二氧化矽-炭黑中空圓柱體的燒結方法和該中空圓柱體的固定裝置的製作方法
2023-06-13 01:53:11
專利名稱：二氧化矽-炭黑中空圓柱體的燒結方法和該中空圓柱體的固定裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種由二氧化矽-炭黑製成的中空圓柱體的燒結方法，其中藉助固定裝置使中空圓柱體豎直定位，並連續輸至加熱區段進行燒結。另外，本發明還涉及豎直定位二氧化矽-炭黑中空圓柱體的裝置，這種裝置具有一個從外部插入中空圓柱體孔內並在長度方向延伸的支加。
光學纖維預成形件和半導體工藝中爐子構件預成形件的生產經常以二氧化矽-炭黑中空圓柱體中間產品來進行。所謂的「炭黑體」存在著機械不穩定性，從而特別在大體積高重量的情況下，就難以操作。此外，用於光學通信工程技術和半導體技術中的炭黑體在純度方面有著最高要求，所以在進一步加工步驟如加熱處理或氣體處理中，由於所需助劑的材料選擇有限，使操作變得更加困難。
在處理室，例如在燒結爐中處理這種炭黑體時，存在的問題是這種機械上只能承受很小負荷的炭黑體的固定問題。在US-PS4,251,251公開的方法中，固定裝置由鉑絲製成的弓形夾構成，中空圓柱形的炭黑體掛在該弓形夾上。中空圓柱體上部有兩個水平延伸的通孔，鉑絲穿過該通孔從而固定在炭黑體上。連續將炭黑體輸至立式燒結爐中燒結。此時，炭黑體在軟化區中軟化。軟化區從炭黑體的下端開始。隨著炭黑體在燒結爐中下降，炭黑體中軟化區連續向上移動。同時，已經燒結的炭黑體部分懸掛在軟化區的重量逐漸增加。基於軟化區粘度小，炭黑體在下降時是因其自身重量而變長。所以，這種方法尤其不適於燒結大體積高重量的炭黑體。
由DE-A12906070已知另一種在收縮和纖維拉制期間用於豎立固定二氧化矽-炭黑中空圓柱體的裝置，其中在毛坯的孔中插入約50mm長的石英玻璃管件，該管件的外徑與毛坯內徑大體相配，而且在其規定插入毛坯中的那端上有丘狀加厚部。旋轉丘狀加厚部約90°，管件就可在孔中固定。在管件伸出孔外的這端上安有另一根石英玻璃管，該管上連有一個使毛坯在爐子中下降的驅動器。
由US-PS4,362,545已知另一種類型的固定裝置，其中有一根基本呈套筒狀石英玻璃把柄嵌入炭黑體的孔中。在該把柄與炭黑體相接觸的端部設有環繞式環形加厚件，它起著後齒紋(Hinterzahnung)的作用，並防止把柄從孔中滑脫。把柄伸出孔外的端部呈錐形，經由它可將懸掛炭黑體用的裝置固定在把柄上。此把柄應該在炭黑體的製造過程中嵌入。為此，要將套筒形把柄推到可分式型心上。而且澱積在型心上的炭黑粒子應用時覆蓋一端已推入的把柄。
例如在燒結爐中進行燒結，二氧化矽-炭黑中空圓柱體可懸掛在已知的固定裝置上。安裝這種裝置非常昂貴並易於磨損。已知的固定裝置僅適用於小型炭黑體。對於大體積高重量炭黑體不滿足中空圓柱體壁的機械穩定性，所以存在固定裝置從炭黑體中脫落的危險。
本發明的目的是，提出一種適合於燒結大體積二氧化矽-炭黑中空圓柱體的方法，同時提供固定這種中空圓柱體的裝置，這種裝置裝卸簡便並保證操作安全穩定。
關於方法，根據本發明，本說明開頭所提及方法的目的是這樣實現的在從時間上劃分的燒結中空圓柱體上端部分的燒結階段中，主要或完全使中空圓柱體豎立，在燒結中空圓柱體下端部分的另一燒結階段，主要或完全將中空圓柱體懸掛起來。
