墊片式節流器及使用了該節流器的壓力式流量控制裝置的製作方法

2023-07-22 04:33:41 1

專利名稱：墊片式節流器及使用了該節流器的壓力式流量控制裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種墊片式節流器(orifice)及使用了該墊片式節流器 的壓力式流量控制裝置的改良技術。更具體而言，涉及使用了能夠廉價、 高效率且穩定地製造的薄金屬板的具有高精度孔徑的墊片式節流器；使 用了該墊片式節流器的壓力式流量控制裝置；和能夠不漏地、迅速地進 行節流器的更換，從而可容易地變更現場安裝後的壓力式流量控制裝置 的流量範圍，並且可將流量控制精度保持在± 1%FS以內的高精度的節流 器更換型壓力式流量控制裝置。
背景技術：
以往，作為節流器大多採用下述構造通過機械加工等對節流板直 接穿設節流孔，然後，將該節流板在配管管路的接頭部或設備與管路的 連接部等恰當位置夾入到管路內，並以氣密狀態直接將其緊固固定。然而，在上述直接緊固固定型的節流器中，由於因緊固固定而可能 使得節流板發生變形，所以，無法使節流板大幅度變薄。因此，無法利 用薄的節流板穩定且廉價地製造具有既定孔徑及形態的無流量特性偏差 的高精度節流器。另外，為了解決上述問題，開發了一種將節流板熔接到適當的保持 配件上，然後將熔接於該保持配件的節流板插入並固定到管路內的節流器。但是，如果進行熔接，則存在著下述難題因熱帶來的影響會使得 節流孔徑發生變化，並且有時會因為熱應力而在薄的節流板上產生裂紋， 還會降低節流板的耐腐蝕性。這樣，對於節流器、尤其是壓力式流量控制裝置等中所使用的對形 狀與孔徑等設置了 一定限制的高精度節流器而言，不僅無法實現廉價的 製造，而且，向管路等中的插入固定在結構上也存在很多困難，因此， 實用上殘留著各種問題。另一方面，將節流器作為其必須的構成部件的壓力式流量控制裝置， 與以質量流量控制器為代表的熱式質量流量控制裝置(MFC)相比，在響應性與控制精度、製造成本、控制的穩定性、維護性等方面具有優越的 特性，因此被廣泛應用在半導體製造等技術領域。圖7 (a)及圖7 (b)是表示前述現有的壓力式流量控制裝置FCS的 基本構成圖，由控制閥2、壓力檢測器6、節流器8、流量運算電路13、 31、流量設定電路14、運算控制電路16、流量輸出電路12等形成了壓 力式流量控制裝置FCS的主要部分。另外，在圖7 (a)及圖7 (b)中，3是節流器上遊側配管，4是閥 驅動部，5是節流器下遊側配管，7是溫度檢測器，9是閥，15是流量變 換電路，10、 11、 22、 28是放大器，17、 18、 29是A/D變換器，19是 溫度修正電路，20、 30是運算電路，21是比較電路，Qc是運算流量信號， Qf是切換運算流量信號，Qe是流量設定信號，Qo是流量輸出信號，Qy 是流量控制信號，P。是氣體的供給壓力，P,是節流器上遊側氣體壓力，P2 是節流器下遊側氣體壓力，k是流量變換率。當節流器上遊側氣體壓力P,與節流器下遊側氣體壓力P2之比P,/P2 與流體的臨界值相等或比其低時(所謂當氣體的流動處於臨界狀態下之 時)，主要使用前述圖7(a)的壓力式流量控制裝置FCS,在節流器8 中流通的氣體流量Qc由Qc = KP,(其中，K是比例常數)表示。另外，在處於臨界狀態和非臨界狀態的兩種流動狀態的氣體的流量 控制中，主要使用前述圖7 (b)的壓力式流量控制裝置FCS，在節流器8 中流動的氣體的流量可由Qc = KP2m (Pt-P2) n (K是比例常數，m和n是 常數)表示。並且，在前述圖7 (a)及圖7 (b)的壓力式流量控制裝置中，流量 控制的流量設定值作為流量設定信號Qe以電壓值表示。