錯誤檢測系統及其管理方法
2023-05-31 17:49:36 2
專利名稱：錯誤檢測系統及其管理方法
技術領域：
本發明涉及一種錯誤檢測系統及其管理方法，特別涉及一種可進行自我監控(self-monitoring)及錯誤診斷(error-diagnosing)的錯誤檢測系統及其管理方法。
背景技術：
集成電路製造技術的持續進步已經發展出許多新的半導體工藝，其通常需要許多的輸入，必需予以精密地調控以維持較佳的工藝質量。從半導體原料至完成封裝的集成電路元件需要許多不同的工藝，例如半導體材料的成長工藝、從半導體晶棒變成晶片的切割工藝、薄膜沉積工藝、蝕刻工藝、布植工藝、封裝工藝以及測試程序，而這些工藝彼此具有相當大的差異性，大都在不同的區域進行，且不同的工藝大都採用不同的控制技術。
圖1例示一具有即時資料庫的錯誤檢測系統，其披露於美國第US6,868,512號專利。該錯誤檢測系統包含至少一個數據搜集來源125、即時資料庫110以及資料庫管理單元120。該數據搜集來源125是用以產生錯誤檢測及更正(fault detection and correction，FDC)數據，而該資料庫管理單元120則是用以將該FDC數據儲存於該即時資料庫110，其中該資料庫管理單元120也具有進入數據目錄130。簡言之，該錯誤檢測系統的工作大略為接收進入的FDC數據、儲存進入的FDC數據於該即時資料庫110並產生進入數據目錄130(其指示進入的FDC數據由預設的進入數據處理器140負責處理)、以及傳送該FDC數據至該進入數據目錄130所指的數據處理器140。然而，公知的錯誤檢測系統並未設計任何的自我監控或錯誤診斷機制，因而在系統的內部模塊發生錯誤時，並無法即時補救而造成更大的損害。
發明內容
本發明的主要目的是提供一種可進行自我監控及錯誤診斷的錯誤檢測系統及其管理方法。
為達成上述目的，本發明提出一種錯誤檢測系統，其包含用以搜集至少一個機臺的參數的數據伺服器、至少一個可在該參數超出預設規範時發出異常信號的錯誤感應模塊、可在該錯誤感應模塊不正常工作時予以重啟動的監控模塊、用以控制該數據伺服器、該錯誤感應模塊及該監控模塊的遠端控制器。較佳地，該機臺、該數據伺服器、該錯誤感應模塊、該監控模塊及該遠端控制器是通過網絡相互耦合。此外，該遠端控制器也可用以診斷該數據伺服器、該錯誤感應模塊及該監控模塊的錯誤。
根據上述目的，本發明提出一種錯誤檢測系統的管理方法，其包含儲存至少一個機臺的參數於數據伺服器、錯誤感應模塊採用後進先出方式檢查該參數是否超過預設規範並在該參數超過該預設規範時產生異常信號、監控模塊檢查該錯誤感應模塊是否正常工作並在該錯誤感應模塊不正常工作時予以重新啟動。
較佳地，該錯誤感應模塊在讀取該數據伺服器儲存的參數時一併更新第一存取時間，而該監控模塊則通過檢查該第一存取時間是否在第一間隔內被更新，判斷該錯誤感應模塊是否異常。此外，該遠端控制器也可通過檢查該第一存取時間是否在第一間隔內被更新，診斷該錯誤感應模塊是否發生錯誤。同樣地，該監控模塊在讀取該錯誤感應模塊的第一存取時間時也一併更新第二存取時間，而該遠端控制器則通過檢查該第二存取時間是否在第二間隔內被更新，診斷該監控模塊的錯誤。
該遠端控制器也可通過與該數據伺服器的信號交換(handshaking)而診斷該數據伺服器的錯誤，亦即該遠端控制器可傳送檢測信號至該數據伺服器，並根據該數據伺服器是否在第三間隔內回傳確收信號，判斷該數據服務是否正常工作並診斷該數據伺服器是否發生錯誤。此外，該監控模塊可檢查進入該數據伺服器的參數的數據流量是否超過該錯誤感應模塊的處理能力，並在檢查結果為真時啟動另一錯誤感應模塊以協助處理該參數的錯誤分析。
