Tcp處理裝置以及在該裝置中的位置不正補正方法
2023-06-12 01:59:36 4
專利名稱：Tcp處理裝置以及在該裝置中的位置不正補正方法
技術領域：
本發明涉及在試驗作為IC器件的1種的TCP(Tape CarrierPackage帶狀載體封裝)和COF(Chip On Film)(以下，把用TCP、COF、其他TAB(Tape Automated Bonding)安裝技術製造的器件統稱為「TCP」)中使用的TCP處理裝置，以及TCP處理裝置的TCP和接觸單元的位置補正方法。
背景技術：
在IC器件等的電子產品的製造過程中，需要試驗最終製作的IC器件和在其中間階段的器件等的性能和功能的電子零件試驗裝置，在TCP時，使用TCP用試驗裝置。
TCP用的試驗裝置一般由試驗主體、試驗頭、TCP處理裝置(以下有時稱為「TCP信息處理器」)構成。該TCP信息處理器具備這樣的功能傳送在帶子(假設還包含薄膜的概念。下同。)上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的探針卡的探針上按壓承載帶，使探針接觸TCP的外部端子，據此順序把多個TCP交付試驗。
為了使用這樣的TCP信息處理器高效率地正確地進行試驗，需要使TCP的外部端子和探針卡的各探針可靠接觸。
以往，作為TCP和探針的對位法，已知有使承載帶和推進器以及夾板或者接觸加壓器一同在XY方向上移動的方法(實公平6-2271號公報，特開平9-92695號公報、特開平8-29484號公報)，和使探針卡在XY方向上移動的方法(特開平10-185996號公報，特開2002-181888號公報)。
但是，只在這樣的XY方向上的2軸控制中，不一定能正確地進行TCP和探針的對位，發生接觸不良的情況不少。特別是隨著將來的器件的多腳·窄晶片化，能預見這種接觸不良的發生頻度增大。
另一方面，在特開2002-181889號公報中，記載了通過把安放在旋轉載臺上的探針卡相對TCP只旋轉補正角度θ，補正TCP和探針卡的角度偏差的發明。
但是，在特開2002-181889號公報中記載的發明因為終歸是在初始設定時使探針卡旋轉進行對位，所以當在TCP試驗裝置的實際運行中產生了TCP與探針卡的偏離時或者初始設定本身的不正確在TCP試驗裝置的實際運行中被發現時就沒有辦法解決。
發明內容
鑑於上述問題的存在，本發明的目的在於提供一種能正確地進行TCP與接觸單元的對位，減少接觸不良發生的TCP處理裝置和TCP處理裝置的位置不正(位置偏離)補正方法。
為了實現上述目的，第1，本發明提供一種TCP處理裝置，它傳送在帶子上形成多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，通過使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，能順序試驗多個TCP，其特徵在於具備能使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞其垂直軸旋轉移動的帶垂直軸旋轉裝置(1)。
在本說明書中的「接觸單元」中，假設包含連接TCP的外部端子的連接端子(例如，探針)本身，和配備有這樣的連接端子的部件(例如探針卡)雙方的概念。
如果採用上述發明(1)，則通過用帶垂直軸旋轉裝置使承載帶圍繞垂直軸旋轉移動，進行圍繞垂直軸移位的TCP與接觸單元的對位，能減少接觸不良的發生。
上述發明(1)的TCP處理裝置理想的是還包括能使按壓在上述接觸單元上的承載帶在其平面方向移動的帶平面移動裝置(2)。
如果採用上述發明(2)，則通過用帶垂直軸旋轉裝置和/或帶平面移動裝置使承載帶圍繞垂直軸旋轉移動和/或在平面方向上移動，可靠地進行TCP與接觸單元的對位，能減少接觸不良的發生。
在上述發明(2)中，上述帶垂直軸旋轉裝置和/或上述帶平面移動裝置理想的是與把承載帶按壓在上述接觸單元上的按壓裝置一起，使承載帶圍繞垂直軸旋轉移動和/或在平面方向上移動(3)。
而且，在此所說的「按壓裝置」不僅按壓承載帶，還能具有保持承載帶的功能。
如果採用上述發明(3)，則不發生承載帶和按壓它的按壓裝置間的位置不正。
上述發明(2，3)的上述TCP處理裝置理想的是還包括能取得TCP與上述接觸單元的位置不正信息的位置不正信息取得裝置，根據由上述位置不正信息取得裝置取得的位置不正信息來驅動上述帶垂直軸旋轉裝置和/或上述帶平面移動裝置，自動補正上述位置不正(4)。
在本說明書中的「位置不正信息」中，假設包含位置不正的方向(X·Y·θ)以及位置不正的量。
作為位置不正信息取得裝置，例如能列舉拍攝承載帶以及接觸單元的照相機和圖像處理裝置的組合等。
如果採用上述發明(4)，則不管操作員的技能等如何，都能自動地正確補正TCP和接觸單元的位置不正。
第2，本發明提供一種TCP處理裝置，它傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，通過把TCP的外部端子與上述接觸單元連接，能把多個TCP交付試驗，其特徵在於，包括，能取得TCP與上述接觸單元的位置不正信息的位置不正信息取得裝置；能使上述接觸單元圍繞其垂直軸旋轉移動的接觸單元垂直軸旋轉裝置，在實際運行中(不是在初始設定，實際上是為了進行試驗而在運行的過程中)，根據由上述位置不正信息取得裝置取得的位置不正信息來驅動上述接觸單元垂直軸旋轉裝置，使上述接觸單元圍繞垂直軸旋轉移動，自動補正上述位置不正(5)。
