懸掛型運輸車和運輸系統的製作方法

2023-06-21 15:39:51 5

專利名稱：懸掛型運輸車和運輸系統的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種用在半導體器件、LCD (液晶顯示器)器件等的 製造工廠中並且在安裝於工廠的天花板上或接近天花板的軌道上行進 並傳送物體的懸掛型運輸車例如OHT (高架提升傳輸)車，以及利用 這種車的運輸系統。
背景技術：
在半導體器件、LCD器件等的製造工廠中，為了增加產量，強烈 期望提高生產效率，其中之一就是希望縮短運輸持續時間。為了縮短 運輸持續時間，如何縮短將搬運物(即，運輸的物體)從車轉移到作 為用於搬運物的臨時儲存位置的儲料器或堆料器所需要的持續時間； 如何縮短從儲料器將搬運物轉移到車所需要的持續時間，等等，成為 重點。這裡，本發明中的"搬運物"或"運輸的物體"指的是產品、中間產 品、零件、物品、機件、部分完成的商品、商品等(例如半導體或LCD器件)，或者指的是用來容納這些產品等的盒子或容器(例如容納半 導體或LCD器件的容器)，其通過運輸車已被運輸或將被運輸。例如，通過運輸系統運輸由半導體製造工廠製造的半導體集成電 路元件，同時通過各種處理裝置將專屬於半導體製造工藝的各種處理、 例如通過CVD (化學氣相沉積)的薄膜形成、離子注入、光刻、蝕刻、 檢驗等等應用到電路元件，以便製造了最終的產品。在這些工藝中， 多個半導體襯底儲存在容器中，其被稱為"FOUP (前端開口片盒)"。容器中的半導體襯底通過運輸車在處理裝置之間運輸，並通過各處理 裝置對其進行各特別處理。然而，各處理所需要的處理持續時間在處 理裝置之間是不同的。由此，對半導體襯底進行直到下一個工藝的等 待持續時間，它的持續時間或長度是未知的，且一般是由半導體襯底引起的。在該等待持續時間期間，通過運輸裝置，將含有半導體襯底 的FOUP從車上一次運送到並轉移(即，放置)到儲料器中或簡易支 架緩衝器上。當出現可以進行下一個工藝的這種條件時，含有半導體 襯底的FOUP從儲料器或簡易支架緩衝器再次轉移(即，拾取)到車上，並且通過運輸系統運輸到用於下一工藝的處理裝置。在用於FOUP的儲存位置是設置在各處理裝置附近的簡易支架緩衝器的情況下，運 輸操作(即，放置和/或拾取操作)花費的時間較短。另一方面，在用於FOUP的儲存位置是設置在遠離處理裝置的儲料器的情況下，放置 和/或拾取操作會花費較長的時間。因此，更經常地採用簡易支架緩衝 器而非儲料器，對於縮短運輸持續時間是有效的。通過縮短放置和/或拾取FOUP所需要的持續時間，希望提高生產效率。日本專利申請公布特開NO.2005-150129公開了設置在處理裝置 附近的簡易支架緩衝器。在這種情況下，通過設置在運輸車上的起重 帶和在水平方向上能滑動的滑動支架板能夠很容易地進行轉移到簡易 支架緩衝器的操作和從簡易支架緩衝器轉移的操作。滑動支架板允許 FOUP朝著運輸車移動。日本專利申請公布特開NO.2005-206371和NO.2005-530361中每個都公開了設置在處理裝置附近的這種簡易支架緩衝器。在該情況下， 沒有使用滑動支架板。代替地，提升機構藉助滑動結構本身能滑動。 提升機構在行進軌正下面的位置和行進軌的側向位置之間滑動，以便 運輸車可以直接地接近位於行進軌正下面的位置的側部的埠。發明內容在日本專利申請公布特開NO.2005-150129中公開的上述技術具 有如下問題，由於對於每個滑動支架板都需要包括傳動裝置、驅動電 動機等等的驅動機構，所以支架裝置的成本變得非常高。