刻蝕機集群控制器與工藝模塊控制器通訊系統及方法
2023-07-09 05:31:51 2
專利名稱：刻蝕機集群控制器與工藝模塊控制器通訊系統及方法
技術領域：
本發明涉及微電子領域，具體涉及集成電路刻蝕機(商業機)集群控制器(CTC)與工藝模塊控制器(PMC)之間的信息通訊系統。本發明還涉及集成電路刻蝕機集群控制器與工藝模塊控制器通訊系統的方法。
背景技術：
在200mm集成電路刻蝕機(商業機)設備中，主要分為集群控制器(CTC)，工藝模塊控制器(PMC)和傳輸模塊控制器(TMC)三個部分，分別進行集中監控，對腔室設備的控制和對機械臂傳輸設備的控制。其中CTC作為最核心的控制設備協調控制著PMC和TMC，使得三個部分能夠很好的協作完成刻蝕的任務。
在控制關係中，CTC與PMC之間的關係最為緊密，這就涉及到CTC與PMC間通信模塊的設計問題。設計出的通信模塊應該能夠很好的支持CTC對PMC的控制，同時能夠及時準確地將PMC產生的數據和信息反饋給CTC。
在實際的刻蝕環境中，CTC控制程序與PMC控制程序處於不同的計算機上，它們之間通過乙太網進行連接。而環境中對網絡的影響可以忽略不計。
CTC對PMC的控制主要表現在指令的分配和數據與警告的監控。
1指令指令是單向傳輸的，即從CTC發送指令給PMC，指導PMC進行各種操作。
指令包括一定的指令特徵(如名稱等)用於區分不同的指令，同時包含一定的參數以明確的將指令執行到特定程度(如PINUP操作中設定上升的高度參數)。在特殊情況下，指令可以沒有參數部分。
2數據PMC負責將設備上的數據採樣讀取出來，數據在刻蝕機系統中有四種類型整型(int)、浮點型(float)、布爾型(boolean)、字符串型(string)。通過通信模塊讓CTC部分能夠得到這些數據，以達到監控數據的功能。
同樣對於指令參數的類型也僅有以上四種類型。
3警告PMC中可能會在一些意外情況下出現運行的錯誤，從而產生一些特定的報警信息。PMC可能會根據警告自動恢復，但有些情況下需要CTC的進一步控制。因此就需要CTC通過通信模塊能夠監控這些警告，從而完成一定的操作或者對PMC進一步進行控制。
基於以上的通信信息內容，通信模塊需要達到一定的功能和性能要求。
4準確性準確性包括兩個方面的情況一方面是在單CTC控制多PMC的情況時，需要準確的將控制信息傳送給指定的PMC，不能出現傳輸給其他的PMC的情況；另一方面，CTC與PMC間的控制是敏感和重要的，因此需要通信模塊在傳輸過程中保證信息的不失真和不丟失。
5實時性作為實時控制系統，本身應該具有較高的實時性。PMC和TMC對機械進行控制，在時序上有很嚴格的要求，也就需要很高的實時性(一般要求響應時間在ms級甚至更高)。但是在CTC與PMC的控制關係中，通過邏輯關係進行控制，在拓撲順序上要求嚴格，但在時序要求上要求並不高，因此對實時性要求沒有嚴格的要求。正因為如此，通信模塊對實時性要求也不需要太高，將響應時間保持在s級就可以滿足要求。
在實際的系統中，由於CTC和PMC可能由不同的廠家提供產品，因此需要有一種統一格式來約束通信模塊。一般都使用Semi標準或者其他已有的國際標準為基礎，來實現CTC與PMC間的通信。但準確性、實時性不夠理想。
發明內容
(一)要解決的技術問題本發明的目的是提供一種具有準確性、實時性的刻蝕機集群控制器與工藝模塊控制器通訊系統，本發明的目的還提供刻蝕機集群控制器與工藝模塊控制器通訊系統的方法。
(二)技術方案為了達到上述目的，本發明採取以下方案本發明的刻蝕機集群控制器與工藝模塊控制器通訊系統，包括集群控制器、工藝模塊控制器，連接集群控制器與工藝模塊控制器的乙太網，還包括通訊模塊，該通訊模塊通過乙太網將控制信息和狀態信息在集群控制器與工藝模塊控制器之間傳輸。
