探針卡移載輔助裝置和檢查設備的製作方法
2023-06-10 15:43:36
專利名稱：探針卡移載輔助裝置和檢查設備的製作方法
技術領域：
本發明涉及使用探針卡且具有多個進行晶片等被檢查體的電氣特性檢查的檢查裝置的檢查設備，更詳細地說，本發明涉及在檢查設備內、在檢查裝置和搬送臺車之間，輔助探針卡移載作業的探針卡移載輔助裝置和檢查設備。
背景技術：
例如，如圖15所示，該檢查裝置包括搬送被檢查體(例如晶片)W的裝載室1和與裝載室1鄰近且進行從裝載室1取得的晶片W的電氣特性檢查的探針室2。如同一圖所示，探針室2具有在X、Y、Z以及θ方向移動，而且放置晶片的放置臺(晶片夾頭(chuck))3，配置在該晶片夾頭3的上方的帶有卡座的探針卡4，以及保持探針卡4的夾緊機構5。在探針室2內，晶片夾頭3在X、Y、Z和θ方向移動時，通過校準機構6，進行晶片W和探針卡4的探針卡4A的對準後，進行晶片W的分度送給，並進行晶片的電氣特性檢查。此外，校準機構6具有上照相機6A和下照相機6B。T為測試頭(test head)。
另外，在探針室2內的夾緊機構5上對探針卡4進行裝卸的情況下，例如使用本申請人在日本特開2001-24039號公報中提出的卡搬送裝置。如圖16所示，該卡搬送裝置具有晶片夾頭3和在與晶片夾頭3之間交接探針卡4的交接機構7。如圖16所示，交接機構7具有可自由裝卸地保持帶有卡座的探針卡4的轉接器8；前端部分成兩股，可自由裝卸地保持該轉接器8的叉狀的臂9；通過在箭頭A方向按壓該臂9而導向移動至交接探針卡4的位置的一對導軌10；和固定有導軌10的臂支承體11，其中，在與安裝在臂9和晶片夾頭3上的轉接器支承體12之間，進行搭載有探針卡4的轉接器8的交接。
此外，在使用卡搬送裝置將探針卡4卡安裝在夾緊機構5上的情況下，操作者等在將帶有卡座的探針卡4設置在交接機構7上後，通過卡搬送裝置而搬送至夾緊機構5的下面，在從該位置使晶片夾頭3上升後，利用夾緊機構5將探針卡4固定在檢查裝置本體上。另外，在圖16中，標號13表示在與箭頭B相反方向上摺疊並容納進行交換的交接機構7的收納部。
另外，在將探針卡4設置在卡搬送裝置上的情況下，操作者將探針卡4從規定收納架搬運至檢查裝置，或者操作者利用搬送臺車等，從收納架搬運至檢查裝置，再從搬送臺車移載並設置在卡搬送裝置上等。
然而，近年來，隨著探針卡4的大型化而存在有下述問題，即，由於其重量增大至15～25Kg，所以，例如當操作者等從搬送臺車抬起探針卡4並將其移載至卡搬送裝置上進行設置時，需要較大的力量，由此，在抬起探針卡4時，抓住部分受到限制，在處理時需要慎重，使得操作者的負擔過度，。
發明內容
本發明是為了解決上述問題而提出的，其目的在於提供一種即使對於重量較大的探針卡，也能夠減輕操作者的負擔，可以平穩地移載探針卡的探針卡移載輔助裝置、檢查設備以及檢查方法。
本發明第一方面所述的一種探針卡移載輔助裝置，其能夠輔助在電氣檢查裝置中所使用的探針卡的移載作業，其特徵在於，包括掛住或者吊下以保持上述探針卡的一對把手的保持部；可移動地支承上述保持部的支承部；和升降上述支承部的裝置。
另外，對於本發明第二方面所述探針卡移載輔助裝置，其特徵在於在本發明第一方面所述的發明中，上述保持部具有掛住上述一對把手的槽。
此外，對於本發明的第三方面所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於在第一或者第二方面所述的發明中，在上述保持部上設置有防止上述一對把手從上述保持部脫出的防止脫出裝置。
此外，對於本發明第四方面所述探針卡移載輔助裝置，其特徵在於在第三方面所述的發明中，上述防止脫出裝置是能夠立起倒下地安裝在上述保持部的端部上的槓桿。
此外，對於本發明第五方面所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於在第三方面所述的發明中，上述防止脫出裝置是能夠從上述槽突出安裝在上述保持部端部上的可撓性部件。
此外，對於本發明第六方面所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於在第二至第五方面中任一方面所述的發明中，上述保持部包括具有上述槽的第一板部件；配置在第一板部件的上方，並且可升降地保持第一板部件的第二板部件；和檢測第一、第二板部件的間隔變化的傳感器。
此外，對於本發明第七方面所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於在第一至第六方面中任一方面所述的發明中，上述保持部被安裝在能夠從上述支承部伸出的可伸縮臂上。
此外，對於本發明第八方面所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於在第七方面所述的發明中，在上述臂上設置有升降上述保持部的裝置。