而且，僅僅 一個滑動支架板的故障就會導致支架裝置的總體故障，其必定會使支 架裝置的可靠性退化。在日本專利申請公布特開NO.2005-206371或NO.2005-530361中 公開的上述技術具有如下問題，儘管運輸車能直接接近高度彼此相同 的多個支架個每一個，但運輸車不能直接接近高度彼此不同的支架。因此，本發明的目的在於提供一種懸掛型運輸車以及利用這種車 的運輸系統，該運輸車可以直接轉移被運物體至支架和從支架直接轉 移被運物體，其中支架位於運輸車的側部並且至少部分在高度上彼此 不同，能減少成本和提高可靠性。本發明的上述目的可以通過一種懸掛型運輸車實現，該運輸車包 括用於夾持被運物體的夾持機構；用於提升所述夾持機構的提升機 構；以及行進機構，其上以懸掛的方式安裝有所述提升機構，用於在 安裝於天花板上的或天花板附近的軌道上行進，所述夾持機構包括(i) 能夠水平伸長和收縮的伸長收縮裝置和(ii)設置在所述伸長收縮裝置 的頂部分的、用於選擇夾持被運物體的夾持裝置。根據本發明的懸掛型運輸車，在工作時，為了相對於一個支架裝 置的一個支架板來轉移被運物體例如FOUP等，運輸車通過行進機構行 進並停止在對應於該一個支架裝置的位置。然後，夾持機構通過提升 機構下降。接著，伸長收縮裝置，例如滑動板，被水平送出，而在頂 部分的夾持裝置夾持或者能夠夾持住被運物體。因此，能夠相對於從 運輸車的正下方的側向離開的一位置來轉移(即，放置或拾取)被運 物體。在本發明的懸掛型運輸車的一個方面，所述夾持機構進一步包括 主體，其通過所述提升機構提升，並且所述伸長收縮裝置能夠相對於 所述主體水平伸長和收縮。根據該方面，藉助於伸長收縮裝置，夾持裝置可以以一定的方式從主體朝著支架裝置伸長，並且可以以一定的方式從夾持裝置收縮以 離開主體。在本發明的懸掛型運輸車的另一方面，懸掛型運輸車迸一步包括 姿態保持裝置，其使所述夾持機構的一部分和支架裝置的支架板的一 部分彼此能可分離地固定，用於相對於所述支架裝置保持或穩定所述 夾持機構的姿態。根據該方面，對於轉移運輸的物體，隨著使夾持機構和支架裝置 彼此固定，可以藉助姿態保持裝置保持或穩定夾持機構的姿態、姿勢 或平衡。本發明的上述目的可以通過一種運輸系統來實現，該運輸系統包 括(I)本發明的上述懸掛型運輸車和(II)具有多個支架板的支架裝 置，所述多個支架板垂直布置在彼此不同的高度，用於臨時儲存被運 物體。根據本發明的運輸系統，由於它提供有本發明的上述懸掛型運輸 車，所以能夠相對於側向偏離於運輸車正下方的位置轉移被運物體。 而且，由於不必將滑動機構裝配到每個支架板，所以必定可以減少組 成伸長收縮裝置(或滑動機構等)的部分或部件的總數量。而且，不 必將驅動機構裝配到每個支架板。由此，可以避免增加成本。另外， 能夠避免如下情形因為滑動機構沒有存在於每個支架板中，所以多 個滑動機構中僅一個的故障就會導致運輸系統的總故障或總的不利影 響。以該方式，根據本發明，由於不必將伸長收縮裝置(或滑動機構 等)裝配到每個支架板上，但由於其足以將伸長收縮裝置裝配到運輸 車一側，所以能夠減少成本和增加可靠性。在本發明的運輸系統的一個方面，該運輸系統進一步包括姿態保 持裝置，其使所述夾持機構的一部分和所述支架板的一部分彼此能可 分離地固定，用於相對於所述支架裝置保持或穩定所述夾持機構的姿 態。根據該方面，即使在以下情況下伸長收縮裝置伸出支架板更大 距離，其中所述支架板相對遠離運輸車正下方的位置，以相對於該支 架板轉移運輸車；或者，較重的被運物體被夾持同時伸長收縮裝置伸 長時，仍能夠保持夾持機構的姿態並由此穩定地轉移被運物體。