其中，所述通訊模塊包括屬性數據服務接口、指令數據服務接口、數據項數據服務接口、警告數據服務接口、中間文檔，其中，——屬性信息服務接口用於集群控制器將要查詢的屬性名稱發送給工藝模塊控制器，集群控制器將屬性名稱對應的值返回給工藝模塊控制器；——指令信息服務接口用於集群控制器在控制過程中向工藝模塊控制器發送操作指令，指導工藝模塊控制器對工藝進行控制；——數據項信息服務接口，由集群控制器提供待查詢數據項的名稱，工藝模塊控制器接收到此名稱後在數據項存儲結構中查找對應項，將對應的數據項數據轉換為字符串型，傳遞給客戶端。
——警告信息服務接口，由集群控制器給出任何輸入參數，工藝模塊控制器在接收了服務調用後，查找警告記錄將兩次服務調用間的警告信息以字符串的形式反饋給集群控制器；——中間文檔，用於存放屬性、指令、數據項和警告數據，以實現控制器之間通過文件進行數據交流。
其中，所述乙太網的Web服務的客戶端建立在CTC端；Web服務的服務端建立在PMC端。
其中，所述中間文檔使用XML文檔。
刻蝕機集群控制器與工藝模塊控制器通訊系統的方法，有以下步驟1)準備工作步驟；2)網絡測試連接工作步驟；3)具體通信工作步驟即進入正常運行狀態後，集群控制器通過Web伺服器與工藝模塊控制器進行信息和指令的交互。
其中，所述準備工作步驟包括A)啟動Web伺服器，以提供網絡服務；B)啟動工藝模塊控制器控制程序，對工藝模塊控制器進行必要的預處理；C)在工藝模塊控制器端生成四個XML文檔分別存放屬性、指令、數據項和警告信息。
D)啟動集群控制器。
其中，所述網絡測試連接工作步驟包括a)集群控制器發出服務請求獲取需控制的工藝模塊控制器基本信息；b)Web伺服器收到查詢屬性信息請求後，查找相應XML文檔中的信息，並返回；c)網絡測試連接正常的情況下，建立獨立線程，用於監控警告信息的狀況。
其中，所述具體通信工作步驟包括集群控制器端的流程
I)集群控制器向Web伺服器提出服務請求；II)Web伺服器分析請求，進入相應處理函數；III)處理函數查找相應XML文檔，並對信息進行分析，返回所需信息；IV)Web伺服器返回從處理函數處得到的返回信息，或者錯誤信息；V)集群控制器獲得反饋信息。
其中，所述具體通信工作步驟包括工藝模塊控制器端的流程α)工藝模塊控制器查找相應XML文檔，更新相應信息並且獲取指令信息；β)解析指令信息；γ)控制工藝模塊完成指令。
其中，所述XML文檔的讀寫操作，使用DOM解析XML文檔的內容，並根據四種不同類型的XML文檔數據，編寫和實現四個XML文檔處理類。
(三)有益效果與已有技術相比，由於採用以上方案，本發明的優點在於1)由於Web服務建立在簡單對象訪問協議(SOAP)協議和超文本傳輸協議(HTTP)協議之上的，這兩個協議能夠保證數據的正確接收和發送，因此使用本發明開發的通信模塊，在信息傳遞的準確性上是能得到保證的。2)在實時性上，從測試的結果看來，首次連接時間能夠保證在1秒以內，而之後的通信效果則比較好，與套接字(Socket)連接速度相仿。3)在通用性上，從設計看來是用Web服務提供遠程服務能在Java語言、VC.NET語言環境下進行開發，若使用Java語言則還能跨系統平臺進行開發。另外，設計中涉及的文檔儘量使用XML格式，能夠與其他程序進行交互。4)克服了通訊系統封閉性的問題。
圖1是本發明通訊機理圖；圖2是本發明服務接口調用示意圖。
具體實施例方式
以下實施例用於說明本發明，但不用來限制本發明的範圍。
如圖1所示，本發明的通訊模塊包括屬性數據服務接口、數據項數據服務接口、警告數據服務接口、中間文檔。
如圖2所示，本發明的方法包括1)準備工作A)啟動Web伺服器，以提供網絡服務；B)啟動工藝模塊控制器控制程序，對工藝模塊控制器進行必要的預處理，如預熱工藝腔室等；C)在工藝模塊控制器端生成四個XML文檔分別存放屬性、指令、數據項和警告信息。