此外，對於本發明第九方面所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於在第七或者第八方面所述的發明中，上述支承部的升降裝置包括升降上述臂的缸體機構；開閉將驅動流體供給至上述缸體機構的流路的閥；控制上述驅動流體的壓力的調節器；預先將上述探針卡的重量輸入至上述調節器的輸入端子；以及檢測上述驅動流體壓力的壓力傳感器。
此外，對於本發明第十方面所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於在第一至第九方面任一方面所述的發明中，上述支承部的升降裝置能夠在按壓上述探針卡的方向上施加輔助力。
此外，對於本發明第十一方面所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於在第十方面所述的發明中，上述輔助力能夠根據上述探針卡的重量而變更。
此外，對於本發明第十二方面所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於在第一至第十一方面任一方面所述的發明中，被附設在上述檢查裝置上。
此外，對於本發明第十三方面所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於在第一至第十一方面任一方面所述的發明中，當在上述檢查裝置和搬送在上述檢查裝置中所使用的探針卡的搬送裝置之間輔助上述探針卡的移載作業時，放置在上述檢查裝置和上述搬送裝置之間。
此外，對於本發明第十四方面所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於在十三方面所述的發明中，上述搬送裝置為搬送臺車。
此外，對於本發明第十五方面所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於在第一方面所述的發明中，上述保持部利用紐狀部件吊下而保持上述探針卡的一對把手。
此外，對於本發明第十六方面所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於在第十五方面所述的發明中，上述保持部包括安裝有多個上述紐狀部件的第一部件；配置在第二部件的上方，並且可升降地與第一部件連接的第二部件；以及檢測第一、第二部件的間隔變化的傳感器。
此外，對於本發明第十七方面所述的所述的檢查設置，其具有電氣檢查裝置和輔助在該備電氣檢查裝置中使用的探針卡的移載作業的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於，上述探針卡移載輔助裝置包括掛住或者吊下以保持上述探針卡的一對把手的保持部；可移動地支承述保持部的支承部；和升降上述支承部的裝置。
此外，對於本發明第十八方面所述的檢查設備，其特徵在於在第十七方面所述的發明中，上述保持部具有掛住上述一對把手的槽。
此外，對於本發明第十九方面所述的檢查設置，其特徵在於在第十五或者十六方面所述的發明中，在上述保持部上設置有防止上述一對把手從上述保持部脫出的防止脫裝置。
此外，對於本發明第二十方面所述的檢查設備，其特徵在於在第十七方面所述的發明中，上述防止脫出裝置為能夠立起倒下地安裝在上述保持部的端部上的槓桿。
此外，對於本發明第二十一方面所述的檢查設備，其特徵在於在第十七方面所述的發明中，上述防止脫出裝置為從上述槽突出地安裝在上述保持部的端部上的可撓性部件。
此外，對於本發明第二十二方面所述的檢查設備，其特徵在於在第十六至第十九方面任一方面所述的發明中，上述保持部包括具有上述槽的第一板部件；配置在第一板部件的上方，並且可升降地保持第一板部件的第二板部件；以及檢測第一、第二板部件的間隔變化的傳感器。
此外，對於本發明第二十三方面所述的檢查設備，其特徵在於在第十五至第二十方面任一方面所述的發明中，上述保持部被安裝在能夠從上述支承部伸出的可伸縮臂上。
此外，對於本發明第二十四方面所述的檢查設備，其特徵在於在第二十一方面所述的發明中，在上述臂上設置有升降上述保持部的裝置。
此外，對於本發明第二十五方面所述的檢查設備，其特徵在於在第十五至第二十三方面任一方面所述的發明中，上述支承部的升降裝置包括升降上述臂的缸體機構；開閉將驅動流體供給至上述缸體機構的流路的閥；控制上述驅動流體的壓力的調節器；預先將上述探針卡的重量輸入至上述調節器的輸入端子；以及檢測上述驅動流體壓力的壓力傳感器。
此外，對於本發明第二十六方面所述的檢查設備，其特徵在於在第十五至第二十三方面任一方面所述的發明中，上述支承部的升降裝置能夠在按壓上述探針的方向上施加輔助力。
此外，對於本發明第二十七方面所述的檢查設備，其特徵在於在第二十四方面所述的發明中，上述輔助力能夠根據上述探針卡的重量而變更。