如果採用本發明(5)，則在TCP處理裝置的執行中，因為通過用接觸單元垂直軸旋轉裝置使接觸單元圍繞垂直軸旋轉移動，能對每個被試驗TCP進行在圍繞垂直軸移位的被試驗TCP與接觸單元的對位，所以能顯著減少接觸不良的發生。
上述發明(5)的TCP處理裝置理想的是還包括能使上述接觸單元在其平面方向上移動的接觸單元平面移動裝置，在實際運行中，根據由上述位置不正信息取得裝置取得的位置不正信息來驅動上述接觸單元垂直軸旋轉裝置和/或上述接觸單元平面移動裝置，使上述接觸單元圍繞垂直軸旋轉移動和/或在平面方向上移動，自動補正上述位置不正(6)。
如果採用本發明(6)則在TCP處理裝置的實際運行中，因為通過用接觸單元垂直軸旋轉裝置和/或接觸單元平面移動裝置使接觸單元圍繞垂直軸旋轉移動和/或在平面方向上移動，能對每個被試驗TCP可靠地進行被試驗TCP與接觸單元的對位，所以能顯著減少接觸不良的發生。
第3，本發明提供一種TCP處理裝置，它傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，通過使TCP的外部端子與上述接觸單元連接，能把多個TCP依次交付試驗，其特徵在於，包括，能取得TCP與上述接觸單元的位置不正(位置偏離)的信息的位置不正信息取得裝置；能使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞其垂直軸旋轉移動的帶垂直軸旋轉裝置；能使上述接觸單元圍繞該垂直軸旋轉移動的接觸單元垂直軸旋轉裝置，當用上述位置不正信息取得裝置取得的位置不正量(位置偏離量)比規定值大時或者在大於等於規定值時，驅動上述接觸單元垂直軸旋轉裝置，使上述接觸單元圍繞垂直軸旋轉移動，當上述位置不正量在小於等於規定值時或者滿足規定值時，通過驅動上述帶垂直軸旋轉裝置使上述承載帶圍繞垂直軸旋轉移動，自動補正上述位置不正(7)。
如果採用上述發明(7)，則通過驅動帶垂直軸旋轉裝置或者接觸單元垂直軸旋轉裝置，進行圍繞垂直軸移位的TCP與接觸單元的對位，能減少接觸不良的發生。
在此，在TCP處理裝置的構造上，和使具備有多個與試驗主體聯繫的軟線的接觸單元移動的接觸單元垂直軸旋轉裝置相比，帶垂直軸旋轉裝置能在短時間進行位置不正補正。但是，帶垂直軸旋轉裝置因為使由導片滑輪和鏈輪等支撐的承載帶移動，所以如果其移動量大則在承載帶上產生應力，有可能損傷承載帶上的TCP(特別是舌簧或者試驗襯墊)和承載帶本身(特別是鏈輪的爪進入的孔穴部分或者其周邊部分)。
因此，如果採用上述發明(7)，則在位置不正量大時，驅動接觸單元垂直軸旋轉裝置防止TCP和承載帶的損傷，在位置不正小時，驅動帶垂直軸旋轉裝置，能縮短位置不正補正的時間，進而縮短生產節拍時間。
上述發明(7)的TCP處理裝置理想的是還包括能使按壓在上述接觸單元上的承載帶在其平面方向上移動的帶平面移動裝置；能使上述接觸單元在其平面方向上移動的接觸單元平面移動裝置，當由上述位置不正信息取得裝置取得的位置不正量比規定值大時或者在大於等於規定值時，驅動上述接觸單元垂直軸旋轉裝置和/或上述接觸單元平面移動裝置，使上述接觸單元圍繞垂直軸旋轉移動和/或在平面方向上移動，當上述位置不正量在小於等於規定值時或者不足規定值時，驅動上述帶垂直軸旋轉裝置和/或上述帶平面移動裝置，通過使上述承載帶圍繞垂直軸旋轉移動和/或在平面方向上移動，自動補正上述位置不正(8)。
如果採用上述發明(8)，則通過用帶垂直軸旋轉裝置和/或帶平面移動裝置，或者接觸單元垂直軸旋轉裝置和/或接觸單元平面移動裝置，使承載帶或者接觸單元圍繞垂直軸旋轉移動和/或在平面方向上移動，可靠地進行TCP與接觸單元的對位，能減少接觸不良的發生。另外，如果採用上述發明(8)，則當位置不正量大時，驅動接觸單元垂直軸旋轉裝置和/或接觸單元平面移動裝置，防止TCP和承載帶的損傷，當位置不正量小時，驅動帶垂直軸旋轉裝置和/或帶平面移動裝置能縮短位置不正的補正的時間，進而縮短生產節拍時間。
第4，本發明提供一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，通過使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置中的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特徵在於，通過使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞其垂直軸旋轉移動來補正TCP與上述接觸單元的位置不正(9)。
如果採用上述發明(9)，則通過使承載帶圍繞垂直軸旋轉移動，進行圍繞垂直軸移位的TCP與接觸單元的對位，能減少接觸不良的發生。
第5，本發明提供一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，通過使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，能把多個TCP依次交付試驗的在處理裝置中的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特徵在於，通過使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞其垂直軸旋轉移動和/或在其平面方向上移動，補正TCP與上述接觸單元的位置不正(10)。