D)啟動集群控制器；2)網絡測試連接工作a)集群控制器發出服務請求獲取需控制的工藝模塊控制器基本信息。若集群控制器與網絡連接正常，應能得到Web伺服器的反饋信息；b)Web伺服器收到查詢屬性信息請求後，查找相應XML文檔中的信息，並返回。若XML文檔配置正確，則能提取正確的工藝模塊控制器信息；c)網絡測試連接正常的情況下，建立獨立線程，用於監控警告信息的狀況。
3)具體通信工作進入正常運行狀態後，集群控制器通過Web伺服器與工藝模塊控制器進行信息和指令的交互。包括兩個方面的處理集群控制器端和工藝模塊控制器端，具體流程分別如下集群控制器端I)集群控制器向Web伺服器提出服務請求；II)Web伺服器分析請求，進入相應處理函數；III)處理函數查找相應XML文檔，並對信息進行分析，返回所需信息；IV)Web伺服器返回從處理函數處得到的返回信息，或者錯誤信息；V)集群控制器獲得反饋信息；工藝模塊控制器端α)工藝模塊控制器查找相應XML文檔，更新相應信息(屬性信息、數據信息、警告信息)並且獲取指令信息；β)解析指令信息；γ)控制工藝模塊完成指令。
在進入具體控制流程後，不斷通過調用服務中的指令接口和數據接口實現對PMC的實時控制。以送碟片進入腔室的過程為例首先調用指令接口，將送片指令傳輸給PMC；之後不斷檢查腔室狀態的標誌量(BOOL DiskInChamber)，直到該數據為「TRUE」的時候，確認碟片已經進入腔室；在碟片進入腔室之後則可以進行後繼工作，如開始進行加工工藝過程，將任務啟動(startJob)指令發送給PMC。
所述一個線程是給定的指令的序列(即所編寫的代碼)，一個棧(在給定的方法中定義的變量)，以及一些共享數據(類一級的變量)；線程也可以從全局類中訪問靜態數據，其公開的參考文獻有BomirF.Bic，Alan C.Shaw，作業系統原理(英文影印版)，清華大學出版社，2004-1-1下面對本發明的實施例作進一步說明。
本發明所涉及的通訊子系統，需要考慮跨語言平臺的通訊(前提條件)和通用性的問題，一般在實現方式上選擇了基於Web Services方式的通信設計方案。
一、前提條件實際系統中使用的CTC程序是自主開發的基於VC的程序，而PMC端的程序是基於Brooks公司的Control Vision Java開發的程序。在設計通信過程中必須注意在不同語言中設定能夠通用的方案。同時CVJ部分的源程序無法得知，只能夠基於原有的類的基礎上進行繼承和添加，在設計通信方案時也需要注意這個因素。
考慮到將來的開發和發展，儘量將通信模塊獨立出來，並能夠使用通用的標準以方便和其他廠商或自身其他產品的兼容。
二、通信模塊設計在綜合各方面因素後，選擇使用Web服務方式作為本應用場合中通信模塊的技術路線，完成對通信模塊的設計。整個通訊子系統的通訊機理如圖1所示。
(一)服務設計1、通信中的數據分類從CTC與PMC的數據通信要求看來，主要有四方面數據的交互。
1)屬性數據在刻蝕設備中往往有多臺PMC，而每一臺PMC的功能屬性可能都不相同，例如操作響應時間，系統使用平臺等。對於CTC來說，必須能夠區分不同的PMC(e.g通過查詢名稱屬性)，獲取PMC的基本屬性(e.gPMC的運行平臺屬性)，協調控制各PMC(e.g協調各PMC的本機時間屬性)。這些屬性數據一般僅在CTC與PMC建立連接時進行查詢，因此對屬性數據的查詢也可以看作確認CTC與PMC正確連接的檢測方法之一。
通信中CTC將要查詢的屬性名稱發送給PMC，PMC將屬性名稱對應的值返回給CTC。為了統一屬性值的操作接口，設計屬性的名稱和值都為字符串類型。對於一些數值型的屬性值，只需要根據不同的類型從返回的字符串中析取出來。