在上面提到的包括姿態保持裝置的方面中，所述姿態保持裝置可 包括所述夾持機構上的杆部和所述支架板上的閂鎖部，以便所述杆部 可以與所述閂鎖部嚙合。通過以該方式構造，當伸長收縮裝置伸長時，杆部與閂鎖部嚙合。 杆部可進入支架板的上側或下側。由此，相對於支架裝置能夠容易固 定夾持機構，由此保持夾持機構的姿態。而且，通過將閂鎖部裝配到 支架板的每一個上，在相對於支架板的任一個轉移被運物體時能夠固 定夾持機構。在上面提到的包括姿態保持裝置的方面中，當在所述夾持機構和 所述支架板的一個板之間轉移被運物體的情況下，所述杆部可與所述 支架板的另一板的所述閂鎖部嚙合，所述另一板位於所述一個板的正 上方。通過以該方式構造，杆部與位於相對於轉移被運物體的一個支架 板正上方的另一支架板的閂鎖部嚙合。由此，被相對於其轉移被運物 體的該一個支架板的前向空間是大開的。也就是說，能夠避免伸長收 縮裝置的移動被姿態保持裝置幹擾。因此，能夠容易執行轉移操作同 時確保保持該姿態。在上面提到的包括姿態保持裝置的方面中，所述杆部能夠相對於 所述夾持機構朝著所述閂鎖部伸長或旋轉，以便在所述杆部在預定方 向上伸長或旋轉之後，所述杆部的頭部能與閂鎖部嚙合。通過以該方式構造，通過水平伸長或半圓形地旋轉杆部，能夠容 易且確保杆部與閂鎖部嚙合。如上詳細所述的，根據本發明的懸掛型運輸車和運輸系統，不必 將滑動機構裝配到每支架板上。能夠接近所希望的支架板並在此執行 轉移操作。於是，能夠減少整個系統的總成本，同時提高了整體系統 的可靠性。當結合下面簡要描述的附圖理解時，從關於本發明優選實施例的 以下詳細描述，本發明的特性、效用和更多的特徵將是更加顯而易見 的。


圖1是半導體製造設備的平面示意圖，其中使用具有運輸車和支 架裝置的運輸系統作為本發明的實施例；圖2是在一個實施例中的在下述條件下的運輸車和支架裝置的側 視圖，其中，運輸車相對於支架裝置的希望位置轉移被被運物體；圖3是在另一個實施例中的在下述條件下的運輸車和支架裝置的 側視圖，其中，運輸車相對於支架裝置的希望位置轉移被被運物體；圖4A是本實施例中用於支架裝置的姿態(即，姿勢)保持裝置的 一個實例的透視圖；圖4B是圖4A中姿態保持裝置的側視圖；圖5A是本實施例中用於支架裝置的姿態保持裝置的另一實例的 透視圖；圖5B是圖5A中姿態保持裝置的側視圖；圖6A是本實施例中用於支架裝置的姿態保持裝置的另一實例的透視圖；圖6B是圖6A中的姿態保持裝置的側視圖；圖7A是本實施例中用於支架裝置的姿態保持裝置的另一實例的 透視圖；圖7B是圖7A中的姿態保持裝置的側視圖；圖8A是本實施例中用於支架裝置的姿態保持裝置的另一實例的 透視圖；圖8B是圖8A中的姿態保持裝置的側視圖； 圖9是一個對比示例中的運輸車和支架裝置的側視圖；和 圖IO是另一個對比示例中的運輸車和支架緩衝器的側視圖。
具體實施方式
參考附圖，現在將說明本發明的實施例。首先，參考圖1說明作為本發明實施例的運輸系統的總體結構。 圖1示出了一種半導體製造設備，其中使用具有運輸車的運輸系統作 為該實施例。在圖1中，運輸系統用於在一種工藝之間或多種工藝之間通過 運輸車運輸被運輸的物體，以便如同在半導體製造工廠中一樣，將各 種工藝順序地應用到被運輸的物體，並完成最終產品。構造半導體制 造設備，以便布置多個處理部18。每個處理部18都提供有 一個或多 個支架裝置13;和工藝彼此不同的多個處理裝置15。在處理部18的 各個中，支架裝置13和處理裝置15通過工藝間軌道11和分支軌道12 連接至工藝間軌道IO。