如果採用上述發明(10)，則通過使承載帶圍繞垂直軸旋轉移動和/或在平面方向上移動，可靠地進行TCP與接觸單元的對位，能減少接觸不良的發生。
第6，本發明提供一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，通過使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置中的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特徵在於，取得TCP與上述接觸單元的位置不正的信息，根據上述取得的位置不正信息，通過使按壓在上述接觸單元上的承載圍繞其垂直軸旋轉移動，補正上述位置不正(11)。
如果採用上述發明(11)，則通過根據取得的位置不正信息使承載帶圍繞垂直軸旋轉移動，能可靠補正圍繞垂直軸移位的TCP和接觸單元的位置不正。
第7，本發明提供一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，它是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，據此能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特徵在於，取得TCP與上述接觸單元的位置不正的信息，根據上述取得的位置不正信息，通過使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞該垂直軸旋轉移動和/或在其平面上移動，補正上述位置不正(12)。
如果採用上述發明(12)，則通過根據已取得的位置不正信息使承載帶圍繞垂直軸旋轉移動和/或在平面方向上移動，能可靠補正TCP和接觸單元的位置不正。
第8，本發明提供一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，它是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，據此能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特徵在於，在TCP處理處理裝置的實際運行中，取得TCP與上述接觸單元的位置不正信息，根據上述取得的位置不正信息，使上述接觸單元圍繞垂直軸旋轉移動，補正上述位置不正(13)。
如果採用上述發明(13)，則通過在TCP處理裝置的運行中使接觸單元圍繞垂直軸旋轉移動，因為能對每個被試驗TCP進行圍繞垂直軸移位的被試驗TCP與接觸單元的對位，所以能顯著減少接觸不良的發生。
第9，本發明提供一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，它是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，據此能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特徵在於，在TCP處理裝置的實際運行中，取得TCP與上述接觸單元的位置不正信息，根據上述已取得的位置不正信息，通過使上述接觸單元圍繞垂直軸旋轉移動和/或在其平面方向上移動，補正位置不正(14)。
如果採用上述發明(14)，則在TCP處理裝置的實際運行中，通過使接觸單元圍繞垂直軸旋轉移動和/或在平面方向上移動，因為能對每個被試驗TCP可靠進行被試驗TCP與接觸單元的對位，所以能顯著減少接觸不良的發生。
第10，本發明提供一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，它是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，據此能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特徵在於，取得TCP與上述接觸單元的位置不正的信息，在取得的位置不正量比規定值大時或者在大於等於規定值時，使上述接觸單元圍繞垂直軸旋轉移動，當取得的位置不正量在小於等於規定值時或者不足規定值時，通過使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞其垂直軸旋轉，補正上述位置不正(15)。
如果採用上述發明(15)，則進行圍繞垂直軸移位的TCP與接觸單元的對位，能減少接觸不良的發生。
在此，在TCP處理裝置的構造上，一般是與使具備有多個和試驗主體聯繫的軟線的接觸單元移動進行位置不正補正的時間相比，還是使承載帶移動進行位置不正補正的時間一方短。但是，因為承載帶通常用導片滑輪和鏈輪等支撐，所以如果承載帶的移動量大則在承載帶上產生應力，有可能損傷承載帶上的TCP(特別是舌簧(reed)或者試驗襯墊(pad))和承載帶本身(特別是鏈輪的爪進入的孔穴部分或者其周邊部分)。
因此，如果採用上述發明(15)，則在位置不正量大時，使接觸單元圍繞垂直軸旋轉移動，防止TCP和承載帶的損傷，在位置不正量小時，使承載帶圍繞垂直軸旋轉移動，能縮短位置不正補正的時間，進而縮短生產節拍時間。
