用於在基板上指定修復區域的方法

2023-06-13 00:56:11 2

專利名稱：用於在基板上指定修復區域的方法
技術領域：
本發明涉及一種用於指定修復區域的方法，以便在^上的密封圖案 有缺陷時，修復該缺陷區域。
背景技術：
塗膠機是將密封膠以預定圖案施加到^上，從而在製造各類平板顯 示器(FPDs)時，粘結或密封基板的裝置。
這種塗膠機包括託臺、頭單元、頭支承件和X軸驅動單元。在該託 臺上安裝有基板。該頭單元上安裝有用於排出密封膠的噴嘴。該頭單元 支承在頭支承件上。該X軸驅動單元設置在頭單元和頭支承件之間，並 沿頭支承件的外推線(extrapolated line)所在的方向(X軸方向)移動 該頭單元。該塗膠機設置有多個頭單元，它們同時在大面積的基板上形 成多個密封圖案，以提高生產率。
該塗膠M基長上形成密封圖案，同時調節噴嘴和M之間的間隙。 為此，該頭單元設置有用於測量噴嘴和^41之間的間隙數據的雷射位移 傳感器，和用於沿Z軸方向(垂直方向)移動噴嘴和該雷射位移傳感器 的Z軸驅動單元。
該雷射位移傳感器包括發射雷射的發射部分和與該發射部分間隔預 定距離並接收雷射的接收部分。該雷射位移傳感器將電信號輸出到控制 單元，以測量Ul和噴嘴之間的間隙數據，該電信號相應於從發射部分 發出、並在1^L上反射的大量光的成像位置而產生。
這種塗膠^^基tl上形成預定的密封圖案，同時改變M和噴嘴之間 的相對位置。也就是，在將頭單元安裝到頭支承件上的狀態下，該頭單 元沿X軸方向和Y軸方向水平移動，並將密封膠排出到基仗上。在將密 封股施加到1j^上的同時，雷射位移傳感器測量噴嘴和^L之間的間隙。
而且，基於由雷射位移傳感器測量的間隙數據，安裝到頭單元上的噴嘴沿z軸方向移動，並控制噴嘴和1^之間的間隙，以使該間隙恆定。
在此狀態下，將密封膠從噴嘴排出到基板上，從而在基板上形成密封圖案。
當完成密封圖案的形成時，施加有密封膠的m經歷檢驗過程。在該 過程中，檢驗^1以確定密封圖案的厚度是否在預定範圍內，並且密封 圖案是否是不連續的。為了確定n上的密封圖案的缺陷區域，利用激
光傳感器掃描^L的整個表面，以測量施加密封膠的截面積，或者用照 相機拍攝密封圖案，以確定密封圖案是否是不連續的。
這樣，通常為了確定密封圖案是否有缺陷，就必須將具有密封圖案的 基板運送到檢驗過程。而且，必須利用輔助檢^i殳備來確定密封圖案是 否是不連續的，或者確定密封圖案的厚度是否在預定範圍內，以致檢驗 密封圖案的過程較為複雜且無法快速進行。
而且，當在密封圖案的檯r驗過程中確定密封圖案有缺陷時，必須利用 塗膠機再次將具有缺陷密封圖案的^41運送到輔助施加過程，以便在基 板上執行修復操作.於是 ，不可能快速修復施加有缺陷的密封圖案的基 板。
因此，現有技術的問題在於，檢驗或修復有缺陷的密封圖案的過程是 複雜的，並需要較長時間，以致難於大批量生產產品，並且增加了製造 成本0

發明內容
因此，考慮到出現在現有技術中的問題，已經作出本發明，並且本發 明的目的是，提供一種利用噴嘴和M之間的間隙數據來指定^J板的修 復區域的方法，該間隙數據在密封膠施加過程期間測量到，以指定具有 缺陷密封圖案的修復區域，從而能夠快速指定修復區域。
為了實現上述目的，本發明提供了一種用於在基tl上指定修復區域的 方法，包括第一步驟將密封膠施加到基昧上，同時測量噴嘴和^L之 間的間隙數據，笫二步驟確定在第一步驟中測量到的間隙數據是否偏 離基準範圍，及第三步驟將測量到的間隙數據偏離基準範圍的區域指 定為修復區域。在第三步驟中，當測量到的間隙數據偏離基準範圍的區域包括多個區 域，且各區域之間的間隔為預定間隔或更小時，將這多個區域指定為一 個修復區域。
在第三步驟中，當偏離基準範圍預定間隔的間隙數據形成的波動波形 為預設次數或更少時，確定該波動由噪音導致，並且間隙數據並不偏離 基準範圍，從而不將該間隙數據所在的區域指定為修復區域。
在第三步驟中，當將基板和噴嘴之間的間隙數據開始偏離基準範圍的 位置指定為區域的起始位置，將該間隙數據再次返回基準範圍的位置指 定為區域的終止位置，將以與該起始位置隔開預定間隔的方式位於起始 位置之前的位置指定為排出起始位置，並將以與該終止位置隔開預定間 隔的方式位於終止位置之後的位置指定為排出終止位置時，將M始位 置到終止位置的區域指定為修復區域，從排出起始位置到終止位置的區 域指定為修復區域，M始位置到排出終止位置的區域指定為修復區域， 或者從排出起始位置到排出終止位置的區域指定為修復區域。


從下面結合附圖的詳細描述中，將更清楚地理解本發明的上述和其它
目的、特徵和優點，其中
圖1是示出了根據本發明所述的塗膠機的立體圖2是示出了圖l所示塗膠機的頭單元的立體圖3是示出了噴嘴和呈波浪形式的1^之間的間隙數據的圖表，該間 隙數據由圖1所示塗膠機的雷射位移傳感器測量；
圖4是示出了141上的修復區域的指定的圖表；及
圖5是連續示出了用於指^i^的修復區域的方法的流程圖.