如圖l所示，運輸系統具有如下結構，多個運輸車16在包括有工 藝間軌道10、工藝間軌道11和分支軌道12的行進路徑上行進。行進 路徑設置在半導體製造工廠上方(即，在天花板一側)。FOUP (前端開口片盒)17被通過運輸車16提升以被掛起，並且被運輸。這裡，FOUP 17是用於容納多個半導體襯底的容器。FOUP 17具有基本矩形的平行 六面體形狀。在FOUP17的上表面的中心，配置凸緣27使得被夾持和 運輸。半導體襯底容納在FOUP 17中並被運輸，以便通過各種處理裝 置應用各種工藝，例如通過CVD的薄膜形成、離子注入、光刻、蝕刻、 檢驗等等。設置儲料器(或堆料器)14使得其連接至工藝間軌道10, 並在每個工藝的等待持續時間期間儲存FOUP 17，作為儲存多個FOUP 17的儲存裝置。接下來，將參考圖2和圖1 一起說明一個實施例中的運輸車16和 支架裝置13。圖2示出了一個實施例中的、在運輸車16相對於支架裝 置13的所希望位置轉移FOUP 17的情形下的、運輸車16和支架裝置 13。如圖2所示，運輸車16適合於通過具有例如線性電動機(未示出) 的行進機構60在行進路徑的軌道20上行進，並移向目的地位置。運 輸車16提供有起重帶21和夾持機構22。一個運輸車16具有四個起重帶21，它們纏繞在容納於運輸車16 中的巻軸周圍。夾持機構22在其尖部通過四個起重帶21掛起。藉助 驅動機構例如電動機等(未示出)，通過正反向旋轉的巻軸，夾持機 構22經由起重帶21向上下移動。起重帶21每個都具有如下長度，其 使得夾持機構22能在上下方向上移動FOUP17，直至在支架裝置13 的多個固定支架板25之中被定位在最低的固定支架板25的高度。夾持機構22提供有滑動機構23和夾具24。滑動機構23，其構成 本發明的"延伸和收縮裝置"的一個實例，適合於相對於夾持機構22 的主體22m，通過滾珠螺杆驅動機構(未示出)在水平方向上延伸和 收縮。夾具24，適合於夾緊FOUP 17的凸緣27，其貼附到滑動機構 23的底部。夾具24具有夾緊FOUP17的凸緣27的開關能力，並構造為在滑動機構23延伸到FOUP 17正上方的位置時夾緊凸緣27。如圖2所示，支架裝置13提供有 一個或多個支柱組件26，和 在垂直方向上以間隔布置的多個固定支架板25。處理裝置15的處理在 它們的內容方面彼此不同，以使得它們的處理持續時間也彼此不同。 因此，會生成不確定的等待持續時間直至進行下一工藝。儘管儲料器 14在等待持續時間期間可儲存FOUP 14，但儲料器14具有如下缺陷 因為儲料器14遠離處理裝置15並且對於儲料器14需要花費一定時間 裝載和卸載F0UP17，所以儲料器14不能迅速進行處理。因此，將支 架裝置13設置在處理裝置15的附近，作為在等待持續時間期間用於 FOUP 17的簡易儲存位置。這裡，參考圖2說明通過運輸車16來關於支架裝置13載入(即， 裝載)和載出(即，卸載)FOUP17的原理。如下是FOUP 17的執行操作。也就是，在工藝間軌道ll上行進 並停止在相對支架裝置13的位置的運輸車16，藉助電動機等通過旋轉 該巻軸纏出起重帶21。這時，運輸車16使沒有夾緊FOUP 17的夾持 機構22向下移動到預定高度的位置。在夾持機構22向下移動到固定 支架板25中之一的目標位置之後，滑動機構23伸長或展開，以便滑 動機構23進入到支架裝置13內的FOUP 17之一正上方的位置，其中 FOUP 17的凸緣27f由夾具24夾持。夾住FOUP17之後，滑動機構23 縮短或收縮。