例如，如果設上 遊側壓力Pi的壓力控制範圍0 3(kgf/cm、bs)由電壓範圍0 5V表示， 則Qe-5V(滿標值)相當於3(kgf/cm2abs)的壓力P,下的流量Qc = KP"具體而言，現在在將流量變換電路15的變換率k設定為1時，若輸 入了流量設定信號Qe = 5V,則切換運算流量信號Qf ( Qf = kQc )達到5V, 控制閥2被進行開閉操作，直到上遊側壓力P,達到3 (kgf/cm2 abs)為 止。結杲，與P,-3 (kgf/cm2 abs)對應的流量Qc-KP,的氣體在節流器 8中流通。另外，在將應該控制的壓力範圍切換為0~2 ( kgf/cm2 abs ),並由 0-5V的流量設定信號Qe表示該壓力範圍時(即，在滿標值5V表示2(kgf/cm2 abs)的情況下)，前述流量變換率k被設定為2/3。結果，若輸入流量設定信號Qe = 5V,則根據Qf = kQc,切換運算流 量信號Qf成為Qf = 5 x 2/3V,控制閥2被進行開閉操作，直到上遊側壓 力P,成為3 x 2/3=2 ( kgf/cm2 abs )為止。即，按照Qe = 5V表示與P, = 2 (kgf/cm2 abs)相當的流量Qc = KP, 的方式，變換滿標的流量。另外，在前述圖7(b)的壓力式流量控制裝置中也同樣，在節流器 8中流通的氣體的流量Qc由Qc = KP2ffl ( - P2) n ( K是比例常數，m和n 是常數)表示，若氣體種類變化，則前述比例常數K發生變化。如上所述，在上述現有的壓力式流量控制裝置中，通過調整流量變 換電路15的變換率k,可切換與Qe = 5V (滿標.F. S.)對應的節流器上 遊側壓力P:下的流量Qc:KPh然而，該流量切換範圍始終是比前述Qe =5V (F. S.值)所對應的上遊側壓力P,下的流量Qc-KP"J、的流量範圍， 上遊側壓力Pi下的流量Qc成為通過由節流器的孔徑等確定的常數k來唯 一決定的流量值。換言之，由電壓範圍0~5V表示節流器上遊側壓力P,的壓力控制範 圍0~3 (kgf/cm2 abs),為了將Qe = 5V下的流量值Qc自身例如擴大切 換到5倍的流量，需要將節流器自身變換成常數K具有5倍的值的節流器。圖8是表示能夠實現上述節流器更換的壓力式流量控制裝置的一個 例子，在形成壓力式流量控制裝置FCS的控制閥2的閥體23的流體出口 側設置有節流器插入孔24,將具有適當孔徑的節流器8更換自如地插在 該節流器插入孔24內，並通過按壓配件32、軸承33及密封部件35a來 確保流體通路34的氣密性。專利文獻1特開平8 - 3385"號公報專利文獻2特開2000 - 66^2號公報專利文獻3特開2000 - 322130號公報專利文獻4特開2003 - 195948號公報專利文獻5特開2004 - "9109號公報可是，在現有的前述圖7 (a)及圖7 (b)的壓力式流量控制裝置中， 由於被控制流體的供給壓力P。通常被保持為恆定值，所以，控制流量的 最大值Qc由所使用的節流器8唯一決定，只要不改變節流器8自身，則難以大幅變更所述流體的控制流量的最大或最小流量Qc 。而且，在現有的圖8中，每當更換節流器8時都需要取下按壓配件32,並且根據情況還需要更換密封部件35a,不僅節流器8的更換需要花費很多功夫，而且，配管管路的解體也花費時間。並且，在圖8的節流器更換方式中，由與節流器8的表面側抵接的密封部件35a和與節流器5的背面側抵接的閥主體側密封用接觸座35b構成節流器8的密封機構，而且，通過按壓配件32的旋入按壓力來確保節流器8兩面的密封性，因此，完全防止從所謂節流器密封部的外部洩漏顯然十分困難。此外，作為節流器8，如圖8所示，採用了通過機械加工對薄金屬制 節流板穿設了既定內徑的節流孔的節流器，但如上所述，由於是直接緊 固固定節流器8的結構，所以，無法使節流板的厚度極薄，結果，不能 夠廉價製造高精度的節流器。