在室溫下，待燒結中空體(以下也可稱作炭黑體)的尺寸基本穩定。也就是說，它能垂直豎立或垂直懸掛，不致在其自重下產生塑性變形。高溫時，二氧化矽-炭黑在軟化區軟化。它的粘度減小，所以在對軟化區有影響的力作用下炭黑體會變形。除重力外，體積收縮所致的應變力對發黑體也產生影響。炭黑體的比重僅約固態石英玻璃的30％。因為連續進行燒結，所以軟化區從炭黑體的一端移到相對的一端。鑑於變形，懸掛固定炭黑體的燒結階段特別關鍵，在這一個燒結階段軟化區位於上端部分，所以炭黑體下端的重量使軟化區變長。炭黑體也能被垂直豎立輸至加熱區。在軟化區位於炭黑體下端部分的燒結階段則反過來，炭黑體上端重量壓在軟化區上，由於會發生變形，這個燒結階段就特別關鍵。因此，每個階段的變形與炭黑體在加熱區的輸送方向無關。
本發明的第一種可選擇方法是，炭黑體在一個燒結階段以豎立方式輸至加熱區，在另一燒結階段以懸掛方式輸送。以此方法可實現在豎立的炭黑體開始變形或變形明顯增大的燒結階段之前，炭黑體可由豎立固定轉為懸掛固定，或者反之，在懸掛的炭黑體開始變形或變形明顯增大的燒結階段之前，炭黑體由懸掛固定轉為豎立固定。這樣可使影響軟化區的壓力或拉力儘可能保持很小。所以能在炭黑體長度方向上連續繞結而沒有嚴重變形。豎立固定轉換為懸掛固定，或者反之，懸掛固定轉為豎立固定能連續進行，所以在轉換期間兩種固定方式都有效。
本發明的方法另一種可選擇的實施方式是，將炭黑體豎立在支座上，同時又懸掛在支架上，輸至加熱區，支座與炭黑體下端接觸，支架與其上端接觸。對於這種方法，由於燒結期間炭黑體長度收縮，需要互相重新調整支座和/或支架，以與長度收縮相適應，也就是說相互移動。通過適當移動調節，能使炭黑體在軟化其上端的燒結階段，主要是豎立固定，反之，在軟化其下端的燒結階段主要是懸掛固定。
燒結階段，這個術語應難理解為整個燒結過程中的一個以時間劃分的階段，在這階段中，對每種固定方式(豎立或懸掛)，炭黑體自重產生的變形都保持在許可極限內。因為變形是逐漸開始，並隨溫度升高和燒結時間延續而嚴重，所以不能精確確定各燒結階段的開始和結束。許可的變形，與變形的方式和被燒結炭黑體的用途有關。例如炭黑體豎立固定引起的壓縮應變對某種用途有害，同樣懸掛固定引起的伸長也一樣。
本發明的方法使燒結尤其自重所致變形令人擔憂的、大體積的笨重炭黑體成為可能。
炭黑體可從下端或上端開始，送入加熱區。在最先提到的方案中，炭黑體在第一個燒結階段以懸掛方式進行燒結，在第二個燒結階段以豎立方式進行燒結。但優選的是最後提到的方案，即從炭黑體上端開始輸入加熱區。
這個方案的主要優點在於，從第一個燒結階段到第二個燒結階段，可安排得，僅當炭黑體上端已經燒結並已離開加熱區時，炭黑體才從懸掛固定轉為主要或完全支承固定。因此，支架與已凝固的炭黑體部分接觸。所以，支架斷掉的危險性很小。這種方法特別可靠。
已經證明特別可靠的方法是，掛具與待燒結的中空圓柱體上端接觸，中空圓柱體下端支在支座上，而且在掛具下面設有一個相對支座位置固定安裝的支承件，在第一個燒結階段中，由於中空圓柱體長度收縮，掛具移向支承件，第二燒結階段開始時，掛具支在支承件上。在燒結期間，由於炭黑體長度收縮，這種方法可使豎立固定特別靈巧地過渡為懸掛固定。眾所周知，燒結時炭黑體長度縮小。此外，長度收縮與矽酸的比重有關，而且長度收縮至多可達原始長度的30％。由於使用上述固定裝置，故能使最初垂直豎立、在長度方向收縮的炭黑體自動懸掛起來，此時固定在它上面的掛具支在支承件上，然後隨著進一步長度收縮，炭黑體的下端離開支座。
優選的方法是作為掛具的固定環固定在中空圓柱體內孔裡面，在中空圓柱體的內孔中有支在支座上的支承件，其上端面向掛具，在第二燒結階段，固定環支承在其上。使用固定環可保證炭黑體內孔保持向外通暢，所以它能通氣。支承件可製成管件或實心圓柱體。支承件也可從上到下呈圓錐形或逐級擴展。由於炭黑體長度收縮，固定環向支承件上端移動，在第二個燒結階段開始時，固定環支在支承件上，隨著進一步長度收縮，炭黑體下端從支座上抬起，所以炭黑體就自動懸掛在固定環上。有利的是，支承件由石墨製成，並具有光滑的外表面，從而收縮的炭黑體套在支承件，並且已燒結炭黑體的內徑由支承件的外徑所決定。