接著，起重帶21通過旋轉該巻軸而被巻起，以便FOUP 17 與夾持機構22—起上升。之後，運輸車16在工藝間軌道ll上朝著FOUP 17的下一運輸目的地行進。在運輸車16將FOUP 17放到支架裝置13上的情況下，可以以上 述執行操作相反的順序執行FOUP 17的放置(即，裝入)操作。也就 是說，運輸車16，其通過夾具24夾住FOUP17並在工藝間軌道ll上 行進，停止在與上面將要放置FOUP 16的支架裝置13相對的位置。接下來，運輸車16藉助電動機等通過旋轉巻軸巻起起重帶21。這時，運輸車16使夾持FOUP 17的夾持機構22,向下移動到上面將要放置 FOUP 17的固定支架板25的高度的位置。之後，滑動機構23伸長或 展開，以便FOUP17移動到固定支架板25正上方的位置，其中通過釋 放夾具24使FOUP 17放置到支架裝置13上。接下來，將參考圖3與圖1 一起說明另一實施例中的運輸車16和 支架裝置13。圖3示出了另一個實施例中的、在運輸車16相對於支架 裝置13的所希望位置轉移FOUP 17的這種情形下的、運輸車16和支 架裝置13。上述說明是FOUP 17相對於支架裝置13的轉移原理(即，載入 和載出)。在轉移時，可以是FOUP17被轉移到遠離運輸車16正下方 位置的支架裝置13的情形，或是較重的FOUP被運輸到支架裝置13 的情形。也就是說，另一實施例中的運輸系統提供有如下所述的"姿態 保持裝置"，以實現穩定的轉移操作，即便在滑動機構23伸長到更遠位 置的這種情形下、或在當滑動機構23展開時夾持較重FOUP的這種情 形下。在圖3中，本實施例中的運輸系統提供有姿態(即，姿勢或平衡) 保持裝置，其不同於圖2中所示的運輸系統。姿態保持裝置提供有-設置到夾持機構22的杆30;和設置到固定支架板25上的閂鎖部31。 杆30設置到夾持機構22的上部，以便當滑動機構23伸長時，杆30 與固定支架板25的閂鎖部31嚙合，所述閂鎖部31設置在轉移目標的 固定支架板25的正上方。由此，通過將運輸車16固定到支架裝置13 來實現姿態保持。在下文，參考圖3說明藉助姿態保持裝置的、夾持FOUP17的夾 持機構22的姿態保持操作。在圖3中，運輸車16停止在與支架裝置13相對的位置，使夾持 FOUP 17的夾持機構22向下移動到上面將要放置FOUP 17的固定支架 板25的位置A的位置。之後，滑動機構23伸長，並且使杆30朝著支 架裝置13送出。此時，杆30與在位置B的固定支架板25的閂鎖部 31嚙合，閂鎖部31位於轉移目標的位置A處的固定支架板25的正上 方。藉此穩定住夾持機構22 (即，保持夾持機構22的姿態、姿勢或平 衡)，即便在滑動機構23伸長到更遠位置的這種情況下、或者在滑動 機構23展開時夾持較重FOUP 17的這種情況下，都能夠穩定地轉移 FOUP 17。接下來，將參考圖4A至圖8B說明具有本實施例的杆和閂鎖部的 "姿態保持裝置"的各個實例。圖4A、 5A、 6A、 7A和8A中每個是姿態 保持裝置的透視圖，而圖4B、 5B、 6B、 7B和8B分別是對應的側視圖。在圖4A和4B中，姿態保持裝置提供有一組突出杆40和一組杆 支撐體44。突出杆40的每個都具有杆構件。杆支撐體44的每個都具 有杆構件，在每個杆支撐體中，在輸入夾持機構22的一側處，凹部48 垂直形成在固定支架板25的邊緣部分。當滑動機構23伸長時，突出 杆30中的每個都從由圖4A和4B中的一串雙虛線指示的位置水平伸出 到由實線指示的位置。由於突出杆40與杆支撐體44嚙合，所以夾持 機構22穩定或固定到支架裝置13上。