第11，本發明提供一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，它是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，據此能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特徵在於，取得TCP與上述接觸單元的位置不正的信息，當取得的位置不正量比規定值大時或者大於等於規定值時，驅動上述接觸單元圍繞垂直軸旋轉和/或其平面方向上移動，在取得的位置不正量在小於等於規定值時或者不足規定值時，通過使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞垂直軸旋轉移動和/或在其平面方向上移動，補正上述位置不正(16)。
如果採用上述發明(16)，則通過使接觸單元或者承載帶圍繞垂直軸旋轉移動和/或在平面方向上移動，進行TCP與接觸單元的對位，能減少接觸不良的發生。另外，如果採用上述發明(16)，則在位置不正量大時，使接觸單元圍繞垂直軸旋轉移動和/或在平面方向上移動，防止TCP和承載帶的損傷，當位置不正量小時，使承載帶圍繞垂直軸旋轉移動和/或在平面方向上移動，能縮短位置補正的時間，進而縮短生產節拍時間。
圖1是表示使用了本發明的一種實施方式的TCP信息處理器的TCP試驗裝置的主視圖。
圖2是同一實施方式的TCP信息處理器的推進器組件的側視圖。
圖3是同一實施方式的TCP信息處理器的推進器組件的平面圖。
圖4是同一實施方式的TCP信息處理器中的探針卡載臺的平面圖。
圖5是同一實施方式的TCP信息處理器中的探針卡載臺的主視圖。
圖6是說明同一實施方式的TCP信息處理器的主要動作的流程圖。
具體實施例方式
以下，根據附圖詳細說明本發明的實施方式。
圖1表示使用了本發明的一種實施方式的TCP信息處理器的TCP試驗裝置。
TCP試驗裝置1由未圖示的試驗主體、與試驗主體電連接的試驗頭10、被設置在試驗頭10的上側的TCP信息處理器2構成。
TCP信息處理器2是多個被形成在承載帶5上各TCP依次交付試驗的設備，在本實施方式中，為了說明的簡化，假設每次1個進行TCP試驗。但是，本發明並不限於此，也能對在承載帶5上以串連方向和/或並列方向上排列的多個TCP同時進行試驗。
TCP信息處理器2具備繞下帶軸21和繞上帶軸22，在繞下帶軸21上繞著試驗前的承載帶5。承載帶5從繞下帶軸21上繞下，在進行試驗後卷繞到繞上帶軸22上。
在繞下帶軸21和繞上帶軸22之間設置把從承載帶5上玻璃的保護帶51從繞下帶軸21跨越到繞上帶軸22的3個中介滾輪23a、23b、23c。各中介滾輪23a、23b、23c如能調整保護帶51的張力那樣分別能上下移動。
在繞下帶軸21的下側設置導帶滾24a、繞下限制滾25a、內側子鏈輪25b以及內側導片滑輪25c，從繞下帶軸21繞下的承載帶5用導帶滾24a引導，經由繞下限制滾25a、內側子鏈輪25b以及內側導片滑輪25c傳送到推進器組件3。
另外，在繞上帶軸22的下側設置導帶滑輪24b、繞上限制滾25f、外側子鏈輪25e以及外測導片滑輪25d，試驗以後的承載帶5經由外測導片滑輪25d、外測子鏈輪25e以及繞上限制滾25f，用導片滑輪24b引導，卷繞在繞上帶軸22上。
在內側導片滑輪25c和外測導片滑輪25d之間設置推進器組件3，在推進器組件3的前段側(圖1中左側)上設置第1照相機6a，在推進器組件3的下側(以後敘述的探針卡載臺7的內側)上設置第2照相機6b，在推進器組件3的後段側(圖1中右側)上設置第3照相機6c。另外，在推進器組件3和第3照相機6c之間設置標誌穿孔機26a以及廢品穿孔機26b。
標誌穿孔機26a是根據試驗的結果對符合的TCP在規定的位置上開1個或者多個孔的裝置，廢品穿孔機26b是打穿判斷為試驗結果被為次品的TCP的裝置。
各照相機6a、6b、6c與未圖示的圖像處理裝置連接，第1照相機6a以及第3照相機6c是用於判斷在承載帶5上的TCP的有無以及標誌穿孔機26a的穿孔的位置和數的設備，第2照相機6b是用於取得承載帶5上的TCP和探針的位置不正的信息的設備。本實施方式中的第2照相機6b能取得有關視野內的多個對象的位置不正的信息。
第2照相機6b被安裝在照相機載臺61上，能通過照相機載臺61具有的傳動器在平面看縱橫方向(X軸-Y軸方向)以及上下方向(Z軸方向)上移動。
如圖1以及圖2所示，在推進器組件3的框架(推進器框架)36上，在經由託架361安裝能使滾珠絲槓32轉動的伺服電動機31的同時，經由2條Z軸方向的線性進給導向器(以下稱為「LM導向器」)37安裝滾珠絲槓32螺紋連接的推進器主體單元33。該推進器主體單元33通過驅動伺服電動機31，在被線性進給導向器37引導下能在上下方向(Z軸方向)上移動。
在該推進器主體單元33的下端部分上，設置通過吸引空氣能吸引保持承載帶5的吸附板34。
在推進器主體單元33的前段一側(圖1中左側)上設置牽引鏈輪35a，在推進器主體單元33的後段側(圖1中右側)上，設置主鏈輪35b。
如圖2以及圖3所示，在推進器空間36中的推進器主體單元33的背面側上，被基臺38裝載設置推進器載臺4，作為推進器4的旋轉臺的頂端工作檯48被固定在推進器框架36上。
在推進器載臺4的基座40上設置有使在X軸方向上具有軸的滾珠絲槓42a旋轉的伺服電動機41a；使在Y軸方向上具有軸的滾珠絲槓42b旋轉的伺服電動機41b；使在Y軸方向上具有軸的滾珠絲槓42c旋轉的伺服電動機41c，伺服電動機41b以及伺服電動機41c分別位於基座40上的兩端部分。
在絲槓42a上螺紋連接被X軸方向的LM導向器43a、43a導向能在X軸方向上滑動的滑動塊44a。在滑動塊44a上經由Y軸方向的LM導向器45a把滑動板46a安裝在Y軸方向上能滑動。在滑動板46a的上側固定在內部具有輥環的旋轉部件47a，旋轉部件47a被安裝在頂端工作檯48上能自如旋轉。
