生 的主運動是兩個測震質量1, 2圍繞將質量1， 2附接到傳感器部件 主體的附接點3， 4的反相角度振蕩。中心定位的連接諧振器的長彈簧11，將質量l， 2的運動同步於 相對彼此的反相(運動)。此外，基本上比寬度更高的連接彈簧11，在 Y軸線方向上阻止附接點3， 4周圍框架的扭轉模式，並且這樣，框 架基本上僅在Z軸線方向有自由度。通過在X軸線方向延伸的兩個扭轉彈簧7-10的方式，使根據 本發明的振蕩角速度傳感器的兩個質量1, 2，都附接到附接點3, 4 周圍的框架上。這樣，測震質量1, 2具有兩個自由度，相對於Z軸 線的一個自由度，和相對於X軸線的另一自由度，使得該部件的操 作能夠作為角速度傳感器。
圖3顯示了在檢測運動中，根據本發明的振蕩角速度傳感器的 可移動質量。在根據本發明的才展蕩角速度傳感器中，相對於Y軸線的外部角速度連接質量1， 2的在Z軸線方向上的反向主運動進入圍 繞X軸線的反相直接扭轉力矩。該扭轉力矩在X軸線方向上圍繞質 量的1, 2質量的檢測軸線，產生如主運動的相同頻率的反相扭轉振 蕩。在根據本發明的角速度傳感器中，用於檢測運動的扭轉彈簧7-10 相對於扭轉振蕩具有撓性。在根據本發明的振蕩角速度傳感器中，由外部角速度產生的振 蕩幅度是直接與角速度成正比，並且它能夠通過例如定位在質量1, 2上方或下方電才及以電容方式4企測到，該電才及例如可以生長到密閉傳 感器結構晶片的內表面上。圖4顯示了根據本發明的振蕩角速度傳感器的可移動質量的備 選結構。在根據本發明的備選振蕩角速度傳感器中，通過附加的彎 曲彈簧，連接彈簧的任何扭動在其中心處被減少。由於外部幹擾產 生的質量的普通模式運動，基本上沒有主模式或檢測模式的剛性， 在連接彈簧的扭轉剛性方面的逸種增加，使得該結構更為剛硬。在根椐本發明的備選振蕩角速度傳感器中，通過附接點3， 4， 並且附加地，通過定位在中心處的附接點12， 13，使質量l， 2附接 到主體。通過例如陽極方式或通過熔化節點方式，附*接點12, 13可 以接合到部件的主體。圖5顯示了根據本發明的振蕩角速度傳感器的可移動質量的第 二備選結構。在根據本發明的第二備選振蕩角速度傳感器中，通過 從連接彈簧中心延伸到拐角的附加的彎曲彈簧，減少了連接彈簧的 任何扭動。由於外部幹擾產生的質量的普通模式運動，基本上沒有 主模式或檢測模式的剛性，在連接彈簧的扭轉剛性方面的這種增加， 使得該結構更為剛硬。在根據本發明的第二備選振蕩角速度傳感器中，通過附接點3, 4，並且附加地，通過定位在拐角處的附接點14-17,使質量1, 2附
接到主體。在邊沿區域，附接點14-17可以直接地整合到主體內，或 者例如通過陽極方式或通過熔化節點方式，它們可以接合到部件的 主體。圖6顯示了根據本發明的振蕩角速度傳感器的可移動質量的第三備選結構。在根據本發明的第三備選振蕩角速度傳感器中，通過附接點18， 19，使質量1, 2附接到主體，附接點18， 19通過彈簧 的方式，在一側附接到質量1, 2。通過例如陽極方式或通過熔化節 點方式，附接點18， 19可以接合到部件的主體。由於彈簧尺寸設計，根據本發明的振蕩角速度傳感器的可移動 電極的第三備選結構略微更加複雜，並且由於相同的彈簧參與到主 模式和檢測模式，它也增加了模式之間的耦接。另一方面，以上描 述的第三備選結構具有更有效的空間利用和更大簡化的優勢。圖7顯示了根據本發明的振蕩角速度傳感器的可移動質量的第 四備選結構。在根據本發明的第四備選振蕩角速度傳感器中，通過 附接點20, 21，並且附加地，通過定位在端部的中心處的附接點24， 25,使質量1， 2附接到主體。附接點20， 21通過彈簧22， 23，在 一側附接到質量1， 2。