在圖5A和5B中，姿態保持裝置提供有一組旋轉杆41和一組閂 鎖住或鎖定住旋轉杆41的杆支撐體45。杆支撐體45的每個都具有杆 構件，在每個杆支撐體中，在輸入夾持機構22的一側處，凹部49垂 直形成在固定支架板25的邊緣部分，如同圖4A和圖4B中所示的杆支 撐體44的情況一樣。另一方面，旋轉杆41的每個都具有杆構件(如 同圖4A和4B中所示的突出杆40的情況一樣)，其一端旋轉地固定到 夾持機構22並且以半圓形狀半旋轉。這與將要水平伸出的突出杆40 形成對比。也就是說，旋轉杆41的每個都以作為支點的、可旋轉固定到夾持機構22的端部劃出半圓形，從由圖5A和5B中的一串雙虛線指 示的位置移動到由實線指示的位置。由於旋轉杆41與杆支撐體45齧 合，所以夾持機構22穩定或固定到支架裝置13上。在圖6A和6B中，姿態保持裝置提供有一組插入杆42和一組管 杆支撐體46。插入杆42的每個都具有圓柱形的杆構件。管杆支撐體 46的每個都具有形成中空空間的管構件。當滑動機構23伸長或張開時， 每個插入杆42都從由圖6A和6B中的一串雙虛線指示的位置移動到由 實線指示的位置。當插入杆42的尖部分別插入到管杆支撐體46中時， 夾持機構22穩定或固定到支架裝置13上。在圖7A和7B中，姿態保持裝置提供有一組抽吸杆(absorbing and sucking rod) 43和一組杆支撐體47。抽吸杆43的每個在其尖部具有電 磁發電機、吸管等，並且杆支撐體47的每個在其邊緣或凹面都具有磁 體、平滑表面等，反之亦然。因此，抽吸杆的每個都被閂鎖到或鎖定 到承受杆或吸持杆43每個的尖部。在圖8A和8B中，在固定支架板25足夠厚的情況下， 一對插入 部分52可包括一對孔52，它們形成在固定支架板25的表面，在夾持 機構22進入的地方，S卩，在面向的一對突出杆51的表面處。接下來，將參考圖9和圖IO說明對比示例，以顯示出本實施例的 有利特徵。圖9和圖IO分別示出了對比示例。在圖9中，對比示例的支架裝置13c具有滑動支架板50，其能在 固定支架板25上滑動。在該情況下，通過將起重帶21的移動和滑動 支架板50的移動連接起來，容易執行轉移到支架裝置13c的操作和從 支架裝置13c轉移的操作。然而，在圖9的該對比示例中，由於對於每個滑動支架板50都需要包括傳動裝置、驅動電動機等等的驅動機構，所以支架裝置13c的成 本變得非常高。而且，僅僅一個滑動支架板50的故障就會導致支架裝置13c的總體故障，其必定會使支架裝置13c的可靠性退化。與此相反， 本實施例的支架裝置13具有高可靠性、較低成本的優點，這是因為僅 需要一個滑動機構23執行轉移操作並且因為支架裝置13的結構相對 簡單。在圖10中，對比示例的支架緩衝器13d非常簡單。在該情況下， 運輸車通過行進機構60在軌道20上行進。運輸車的提升機構63通過 滑動機構62滑動並且通過定位機構61停止和定位。提升機構63在軌 道20正下方的位置和軌道20的側向位置之間滑動，以便夾持機構22 可以直接接近支架緩衝器13d的埠。然而，在圖10的該對比示例中，夾持機構22不能直接接近高度 彼此不同的支架。與此相反，本實施例的支架裝置13具有夾持機構22 可以直接接近位於各種高度的支架裝置13的埠之一的優點。本發明可具體化為其它具體形式，而不脫離其精神或基本特徵。 因此認為本實施例在各個方面都是示例性的且不是限制性的，本發明 的範圍由所附的權利要求指示而不是前述的說明，並且因此落入權利 要求的意思和等同範圍內的各種變化都指的是包含在其中。
權利要求