而且，在將薄的節流板熔接於節流器保持配件、並夾壓固定該節流 器保持配件的節流器中，也如上所述，存在著無法防止因熔接熱而產生 節流板的變形或裂紋、及腐蝕的發生等問題。發明內容本發明用於解決現有節流器及利用了節流器的壓力式流量控制裝置 中的上述問題等，即1、無法利用薄的節流板容易地製造具有既定孔徑 及形態的流量特性穩定的節流器；2、在熔接型的節流器中，因熱應力容 易產生節流孔的變形或節流板的裂紋；3、在使用了節流器的壓力式流量 控制裝置中，僅通過改變流量運算電路的變換率k,無法對應流量範圍的 大幅擴大；4、在現有的節流器更換方式中，不僅節流器的更換過於費時， 而且產生外部洩漏的可能性高；本發明的主要目的在於，提供一種能夠 利用極薄的節流板得到高精度且穩定的流量特性、並可簡單地插入到流 體通路內而不漏地進行夾壓固定、且能夠廉價且容易地製造的節流器及 使用了該節流器的壓力式流量控制裝置；以及提供一種即便在出廠之後， 也能夠在現場變換節流器8,來簡單且迅速地改變流量範圍，並使來自節 流器8的外部洩漏完全消失，同時能夠大幅提高流量控制精度的節流器 可變型壓力式流量控制裝置。技術方案1的發明涉及一種墊片型節流器，其基本構成為將具有嵌合用突部38a,的節流器基體38a和具有嵌合用凹部38、的節流器基體 38b組合，在兩者的端面之間以氣密狀態插入節流板38c,並且，將兩個 節流器基體38a、 38b的兩端面38a3、 38&作為墊片的密封面。技術方案2的墊片型節流器，其基本構成為在將兩側的端面作為 密封面的短圓筒型節流器基體38d的單側附近的內部形成向內突出的凸 緣部38d,，將設置有節流孔的薄板狀節流板38c遍布整周雷射熔接固定 到該凸緣部38d，的外側面。技術方案3的發明涉及一種壓力式流量控制裝置，其基本構成為 在具備控制閥、壓力檢測器、節流器、流量運算電路和運算控制電路的 壓力式流量控制裝置A中，設前述節流器是技術方案1或技術方案2所 述的墊片型節流器。技術方案4的發明在技術方案3的壓力式流量控制裝置中，將形成 壓力式流量控制裝置A的控制閥的閥體23構成為，以氣密狀態連接具有 流體流通路40a的入口側塊40、具有閥座2b的中央塊41和具有出口側 流體通路42a的出口側塊42。技術方案5的發明在技術方案4的壓力式流量控制裝置中，將構成 壓力式流量控制裝置A的節流器的設置位置，設置在控制閥的中央塊41 的流體出口側與出口側安裝用塊42的流體入口側之間。技術方案6的發明涉及一種節流器更換型壓力式流量控制裝置，其 基本構成為在具有流體供給用配管的連接部的入口側安裝用塊39和具 有流體取出用配管的連接部的出口側安裝用塊4 3之間，配置壓力式流量 控制裝置A的控制閥2的閥體23,通過使該閥體23的流體入口側與前述 入口側安裝用塊39的流體出口側、前述閥體23的流體出口側與前述出 口側安裝用塊43的流體入口側分別能夠分解地以氣密狀態連接，形成氣 體通過前述控制閥2流通的流路，並且，在設置於前述閥體23的出口側 的墊片型節流器插入孔4 2c與設置於出口側安裝用塊4 3的流體入口側的 墊片型節流器插入孔43b之間，拆裝自如地插入壓力式流量控制裝置A 的墊片型節流器38。技術方案7的發明在技術方案6的節流器更換型壓力式流量控制裝 置中，將形成壓力式流量控制裝置A的控制閥2的閥體23構成為，以氣 密狀態連接具有流體流通路40a的入口側塊40、具有閥座2b的中央塊 41和具有出口側流體通路42a的出口側塊42。技術方案8的發明在技術方案7的節流器更換型壓力式流量控制裝 置中，在中夬塊41中設置有用於插入壓力式流量控制裝置A的壓力檢測 器6的壓力檢測器插入孔41e。本發明技術方案1的墊片型節流器38使節流板38c以氣密狀態嵌合 緊貼在兩個節流器基體38a、 38b之間，所以，不論是極薄的金屬板或是 金屬皮膜，都能夠在不產生變形等的情況下將其夾持在兩個節流器基體 38a、 38b之間。