與公知技術相比，本發明的錯誤檢測系統利用該監控模塊監控該錯誤感應模塊的工作，並在該錯誤感應模塊不正常工作時予以重新啟動。若該監控模塊嘗試重新啟動該錯誤感應模塊預定次數仍然無效時，則通知該遠端控制器代替該錯誤感應模塊進行該參數的錯誤分析工作。另外，該遠端控制器也可通過與該數據伺服器的信號交換而診斷該數據伺服器的錯誤。
此外，該監控模塊可檢查進入該數據伺服器的參數的數據流量是否超過該錯誤感應模塊的處理能力，並在檢查結果為真時啟動另一錯誤感應模塊以協助處理該參數的錯誤分析。再者，該監控模塊也可設定存取數於該數據伺服器，而該錯誤感應模塊根據該存取數以批次方式從該數據伺服器讀取該參數。
圖1例示一公知的錯誤檢測系統；圖2例示本發明的錯誤檢測系統；以及圖3至圖5例示本發明的錯誤檢測系統的管理方法。
主要元件標記說明10 錯誤檢測系統12 機臺14 數據伺服器 16 錯誤感應模塊18 監控模塊20 遠端控制器30 工廠32 網絡110 即時資料庫 120 資料庫管理單元125 數據搜集來源130 進入數據目錄140 數據處理器具體實施方式
圖1例示本發明的錯誤檢測系統10。該錯誤檢測系統10包含用以搜集至少一個機臺12的參數的數據伺服器14、至少一個可在該參數超出預設規範時發出異常信號的錯誤感應模塊16、可在該錯誤感應模塊16不正常工作時予以重啟動的監控模塊18、用以控制該數據伺服器14、該錯誤感應模塊16及該監控模塊18的遠端控制器20。較佳地，該機臺12、該數據伺服器14、該錯誤感應模塊16、該監控模塊18及該遠端控制器20是通過網絡相互耦合。此外，該遠端控制器20可通過另一網絡32連接至工廠30(例如新建廠房)，其包含另一錯誤檢測系統10及機臺12，如此該工廠30即可通過該遠端控制器20共享數據，有助於該工廠30在短時間內建立工藝的控制能力。
較佳地，該遠端控制器20也可用以診斷該數據伺服器14、該錯誤感應模塊16及該監控模塊18是否發生錯誤。該機臺可為測量機臺、幫浦或工藝機臺，該工藝機臺包含光刻步進機臺、蝕刻機臺、沉積機臺、平坦化機臺、快速熱處理機臺、離子布植機臺等等。該參數可為機臺的感應器測得的原始數據，例如工藝機臺的物理測量數據或測量機臺測得的待測元件的電學數據。
圖3至圖5例示本發明的錯誤檢測系統10的管理方法。該數據伺服器14接收並儲存至少一個機臺12的參數、該錯誤感應模塊16再採用後進先出的方式檢查該參數是否超過預設規範，並在該參數超過該預設規範時產生異常信號。此外，該錯誤感應模塊16在讀取該數據伺服器14儲存的參數時也一併更新第一存取時間。
參照圖4，該監控模塊18檢查該錯誤感應模塊16是否正常工作，並在該錯誤感應模塊16不正常工作時予以重新啟動。該錯誤感應模塊16在讀取該數據伺服器14儲存的參數時一併更新第一存取時間，而該監控模塊18則可通過檢查該第一存取時間是否在第一間隔內被更新，判斷該錯誤感應模塊16是否發生異常。若該第一存取時間並未在該第一間隔內更新，該監控模塊18則接著檢查第一計數器的儲存值，其記錄該錯誤感應模塊16的重新啟動次數。
若該第一計數器的儲存值並未超過預設值(代表可容許該錯誤感應模塊16的最大重新啟動次數)，該監控模塊18即重新啟動該錯誤感應模塊16並將該第一計數器的儲存值增加1。相對地，若該第一計數器的儲存值超過該預設值(亦即該監控模塊18先前曾嘗試重新啟動該錯誤感應模塊16，但無效)，該錯誤感應模塊16已經無法正常地工作，該監控模塊18即通知該遠端控制器20代替該錯誤感應模塊16進行該參數的錯誤分析工作，亦即該遠端控制器是作為該錯誤感應模塊的備用裝置。