從第一燒結階段轉為第二個燒結階段的時刻，首先取決於掛具和支承件上端之間的間距。已經證實有利的是，在燒結中空圓柱體時，算出可預料的長度收縮，然後調整掛具和支承件上端的間距，使之為所算長度收縮值的0.3-0.8倍中的某一值。這樣可保證僅當炭黑體上端離開加熱區並已凝結時，它才自動離開支座。實現這一點的前提條件是，從中空圓柱體的長度方向來看，加熱區尺寸小於炭黑體長度，從而產生與所選擇的固定件和支承件間距相一致的長度收縮。
關於裝置，以已知固定裝置為出發點提出的上述目的，按本發明是這樣來實現支架的一端與帶有支承面的支座聯接，支座用作垂直定位的中空圓柱體的支柱。因此它具有支承面，中空圓柱體下立面緊貼在其上。支座基本上和圓柱形支承聯接。支架豎立在中空圓柱體孔中。支承的外形尺寸與中空圓柱體內徑相匹配，這有助於中空圓柱體在支座上穩定堅固。因此製作的支架長度應夠用，並短於待固定的中空圓柱體。運輸或固定中空圓柱體所需力在此情況下作用在支座上。支承面以水平取向為有利。
業已證明，特別可靠的裝置是，支架長度比待固定中空圓柱體長。支架兩邊伸出中空圓柱體孔外。在這種情況下，運輸和固定中空圓柱體所需的力能作用在與支座相對、伸出中空圓柱體孔外的支架部分上。
已經證明，所述支架至少在其部分長度上設有透氣的套管是特別有利的。使用這種等內徑不等外徑的套管，在支架直徑相同時，能使位於中空圓柱體中心孔中的固定裝置與內徑不同的中空圓柱體或製成的石英玻璃管相匹配。有利的是，套管由對矽酸中空圓柱體沒有汙染的材料製成。它能對支架產生的汙染起屏障作用。使用這種套管，還能放寬支架原料的種類。因為在固定時套管不必承擔支承功能，所以它也能由強度相對低的原料製成。相反，用於支架的原料要選擇強度最好的。在使中空圓柱體收縮在套管上的方法中，套管外徑決定收縮管內徑。因此，套管的透氣性能確保中空圓柱體收縮產生的氣體或在矽酸炭黑體孔隙中存在的氣體逸出，更確切地說，當收縮的中空圓柱體緊貼在套管上時，氣體就可逸出。套管可為一個整件或由多個可相互拆卸方式聯接的部件構成。
套管的透氣性可通過選擇多孔材料來保證。套管的敞孔孔隙率優選10％-20％(體積)範圍時可獲得特別好的性能。
已經證明，石墨是特別適合作套管的材料，市售有高純度石墨。其孔隙率也可按需要調整。由於與石英玻璃相比，石墨具有高的熱膨脹係數，在冷卻時石墨套管比石英玻璃收縮得更劇烈，因此易於把它與套管分離。鑑此，套管側表面呈漸細的圓錐形結構的實施方式特別適合。這樣便於在玻璃化後取出石英玻璃管。
還有一種已經證明可靠的裝置是，套管側表面由下而上分段變細。因此，套管每段之間有平臺。而且，平臺之間的每段呈錐形擴展。當炭黑體收縮到套管上時，平臺可提供懸掛點，軟化的石英玻璃環繞平臺，冷卻後固化了的石英玻璃附掛在它上面。燒結從炭黑體上端開始並逐漸向下推進時，就減輕了炭黑體下部重量所致的荷負。為了便於拆卸套管，它優選由多個可以相互拆卸方式連接的部件構成。
已經證明有利的是，支架外壁和套管內壁間的間隙寬度範圍為0.3-1mm，優選小於0.8。該間隙能保證矽酸中空圓柱體收縮時產生和逸出的氣體能夠排出，還能防止收縮後的石英玻璃管中產生氣孔。為了不影響支架的支承功能和固定功能，間隙寬度以選擇儘可能小為有利。也可將該間隙抽成真空，或者以惰性洗滌氣體洗淨該間隙。