在絲槓42b上螺紋連接被Y軸方向的LM導向器43b、43b導向能在Y軸方向上滑動的滑動塊44b。在滑動塊44b上經由X軸方向的LM導向器45b把滑動板46b安裝在X軸方向上能滑動。在滑動板46b的上側固定在內部具有輥環的旋轉部件47b，旋轉部件47b被安裝在頂端工作檯48上能自如旋轉。
在絲槓42c上螺紋連接被Y軸方向的LM導向器43c、43c導向能在Y軸方向上滑動的滑動塊44c。在滑動塊44c上經由X軸方向的LM導向器45c把滑動板46c安裝在X軸方向上能滑動。在滑動板46c的上側固定在內部具有輥環的旋轉部件47c，旋轉部件47c被安裝在頂端工作檯48上能自如旋轉。
在具有這樣的結構的推進器載臺4上，通過驅動伺服電動機41a，使滑動塊44a、滑動板46b以及滑動板46c在X軸方向上滑動，能使頂端工作檯48在X軸方向上移動。另外，通過驅動伺服電動機41b以及伺服電動機41c，使滑動塊44b、滑動塊44c以及滑動板46a在Y軸方向上滑動，能使頂端工作檯48在Y方向上移動。而且，在驅動伺服電動機41a使滑動塊44a向X軸方向滑動的同時，驅動伺服電動機41b以及伺服電動機41c，使滑動塊44b以及滑動塊44c相互在Y軸相反方向上移動，而後通過使各旋轉零件47a、45b、45c旋轉，能使頂端工作檯48圍繞該垂直軸旋轉。
如果採用該推進器載臺4，則能使推進器組件3在X軸-Y軸方向上移動，以及能圍繞垂直軸旋轉移動。而且，本實施方式中的推進器載臺4在構造上能同時進行X軸-Y軸方向的移動以及圍繞垂直軸的旋轉移動，另外，因為作為移動對象的推進器組件3重量比較輕，所以具有能在短時間補正位置不正的特徵。
另一方面，如圖1所示，在推進器組件3的下側，在試驗頭10的上部設置有安裝著探針卡8的探針卡載臺7。
如圖4以及圖5所示，在探針卡載臺7的基臺71上設置使在X軸方向上具有軸的絲槓712旋轉的伺服電動機711、4個X軸方向的LM導向器713。在這4個LM導向器713上，設置用各LM導向器713能在X軸方向上滑動的矩形的X基座72。在該X基座72的一側部分上形成滾珠絲槓712螺紋連接的螺紋連接單元721。
在X基座72上設置使在Y軸方向上具有軸的滾珠絲槓723旋轉的伺服電動機722、2條Y軸方向的LM導向器724。在這2條LM導向器724上設置用各LM導向器724能在Y軸方向上滑動導向的矩形的Y基座73。在該Y基座73的一側部分上形成滾珠絲槓723螺紋連接的螺紋連接單元731。
在Y基座73上，設置使在Y軸方向上具有軸的滾珠絲槓733旋轉的伺服電動機732，和支撐導向環735能自如旋轉的連接環734。在導向環735的一部分上形成滾珠絲槓733螺紋連接的螺紋連接單元736。具備多個探針81的探針卡8用4個銷釘82安裝在導向環735上能自由裝拆。
而且，在圖4以及圖5上雖然未圖示，但探針卡8的各探針81經由試驗頭10與探針主體電連接，在探針卡8的下側，第2照相機位於探針卡載臺7的內側。
在具有這樣結構的探針卡載臺7中，通過驅動伺服電動機711，能使X基座72，進一步使探針卡8在X軸方向上移動，通過驅動伺服電動機722，能使Y基座73，進而使探針卡8在Y軸方向上移動。另外，驅動伺服電動機732使滾珠絲槓733旋轉，通過使螺紋連接單元736移動，能使導向環735以及探針卡8圍繞該垂直軸旋轉。
在此，上述的推進器載臺3在構造上能在短時間進行位置不正補正，而在平面方向上具備多個部件，平面方向的尺寸增大。探針卡載臺7因為限制平面方向的空間，所以設置成和推進器載臺3同樣的結構困難，因為假設和推進器載臺3是同樣的結構，所以如果小型化伺服電動機711、722、732，則伺服電動機711、722、733的驅動力弱，不能可靠地驅動具備多條與試驗主體聯繫的軟線的探針卡8。即，本實施方式中的探針卡載臺7在其結構上，必須分別進行X軸-Y軸方向的移動和圍繞垂直軸的旋轉移動，與推進器載臺3相比還是位置不正補正需要時間，但具有能在狹窄的空間上可靠移動探針卡8的特徵。
以下，說明TCP信息處理器2的使用方法以及動作。
在使用TCP信息處理器2時，在使TCP信息處理器2實際運行前，需要預先進行初始設定。即，當變更TCP的品種，和隨之變更探針卡8時，需要如TCP的外部端子(以下有時稱為「試驗襯墊(pad)」)和探針卡8的探針81接觸那樣，確定並登記推進器載臺4以及探針卡載臺7的基準位置(把該位置稱為「登記位置」)。
例如，在手動操作中，選擇多個位置(例如3個位置)的探針81和與之對應的試驗襯墊粗略確定位置，接著，通過利用第2照相機6b以及圖形處理裝置，如使各個探針81儘可能在各試驗襯墊的中央那樣，在自動控制下移動推進器載臺4和/或探針卡載臺7，能確定登記基準位置。而且，根據需要，對上述粗略位置的確定也能不進行手動操作而通過自動控制進行。
此時，一併登記在第2照相機6b的視野內的規定的對象的位置坐標。位置坐標理想的是對於多個位置，特別使在照相機的視野內偏離的對象登記大於等於3個位置。據此，能高精度地取得位置不正信息。作為規定的導向，例如，能選擇在承載帶5中的定位標誌、TCP的對角線上的大於等於2個的試驗襯墊或者有特徵的舌簧(reed)、與它們對應的大於等於2個的探針81前端部分等。
參照圖6的流程圖說明在使TCP信息處理器2實際運行時的TCP信息處理器2的主動作。