此外，對於本發明第二十八方面所述的檢查設置，其特徵在於在第十五至第二十五方面任一方面所述的發明中，被附設在上述檢查裝置上。
此外，對於本發明第二十九方面所述的檢查設備，其特徵在於在第十五至第二十六方面任一方面所述的發明中，當在上述檢查裝置和搬送在上述檢查裝置中所使用的探針卡的搬送裝置之間輔助上述探針卡的移載作業時，被放置在上述檢查裝置和上述搬送裝置之間。
此外，對於本發明第三十方面所述的檢查設備，其特徵在於在第二十七方面所述的發明中，上述搬裝置為搬送臺車。
此外，對於本發明第三十一方面所述的檢查設備，其特徵在於在第十七方面所述的發明中，上述保持部利用紐狀部件吊下以保持上述探針卡的一對把手。
此外，對於本發明第三十二方面所述的檢查設備，其特徵在於在第三十一方面所述的發明中，上述保持部包括安裝有多個上述紐狀部件的第一部件；配置在第一部件的上方，並且可升降地與第一部件連接的第二部件；以及檢測第一、第二部件的間隔變化的傳感器。
根據本發明的第一至第三十二方面所述的發明，即使是對於重量較大的探針卡，也能夠提供減輕操作者負擔的探針卡移載輔助裝置以及檢查設備。
圖1為表示發明檢查設備的一個實施方式的平面圖。
圖2(a)、(b)分別為表示圖1所示檢查設備中所使用的探針卡移載輔助裝置的立體圖，(a)為其整體圖，(b)為其側視圖，圖3為表示圖1所示探針卡移載輔助裝置的主要部分的立體圖。
圖3為表示圖2的(a)和(b)所示的探針卡移載輔助裝置的主要部分的放大立體圖。
圖4(a)、(b)為分別表示利用圖1所示的探針卡移載輔助裝置的保持部保持探針卡的狀態圖，(a)為其整體圖，(b)為其側視圖。
圖5為表示圖2所示的探針卡移載輔助裝置的升降驅動裝置的結構的方框圖。
圖6(a)、(b)為分別表示本發明探針卡移載輔助裝置的另一實施方式的圖，(a)為表示其主要部分的側視圖，(b)為表示其保持件的平面圖。
圖7為表示圖6所示的探針卡移載輔助裝置的升降驅動裝置的結構的方框圖。
圖8(a)、(b)為分別表示本發明探針卡移載輔助裝置的又一實施方式的圖，(a)為部分剖開放大表示保持件的主要部分的正視圖，(b)為(a)的側視圖。
圖9為部分剖開放大表示本發明的探針卡移載輔助裝置的又一實施方式的保持件的主要部分的側視圖。
圖10為表示發明探針卡移載輔助裝置的又一實施方式的保持件的升降裝置的截面圖。
圖11為分別表示在圖1中所示的檢查設備中所使用的探針卡移載輔助裝置的圖，(a)為表示其主要部分的立體圖；(b)為(a)的側視圖。
圖12為放大表示圖11的(a)、(b)所示的探針卡移載輔助裝置的保持部的立體圖。
圖13(a)～(c)為分別表示利用圖11所示的探針卡移載輔助裝置的保持部保持探針卡的狀態圖，(a)為其側視圖，(b)為表示第二部件的平面，(c)為表示第一部件的平面圖。
圖14(a)、(b)分別為表示圖12所示的保持部的圖，(a)為其側視圖，(b)為其正視圖。
圖15為部分地剖開表示現有的檢查裝置的一個例子的正視圖。
圖16為圖15所示的檢查裝置中所使用的探針卡搬送裝置的動作的說明圖。
具體實施例方式
(第一實施方式)例如，如圖1所示，本實施方式的檢查設備50，其包括帶有用於進行被檢查體(例如晶片)(圖中沒有示出)的電氣特性檢查的探針卡51的檢查裝置52；依照配置多個檢查裝置52的通路53來搬送探針卡51的搬送臺車54；以及在搬送臺車54和設置在各檢查裝置52的裝置本體52A上的卡搬送裝置52B之間輔助探針卡51的移載作業的探針卡移載輔助裝置55。在同一圖中表示在測試頭T通過回驅動機構52C向通路53側迴轉的狀態下的檢查裝置52。探針卡51被保管在收納架(圖中沒有示出)中，在交換探針卡51時等，使用搬送臺車54，在收納架和多個檢查裝置52之間進行搬送。其中，在圖1中只表示出1臺檢查裝置52。
然而，由於隨著晶片的口徑增大或IC晶片超高集成化等，探針卡51尺寸大型化且高重量化，不用說操作者搬運，即便是在搬送臺車54和檢查裝置52的卡搬送裝置52B之間進行移載作業，其負擔也比較大。因此，在本實施方式中，當操作者在收納架和檢查裝置52之間搬送探針卡51的情況下使用搬送臺車54，當在搬送臺54和檢查裝置52的卡搬送裝置52B之間進行探針卡51的移載作業的情況下使用探針卡移載輔助裝置55，以減輕操作者的負擔。在操作者使用探針卡移載輔助裝置55的情況下，利用探針卡移輔助裝置55的保持部來保持卡搬送裝置52B上或者搬送臺車54上的探針卡51，只進行解除保持的作業便可以特別減輕實質的力做功。當在搬送臺車54和檢查裝置52的卡搬送裝置52B之間移載探針卡51時，操作者操作探針卡移載輔助裝置55。其中，搬送臺車54具有能夠轉換為多段拉出的架，以收納多個探針卡51，在這些架中容納有收納在託盤中的探針卡51。