1.一種懸掛型運輸車(16)，包括夾持機構(22)，用於夾持被運物體(17)；提升機構(21)，用於提升所述夾持機構；以及行進機構(60)，在其上以懸掛的狀態安裝有所述提升機構，該行進機構(60)用於在安裝於天花板上的或天花板附近的軌道(20)上行進，所述夾持機構包括(i)伸長收縮裝置(23)，其能夠水平地伸長和收縮，以及(ii)夾持裝置(24)，其被設置在所述伸長收縮裝置的頂部分，用於選擇性地夾持所述被運物體。
2. 根據權利要求l的懸掛型運輸車(16)，其中 所述夾持機構(22)進一步包括主體(22m)，其被通過所述提升機構提升，以及所述伸長收縮裝置(23)能夠相對於所述主體水平地伸長和收縮。
3. 根據權利要求1或2的懸掛型運輸車(16)，進一步包括 姿態保持裝置(40至47， 51和52)，其以可分離的方式使所述夾持機構(22)的一部分和支架裝置(13)的支架板(25)的一部分彼 此固定，用於相對於所述支架裝置來保持或穩定所述夾持機構的姿態。
4. 一種運輸系統，包括(I)懸掛型運輸車(16)，包括 夾持機構(22)，用於夾持被運物體(17); 提升機構(21)，用於提升所述夾持機構；以及 行進機構(60)，在其上以懸掛的狀態安裝有所述提升機構，該行進機構(60)用於在安裝於天花板上的或天花板附近的軌道(20)上行進，所述夾持機構包括(i) 伸長收縮裝置(23)，其能夠水平地伸長和收縮，以及(ii) 夾持裝置(24),其被設置在所述伸長收縮裝置的頂部分， 用於選擇性地夾持所述被運物體，以及(II)支架裝置(13)，其具有多個支架板(25)，該多個支架板 以垂直的方式布置在彼此不同的高度，用於臨時儲存被運物體。
5. 根據權利要求4的運輸系統，進一步包括姿態保持裝置(40至47， 51和52)，其以可分離的方式使所述夾 持機構(22)的一部分和所述支架板(25)的一部分彼此固定，用於 相對於所述支架裝置(13)來保持或穩定所述夾持機構的姿態。
6. 根據權利要求5的運輸系統，其中，所述姿態保持裝置(40至47， 51和52)包括在所述夾持機構(22) 上的杆部(40至43和51)和在所述支架板(25)上的閂鎖部(44至47 和52)，以使得所述杆部與所述閂鎖部嚙合。
7. 根據權利要求6的運輸系統，其中，當在所述夾持機構(22)和所述支架板(25)的一個板之間轉移 被運物體(17)的情況下，所述杆部(40至43和51)與所述支架板的 另一板的所述閂鎖部(44至47和52)嚙合，其中所述另一板是位於所 述一個板的正上方。
8. 根據權利要求6或7的運輸系統，其中所述杆部(40至43和51)能夠朝著所述閂鎖部(44至47和52) 以相對於所述夾持機構(22)伸長或旋轉，以使得在所述杆部在預定 方向上伸長或旋轉之後，所述杆部的頭部與該閂鎖部嚙合。
全文摘要
一種懸掛型運輸車(16)，其設置有夾持機構(22)，用於夾持被運物體(17)；提升機構(21)，用於提升所述夾持機構；以及行進機構(60)，在其上以懸掛的狀態安裝有所述提升機構，該行進機構(60)用於在安裝於天花板上的或天花板附近的軌道(20)上行進。所述夾持機構設置有(i)伸長收縮裝置(23)，其能夠水平地伸長和收縮，以及(ii)夾持裝置(24)，其被設置在所述伸長收縮裝置的頂部分，用於選擇性地夾持所述被運物體。
文檔編號H01L21/677GK101276773SQ200810085259
公開日2008年10月1日 申請日期2008年3月10日 優先權日2007年3月9日
發明者村田正直 申請人:日本阿西斯特技術株式會社