2)指令數據在刻蝕機系統中，CTC作為上層控制軟體，在整體上控制PMC和TMC，而PMC僅僅控制對應的反應腔室。為了控制的需要，CTC必須在控制過程中向PMC發送一些操作指令，指導PMC對反應進行控制。指令發送之後，PMC並不需要向CTC返回任何數據(指令的執行是需要時間的，所以不能立即返回結果，執行結果可以通過其他方式解決)。PMC不需要也不能夠對CTC進行控制，從這個角度來說指令數據的傳輸是單方向的(從CTC發送向PMC)。
指令可能存在參數，參數的數目和類型根據指令的變化而變化，對於一些指令可能不具備參數。參數是指令的不可缺少的一部分，參數確定了操作的程度、性質甚至是操作對象。因此指令數據中也需要包括參數內容。
指令數據設計為字符串類型，在字符串中除了包含指令名稱等指令屬性外還包含了參數的類型和數值。這樣的設計可以不需要根據參數的個數來分類指令，從而減少了指令數據傳遞的接口。需要增加的處理僅僅是在PMC接收到指令數據後，將參數的類型和數值根據指令數據格式提取出來。
3)數據項數據PMC在控制反應設備時不斷地從底層的設備中採樣數據，CTC需要獲取這些數據項的值，一方面為上層控制提供參考，可根據某些數據項的數值確定控制條件是否滿足，另一方面以可視化的界面展示給工藝操作人員，方便人員進行數據記錄和監控。
數據項數據在刻蝕系統中只有四種類型，如果對每種類型的數據都提供一個服務接口，則會顯得冗餘。從另外一個角度考慮，由於CTC和PMC的程序開發人員對於特定數據項的數據類型是已知的，可以將這四種類型的數據轉化成字符串類型的數據，是用統一的服務接口進行傳遞，而在接收端和發送端對數據進行類型上的轉化。
CTC向接口提供數據項名稱作為參數，服務接口返回數據項數據的字符串類型。
4)警告數據在PMC控制過程中，底層的設備可能因為各種因素出現意外，在PMC檢測到異常後會產生警告，一方面PMC會自動執行一些操作來恢復異常，另一方面PMC通過通信接口將警告通知CTC。CTC在接收到警告之後，對警告進行分析和記錄，在有必要的情況下，進一步給PMC發送指令處理異常情況。
一般的警告數據包括了一個警告的各方面信息，主要包括了警告的名稱，警告的產生時間，警告的具體錯誤內容以及警告的嚴重程度(警告等級)。前面三個信息主要被CTC用來記錄，而最後一個信息則提示CTC處理過程不同，例如對於高級別的警告可能需要直接停機處理，而對於低級別的警告值需要等待某個數據項的數值達到要求。
在上面的設計中提到，PMC在接收到指令值後需要有一定的時間讓設備進行對應的操作，因而不能立即給出執行結果。這裡可以利用警告的機制將指令執行結果通知給CTC。可以將指令的返回信息設置為最低級別的警告信息。
設計警告數據傳輸接口的時候，CTC不需要向PMC發送任何信息，只需要不斷的查詢警告服務接口捕獲警告信息。警告服務接口的返回值設計為字符串型，字符串中包括了上面提到的幾個警告信息。後面將詳細給出字符串格式。
2、Web服務的服務端與客戶端Web服務中必須存在服務端和客戶端。一般來說，服務端提供具體操作，而客戶端則對服務進行調用。根據上面對數據的分析，可以知道在刻蝕機系統中PMC作為既數據的主要來源又作為對硬體設備直接操作者，因此將Web服務的服務端建立在PMC端；CTC作為上層總體控制軟體，幾乎所有數據都從PMC或TMC處獲得，而其對PMC和TMC的控制也體現在指導後者執行某些操作，因此將Web服務的客戶端建立在CTC端。這與傳統技術路線(基於Socket設計)的設計思路是不同的。
3、服務接口的設計通過上面對通信中使用的數據進行分類，也分析了如何從數據角度設計服務接口。下面將詳細說明服務接口的設計。