具體實施例方式
下文中，將參照附圖描述才艮據本發明的優選實施例所述的一種用於指 定修復區域的方法。
圖1是示出了根據本發明所述的塗膠機的立體圖，並且圖2是示出了圖1所示塗膠機的頭單元的立體圖。
如圖1中所示，根據本發明所述的塗膠機包括^l框架10、託臺30、 一對線性導引件40、頭支承件50、多個頭單元60、 X軸驅動單元70和 控制單元(未示出)。託臺30固定到基礎框架10上，並且基板20設置 在託臺30上。線性導引件40沿Y軸方向安^託臺30的兩側上。將該 頭支承件50安裝成由這對線性導引件40支承，並沿X軸方向延伸。多 個頭單元60安裝到頭支承件50上。除了沿X軸方向水平移動頭單元60 之外，每個X軸驅動單元70還都起到將相關的頭單元60安裝到頭支承 件50上的作用。控制單元對頭單元60和X軸驅動單元70的^Mt進行控 制。
第一驅動裝置(未示出)可以設置在基礎框架10上，以便沿基礎框 架10的Y軸方向移動託臺30，並且第二驅動單元59可以設置在頭支承 件50上，以便沿線性導引件40移動該頭支承件50,在基板20具有較大 面積的情況下，可安裝多個頭支承件50，以提高密封圖案形成過程的效 率。
如圖2中所示，每個頭單元60都包括填充有密封膠的注射器61，與 該注射器61連通並排出密封膠的噴嘴62，放置在噴嘴62附近、並測量 噴嘴62和M 20之間的間隙數據的雷射位移傳感器63，沿Y軸方向移 動噴嘴62和雷射位移傳感器63的Y軸驅動單元64，及沿Z軸方向移動 噴嘴62和雷射位移傳感器63的Z軸驅動單元65。
該雷射位移傳感器63包括發射雷射的發射部分631,和與該發射部 分631間隔預定距離、並接il^^L20反射的雷射的接收部分632。該 雷射位移傳感器63將電信號輸出到控制單元，以測量基敗20和噴嘴62 之間的間隙數據，該電信號相應於M射部分631發射、並在基板20上 反射的大量光的成像位置而產生。
而且，可在每個頭單元60上安裝截面積傳感器66，以測量施加到基 板20上的密封圖案P的截面積。截面積傳感器66將雷射連續發射到基 板20,以掃描密封圖案P，從而測量密封圖案P的截面積。由截面積傳 感器66測量的密封圖案P的截面積數據用於確定密封圖案P是否有缺 陷。下文中，在如上構造的根據本發明所述的塗膠機中，當施加到基&上
的密封圖案有缺陷時，將參照圖3至5描述用於指定用於修復該基敗的 修復區域的方法。
圖3是示出了噴嘴和呈波浪形的M之間的間隙數據的圖表，該間隙 數據由根據本發明所述的塗膠機的雷射位移傳感器測量，圖4是示出了 根據本發明所述的塗膠機中的基板上指定修復區域的圖表，並且圖5是 連續示出了用於在M的密封圖案上指定修復區域的方法的流程圖。
首先，在基板20上形成密封圖案P的過程中，X軸驅動單元70沿X 軸方向水平移動每個頭單元60。隨著頭支承件50沿Y軸方向移動，每 個頭單元60都被水平移動，並將密封膠施加到^！ 20上。同時，在步 驟Sll中，雷射位移傳感器63測量噴嘴62和基仗20之間的間隙數據。 而且，在控制單元基於由雷射位移傳感器63測量的基tl 20和噴嘴62之 間的間隙數據，來控制噴嘴62和基板20之間的間隙的同時，在J4120 上形成密封圖案P。
如圖3中所示，當每個頭單元60都沿X軸方向和Y軸方向移動，從 而將密封膠施加到基敗20上時，雷射位移傳感器63測量到的間隙數據 沿密封股ife加的行進方向上畫出波形。在步驟S12中，將測量到的間隙 數據與預設基準範圍相比較，並確;^4SL 20和噴嘴62之間的間隙數據 是否在基準範圍之內。