另外，如圖2的(a)、(b)所示，探針卡移載輔助裝置55包括保持探針卡51的保持件551；該保持件551安裝在前端部的可伸縮臂552；支承該臂552的可旋轉的支承件553；構成通過該支承體553按重量區分探針卡51並使其升降的升降驅動裝置554的汽缸554A，其中，該輔助裝置被附設在檢查裝置52的側面上。
如圖2的(a)、(b)所示，臂552構成為具有第一臂552A和可自由滑動地安裝在第一臂552A上的第二臂552B。第二臂552B能夠在第一臂552A上前後移動地伸縮。另外，在臂552上安裝有操作手柄552C，能夠抓住操作手柄552C來操作臂552。可以利用調整部件552D來固定在第一臂552A上，使得能夠適當地設定臂552的長度，以使第二臂552B不在第一臂552A上滑動。
如圖2的(a)、(b)所示，臂552構成為第一臂552A的基端部與安裝在支承體553的上端部的連接件555銷接合，可以在最收縮的狀態下向支承件553側摺疊。即，臂552的基端通過第一銷552E而與連接件555銷結合，將具有銷的支架556安裝在支承件553的上下方向的稍微上部。另外，連杆557的兩端部與第一銷552E和支架556的銷連接。因此，臂552通過連杆557而能夠立起至水平方向。第二銷557A安裝在連杆557的臂552側的端部，另外，支架部件558安裝在支承體553的側面上，通過將該支架部件558支掛在第二銷557A上，而能夠將臂552維持在水平。
如圖2的(a)、(b)所示，支承體553和汽缸554A構成為都與可自由轉動地安裝在基臺559的前端部的迴轉體560連接，在基臺559的前端部通過迴轉體560而轉動。另外，在支承體553的背面並沿著支承體553的上下方向一體地安裝有導軌561，與該導軌561接合的塊體561A固定在迴轉體560上。此外，如同圖的(b)所示，汽缸554A的缸體本體的上下兩端部，由迴轉體560和從其開始向下方垂下的支柱560A而垂直地支承。在支承體553的上端部設置有引導支承體553的升降動作和迴轉動作的導向部件561B，該導向部件561B的一部分插入到具有逆U字形槽的導向部件561C的槽中。另外，在圖2(b)中，標號554a表示的是用缸體蓋覆蓋的缸體杆。
接著，如圖3所示，臂552的前端的保持件551構成為具有長方形的第一板部件551A、配置在第一板部件551A的中心上方的圓形的第二板部件551B、和互相連接第一、第二板部件551A、551B的連接部件551C，其中，通過在第一板部件551A的兩端部形成的一對槽551D來保持探針卡51。一對槽551D與探針卡51的一對把手51A的間隔和由把手51A的第一板部件551A所保持的直線部分的長度一致，在第一板部件551A的全部寬度上形成。此外，在圓形的第二板部件的外周部邊緣的全周上隔開互相相等的間隔而安裝有多個連接部件551C。其中，在本實施方式中，第一板部件551A由中心板以及其左右的三塊板所形成。
另外，如圖3和圖4的(a)、(b)所示，保持件551構成為通過肘節裝置562而能夠在保持探針卡51時，在臂552的前端升降。即，肘節裝置562具有操作槓桿562A和通過連杆機構562B可升降地與該操作槓桿562A銷結合的升降杆562C，其被設置在固定於第二臂552B前端的設置臺563上。
設置臺563包括將肘節裝置562水平地設置的大致矩形的設置部563A，在設置部563A的兩側端形成的一對側面部563B和連接這些側面部563B、563B的後端之間的背面部563C，在設置部563A的後端和背面部563C之間形成有間隙。肘節裝置562的升降杆562C貫通在設置部563A上形成的孔，並且在其下端通過升降體564而連接有保持件551。
升降體564包括水平部564A和從水平部564A的後端部嵌入設置臺563的間隙的垂直部564B，保持件551與水平部564A的下面連接。升降體564通過設置在垂直部564B和設置臺563的背面563C的間隙中的線性導向機構565而進行升降。
另外，由探針卡移載輔助裝置55所處理的探針卡51如圖2(a)(b)所示那樣構成。即，如同圖所示，探針卡51包括例如由迴路基板構成的大致圓形的卡本體51B，安裝在卡本體51B的上表面上的增強部件51C，以及具有安裝在卡本體51B的下表面中心的多個探針的接頭(圖中沒有示出)。增強件51C由在卡本體51B的中心形成的矩形部51D、從矩形部51D呈放射狀延伸至卡本體51A的外周的放射狀部51E、和在放射狀部51E的半徑方向的大致中間形成的的圓環狀部51F構成。在矩形部51D的上表面左右，分別通過安裝部件51G而安裝有一對把手51A。不使用時，把手51A在不使用時可分別倒向外側。
例如，如圖5所示，使升降臂552升降的升降驅動裝置554包括汽缸554A；關閉將驅動流體(壓縮空氣)供給至汽缸554A的管路554B的電磁閥(例如三通閥)554C；根據探針卡51的重量控制壓縮空氣壓力的電空調節器554D；相對於電空調節器554D預先選擇與探針卡51的重量對應的壓縮空氣壓力值並進行輸入的輸入端子554E；和檢測壓縮空氣的壓力的壓力傳感器554F，其中，根據從輸入端子554E的輸入值，電磁閥554C和電空調節器554D協同工作，以此來對汽缸554A進行驅動控制。