1)屬性數據服務接口 String getProperty(String name)；其中客戶端需要提供待查詢的屬性名稱，而在調用該服務後，得到的返回值是屬性名稱對應的屬性值。服務端在接收到服務接口調用後，在存儲結構中查找屬性名稱對應的數據記錄條，將其值轉換為字符串類型返回給服務接口。對於個別情況，例如獲得PMC設備編號屬性，應該得到整型數據，則可以通過字符串分析函數得到(Java中可以使用Integer類的parseIntegere函數)。
2)指令數據服務接口 int sendCommand(String cmd，Stringarguments)；由於Web服務中所有的服務接口必須返回一個值(即不支持無類型返回值void)，因此將服務接口的返回值設計為int型，在一般情況下(網絡狀態正常)返回值應該是1。
客戶端提供的信息包括兩個部分字符串類型的cmd包含指令的基本屬性，例如名稱，編號等；另一部分字符串類型的參數(Arguments)包含了指令的參數，當指令沒有參數的時候arguments的值為空(null)。
3)數據項數據服務接口 String requireData(String name)；
與屬性數據服務類似，客戶端需要提供待查詢數據項的名稱，服務端接收到此名稱後在數據項存儲結構中查找對應項，將對應的數據項數據轉換為字符串型，通過服務接口傳遞給客戶端。
4)警告數據服務接口 String queryAlarm；與其他的服務不同的是，警告數據服務部需要客戶端給出任何輸入參數，服務端在接收了服務調用後，會查找警告記錄將兩次服務調用間的警告信息以字符串的形式反饋給客戶端。
(二)中間文檔設計在Java下設置Web服務需要知道程序的源碼，而受客觀原因的影響，現在無法完全得知CVJ PMC部分的源碼。則需要考慮使用其它的辦法解決這個問題。
考慮將Web服務部分獨立成為一個進程，完成服務端的功能，而邏輯控制部分獨立的存在，兩者之間通過文件進行數據交流。同時為了能夠有統一的文檔結構使用XML文檔。
對於服務的客戶端來說根本沒有影響，也就是說CTC端根本不需要關心PMC是如何提供服務和實現服務的。對於服務端來說將原先同一進程內不同線程間的數據交互變成了同一機器上不同進程間的數據交互，其他工作原理沒有任何改變。
對於XML文檔的處理，可以使用Java提供的JAXP類庫開發。能夠保證代碼的簡單和準確。針對上面分析的四種不同的數據，設計了四個不同的XML文檔分別進行記錄。
(三)設計實現根據上面的設計，在實現中主要包括了兩個部分，第一是對中間XML文檔的讀寫操作，第二是部署服務。
對於XML文檔的讀寫操作，使用了JAXP開發包，使用DOM解析XML文檔的內容。根據四種不同類型的XML文檔數據，編寫和實現了四個XML文檔處理類(類的名稱如下AlarmDealer，CommandDealer，DataDealer，PropertyDealer)。需要特別指出的是，在對指令數據進行處理時使用了自己設計的指令類，因為指令不像其他參數有特定的類型，對於指令來說，除了基本的名稱和編號外還有不定長度的參數數組。為了將對指令的操作封裝起來，設計了指令類，在類中使用一個Object[]類型的數組，對整型參數來說使用Integer類來表示，浮點型參數用Double類表示，布爾型用Boolean類表示，字符串用String類表示。同時指令類也提供了添加參數、獲取參數、獲取名稱等操作，方便後期開發人員的開發工作。
對於服務的部署來說，使用了Sun公司提供的Application Server來進行部署工作，其中只需要對服務的埠和伺服器操作權限進行一些設置。詳細設置參見《Demo使用手冊》。