通過例如陽極(方式或通過熔化節點方式，附 接點20， 21， 24， 25可以接合到部件的主體。在根據本發明的第四 備選振蕩角速度傳感器中，有用來減少彈簧中的非線性特徵的進一 步的張力減輕結構26， 27， 以及用於主運動的保持或檢測、靜電產 生的梳結構28， 29。圖8顯示了在主運動中，根據本發明的第五備選振蕩角速度傳 感器的可移動質量。在根據本發明的第五備選振蕩角速度傳感器中， 通過附接點30, 31,使質量1， 2附接到主體，該附接點30, 31通 過剛性輔助結構32, 33在一側附接到質量1， 2。通過例如陽極方式 或通過熔化節點方式，附接點30, 31可以接合到部件的主體。在根 據本發明的第五備選振蕩角速度傳感器中，有附加地放射狀的梳結 構34， 35,以及將測震質量l， 2彼此連接的彎曲彈簧11 。
圖9顯示了在檢測運動中，根據本發明的第五備選振蕩角速度 傳感器的可移動質量。除了以上描述的結構，有為質量創造兩個自由度(要求該自由度 用於測量根據本發明的角速度)的許多其它方法。圖10顯示了根據本發明的具有雙軸線的振蕩角速度傳感器的可 移動質量的結構透視描述。根據本發明相對於兩個軸線測量角速度的角速度傳感器，包括通過兩個附接點38, 39附接到傳感器部件主 體的兩個測震質量36， 37。根據本發明具有雙軸線的振蕩角速度傳 感器進一步包括用於主運動的旋轉彈簧40， 41,在第一方向用於檢 測運動的扭轉彈簧42-45,在第二方向用於檢測運動的扭轉彈簧46 -49,以及將測震質量36, 37《皮此連衝妄的彎曲彈簧50。中心定位的連接諧振器36， 37的長彈簧50將質量的運動同步 到相互反相的運動。另夕卜，基本上比寬更高的連接彈簧50阻止在附 接點38， 39周圍框架的Y軸線方向上的扭轉模式，由此框架基本上 在Z軸線方向上有自由度。與前面描述的具有一個軸線的結構比較，根據本發明具有雙軸 線振蕩角速度傳感器的結構包括附加的剛性輔助結構，通過在Y軸 線方向延伸的扭轉彈簧對46-49的方式，其被彈簧懸吊到質量36， 37。根據本發明具有雙軸線角速度傳感器的結構給測震質量36, 37 垂直於主運動的第二自由度，通過應用相同的主運動，使傳感器能 夠操作成為具有雙軸線的角速度傳感器。圖11顯示了在由相對於Y軸線的角速度產生的檢測運動中，根 據本發明具有雙軸線振蕩角速度傳感器的可移動質量。在根據本發 明具有雙軸線振蕩角速度傳感器中，將淨皮測量的相對於Y軸線的外 部角速度，把相對於Z軸線的質量36, 37的反相主運動耦接到相對 於X軸線的反相扭轉力矩中。該扭轉力矩產生質量36, 37的圍繞平 行於X軸線的檢測軸線的反相扭轉振蕩。在根據本發明具有雙軸線
角速度傳感器中，用於檢測運動的扭轉彈簧42-45相對於扭轉振蕩具有撓性。圖12顯示了在由相對於X軸線的角速度產生的檢測運動中，根 據本發明具有雙軸線振蕩角速度傳感器的可移動質量。在根據本發 明具有雙軸線振蕩角速度傳感器中，待測量的項目(item)角速度相對 於X軸線把在質量36, 37的Z軸線方向上的反相主運動耦接到相對 於Y軸線的反相扭轉力矩中。該扭轉力矩產生圍繞平行於Y軸線質 量36， 37的檢測軸線的如主運動相同頻率的質量的反相扭轉振蕩。 在根據本發明具有雙軸線角速度傳感器中，用於檢測運動的扭轉彈 簧46 - 49相對於扭轉振蕩具有撓性。在根據本發明具有雙軸線振蕩角速度傳感器中，由外部角速度 產生的振蕩直接與角速度成正比，並且它能夠通過例如位於質量36， 37上方或下方的電極以電容方式檢測到，該電極例如可以生長到密 閉傳感器結構的晶片內表面上。