另外，升降驅動裝置554具有在操作時抓住操作手柄552C而起作用的操作開關554G。如後所述，通過操作開關554I，可以開閉控制電磁閥554C和電空調節器554D。即，操作開關554G通過控制部554H電氣上與輸入端子554E連接，只有當操作開關554G為接通狀態時，電空調節器554D才能夠通過控制部554H並根據輸入端子554E的輸入值工作，並且電磁閥554C成為開狀態。
換句話說，當操作開關554G接通時，通過控制部554H而打開電磁閥554C，在電空調節器554D的控制下，將壓縮空氣供給至汽缸554A。另外，當操作開關554G斷開時，通過控制部554H，電磁閥554C關閉，壓縮空氣被封止在汽缸554A內，使汽缸554A停止，從而使臂552在下降途中停止。例如，當探針卡51的重量比輸入端子554E的輸入重量大時，抓住操作手柄552C而使臂552迴轉時，汽缸554A的按壓力不足，臂552利用自重開始下降。這時，當不注意操作手柄552C從操作者的手離開時，操作開關554G斷開。電磁閥554C關閉，自此為止供給至汽缸554A的壓縮空氣被封止在汽缸554A內。這樣，臂552因探針卡51的自重而下降，利用壓縮空氣的工作，臂552在途中停止，從而能夠防止探針卡51的落下。另外，當在輸入端子554E上將探針頭卡51的重量設定得過小的情況下，操作手柄552C離開操作者的手，與上述情況相同，能夠使汽缸554A的急劇上升停止。其中，在圖5中，554I為霧隔離器。
接著，對其動作進行說明，在檢查設備50中，當操作者安裝或者更換檢查裝置52的探針卡51時，從收納架取出探針卡51，與託盤一起將必要塊數的探針卡51收納在搬送臺車54上，然後，如圖1所示，操作者將搬送臺車54移動至目的檢查裝置52。
對於操作者來說，在與託盤一起收納在架上的探針卡51被放置在架上的狀態下，將其從搬送臺車54中拉出，並放置在搬送臺車54的上面。使用探針卡放輔助裝置55，只將探針卡51移載在檢查裝置52上。在使用探針卡移載輔助裝置55的情況下，通過升降驅動裝置554的輸入端子554E，預先設定探針卡51的重量。另外，對於臂552，通過連杆557使臂552立起，將支架部件558掛支在第二銷557A上，並將臂552維持在水平。在該狀態下，操作者對操作手柄552C進行操作，將臂552迴轉至探針卡51的上面，使保持件551與探針卡51的中心一致。
另外，使用操作手551C，將保持件551按壓至探針卡51中心附近，使第一板部件551A位於把手51A、51A的中間位置。當在該狀態下使探針卡51的把手51A、51A立起時，把手51A、51A在保持件551的第一板部件551A的左右槽551D的上面。其次，當將肘節裝置562的操作槓桿562A反轉至圖3所示的位置，使升降杆562C通過升降體564抬起保持件551時，如圖3和圖4所示，把手51A、51A嵌入第一板部件551A的左右的槽551D、551D中。這時，當操作者抓住操作手柄552C並接通操作開關554G時，壓力傳感器554F檢測正常的壓縮空氣的壓力並為接通，由此，電磁閥554C成為開狀態，在電空調節器554D的控制下，將根據探針卡51的輸入重量的規定壓力的壓縮空氣供給至汽缸554A內。這樣，能夠在臂552從搬送臺車54的架抬起探針卡51的方向施加輔助力。在該狀態下，操作者操作手柄552C，從搬送臺車54的架抬起探針卡51，再將臂552向檢查裝置52側迴轉，將探針卡51搬送至檢查裝置52的卡搬送裝置52B的上面。
在卡搬送裝置52B的上按壓操作手柄552C，在使探針卡51在卡搬送裝置52B上著地後，從圖3所示位置使肘節裝置562的操作槓桿562A反轉，使保持件551下降，使第一板部件551A與探針卡51的把手51A、51A離開。其次，使把手51A、51A倒向卡本體51B側，從第一板部件551A取下，從保持件551開放探針卡51，結束探針卡51的移載作業。
但是，一旦探針卡51的重量例如比實際重量輕，並錯誤地將其輸入至輸入端子554E中，抓住操作手柄552C使操作開關554G接通，在電空調節器554D的控制下使汽缸554A工作，那麼，當轉動臂552時，臂552在探針卡51的過大重量作用下而下降，操作手柄552C從操作者的手離開。在這種情況下，操作開關554G自動斷開，電磁閥554C關閉，在汽缸554A內封止有自此為止所供給的壓縮空氣。這樣，即使552稍微下降，由於此時汽缸554A內的壓縮空氣壓力升高，使得臂552的下降在途中停止，探針卡51不會與搬送臺車54等衝突，從而能夠防止探針卡51損傷。