本發明實施例的效果在於1、準確性Web Services是建立在SOAP協議和HTTP協議之上的，這兩個協議能夠保證數據的正確接收和發送，因此使用Web Services技術來開發通信模塊，在信息傳遞的準確性上是可以得到保證的。
2、實時性Web Services的最大的缺點是其消耗的網絡時間比較長(相對於Socket直接連接產生的時間消耗)，尤其是在首次調用Web Services的時候，需要在服務端啟動一個類似Servlet的程序，因此需要更長的時間。從測試的結果看來，首次連接時間能夠保證在1秒以內，而之後的通信效果則比較好，與套接字(Socket)連接速度相仿。
對於這個通信模塊的應用場合來說這樣的時間消耗是可以接收的，因為CTC對PMC的控制主要是在拓撲結構上的控制，對實時性的要求並不是很高。按照以往的通信設計(原理機CTC與PMC的通信實現)來說只要能夠滿足在毫秒級時間內進行數據反饋，就可以接受。從測試效果來說使用Web Services技術設計通信模塊能夠滿足500ms更新一次數據(即原來通信模塊的設計要求)。
所述套接字(Socket)可以看成在兩個程序進行通訊連接中的一個端點，一個程序將一段信息寫入Socket中，該Socket將這段信息發送給另外一個Socket中，使這段信息能傳送到其他程序中，其公開的參考文獻有(美)W.Richard Stevens，Bill Fenner，AndrewM.Rudoff，UNIX網絡編程 卷I套接字聯網API(英文版第三版)，機械工業出版社，2004-7-13、通用性使用Web Service技術具有很強的通用信。從現在的設計看來是用Web Service提供遠程服務可以在Java語言、VC.NET語言環境下進行開發，若使用Java語言則還可以跨系統平臺進行開發。
另一方面，設計中涉及的文檔儘量使用XML格式，能夠與其他程序進行交互。
作為設計中通信模塊的雙方相互獨立，彼此不需要得到對方是如何實現操作的，在開發的角度來說使得開發進程可以並行處理。同時這樣的開發模式允許客戶使用不同的Web服務客戶端來連接PMC的Web服務。
總體來說使用Web Service方式開發的通信模塊具有較高的通用性。
三、數據格式設計在調用Web Services提供的服務的時候，需要有參數的輸入，同時也有數據的返回，因此數據的格式需要在CTC和PMC間達成一致。同時所有的數據需要在對應的XML文檔中進行記錄，也需要將XML文檔的格式確定下來。
1屬性屬性相關的數據存儲在名稱為Property.xml的文檔中，格式如下PMC
屬性名稱屬性值/屬性名稱
namePMCDEMO/name
systemWindows/system
Date2005-05-26/Date
/PMC
調用獲取屬性服務時需要輸入字符串類型的屬性名稱，同是返回字符串類型的屬性值。
例如String name＝new String(「system」)；String result＝pmc.getProperty(name)；得到的result值為」Windows」。
2指令指令的信息被存儲在名稱為cmd.xml的文檔，格式如下Commands
command
name指令名稱/name
id指令編號/id
Arguments
argument type＝″參數類型″參數值/argument
/Arguments
command
namepu/name
id0/id
Arguments
argument type＝″int″12/argument
argument type＝″float″32.2/argument
/Arguments
/command
/command
/Commands
調用獲取屬性服務時需要輸入字符串類型的指令名稱和字符串類型參數，同時返回整型數來描述操作是否成功。
每一個參數由兩部分構成，參數類型以及參數值。格式為「參數類型參數值」。不同的參數間使用空格分離。