結果，不僅能夠使用具有更高精度的節流孔的節流板38c,而且通過 將兩個節流器基體的外側端作為密封面而利用，可以將節流器38自身作 為墊片緊密插入固定到管路等中。在技術方案2的墊片型節流器38中，由於將節流板38c的整周雷射 熔接到凸緣部38d,的外側面，所以，與技術方案1的情況同樣，能夠在 節流板38c幾乎不產生加熱變形的情況下，製造具有高精度節流孔的墊 片型節流器38。在本發明技術方案3的壓力式流量控制裝置中，由於使用了技術方 案1或技術方案2的墊片型節流器38,所以，不僅能夠實現節流器38 自身的高精度化，而且，幾乎能夠完全確保節流器38的安裝氣密性、並 防止變形。在本發明的技術方案6的節流器變換型壓力式流量控制裝置中，不 僅極容易進行節流器的更換，而且能夠基本完全確保節流器38的安裝氣 密性及防止變形，因此，可進行高精度的流量控制。


圖1是對節流器可變型壓力式流量控制裝置的主要部分進行了剖面 的主^見圖。圖2是本發明中所使用的第 一 實施例的墊片型節流器的剖面概要圖。 圖3是圖2的墊片型節流器的製造方法的說明圖。 圖4是本發明中所使用的第二實施例的墊片型節流器的剖面概要圖。 圖5是墊片型節流器的更換說明圖。圖6是墊片型節流器更換後的流量控制精度的修正說明圖。圖7是現有的壓力式流量控制裝置的構成說明圖。圖8是表示現有的節流器更換型壓力式流量控制裝置的一個例子的剖面概要圖。附圖標記說明A節流器更換型壓力式流量控制裝置1控制部2控制閥 2a閥體 2b閥座 6壓力檢測器 23閥體36墊片型過濾器 37墊片38墊片型節流器38a節流器基體(1)38a,嵌合用突部38a2外周面38a3上端面38b節流器基體(2)381^嵌合用凹部38b2內周面38b3下端面38c節流板38d節流器基體38山凸緣部39入口側安裝用塊39a流體通3各40入口側塊40a流體通路40b洩漏糹全查孔40c墊片插入孔41中央塊41a入口側流體通路 41b出口側流體通路41c閥體4悉入孑L41d墊片插入孔41e壓力檢測器插入孔42出口側塊42a流體通路42b洩漏;險查孔42c墊片型節流器插入孔43出口側安裝用塊43a流體通路43b墊片型節流器插入孔44壓力檢測器的固定件45壓力檢測器的固定用螺栓具體實施方式
下面，根據附圖對本發明的實施方式進行說明。圖1是對本申請發明的技術方案6所涉及的節流器可變型壓力式流 量控制裝置A的主要部分實施縱剖後的主視圖，圖l中，l是控制部，2 是控制閥，2a是控制閥2的閥體，2b是閥座，23是閥體，35是墊片， 36是墊片型過濾器，6是壓力檢測器，37是墊片，38是墊片型節流器。前述閥體23由入口側塊40、中央塊41和出口側塊42這三個部件組 裝形成。而且，入口側安裝用塊39和入口側塊40隔著墊片35由固定用 螺栓(省略圖示)連接。前述入口側塊40與中央塊41隔著墊片型過濾器36通過固定用螺栓 (省略圖示)連接。而且，前述中央塊41與出口側塊42隔著墊片37通過固定用螺一封省 略圖示)連接。並且，前述出口側塊42與出口側安裝用塊43隔著墊片 型節流器38通過固定用螺栓(省略圖示)以氣密狀態且分解自如地連接 固定。前述各塊39 ~43都由SUS316L -P (Wmelt )材料形成，在入口側安 裝用塊39上形成有流入側配管用接頭(省略圖示)、流體通路39a及固 定用螺栓的旋入孔(省略圖示)等。而且，在前述入口側塊40上形成有流體通路40a、固定用螺栓插入孑L (省略圖示)、洩漏-險查孔40b和墊片插入孔40c等。並且，在中央塊41中形成有入口側流體通路41a、出口側流體通3各41b、具備岡座2b的閥體2a的插入孔41c、墊片插入孔41d、壓力才全測器插入孔41e、固定用螺栓旋入孔(省略圖示)等。