除了示例性結構，在本發明範圍內，能夠提出具有雙軸線的角 速度傳感器的多種變化。與根據現有技術的傳感器結構比較，根據本發明的振蕩角速度 傳感器的最重要的優點是在角速度信號中對來源於傳感器周圍的振 動和衝擊的本質性改進的抗性。在根據本發明的角速度傳感器中， 角速度相對於普通檢測軸線在質量中產生反相運動，其通過用於質 量的差分4企測電賴4支檢測到。在根據本發明具有雙軸線振蕩角速度傳感器中，由外部角度加 速度和質量的任何質量非對稱產生的線性加速度，對質量產生同相 (equal phase)力矩。由同相運動產生的信號將在差分^r測中^l皮消除， 並且因此，外部機械幹擾僅在完全過載的情況下能夠影響輸出。由於認真考慮運動的方向，根據本發明的振蕩角速度傳感器也 能夠產生極其高的信號電平。通過例如定位在質量上方或下方的巨 大電極，能夠有效地利用由測震質量的長度帶來的巨大的慣性力矩。
根據本發明的振蕩角速度傳感器結構的優點也是彈簧中多種模 式變形的特殊性，特別地在有框架類型的結構中，該彈簧基本決定 了運動才莫式的頻率和方向。
權利要求
1.一種振蕩微機械角速度傳感器，其特徵在於它包括在支撐區域附接到傳感器部件主體的兩個測震質量(1)，(2)，(36)，(37)，以及在質量(1)，(2)，(36)，(37)之間的連接彈簧，使得--角速度傳感器主運動是圍繞支撐區域的兩個測震質量(1)，(2)，(36)，(37)的反相角度振蕩，所述運動是必須被產生的，--通過至少一個彎曲彈簧(11)，(50)，使所述測震質量(1)，(2)，(36)，(37)彼此連接，其機械地同步於它們的主運動，並且--通過彈簧或者通過彈簧和剛性輔助結構，將測震質量(1)，(2)，(36)，(37)連接到支撐區域，相對於與由質量形成的晶片平面相垂直的旋轉軸線，並相對於在所述晶片平面方向上的至少一個旋轉軸線，其給予所述質量(1)，(2)，(36)，(37)自由度。
2. 根據權利要求1所述的角速度傳感器，其特徵在於所述角速 度傳感器是相對於一個軸線測量角速度的角速度傳感器，所述傳感 器具有在至少兩個附接點(3),(4)處附接到傳感器部件主體的兩個測震 質量(1),(2)。
3. 根據權利要求2所述的角速度傳感器，其特徵在於彎曲彈簧(II) 基本上比其寬更高。
4. 根據權利要求2或3所述的角速度傳感器，其特徵在於所述 角速度傳感器包括-用於主運動的旋轉彈簧(5),(6)，該彈簧相對於主運動具有撓性，並且-用於檢測運動的扭轉彈簧(7)-(10)，該彈簧相對於由外部角速度 生成的扭轉力矩所產生的扭轉振蕩具有撓性。
5. 根據權利要求2, 3或4所述的角速度傳感器，其特徵在於 通過位於質量(1),(2)上方或下方的電極，由外部角速度產生的振蕩以 電容方式^r測。
6. 根據權利要求5所述的角速度傳感器，其特徵在於電極生長 到密閉傳感器結構的晶片內表面上。
7. 根據權利要求2-6中任一項所述的角速度傳感器，其特徵在於 所述角速度傳感器包括第二彎曲彈簧，其基本上與連接角速度傳感 器的質量的彈簧(ll)在相同方向上延伸，並且附接到所述彈簧(ll)的 中心。
8. 根據前面權利要求2-7中任一項所述的角速度傳感器，其特徵 在於通過附接點(3),(4),並且附加地通過在中心處安裝的附接點 (12),(13)，將所述質量(l),(2)附接到所述主體。
9. 根據前面權利要求2-7中任一項所述的角速度傳感器，其特徵 在於通過附接點(3),(4)，並且附加地通過在拐角或在邊沿處安裝的 附接點(14)-(17)，將所述質量(1),(2)附接到主體。