例如String name＝new String(「PinUp」)；String args＝new String(「int10booleantrue」)；int result＝pmc.sendCommand(name，args)；得到的result值應該為1。
3數據PMC採集到的數據存儲在名稱為a.xml的文檔，格式如下dataitem name＝″數據項名稱″id＝″數據項編號″type＝″數據項類型″
value數據值/value
DataItems
dataitem name＝″temperature″id＝″1″type＝″float″
value24.0/value
/dataitem
/dataitem
/PMC調用獲取數據項值服務時需要輸入字符串類型的數據項名稱，同時返回字符串類型的數據項值。
例如String name＝new String(「temprature」)；
String result＝pmc.requireData(name)；double dResult＝Double.parseDouble(result)；得到的result值為」24.0」，由於實現已經知道返回值為float型的數據可以使用相應的處理函數得到數值型的數據項值。
4警告警告的信息被存儲在名稱為alarm.xml的文擋中，格式如下Alarms
alarm name＝″警告名稱″id＝″警告編號″
time警告產生時間/time
level警告級別/level
info警告內容/info
/alarm
alarm name=″test″id＝″2005″
time20050608-14:20:00/time
level0/level
infoJustATest/info
/alarm
/Alarms
調用獲取警告服務時不需要輸入任何參數，單是返回得到的字符串包含了所有警告的信息。這個字符串包括的若干條警告信息，由』\n』來分隔。每一個警告由五部分構成，警告的名稱，警告的編號，警告的產生時間，警告的級別，警告的內容，不同的部分之間使用』，』來分隔。格式為「name；警告的名稱，id警告的編號，time警告的產生時間，level警告的級別，info警告的內容」。
例如String result＝pmc.qureyAlarm；String[]alarms＝result.split(「\n」)；
String[]information＝alarms[1].split(「，」)；得到的result值應該為(五個部分的順序不定)」id2005，nametest，time20050608-14:20:00，level0，infoJustATest」可以利用Java中String類的split函數(VC中也有類似的函數)分隔成一個個小的部分逐個進行處理。
值的注意的是時間的格式並沒有在程序中定死，為了雙方能夠互相理解時間的含義，請實現協商好格式。例如本例中時間表是的格式為YYYYMMDD-HHMMSS。
權利要求
1.一種刻蝕機集群控制器與工藝模塊控制器通訊系統，包括集群控制器、工藝模塊控制器，連接集群控制器與工藝模塊控制器的乙太網，其特徵在於還包括通訊模塊，該通訊模塊通過乙太網將控制信息和狀態信息在集群控制器與工藝模塊控制器之間傳輸。