一種優選的固定裝置實施方式是，支架由碳纖維增強的石墨(CFC)製成。這種材料相對二氧化矽一炭黑和石英玻璃來講，具有高強度、熱穩定性及很大程度上的化學惰性。CFC的高強度可使支架保持小截面。但是，基於其由纖維結構所致粗糙的表面，CFC易粘在玻璃上，所以從收縮在支架上的玻璃管中取出支架會成問題。使用本發明的套管，可避免收縮玻璃管粘附。證明特別有利的是，石墨套管的熱膨脹能很好地與CFC支架相適應。尤其在固定裝置的一個實施方式中，支架基本上承擔支承功能，則以實心圓柱體結構為有利。
已經證明有利的是，在支座的支承面中間開孔，支架一端在該孔中與它嚙合。它可保證待固定中空圓柱體在支座上簡單地對正中心。特別是為便於簡單地固定和取出中空圓柱體，在孔中切削內螺紋以及與孔嚙合的支承端切削外螺紋是有利的。
本發明的實施例用附圖表示並在下面詳細解釋。附圖中以示意圖具體示出
圖1本發明的裝置，其上固定有炭黑體。
圖2本發明裝置的另一種實施方式，其上固定有炭黑體。
圖3本發明裝置的另一種實施方式，其上固定有炭黑體。
圖4本發明裝置的另一種實施方式，其上固定有炭黑體並處於燒結爐第一個燒結階段開始時，圖5圖4中所示的固定裝置，其上固定有炭黑體並處於後一個燒結階段。
圖1所示的固定裝置裝有杆形CFC支承棒1，石墨套管2及石墨支座3。支座3在處理室，例如爐子(沒有描述)中支承所有配置。支座3具有水平取向的支承面4，具有底面10的中空圓柱形二氧化矽-炭黑體支在它上面。支承面4中間開有帶內螺紋的孔6，支承棒1嵌於該孔中。朝向支座3的支承棒1端部帶有切削外螺紋的榫頭9。支承棒1穿過炭黑體5的內孔7。支承棒1伸出炭黑體5上端12部分的用來操作固定裝置。所以在支座3上的炭黑體5重量由支承棒1支承。
CFC支承棒1的拉伸強度可使支承棒的直徑儘可能相對小。在該實施例中，其直徑為30mm。套管2內壁和支承棒1之間的間隙大約為0.8mm。套管2外徑大約40mm，長度比支承棒1短。其孔隙率大約是15％。純淨石墨套管能阻止支承棒1的雜質進入炭黑體5。支座3上的炭黑體5內徑大約是60mm，重量大約是100kg。它比支承棒1短而比套管2長。炭黑體可藉助所述的固定裝置來輸送，並保持在處理室中。為此，例如可作一種工具(圖中示出)夾住支承棒1伸出炭黑體5的部分。
下面舉例描述使用本發明裝置時炭黑體5的收縮方法。為此，將炭黑體裝在固定裝置上，送入爐中，並藉助支座3固定在爐中。在加熱期間，炭黑體玻璃化並因此收縮到石墨套管上。在炭黑體5和套管2的接觸面上產生或存在的氣體通過套管2的孔隙逸至間隙8，然後從此逸出。這樣，可避免在形成的石英玻璃管中產生氣泡。因為炭黑體5收縮到套管上，所以，套管外徑決定了所得石英玻璃管的內徑，由於石英玻璃和石墨之間膨脹係數差異大，套管2在冷卻時鬆開並能方便地移去。
下面圖2至圖5中使用和圖1相同的標號，所以固定裝置相同或等效的構件或部件用圖1中相應標號來說明。
圖2所示裝置，同樣設有碳纖維強化的杆形碳支承棒1，它帶有榫頭9，藉助榫頭9可旋入支座3。支座3帶有水平取向的平支承面4，中空圓柱形炭黑體的下立面10支承在其上。套管2安裝在炭黑體5的內孔7中，並圍在支承棒1高度部分上。套管2和支承棒1之間有大約0.5mm的間隙8。套管2外徑從上到下大約以1mm級差逐級增大。通過分級產生的平臺在圖2中用標識11a，11b表示。在圖2所示的實施例中有兩個這種平臺11a，11b。