如果TCP信息處理器2開始主動作，則推進器載臺4以及探針卡載臺7移動到登記位置(步驟S01)。而後，通過繞下帶軸21以及繞上帶軸22旋轉規定角度使承載帶5移動，把第1個TCP傳送到吸附板34的下側的規定位置(步驟S02)。
在TCP被吸引到吸附板34的下側後，推進器組件3的伺服電動機31驅動，經由推進器主體單元33使吸附板34向Z軸下方向移動。吸附板34吸引承載帶5，下降到攝像位置(步驟S03)。而且，牽引鏈輪35a通過在和承載帶5的行進方向相反的方向上轉動，在承載帶5上加上規定的牽引力提高承載帶5的位置精度。
在該狀態下第2照相機6b進行攝像(步驟S04)，把圖像信息發送到圖像處理裝置。圖像處理裝置從接收到的圖像信息中，取得預先登記的規定的對象的位置坐標，和實際拍攝的對象的位置坐標的位置不正的信息(位置不正的方向(X·Y·θ)以及位置不正的量)。例如，如果登記定位標誌、大於等於2個的試驗襯墊以及與它們對應的大於等於2個的探針前端部分的位置坐標，則取得這些登記的位置坐標、實際攝像的定位標誌、大於等於2個的試驗襯墊以及與它們對應的大於等於2個的探針前端部分的位置坐標的位置不正的信息。
圖像處理裝置根據已取得的位置不正信息，計算X軸方向、Y軸方向以及圍繞垂直軸的位置不正的量(步驟S05)。
而且，當同時試驗多個TCP時，假設輸出對各TCP的位置不正量的平均值。
計算的結果，當判定為不需要位置不正的補正時(步驟S06-No)，進入到以後敘述的步驟S10。
計算的結果，當判斷為需要位置不正補正時(步驟S06-Yes)，判斷位置不正量是否大於等於規定值T(步驟S07)。這種情況下的「位置不正量」能只把圍繞垂直軸的位置不正的量作為對象，也能把圍繞垂直軸的位置不正量以及Y軸方向的位置不正量作為對象，還能把圍繞垂直軸的位置不正量、Y軸方向的位置不正量以及X軸方向的位置不正量作為對象。當有多個位置不正量的要素時，只要適宜地組合它們判斷即可。
當位置不正量在大於等於規定值T時(步驟正S07-Yes)，探針卡載臺7的伺服電動機711、722、732驅動，使X基座72、Y基座73或者導向環735動作，通過使探針卡8在X軸-Y軸方向上移動和/或圍繞垂直軸旋轉移動補正位置不正(步驟S08)。
與此相反，當位置不正量不足規定值T時(步驟S07的-No)，推進器載臺4的伺服電動機41a、41b、41c驅動，使頂端工作檯48，進而使推進器組件3動作，通過使用吸附板34吸引的承載帶5在X軸方向-Y軸方向移動和/或圍繞垂直軸旋轉移動，補正位置不正(步驟S09)。
當位置不正量大時，如果用推進器載臺4使承載帶5移動，則在用內側導片滑輪25c、牽引鏈輪35a、主鏈輪35b以及外測導片滑輪25d支撐的承載帶5上施加應力，有可能損傷承載帶5上的TCP，特別是舌簧(reed)或者試驗襯墊(pad))，和承載帶本身，特別是牽引鏈輪35a以及主鏈輪35b的爪進入的孔穴部分或者其周邊部分。這樣的問題特別容易發生在使承載帶5圍繞垂直軸旋轉移動時，另外還發生在使承載帶5在Y軸方向上移動時。
在本實施方式中，當位置不正量大時(大於等於T時)，因為用探針卡載臺7使探針卡8移動進行位置不正補正，所以沒有上述那樣的問題。T的值因TCP的大小(特別是X軸方向的穿孔尺寸和試驗襯墊尺寸)等而不同，但如上所述，只要考慮TCP和承載帶5的損傷危險適宜設定即可。通常，作為圍繞垂直軸的位置不正量(度)的T的值在0.1(度)以內。
另一方面，當位置不正量小時(不足T時)，通過用位置不正補正所需要的時間短的推進器載臺4使承載帶5移動，能縮短生產節拍時間(從試驗結束到試驗開始的時間)。
在用步驟S08或者步驟S09進行位置不正的補正後，推進器組件3的伺服電動機31驅動，經由推進器主體單元33使吸附板34進一步向Z軸下方向移動。吸引著承載帶5的吸附板34下降到接觸位置，使TCP對探針卡8的探針81按壓(步驟S10)。
在TCP的試驗襯墊與探針81接觸後，在TCP上從試驗主體通過試驗頭10施加試驗信號，從TCP讀出的應答信號通過試驗頭10送到試驗主體中。據此試驗TCP的性能和功能等，根據該試驗結果標誌穿孔器26a或者廢品穿孔器26b驅動。
TCP信息處理器2判斷進行試驗的TCP是否是最後的器件(步驟S11)，當判斷為是最後的器件時(步驟S11-Yes)，結束主動作。另一方面，當判斷為不是最後的器件時(步驟S11-No)，推進器組件3的伺服電動機31驅動，在經由推進器主體單元33使吸附板34向Z軸上方向移動的同時，推進器載臺4以及探針卡載臺7移動到登記位置(步驟S12)。而後，吸附板34在停止吸引承載帶5解放承載帶5的同時，進一步向Z軸上方向移動(步驟S13)。其後返回步驟S02。
如果採用本實施方式的TCP信息處理器2，因為用推進器載臺4和/或探針卡載臺7，在TCP信息處理器2的實際運行中，不僅能在X軸方向-Y軸方向上，而且能圍繞垂直軸使承載帶5和/或探針卡8移動進行位置不正補正，所以可靠地進行TCP和探針81的對位，能減少接觸不良的發生。另外，通過分開使用推進器載臺4以及探針卡載臺7，不會損傷TCP和承載帶，能儘可能縮短生產節拍時間。
以上說明的實施方式是為了容易理解本發明而記載的，並不限定本發明。因此，在上述實施方式中公開的各要素是還能包含屬於本發明的技術範圍的全部的設計變更和等效物的宗旨。
例如，推進器載臺4以及探針卡載臺7的結構並沒有特別限定，能更改兩者的結構，也能兩者都設置成同樣的結構。
另外，在上述TCP信息處理器2中，也能省略探針卡載臺7，只用探針載臺4進行位置不正補正。即使在這種情況下，因為能用推進器載臺4使承載帶5圍繞垂直軸旋轉移動，所以和只是X軸-Y軸方向的2軸控制相比，能正確地進行TCP和探針81的對位。