此處，當未將密封膠準確地施加到基板20上，以緻密封圖案P是不 連續的，或者所施加的密封膠的厚度未達到基準值時，可根據由雷射位 移傳感器63測量的基板20和噴嘴62之間的間隙數據，通過試驗獲得基 準範圍R。也就是，隨著基板20和噴嘴62之間的間隙數據改變，分析 密封圖案的形狀變化。當密封圖案有缺陷時，測量基板20和噴嘴62之 間的間隙，從而確定基準範圍R。
而且，如圖4中所示，在步驟S13中，將J^L20和噴嘴62之間的間 隙不在基準範圍R內的區域指定為J4120的待修復的區域，即修復區域 S。假設將雷射位移傳感器63測量到的間隙數據開始偏離基準值R的位 置指定為該區域的起始位置Pi，並將偏離基準值R的測量到的間隙數據 返回基準值R的位置指定為終止位置Pf，則可將M始位置Pi到終止位置Pf的區域設定為修復區域S。該修復區域S可以通過計算起始位置Pi 的坐標(Xi， Yi)和終止位置Pf的坐標(Xf, Yf)的過程來設置。
同時，當指定了修復區域S後，執行用於將密封膠重新^到相關 的修復區域S的修復過程。也就是，當每個頭單元60都沿X軸方向和Y 軸方向水平移動，以使噴嘴62達到修復區域的起始位置Pi時，噴嘴62 將密封膠排出並施加到修復區域S。隨後，當密封膠施加噴嘴62到達修 復區域S的終止位置Pf時，完成密封膠的排出。
在噴嘴62 —到達修復區域S的起始位置Pi就排出密封膠的情況下， 由於每個頭單元60的移動速度和通過噴嘴62排出密封膠的il^之間存 在差異，因此無法立即將密封膠施加到修復區域S的起始位置Pi，而在 經it^始位置Pi之後可以施加密封膠。於是，優選地，將噴嘴62與起始 位置Pi間隔預定距離的位置處指定為排出起始位置，並且當噴嘴到達該 排出起始位置時就排出密封膠。在此情況下，該排出起始位置可以沿噴 嘴62的移動方向位於修復區域S的起始位置Pi之前。然而，如果需要 的話，該排出起始位置也可以位於起始位置Pi之後。
同時，在噴嘴62 —到達修復區域S的終止位置Pf就完成密封膠的排 出的情況下，由於每個頭單元60的移動速度和通過噴嘴62排出密封膠 的速度之間存在差異，因此在修復區域S的終止位置Pf處可能不立刻完 成密封膠的排出，並且密封膠的排出可以在通過終止位置Pf之後完成。 因此，優選地，將噴嘴62與終止位置Pf間隔預定距離的位置處指定為 排出終止位置，並且當噴嘴62到達該排出終止位置時，完成密封膠的排 出。該排出終止位置可以沿噴嘴62的移動方向位於修復區域S的終止位 置Pf之前。然而，如果需要的話，該排出終止位置也可以位於終止位置 Pf之後。
同時，在密封圖案上可以設置多個修復區域S.當修復區域S之間的 距離較小時，在修復區域s之間，密封膠不連續或者密封膠的厚度有缺 陷是極為可能的。而且，當修復區域S之間的距離D較小時，前一修復 區域S的排出終止位置和後一修復區域S的排出起始位置之間的時間間 隔較短。因此，當完成密封膠的排出，並隨後重新開始時，就可能產生 錯誤。由於這種錯誤，修復過程、也就是重新施加密封膠的過程就可能 無法順利進行。因此，當多個修復區域s之間的時間間隔較小，也就是前一修復區 域s的排出終止位置和後一修復區域s的排出起始位置之間的間隔處於 預設範圍內時，優選的是，將前一修復區域s和後一修復區域s指定為 一個修復區域s。
同時，測量到的間隙數據可能因外部環境導致的噪音而偏離基準範 圍。在此情況下，間隙數據畫出波形，該波形在相對窄的間隔內波動較 少次。當將噪音導致的間隙數據的波動區域指定為^^復區域時，甚至會 將密封膠施加到不具有缺陷密封圖案的區域上，從而導緻密封膠的不必 要的浪費，並因密封膠的重複施加導致出現另一個缺陷部分。於是，當
偏離基準範圍R預設間隔(例如，大約10毫米)內的間隙數據的波動波 形為預定次數或更少(例如，大約三至四次)時，這^^視為由噪音導致 的波動，並且確定測量到的間隙數據並不偏離基準範圍。於是，不將其 指定為修復區域S。