炭黑體5以其上端12開始連續輸入燒結爐(圖2中未示出)。在燒結爐中收縮的炭黑體5從它上埠開始圍在套管2外壁上。同樣也圍在平臺11a或11b上。冷卻以後，也就是說在離開加熱區時，部分已玻璃化並凝固的炭黑體附掛在平臺11a或11b上。它首先支承在平臺11a上，然後在平臺11b上，並因此減少它所承受的下端仍熔化部分重量所致負荷。設有平臺11a、11b的套管2，可作為防止收縮差的炭黑體5滑脫的安全裝置。根據平臺的間距和數目而定，在支承面4收縮時，炭黑體5因長度收縮而從支座3上抬起並掛在平臺11a，11b上。為了保證炭黑體收縮部分儘可能早冷卻，並附掛在平臺11a，11b上，從炭黑體5的縱軸方向看，燒結爐中加熱區長度應相當短，有利的是比套管2上緣14和第一個平臺11a之間的距離短。
在圖2所示實施例中，套管2為一整體件。在一個可選擇的實施方式中，它由三部分彼此交錯或重疊構成。
在圖3所示本發明裝置的實施例中，同圖1所示裝置主要不同之處在於附加固定環15，它靠螺紋擰固在炭黑體5內孔的上部12。該固定環15的內徑與套管2的內徑大致相等。在炭黑體5收縮時，固定環15的作用原理在下面用圖4和5所示的固定裝置實施例來詳細說明。
圖4中示出的是，緊靠工藝步驟中第一燒結階段之前，用本發明裝置固定的炭黑體，圖5示出的是後一燒結階段中已部分燒結的同一炭黑體。
在此實施例中，設有由兩部分構成、用作套管的石墨管，其下部16的外徑是50mm，上部17直徑為48mm，上部17以拆卸方式裝接在下部16上。因此，從下部16過度到上部17之處，形成1mm深的平臺11。石墨固定環15靠螺紋擰固在高於套管上部17的邊緣14大約20cm的炭黑體內壁上。
固定在固定裝置上的炭黑體5沿著箭頭所示方向18輸入燒結爐，加熱元件19表示燒結爐的加熱區。加熱區19的高度從縱軸13方向看，僅僅是炭黑體5全長的極小部分。在圖4所示的工序中炭黑體5豎立在支座3的支承面4上。炭黑體5由其上端12開始，在加熱區加熱。軟化的炭黑體5圍在套管的兩部分16、17的外側面上。在圖5中，已經玻璃化的炭黑體部分用標號20表示。
炭黑體5因燒結而產生直徑和長度上的收縮。直徑收縮導致正在玻璃化的炭黑體緊緊圍住固定環15，由於長度收縮，固定環15向套管上部17的邊緣14移動。一旦固定環支在套管上部17的邊緣14上，炭黑體進一步長度收縮導致其下端10從支承面4上抬起。在圖5所示的燒結階段中，炭黑體5或其已經玻璃化部分20完全懸掛固定在固定環15上。在此燒結階段，上端12已離開加熱區19，並且一旦冷卻就不再會產生形。
炭黑體5進一步收縮時，在加熱區19軟化的玻璃料也圍在套管平臺11上。冷卻時，炭黑體5已玻璃化的部分20附掛在套管平臺11上，並支承在其上。由於這種附持，套管平臺11補充炭黑體5的懸掛固定，或延遲向下移動。所以，套管平臺11可作為防止收縮著的炭黑體5滑脫的安全裝置。本發明的方法保證，在炭黑體上端12軟化的燒結階段，炭黑體5在支座3上豎直固定。再者，在炭黑體5下端10軟化的燒結階段，炭黑體5懸掛固定在固定環15和/或套管平臺11上。另外，在燒結時，隨著炭黑體長度收縮，炭黑體5由豎立固定自動轉為懸掛固定。
本發明裝置的實用性並不局限於固定二氧化矽、炭黑中空圓柱體。它也適於固定具有其它化學組成的中空圓柱體，以及如上所述，也適於校準玻璃管的內徑。
權利要求
1.二氧化矽-炭黑空心圓柱體的燒結方法，其中中空圓柱體藉助於固定裝置垂直定位，並且被連續輸至加熱段進行燒結，其特徵在於，在燒結中空圓柱體上端(12)的燒結階段，中空圓柱體(5)主要或完全豎立固定，在燒結中空圓柱體下端(10)的燒結階段，主要或完全懸掛固定。
2.權利要求1所述的方法，其特徵在於，中空圓柱體(5)從它前上端(12)開始輸送入加熱區段(19)。