另外，在從檢查裝置52將探針卡51移載至搬送臺車54上的情況下，按上述順序，通過使用探針卡移載輔助的裝置55，能夠平穩地移載探針卡51。
如上所述，根據本實施方式，在檢查設備50中，包括具有用於進行晶片的電氣特性檢查的探針卡51的檢查裝置52(在圖1中只表示1臺)、根據配置有多臺該檢查裝置52的通路53來搬送探針卡51的搬送臺車54、以及在該搬送臺車54和設置在各檢查裝置52的裝置本體52A上的卡搬送裝置52B之間輔助探針卡51的移載作業的探針卡移載輔助裝置55，其中，探針卡移載輔助裝置55包括掛住把手51A以保持探針卡51的保持件551；將該保持件551安裝在其前端部的能夠伸縮的臂552；支承該臂552並能夠自由轉動的支承體553；通過該支承體553按重量區分探針卡51並使其升降的升降驅動裝置554，由此，能夠使用保持件551保持探針卡51，使用升降驅動裝置554從搬送臺車54或者檢查裝置52的卡搬送裝置52B抬起臂552，通過對操作手柄552C進行操作而使臂552轉動，從而，使得操作者能夠易於在搬送臺車54和檢查裝置52的卡搬送裝置52B之間不伴隨著力做功地移載探針卡51，因此，能夠特別減輕操作者的負荷。
另外，臂552能夠在縮回的狀態下圍繞中心轉動迴轉體560，並移動由保持件551保持的探針卡51，由此，能夠將臂552的基端為中心的移動範圍抑制至最小限度，因此，由於檢查設備50節省空間，所以能夠使多臺檢查裝置52密集化，即使在相鄰的檢查裝置52間的間隔狹窄而不能在該間隙中配置搬送臺車54，也能夠確保從配置在通路53上的搬送臺車54向檢查裝置52側的臂552的迴轉區域，並能夠確保操作者進入的空間。
另外，根據本實施方式，由於保持件551具有與把手51A、51A的間隔和由把手51A、51A的第一板部件551A保持的直線部分對應的槽551D、551D，所以，能夠可靠地保持探針卡，並在穩定的狀態下移載探針卡51。另外，由於保持件551將把手51A、51A掛住而保持在槽551D、551D上，所以，當從空中將保持的探針卡51放置規定地方時，即使臂552沒有充分的剛性而少許撓曲，也能夠利用升降驅動裝置554或者肘節裝置562，而很好地使保持件551下降至臂552不撓曲為止，使把手51A、51A從槽551D、551D浮起，因此，之後能夠不取下把手51A、51A而穩定地進行探針卡51的設置動作。由於保持551在探針卡51的稍上方，通過肘節裝置562升降，因此，可以利用升降驅動裝置554和肘節裝置562，分兩階段設定保持件551的高度，使保持件511不與卡本體51B碰撞而損傷。
另外，升降驅動裝置554包括使臂552升降的汽缸554A；開閉將壓縮空氣供給至汽缸554A的管路554B的電磁閥554C；根據探針卡51的重量控制壓縮空氣的壓力的電空調節器554D；預先將探針卡51的重量輸入至電空氣調節器554D中的輸入端子554E；和檢測壓縮空氣壓力的壓力傳感器554F，因此，能夠根據探針卡51的重量控制汽缸554A的驅動力。另外，也可以利用重量傳感器測定探針卡51的重量，根據測定重量控制汽缸554A的驅動力。
另外，升降驅動裝置554具有在操作臂552時起作用的操作開關554G，操作開關554G和壓力傳感器554F連接來開閉電磁閥554C，因此，當操作手柄552C從操作者的手離開時，操作開關554G自動斷開，電磁閥554C關閉，可以抑制臂552因探針卡51的自重而下降，從而能夠防止探針卡51的損傷。
(第二實施方式)本實施方式的探針卡的移載輔助裝置除了保持部以外，基本上是以第一實施的為基準的結構，因此，與第一實施方式相同或相當的部分用相同符號表示，只以本實施方式的特徵為中心說明。
如圖6的(a)、(b)所示，本實施方式的探針卡移載輔助裝置55A，具有保持件511』、臂552和如圖2(a)、(b)所示的支承體553以及升降驅動裝置554(參照圖1)。
如圖6的(a)、(b)所示，本實施方式保持件511』包括形成有掛住探針卡51的把手51A的槽551D的第一板部件551A，配置在第一板部件551A的上方並且可升降地保持第一板部件551A的第二板部件551B，以及檢測第一、第二板部件551A、551B的間隔變化的卡檢測傳感器551E。
第一板部件551A通過第二板部件551B可升降地保持。即，如圖6(a)所示，在圓形的第二板部件551B的外周邊緣上，隔開周方向的等間隔而安裝有多個彈性部件(例如彈簧部件)551C，第一板部件551A與這些彈性部件551C的下端連接。另外，在第二板部件551B的外周邊緣上，多個伸縮機構551F隔開周方向的等間隔而位於並安裝在彈性部件551C的外側。伸縮機構551F例如由立設在第一板部件551A上的杆和從第二板部件551B垂下的幹襯套構成，杆能夠與彈性部件551C的伸縮同步而在幹襯套內上下運動。