根據本發明所述的用於指定塗膠機的修復區域的方法利用了在將密 封膠施加到基板上時，測量到的噴嘴和J41之間的間隙數據，從而能夠 快速指定修復區域。
根據本發明所述的一種用於指定塗膠機的修復區域的方法的優點在 於，由於利用了在密封膠施加過程期間測量到的噴嘴和M之間的間隙 數據，因此可以快速指定修復區域。
此處描述的本發明的各實施例可以獨立實施或者彼此組合實施.儘管 已經出於說明性的目的公開了本發明的各優選實施例，但是本領域技術 人員將認識到，在不背離如所附權利要求中公開的本發明的範圍和精神 的情況下，可進行多種^多改、添加和刪減。
權利要求
1. 一種用於在基板上指定修復區域的方法，所述方法包括第一步驟將密封膠施加到所述基板上，同時測量噴嘴和所述基板之間的間隙數據；第二步驟確定在所述第一步驟中測量到的間隙數據是否偏離基準範圍；及第三步驟將測量到的間隙數據偏離所述基準範圍的區域指定為所述修復區域。
2. 如權利要求l所述的方法，其中，在所述第三步驟中，當測量到的 間隙數據偏離基準範圍的區域包括多個區域，且各區域之間的間隔為預定 間隔或更小時，將所述多個區域指定為一個修復區域。
3. 如權利要求l所述的方法，其中，在所述第三步驟中，當偏離基準 範圍預定間隔的間隙數據形成的波動波形為預設次數或更少時，不將所述 間隙數據所在的區域指定為修復區域。
4. 如權利要求1至3中任一項所述的方法，其中，在所述第三步驟中， 當將所述基板和所述噴嘴之間的所述間隙數據開始偏離所述基準範圍的 位置指定為所述區域的起始位置，並將所述間隙數據再次返回所述基準範 圍的位置指定為所述區域的終止位置時，將從所i^始位置到所述終止位 置的區域指定為修復區域.
5. 如權利要求1至3中任一項所述的方法，其中，在所述第三步驟中， 當將所迷基板和所述噴嘴之間的所述間隙數據開始偏離所述基準範圍的 位置指定為所述區域的起始位置，並將所述間隙數據再次返回所述基準範 圍的位置指定為所述區域的終止位置，並且將以與所i^始位置隔開預定 間隔的方式位於所i^始位置之前的位置指定為排出起始位置時，將從所 述排出起始位置到所述終止位置的區域指定為修復區域。
6. 如權利要求1至3中任一項所述的方法，其中，在所述第三步驟中， 當將所述基板和所述噴嘴之間的所述間隙數據開始偏離所述基準範圍的位置指定為所述區域的起始位置，將所述間隙數據再次返回所逸基準範圍 的位置指定為所述區域的終止位置，並將以與所述終止位置隔開預定間隔 的方式位於所述終止位置之後的位置指定為排出終止位置時，將從所^ 始位置到所述排出終止位置的區域指定為修復區域。
7.如權利妻求1至3中任一項所述的方法，其中，在第三步驟中，當 將所述基板和所述噴嘴之間的所述間隙數據開始偏離所述基準範圍的位 置指定為所述區域的起始位置，將所述間隙數據再次返回所述基準範圍處 的位置指定為所述區域的終止位置，將以與所^始位置隔開預定間隔的 方式位於所述起始位置之前的位置指定為排出起始位置，並將以與所述終 止位置隔開預定間隔的方式位於所述終止位置之後的位置指定為排出終 止位置時，將從所述排出起始位置到所述排出終止位置的區域指定為修復 區域.
全文摘要
此處公開的是一種用於在基板上指定修復區域的方法。該方法利用在施加密封膠的過程中測量到的噴嘴和基板之間的間隙數據，從而能夠快速指定該修復區域。
文檔編號B41J2/01GK101428509SQ2008101865
公開日2009年5月13日 申請日期2008年12月25日 優先權日2008年8月8日
發明者趙容柱 申請人:塔工程有限公司