在前述出口側塊42中形成有出口側流體通路42a、洩漏4全查孔42b、位於流體出口側的節流器墊片插入孔42c、和固定用螺栓插通孔(省略圖示)等。前述出口側安裝用塊43具備出口側配管用接頭(省略圖示)、流體 通路43a及固定用螺栓的旋入孔(省略圖示)，以與前述入口側安裝用 塊39大致相同的方式構成。其中，與前述入口側安裝用塊39不同之處 在於，在流體入口側形成有墊片型節流器38的插入孔43c。另外，圖1中44是壓力檢測器的固定件，45是壓力檢測器的固定用 螺栓。圖2是表示本發明技術方案1的墊片型節流器的一個例子的剖面概 要圖，其通過所謂壓入方式製作。即，該墊片型節流器38通過在節流器基體(1 )38a與節流器基體(2 ) 38b之間夾設具有期望的節流孔徑0的圓形節流板38c,並利用圖3所示 的推力約為90N的壓力機，將節流器基體38a壓入到節流器基體38b內、 將二者以氣密狀態一體固定而形成。其中，構成墊片型節流器38的主要部件全都由SUS316L -LM(Wmelt ) 材料形成。另外，該墊片型節流器38分別在本申請發明的技術方案3所涉及的 壓力式流量控制裝置及本申請發明的技術方案6所涉及的節流器變換型 壓力式流量控制裝置中使用。即，節流器基體38a如圖2及圖3所示，在盤狀體的下端面形成有 嵌合用的突部38a,，其外周面38a2與另一盤狀體的節流器基體38b的上 端面上形成的嵌合用凹部38b,的內壁面38b2以氣密狀態緊貼，從而使得 節流板38c以氣密狀態插入保持在兩者的端面間。另外，所組裝的墊片型節流器38的環狀上端面38a3及環狀下端面 38b3，無庸置疑分別作為塊42、 43之間的密封用墊片的密封面而發揮功 能。圖4是表示本發明技術方案2所涉及的墊片型節流器38的圖。該墊片型節流器38通過將節流板38c雷射熔接W (整周)到在節流 器基體38d內部的單側設置的凸緣部38山的外側面上而形成，圓筒形的 節流器基體38d的上端面和下端面分別成為密封面。另外，節流器基體38d由SUS316L-LM (W melt )材料形成，而且， 節流板38c可使用與基體38d相同的材質或其他的Ni - Cr合金，並在中 央"^殳置既定內徑①的節流孔。接著，對墊片型節流器38的更換進行說明。在因為氣體的控制流量或氣體種類等的變更，需要更換墊片型節流 器38的情況下，首先如圖5所示，將連接入口側塊40和入口側安裝用 塊(入口側基體塊)39的固定用螺栓(省略了圖示，為4根)、及連接 出口側塊42及出口側安裝用塊(出口側基體塊)43的固定用螺栓(省略 了圖示，為4根)取下。接著，將新的墊片型節流器38插入到前述出口側塊42的墊片插入 孔42c內，然後，以現狀分別將兩個塊40、 42固定於各安裝用塊39、 43。此時，由於氣體入口側配管及氣體出口側配管都與入口側安裝用塊 39及出口側安裝用塊43的各連接用接頭連接，並且，兩個塊39、 43完 全不移動，所以，在更換墊片節流器38時，根本不需要取下配管系統。如果完成了前述墊片型節流器38的更換，則調整新的設定流量與控 制流量的關係，例如圖6所示，在跨度(span)誤差AQ超過既定值(例 如土5。/。F.S.)的情況下、或必須將跨度誤差AQ保持在既定值(例如± 1 %F. S.)以下的情況下，將該更換後的墊片型節流器38中與固有的常數 K相關的數據通過節流器數據讀取器(省略圖示)向控制部A錄入，利用 該更換後的墊片型節流器38中與固有的常數K相關的數據，修正流量跨 度誤差AQ和流量直線性誤差(省略圖示)，進行修正使得跨度誤差AQ 等成為既定值以下。(產業上的可利用性)本發明能夠應用到使用了節流器的流體設備或利用節流器來進行流 體的流量控制的所有流體流量控制裝置中，主要被用在半導體製造、化 學產業、藥品產業、食品產業等領域。1權利要求