10. 根據前面權利要求2-7中任一項所述的角速度傳感器，其特 徵在於通過附接點(18),(19)，使所述質量(1),(2)附接到主體，該附 接點(18),(19)通過設計的剛性輔助結構，在 一側附接到所述質量(1),(2)。
11. 根據前面權利要求2-7中任一項所述的角速度傳感器，其特 徵在於通過附接點(18),(19)使所述質量(1),(2)附接到主體，該附接 點(18),(19)通過彈簧在一側附接到所述質量(1),(2)。
12. 根據前面權利要求2-7中任一項所述的角速度傳感器，其特 徵在於通過安裝在端部中心處的附接點(24),(25)，並且附加地，通 過附接點(20),(21)，使所述質量(1),(2)附接到主體，所述附接點(20),(21) 通過彈簧(22),(2"在一側附接到質量(1),(2)。
13. 根據前面權利要求2-12中任一項所述的角速度傳感器，其特 徵在於所述角速度傳感器包括張力減輕結構(26),(27)。
14. 根據前面權利要求2-13中任一項所述的角速度傳感器，其特 徵在於所述角速度傳感器包括梳形結構(28),(29)。
15. 根據前面權利要求2-14中任一項所述的角速度傳感器，其特徵在於所述角速度傳感器包括-放射狀梳形結構(34),(35)。
16. 根據權利要求1所述的角速度傳感器，其特徵在於所述角 速度傳感器是測量相對於兩個軸線的角速度的角速度傳感器，所述 傳感器包括通過兩個附接點(38),(39)附接到傳感器部件主體的兩個質 量(36),(37)。
17. 根據權利要求16所述的角速度傳感器，其特徵在於所述彎 曲彈簧(50)是基本上比其寬更高。
18. 根據權利要求16或17所述的角速度傳感器，其特徵在於 所述角速度傳感器包括-用於主運動的旋轉彈簧(40),(41),所述彈簧相對於主運動具有 撓性，-用於在第 一 方向上的檢測運動的扭轉彈簧(42)-(45),該彈簧相 對於在第一方向上的^r測運動具有撓性，並且-用於在第二方向上的檢測運動的扭轉彈簧(46)-(49),該彈簧相 對於在第二方向上的檢測運動具有撓性。
19. 根據前面權利要求16-18中任一項所述的角速度傳感器，其 特徵在於通過位於所述質量(36),(37)上方或下方的電極，以電容方 式才企測由外部角速度導致的振蕩。
20. 根據權利要求19所述的角速度傳感器，其特徵在於所述電 極生長到密閉傳感器結構的晶片內表面上。
21. 根據前面權利要求2-20中任一項所述的角速度傳感器，其特 徵在於所述附接點(3)，(4),(14)-(19),(20),(21),(24)，(25),(30),(31)以陽 極方式接合到密閉傳感器結構的晶片上。
22. 根據前面權利要求2-20中任一項所述的角速度傳感器，其特 徵在於所述附接點(3)，(4),(14)-(19),(20)，(21),(24)，(25),(30),(31)以熔 化節點的方式接合到密閉傳感器結構的晶片上。
全文摘要
本發明涉及在測量角速度中使用的測量裝置，並且更具體地，涉及振蕩微機械角速度傳感器。在根據本發明的角速度傳感器中，通過彈簧，或者通過彈簧及剛性輔助結構，使測震質量(1，2，36，37)附接到支撐區域，其給予質量(1，2，36，37)相對於垂直於由質量構成的晶片平面的旋轉軸線，並相對於平行於晶片平面的至少一個旋轉軸線的自由度。根據本發明的角速度傳感器的結構，特別在緊湊型振蕩微機械角速度傳感器中，其能夠進行可靠和有效的測量。
文檔編號G01C19/56GK101120232SQ200580044879
公開日2008年2月6日 申請日期2005年12月30日 優先權日2004年12月31日
發明者A·布洛姆奎斯特 申請人:Vti技術有限公司