而且，在上述TCP信息處理器2中，也能省略推進器載臺4，只用探針卡載臺7進行位置不正補正。即使在這種情況下，因為能用探針卡載臺7在TCP信息處理器2的實際運行中使探針卡8在X軸方向-Y軸方向移動以及圍繞垂直軸旋轉移動，所以能減輕TCP和探針81的接觸不良的發生。
而且，在上述TCP信息處理器2的探針卡載臺7中，只是把圍繞垂直軸的旋轉移動機構設置成使用了第2照相機6b以及圖像處理裝置的自動控制，X軸-Y軸方向的移動機構也能設置成看著用第2照相機6b拍攝的圖像的手動操作式。另外在該情況下，推進器載臺3也能省略圍繞垂直軸的旋轉移動機構，只自動控制X軸-Y軸方向的移動機構。
綜上所述，如果採用本發明的TCP處理裝置或者位置不正補正方法，則能正確地進行TCP與接觸單元的對位，減少接觸不良的發生。即本發明的TCP處理裝置和位置不正補正方法用於正確、可靠、高效地進行TCP的試驗。
權利要求
1.一種TCP處理裝置，它傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元連接，據此把多個TCP依次交付試驗，其特徵在於，包括能使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞其垂直軸旋轉移動的帶垂直軸旋轉裝置。
2.如權利要求1所述的TCP處理裝置，其特徵在於，上述TCP處理裝置還包括能使按壓在上述接觸單元上的承載帶在其平面方向上移動的帶平面移動裝置。
3.如權利要求2所述的TCP處理裝置，其特徵在於，上述帶垂直軸旋轉裝置和/或上述帶平面移動裝置與把承載帶按壓在上述接觸單元上的按壓裝置一起，使承載帶圍繞垂直軸旋轉移動和/或在平面方向上移動。
4.如權利要求2或3所述的TCP處理裝置，其特徵在於，上述TCP處理裝置還包括能取得TCP與上述接觸單元的位置不正信息的位置不正信息取得裝置，根據由上述位置信息取得裝置取得的位置不正信息來驅動上述帶垂直軸旋轉裝置和/或上述帶平面移動裝置，自動補正上述位置不正。
5.一種TCP處理裝置，它傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元連接，據此把多個TCP依次交付試驗，其特徵在於，包括能取得TCP與上述接觸單元的位置不正信息的位置不正信息取得裝置；和使上述接觸單元能圍繞其垂直軸旋轉移動的接觸單元垂直軸旋轉裝置，在實際運行中，根據由上述位置不正信息取得裝置取得的位置不正信息來驅動上述接觸單元垂直軸旋轉裝置，使上述接觸單元圍繞垂直軸旋轉移動，自動補正上述位置不正。
6.如權利要求5所述的TCP處理裝置，其特徵在於，上述TCP處理裝置還包括能使上述接觸單元在其平面方向上移動的接觸單元平面移動裝置，在實際運行中，根據由上述位置不正信息取得裝置取得的位置不正信息來驅動上述接觸單元垂直軸旋轉裝置和/或上述接觸單元平面移動裝置，使上述接觸單元圍繞垂直軸旋轉移動和/或在平面方向上移動，自動補正上述位置不正。
7.一種TCP處理裝置，它傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元連接，據此把多個TCP依次交付試驗，其特徵在於，包括能取得TCP與上述接觸單元的位置不正信息的位置不正信息取得裝置；能使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞該垂直軸旋轉移動的帶垂直軸旋轉裝置；和能使上述接觸單元圍繞其垂直軸旋轉移動的接觸單元垂直軸旋轉裝置，當用上述位置不正信息取得裝置取得的位置不正量比規定值大時或者在大於等於規定值時，驅動上述接觸單元垂直軸旋轉裝置，使上述接觸單元圍繞垂直軸旋轉移動，當上述位置不正量小於等於規定值時或者不足規定值時，驅動上述帶垂直軸旋轉裝置，使上述承載帶圍繞垂直軸旋轉，據此自動補正上述位置不正。
8.如權利要求7所述的TCP處理裝置，其特徵在於，上述TCP處理裝置還包括使按壓在上述接觸單元上的承載帶能在其平面方向上移動的帶平面移動裝置；和使上述接觸單元能在其平面方向上移動的接觸單元平面移動裝置，當用上述位置不正信息取得裝置取得的位置不正量比規定值大時或者大於等於規定值時，驅動上述接觸單元垂直軸旋轉裝置和/或上述接觸單元平面移動裝置，使上述接觸單元圍繞垂直軸旋轉移動以及或者在平面方向上移動，當上述位置不正量小於等於規定值時或者不足規定值時，驅動上述帶垂直軸旋轉裝置和/或上述帶平面移動裝置，使上述承載帶圍繞垂直軸旋轉移動和/或在平面方向上移動，據此自動補正上述位置不正。
9.一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，它是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，據此能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特徵在於，通過使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞其垂直軸旋轉移動來補正TCP與上述接觸單元的位置不正。