1、一種墊片型節流器，其特徵在於，使具有嵌合用突部(38a1)的節流器基體(38a)和具有嵌合用凹部(38b1)的節流器基體(38b)組合，在兩者的端面之間以氣密狀態插入節流板(38c)，並且，將兩個節流器基體(38a、38b)的兩端面(38a3、38b3)作為墊片的密封面。
2、 一種墊片型節流器，其特徵在於，在將兩側的端面作為密封面的短圓筒型節流器基體(38d)的一側附 近的內部形成向內突出的凸緣部(38山)，將設置有節流孔的薄板狀節流 板(38c)遍布整周雷射熔接固定到該凸緣部(38山)的外側面。
3、 一種壓力式流量控制裝置，其特徵在於，在具備控制閥、壓力檢測器、節流器、流量運算電路和運算控制電 路的壓力式流量控制裝置(A)中，前述節流器是權利要求1或權利要求 2所述的墊片型節流器。
4、 根據權利要求3所述的壓力式流量控制裝置，其特徵在於， 將形成壓力式流量控制裝置(A)的控制閥的閥體(23)構成為，以氣密狀態連接具有流體流通路(40a)的入口側塊(40)、具有閥座(2b) 的中央塊(41)和具有出口側流體通路(42a)的出口側塊(")。
5、 根據權利要求4所述的壓力式流量控制裝置，其特徵在於， 將構成壓力式流量控制裝置(A)的節流器的設置位置，設置在控制閥的中央塊(41)的流體出口側與出口側安裝用塊(42)的流體入口側 之間。
6、 一種節流器更換型壓力式流量控制裝置，其特徵在於， 在具有流體供給用配管的連接部的入口側安裝用塊(39)和具有流體取出用配管的連接部的出口側安裝用塊(43)之間，配置壓力式流量 控制裝置(A)的控制閥的閥體(23),通過使該閥體(23)的流體入口 側與前述入口側安裝用塊(39)的流體出口側、前述閥體(23)的流體 出口側與前述出口側安裝用塊(43)的流體入口側分別能夠分解地以氣 密狀態連接，形成氣體通過前述控制閥(2)流通的流路，並且，在設置 於前述閥體(23)的出口側的墊片型節流器插入孔(42c)與設置於出口 側安裝用塊(43)的流體入口側的墊片型節流器插入孔(43b)之間，拆 裝自如地插入壓力式流量控制裝置(A)的墊片型節流器(38)。
7、 根據權利要求6所述的節流器更換型壓力式流量控制裝置，其特 徵在於，將形成壓力式流量控制裝置(A)的控制閥的閥體(23)構成為，以 氣密狀態連接具有流體流通路(40a)的入口側塊(40)、具有閥座(2b) 的中央塊(41 )和具有出口側流體通路(42a )的出口側塊(42 )。
8、 根據權利要求7所述的節流器更換型壓力式流量控制裝置，其特 徵在於，在中央塊(41 )中設置有用於插入壓力式流量控制裝置(A)的壓 力檢測器(6)的壓力檢測器插入孔(41e)。
全文摘要
本發明的目的在於，不分解、組裝壓力式流量控制裝置，就能簡單地更換其節流器，從而可容易地進行控制流量的切換。本發明的節流器更換型壓力式流量控制裝置，在具有流體供給用配管的連接部的入口側安裝用塊(39)和具有流體取出用配管的連接部的出口側安裝用塊(43)之間，配置壓力式流量控制裝置(A)的控制閥(2)的閥體(23)，通過使該閥體(23)的流體入口側與前述入口側安裝用塊(39)、前述閥體(23)的流體出口側與前述出口側安裝用塊(43)分別能夠分解地以氣密狀態連接，形成氣體通過前述控制閥(2)流通的流路，並且，在設置於前述閥體(23)的出口側的墊片型節流器插入孔(42c)與出口側安裝用塊(43)的墊片型節流器插入孔(43b)之間，拆裝自如地插入壓力式流量控制裝置(A)的墊片型節流器(38)。
文檔編號G05D7/06GK101253458SQ200680031240
公開日2008年8月27日 申請日期2006年5月10日 優先權日2005年8月26日
發明者今井智一, 吉田俊英, 土肥亮介, 大見忠弘, 平田薰, 廣瀨隆, 杉田勝幸, 永瀨正明, 池田信一, 田中久士, 筱原努, 西野功二 申請人:株式會社富士金;國立大學法人東北大學