2.如權利要求1所述的一種刻蝕機集群控制器與工藝模塊控制器通訊系統，其特徵在於所述通訊模塊包括屬性數據服務接口、指令數據服務接口、數據項數據服務接口、警告數據服務接口、中間文檔，其中，—屬性數據服務接口用於集群控制器將要查詢的屬性名稱發送給工藝模塊控制器，集群控制器將屬性名稱對應的值返回給工藝模塊控制器；—指令數據服務接口用於集群控制器在控制過程中向工藝模塊控制器發送操作指令，指導工藝模塊控制器對工藝進行控制；—數據項數據服務接口，由集群控制器提供待查詢數據項的名稱，工藝模塊控制器接收到此名稱後在數據項存儲結構中查找對應項，將對應的數據項數據轉換為字符串型，傳遞給客戶端。—警告數據服務接口，由集群控制器給出任何輸入參數，工藝模塊控制器在接收了服務調用後，查找警告記錄將兩次服務調用間的警告信息以字符串的形式反饋給集群控制器；—中間文檔，用於存放屬性、指令、數據項和警告數據，以實現控制器之間通過文件進行數據交流。
3.如權利要求1所述的一種刻蝕機集群控制器與工藝模塊控制器通訊系統，其特徵在於所述乙太網的Web服務的客戶端建立在CTC端；Web服務的服務端建立在PMC端。
4.如權利要求2所述的一種刻蝕機集群控制器與工藝模塊控制器通訊系統，其特徵在於所述中間文檔使用XML文檔。
5.用於權利要求1至4之一所述的刻蝕機集群控制器與工藝模塊控制器通訊系統的方法，其特徵在於包括1)準備工作步驟；2)網絡測試連接工作步驟；3)具體通信工作步驟即進入正常運行狀態後，集群控制器通過Web伺服器與工藝模塊控制器進行信息和指令的交互。
6.如權利要求5所述的一種刻蝕機集群控制器與工藝模塊控制器通訊系統的方法，其特徵在於所述準備工作步驟包括A)啟動Web伺服器，以提供網絡服務；B)啟動工藝模塊控制器控制程序，對工藝模塊控制器進行必要的預處理；C)在工藝模塊控制器端生成四個XML文檔分別存放屬性、指令、數據項和警告信息。D)啟動集群控制器。
7.如權利要求5所述的一種刻蝕機集群控制器與工藝模塊控制器通訊系統的方法，其特徵在於所述網絡測試連接工作步驟包括a)集群控制器發出服務請求獲取需控制的工藝模塊控制器基本信息；b)Web伺服器收到查詢屬性信息請求後，查找相應XML文檔中的信息，並返回；c)網絡測試連接正常的情況下，建立獨立線程，用於監控警告信息的狀況。
8.如權利要求5所述的一種刻蝕機集群控制器與工藝模塊控制器通訊系統的方法，其特徵在於所述具體通信工作步驟包括集群控制器端的流程I)集群控制器向Web伺服器提出服務請求；II)Web伺服器分析請求，進入相應處理函數；III)處理函數查找相應XML文檔，並對信息進行分析，返回所需信息；IV)Web伺服器返回從處理函數處得到的返回信息，或者錯誤信息；V)集群控制器獲得反饋信息。
9.如權利要求5所述的一種刻蝕機集群控制器與工藝模塊控制器通訊系統的方法，其特徵在於所述具體通信工作步驟包括工藝模塊控制器端的流程α)工藝模塊控制器查找相應XML文檔，更新相應信息並且獲取指令信息；β)解析指令信息；γ)控制工藝模塊完成指令。
10.如權利要求5所述的一種刻蝕機集群控制器與工藝模塊控制器通訊系統的方法，其特徵在於所述XML文檔的讀寫操作，使用DOM解析XML文檔的內容，並根據四種不同類型的XML文檔數據，編寫和實現四個XML文檔處理類。
全文摘要
本發明涉及微電子領域。本發明公開的一種刻蝕機集群控制器與工藝模塊控制器通訊系統及方法，包括集群控制器、工藝模塊控制器，連接集群控制器與工藝模塊控制器的乙太網，還包括通訊模塊，該通訊模塊通過乙太網將控制信息和狀態信息在集群控制器與工藝模塊控制器之間傳輸。方法1)準備工作步驟；2)網絡測試連接工作步驟；3)具體通信工作步驟即進入正常運行狀態後，集群控制器通過Web伺服器與工藝模塊控制器進行信息和指令的交互。
文檔編號H04L12/00GK1937505SQ20061001131
公開日2007年3月28日 申請日期2006年2月9日 優先權日2006年2月9日
發明者徐華, 丁力, 賈培發, 王家廞, 趙雁南 申請人:北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司, 清華大學