參照圖5，該監控模塊18在讀取該錯誤感應模塊16的第一存取時間時也一併更新第二存取時間，而該遠端控制器20即可通過檢查該第二存取時間是否在第二間隔內被更新，診斷該監控模塊18的錯誤。若該第二存取時間未在該第二間隔內被更新，該遠端控制器20即檢查第二計數器的儲存值是否超過預設值(其記錄該監控模塊18的重新啟動次數)。若該第二計數器的儲存值並未超過預設值，該遠端控制器20即重新啟動該監控模塊18並將該第二計數器的儲存值增加1。相對地，若該第二計數器的儲存值超過該預設值，代表該監控模塊20已經無法工作，該遠端控制器20即代替該監控模塊18進行監控工作，亦即該遠端控制器是作為該監控模塊的備用裝置。
此外，該數據伺服器14也可計算進入的數據流量(即在一段時間內進入的參數的數量)，該監控模塊18可檢查進入該數據伺服器14的數據流量是否超過該錯誤感應模塊16的處理能力，並在檢查結果為真時啟動另一錯誤感應模塊16以協助處理該參數的分析。較佳地，判斷進入該數據伺服器14的數據流量是否超過該錯誤感應模塊16的處理能力，可通過檢查儲存於該數據伺服器14的參數是否在第四間隔內被讀取。
該遠端控制器20也可通過與該數據伺服器14的信號交換而診斷該數據伺服器14的錯誤，亦即該遠端控制器20也可傳送檢測信號至該數據伺服器14，再檢查該數據伺服器14是否在第三間隔內回傳確收信號，用以判斷該數據伺服器14是否正常工作並診斷該數據伺服器14的錯誤。再者，該監控模塊18也可設定存取數於該數據伺服器14，而該錯誤感應模塊16則根據該存取數以批次方式從該數據伺服器14讀取該參數。若進入該數據伺服器14的參數的數據流量超過該錯誤感應模塊的處理能力，該監控模塊18可通過提高該存取數的數值而提高該錯誤感應模塊16的分析效率。
與公知技術相比，本發明的錯誤檢測系統利用該監控模塊監控該錯誤感應模塊的工作，並在該錯誤感應模塊不正常工作時予以重新啟動。若該監控模塊嘗試重新啟動該錯誤感應模塊預定次數仍然無效時，則通知該遠端控制器代替該錯誤感應模塊進行該參數的錯誤分析工作。另外，該遠端控制器也可通過與該數據伺服器的信號交換而診斷該數據伺服器的錯誤。
此外，該監控模塊可檢查進入該數據伺服器的參數的數據流量是否超過該錯誤感應模塊的處理能力，並在檢查結果為真時啟動另一錯誤感應模塊以協助處理該參數的錯誤分析。再者，該監控模塊也可設定存取數於該數據伺服器，而該錯誤感應模塊根據該存取數以批次方式從該數據伺服器讀取該參數。
本發明的技術內容及技術特點已披露如上，然而所屬技術領域的技術人員仍可能基於本發明的教導及披露而作種種不背離本發明精神的替換及修改。因此，本發明的保護範圍應不限於實施例所披露的內容，而應包括各種不背離本發明的替換及修改，並為權利要求所涵蓋。
權利要求
1.一種錯誤檢測系統，其特徵是包含數據伺服器，用以搜集至少一個機臺的參數；至少一個錯誤感應模塊，可在該參數超出預設規範時發出異常信號；以及監控模塊，可在該錯誤感應模塊不正常工作時予以重啟動；其中該數據伺服器、該錯誤感應模塊及該監控模塊是通過第一網絡相互耦合。
2.根據權利要求1所述的錯誤檢測系統，其特徵是另包含遠端控制器，用以控制該數據伺服器、該錯誤感應模塊及該監控模塊。
3.根據權利要求2所述的錯誤檢測系統，其特徵是該遠端控制器是用以診斷該數據伺服器、該錯誤感應模塊及該監控模塊的錯誤。
4.根據權利要求2所述的錯誤檢測系統，其特徵是該遠端控制器是作為該錯誤感應模塊及該監控模塊的備用裝置。
5.根據權利要求1所述的錯誤檢測系統，其特徵是該監控模塊可在該參數的數據流量超出該錯誤感應模塊的處理能力時，啟動另一錯誤感應模塊。