如圖6(a)所示，從第二板部件551B的中心，圓柱形的升降導向裝置551G垂下。升降導向裝置551G貫通在第一板部件551A的中心形成的孔。在升降導向裝置551G的下端形成凸緣，利用該凸緣卡止因探針卡51的自重而下降的第一板部件551A。另外，在第一板部件551A的上面設置有套管551H，使第一板部件551A能夠沿著升降導向裝置551G平穩地升降。
此外，如圖6(b)所示，例如在第一板部件551A的上面設置有卡檢測傳感器551E，其位置在第一板部件551A的周方向，且互相隔開180°，利用卡檢測傳感器551E檢測探針卡51。當第一板部件551A的由於探針卡51的自重而克服彈性部件551C的彈簧力沿著升降導向裝置551G下降時，卡檢測傳感器(例如，電容傳感器)551E根據第一、第二板部件551A、551B的間隔變化檢測保持探針卡51的情況。另外，卡檢測傳感器551E也可以設置在第二板部件551B上。作為卡檢測傳感器551E，除了電容傳感器以外，可以使用光學傳感器等。
此外，如圖7所示，本實施方式使用的升降驅動裝置554基本上與上述實施方式同樣，包括汽缸554A，管路554B，電磁閥554C，電空調節器554D，輸入端子554E，壓力傳鹹器554F，操作開關554G，控制部554H，和霧隔離器554I。只有當卡檢測傳感器551E和操作開關554G都為接通狀態時，電空調節器554D才通過控制部554H並根據輸入端子554E的輸入值工作，同時電磁閥554C為開狀態。
其次，說明探針卡的移載輔助裝置554A的動作。在本實施方式中，以與上述實施方式的不同點為中心說明，與上述實施方式同樣，通過操作手柄552C，將保持件551』移動至探針卡51的中心上面。其次，操作肘節裝置562，將保持件551』的第一板部件551A下降至卡本體51B附近後，從卡本體51B使把手51A、51A立起。
然後，當操作肘節裝置562的操作槓桿562A，使保持件551』上升時，把手51A、51A嵌入第一板部件551A的槽551D、551D中，第一板部件551A與彈簧551C對抗而沿著升降導向裝置551G下降，並從第一板部件551A被升降導向裝置551G的凸緣阻止的時刻開始，探針卡51浮起。當彈性部件551C伸長，第一板部件551A從第二板部件551B開始下降時，卡檢測傳感器551E根據第一、第二板部件551A、551B的間隔變化，檢測探針卡51，並將檢測信號送至控制部554H。
然後，當操作者抓住操作手柄552C而使操作開關554G接通時，升降驅動裝置554的控制部554H根據從操作開關554G和卡檢測傳感器551E兩者發出的信號，使電磁閥554C成為開狀態，在電空調節器554D的控制下，將根據探針卡51的輸入重量的規定壓力的壓縮空氣供給至汽缸554A內。這樣，臂552得到輔助力，將探針卡51從搬送臺車54的架抬起。在該狀態下，操作者操作槓作手柄552C，在搬送臺車54和檢查裝置52之間轉動臂552，進行探針卡51的移載作業。除此之外與上述實施方式同樣。
如上所述，採用本實施方式，保持件551』包括具有槽551D的第一板部件551A；配置在第一板部件551A的上方，並且可升降地支承第一板基件551A的第二板部件554B；根據第一、第二板部件551A、551B的間隔變化來檢測探針卡51的卡檢測傳感器551E，因此，能夠可靠地利用卡檢測感器551E檢測由保持件551』保持探針卡51的情況。另外，升降驅動裝置554根據從卡檢測傳感器551E和操作開關554G兩者發出的檢測信號，將輔助力施加給臂552，可以只在檢測探針卡51時，利用保持件551』抬起探針卡51。除此之外，在本實施方式中能夠實現與上述實施方式同樣的作用效果。
(第三實施方式)如圖8的(a)、(b)所示，本實施方式的探針卡移載輔助裝置，除了保持件551」的結構不同以外，其他均與第一實施方式的結構相同。因此，在本實施方式的的保持件551中，對與第一實施方式相同或相當的部分標註相同的符號，並以本實施方式的特徵為中心進行說明。
如圖8(a)、(b)所示，本實施方式的保持件551」的特徵在於，在第一板部件551A的兩端面上設置有防止一對把手51A從槽551D脫出的防止脫出裝置551」I。即，如同圖的(a)所示，防止脫出裝置551」I具有通過銷551J安裝在第一板部件551」A的端面上的槓桿551K；以及在槓桿551K的背面的下端形成的，能夠在半球狀的槽中進退運動的可動銷551L。如同圖的(b)所示，槓桿551K能夠在槽551M內以銷551J為中心在垂直方向和水平方向的90°範圍內立起倒下，在垂直位置，可動銷551L嵌入背面的半球槽內而保持垂直狀態，使把手51A不能從第一板部件551」A的槽551D脫出。當從第一板部件551」A取出把手51A時，將槓桿551K倒下成水平狀態，收納於在第一板部件551」A的端面上形成的線槽551M內。