10.一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，它是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，據此能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特徵在於，通過使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞其垂直軸旋轉移動和/或在其平面方向上移動，來補正TCP與上述接觸單元的位置不正。
11.一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，它是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，據此能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特徵在於，取得TCP與上述接觸單元的位置不正的信息，根據上述取得的位置不正信息，通過使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞其垂直軸旋轉移動來補正上述位置不正。
12.一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，它是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，據此能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特徵在於，取得TCP與上述接觸單元的位置不正的信息，根據上述取得的位置不正信息，通過使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞其垂直軸旋轉移動和/或在其平面方向上移動，來補正上述位置不正。
13.一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，它是傳迭在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，據此能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特徵在於，在TCP處理裝置的實際運行中，取得TCP與上述接觸單元的位置不正的信息，根據上述取得的位置不正信息，通過使上述接觸單元圍繞其垂直軸旋轉移動，來補正上述位置不正。
14.一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，通過使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置中的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特徵在於，在TCP處理裝置的實際運行中，取得TCP與上述接觸單元的位置不正的信息，根據上述取得的位置不正信息，通過使上述接觸單元圍繞其垂直軸旋轉移動和/或在其平面方向上移動，來補正上述位置不正。
15.一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，它是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，據此能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特徵在於，取得TCP與上述接觸單元的位置不正的信息，當取得的位置不正量比規定值大時或者大於等於規定值時，使上述接觸單元圍繞其垂直軸旋轉移動，當取得的位置不正量小於等於規定值時或者不足規定值時，通過使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞其垂直軸旋轉移動來補正上述位置不正。
16.一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，它是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，據此能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特徵在於，取得TCP與上述接觸單元的位置不正的信息，當取得的位置不正量比規定值大時或者大於等於規定值時，使上述接觸單元圍繞其垂直軸旋轉移動和/或在其平面方向上移動，當取得的位置不正量小於等於規定值時或者不足規定值時，通過使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞其垂直軸旋轉移動和/或在其平面方向上移動，來補正上述位置不正。
全文摘要
在TCP信息處理器2上設置在TCP信息處理器2的實際運行中，在能使由吸附板34吸附的承載帶5在X軸－Y軸方向上移動的同時，能使其圍繞垂直軸旋轉的推進器載臺4；在TCP信息處理器2的實際運行中，在能使探針卡8在X軸－Y軸方向移動的同時，能使其圍繞垂直軸旋轉移動的探針卡載臺7。如果採用具有這樣構成的TCP信息處理器2，則能正確地進行TCP和探針卡8的對位，能減少接觸不良的發生。
文檔編號H01L21/02GK1745311SQ03826028
公開日2006年3月8日 申請日期2003年1月31日 優先權日2003年1月31日
發明者金子修一, 東山健二, 金子浩之, 村野壽 申請人:日商·日本工程技術股份有限公司, 株式會社愛德萬測試