6.根據權利要求1所述的錯誤檢測系統，其特徵是該監控模塊可在該數據伺服器設定存取數，而該錯誤感應模塊則根據該存取數以批次方式從該數據伺服器讀取該參數。
7.根據權利要求1所述的錯誤檢測系統，其特徵是該遠端控制器可通過第二網絡耦合至另一錯誤檢測系統，以共享數據。
8.一種錯誤檢測系統的管理方法，其特徵是包含下列步驟儲存至少一個機臺的參數於數據伺服器；若該參數超過預設規範，錯誤感應模塊產生異常信號；以及若該錯誤感應模塊不正常工作，監控模塊重新啟動該錯誤感應模塊。
9.根據權利要求8所述的錯誤檢測系統的管理方法，其特徵是該錯誤感應模塊是採用後進先出方式檢查該參數是否超過該預設規範。
10.根據權利要求8所述的錯誤檢測系統的管理方法，其特徵是該錯誤感應模塊在讀取該數據伺服器儲存的參數時更新第一存取時間，而該監控模塊則通過檢查該第一存取時間是否在第一間隔內被更新，判斷該錯誤感應模塊是否異常。
11.根據權利要求10所述的錯誤檢測系統的管理方法，其特徵是該監控模塊在讀取該錯誤感應模塊的第一存取時間時更新第二存取時間，且該錯誤檢測系統另包含遠端控制器，其通過檢查該第二存取時間是否在第二間隔內被更新，診斷該監控模塊的錯誤。
12.根據權利要求8所述的錯誤檢測系統的管理方法，其特徵是該錯誤感應模塊在讀取該數據伺服器儲存的參數時更新第一存取時間，且該錯誤檢測系統另包含遠端控制器，其通過檢查該第一存取時間是否在第一間隔內被更新，診斷該監控模塊的錯誤。
13.根據權利要求8所述的錯誤檢測系統的管理方法，其特徵是另包含遠端控制器，其通過下列步驟診斷該數據伺服器的錯誤傳送檢測信號至該數據伺服器；以及通過檢查該數據伺服器是否在第三間隔內回傳確收信號，判斷該數據服務是否正常工作。
14.根據權利要求8所述的錯誤檢測系統的管理方法，其特徵是另包含下列步驟檢查進入該數據伺服器的參數的數據流量是否超過該錯誤感應模塊的處理能力；以及若檢查結果為真，啟動另一錯誤感應模塊。
15.根據權利要求14所述的錯誤檢測系統的管理方法，其特徵是啟動另一錯誤感應模塊的步驟是由該監控模塊執行。
16.根據權利要求14所述的錯誤檢測系統的管理方法，其特徵是檢查進入該數據伺服器的參數的數據流量是否超過該錯誤感應模塊的處理能力的步驟是通過檢查儲存於該數據伺服器的參數是否在第四間隔內被讀取。
17.根據權利要求8所述的錯誤檢測系統的管理方法，其特徵是另包含下列步驟該監控模塊設定存取數於該數據伺服器；以及該錯誤感應模塊根據該存取數以批次方式從該數據伺服器讀取該參數。
18.根據權利要求17所述的錯誤檢測系統的管理方法，其特徵是若進入該數據伺服器的參數的數據流量超過該錯誤感應模塊的處理能力，該監控模塊提高該存取數的數值。
19.根據權利要求8所述的錯誤檢測系統的管理方法，其特徵是另包含遠端控制器通過網絡和另一錯誤檢測系統共享數據的步驟。
全文摘要
一種錯誤檢測系統包含用以搜集機臺的參數的數據伺服器、可在該參數超出預設規範時發出異常信號的錯誤感應模塊、可在該錯誤感應模塊不正常工作時予以重啟動的監控模塊、用以控制該數據伺服器、該錯誤感應模塊及該監控模塊的遠端控制器。該錯誤感應模塊在讀取該數據伺服器儲存的參數時一併更新第一存取時間，而該監控模塊則通過檢查該第一存取時間是否在第一間隔內被更新，判斷該錯誤感應模塊是否異常。此外，該監控模塊在該參數的數據流量超過該錯誤感應模塊的處理能力時，啟動另一錯誤感應模塊以協助處理該參數的錯誤分析。
文檔編號H01L21/66GK101030080SQ200610058319
公開日2007年9月5日 申請日期2006年3月1日 優先權日2006年3月1日
發明者楊正杰, 林文迪, 邱皇文 申請人:茂德科技股份有限公司