3.權利要求1或2所述的方法，其特徵在於，掛具(15)與待燒結中空圓柱體(5)的上端(12)接觸；中空圓柱體(5)的下端(10)支承在支座(3)上；在掛具(15)下面，相對支座(3)位置固定裝有支承件(2)，在燒結期間由於中空圓柱體(5)的長度收縮掛具(15)移向支承件(2)並在第二個燒結階段開始時支在它上面。
4.權利要求3所述的方法，其特徵在於，將固定環(15)作為掛具固定在中空圓柱體(5)的內孔(7)裡面，內孔(7)裡面插有一個支撐於支座(3)上的支承件(2)，以及支承件(2)面向掛具的上端(14)，在第二個燒結階段固定環(15)落在它上面。
5.權利要求3或4所述的方法，其特徵在於，推判中空圓柱體(5)在燒結時可預料的長度收縮，按推判的長度收縮的0.3至0.8倍中的數值調整掛具(15)和支承件(2)之間的距離。
6.二氧化矽-炭黑中空圓柱體垂直定位用的固定裝置，其帶有從外裝入並與中空圓柱體孔配合在長度方向延伸的支架，其特徵在於，支架(1)的尾端(9)與規定有支承面的支座(3)聯接。
7.權利要求6所述的裝置，其特徵在於，支座(3)具有垂直於支架(1)縱軸(13)取向的支承面(4)。
8.權利要求6或7所述的裝置，其特徵在於，支架(1)的長度大於待固定的中空圓柱體(5)長度。
9.權利要求6至8中任一項所述的裝置，其特徵在於，至少在支架(1)的部分長度上圍有透氣性套管(2)。
10.權利要求9所述的裝置，其特徵在於，套管(2)由石墨構成。
11.權利要求9或10所述的裝置，其特徵在於，套管(2)的敞孔孔隙率優選在10-20％(體積)範圍之內。
12.權利要求9至11中任何一項所述的裝置，其特徵在於，套管(2)的側表面是向上逐漸變細的圓錐形。
13.權利要求9至11中任何一項所述的裝置，其特徵在於，套管(2、16、17)逐級向上逐漸變細。
14.權利要求9至13中任何一項所述的裝置，其特徵在於，支架(1)的外壁和套管(2)的內壁之間設有間隙(8)，該間隙的寬度在0.3-1mm範圍之內，優選小於0.8mm。
15.權利要求6至14中的任何一項或多項所述的裝置，其特徵在於，支架(1)由碳纖維增強的石墨(CFC)構成。
16.權利要求6至15中任何一項或多項所述的裝置，其特徵在於，支承面(4)中央設有一個孔，支架(1)的一個端部(9)嵌接於該孔中。
17.權利要求6至16中任何一項或多項所述的裝置，其特徵在於，具有能支在支座(3)上並沿著支架(1)的縱軸向上延伸的支承件(2)，從支架(1)的縱軸看，在支承件(2)的上方有固定件(15)，固定在待固定中空圓柱體上。
18.權利要求17和權利要求6或9-14中任何一項所述的裝置，其特徵在於，裝有作為與待固定的中空圓柱體(5)內孔(7)的壁相接的固定環(15)的固定件及作為支承件的套管(2)，固定環(15)的內徑小於套管(2)的外徑。
全文摘要
已知的二氧化矽-炭黑中空圓柱體燒結方法藉助於固定裝置垂直固定中空圓柱體，並將之連續輸到加熱區進行燒結，為從這種已知方法出發，提出適合於大體積二氧化矽-炭黑中空圓柱體的燒結方法，本發明建議在燒結中空圓柱體(5)上端(12)的燒結階段，使中空圓柱體(5)主要或完全豎立固定，在燒結中空圓柱體下端(10)的燒結階段，主要或完全懸掛固定。為了提供對這種中空圓柱體裝卸簡便且操作穩定的固定裝置，設置了固定中空圓柱體用的支架(1)，它的一端(9)與設有支承面的支座(3)聯接。
文檔編號H01L21/02GK1121051SQ95102589
公開日1996年4月24日 申請日期1995年9月15日 優先權日1994年9月15日
發明者K·盧佩特, U·克裡斯蒂森, M·施納曼, K·迪特馬, A·施坦科爾 申請人:赫羅伊斯石英玻璃有限公司