因此，採用本實施方式，當將探針卡51的把手51A掛在第一板部件551」A的槽551D中，將槓桿551K立起，使用可動銷551L保持垂直狀態時，即使保持件551」稍微上下移動，把手51A也不會從第一板部件551」A的槽551D中脫出，能夠更安全地移載側頭卡51。
(第四實施方式)如圖9所示，本實施方式的探針卡的移載輔助裝置，除了保持件551的防止脫出裝置551I不同以外，其他均與第三實施方式的結構相同。因此，在本實施方式的保持件551中，對與第三實施方式相同或相當部分標註相同的符號表示，並以本實施方式的特徵為中心進行說明。
如圖9所示，本實施方式的防止脫出裝置551I利用由安裝在第一板部件551A的兩端面上的橡膠等構成的可撓性部件551N而構成。該可撓性部件551N為矩形，覆蓋第一板部件551A的全部端面，並且形成為從第一板部件551A的上面突出的大小，利用多個螺釘551O固定在第一板部件端面上。因此，當超過可撓性部件551N將探針卡51的把手51A掛在第一板部件551A的槽551D中時，可撓性部件551N使把手51A不從第一板部件551A脫出，留在槽551D內。因此，在本實施方式中，能夠得到與第三實施方式同樣的作用效果。
(第五實施方式)在上述各實施方式中，作為升降保持件裝置，以肘節裝置562為例進行說明，但如本實施方式那樣，可以利用圖10所示的升降裝置來代替肘節裝置562。如圖10所示，該升降裝置562』包括操作手柄562』A，與該操作手柄562』A連接的升降杆562』B，以及在升降杆562』B貫通的上下具有第一、第二基板562』C、562』D的設置部563A，其中，保持件(圖中沒有示出)與升降杆562』B的下端連接。在第一基板563』C內安裝有在貫通孔的周面上進退運動的可動銷562』E，在第二基板562』D的周面上形成有與升降杆562』B的陽螺紋562』F嚙合的陰螺紋562』G。另外，在升降杆562』B的上部形成有可動銷562』E嵌合的半球槽562』H。因此，當轉動操作操作手柄562』A時，升降杆562』B能夠以第二基板562』D為基準進行升降，而且可以升降保持件551。
在將探針卡的把手(圖中沒有示出)掛在保持件的第一板部件(圖中沒有示出)上的情況下，操作升降裝置562的操作手柄562』A，通過升降杆562』B，使保持件551位於下降端，將探針卡的把手掛在第一板部件上。當操作操作手柄562』A而使保持件上升時，升降杆562』B的半球槽562』H和可動銷562』E的前端嵌合，升降杆562』B不上升而停止。在該狀態下，對臂(圖中沒有示出)進行操作，從而，能夠將探針卡移載至規定位置。
(第六實施方式)以下，根據圖11～圖14所示的實施方式對本發明進行說明。本實施方式的探針卡移載輔助裝置，除了工序件662和保持件651以外，其他均與第一實施方式的結構相同，因此，在本實施方式的保持件中，對與第一實施方式相同或者相當的部分用相同的符號表示，並以本實施方式的特徵為中心進行說明。
如圖1的(a)、(b)所示，探針卡移載輔助裝置55包括保持探針卡51的保持件651；該保持件651安裝在前端上的可伸縮的臂552；支承該臂552的可迴轉的支承件553，構成通過該支承體553按重量區分探針卡51並使其升降的升降驅動裝置554的汽缸554A，其中，該輔助裝置被附設在檢查裝置52的側面。
此外，如圖12～圖14所示，臂552的前端的保持件651包括圓形的第一部件651A；配置在第一部件651A的中心的上方，而且直徑形成為與第一部件651A大致相同的圓形的第二部件651B；使第一部件651A和第二部件651B連接的多個(本實施方式中為4個)彈性部件(例如彈簧部件)651C；安裝在第一部件651A下面的多根(本實施方式中為4根)線材651D；以及檢測第一、第二部件651A、651B的間隔變化的卡檢測傳感器(例如電容傳感器)651E。如該圖所示，該保持件651通過側面形狀為L字形的固定件562而固定在臂552的前端。第一部件651形成為具有扁平側壁的有底筒狀，第二部件651B形成為板狀，第一、第二部件651A、651B被配置在同一軸芯上。在線材651D的自由端(下端)上安裝有鉤651F，將該鉤支掛在設置於把手651A的角上的孔中而將探針卡51吊起。
如圖12、圖13所示，彈簧部件651C沿著第一部件651A的側壁的內面而在周方向隔開等間隔配置，連接第一部件651A和第二部件651B。另外，在第一部件651A的側壁的上面、在周向上隔開等間隔而配置有多個(在本實施方式中為4個)伸縮機構651G，利用該伸縮機構651G可升降地連接第一部件651A和第二部件651B。伸縮機構651G例如由立設於第一部件651A側壁上的杆和從第二部件651B垂下的幹襯套構成，與彈簧部件651C的伸縮同步，杆能夠在幹襯套內上下運動。如圖13(c)所示，4個彈簧部件651C和4個伸縮機構651G互相在周向上每隔45°偏向而配置。
如圖3～圖4的(a)所示，圓柱形的升降導向裝置651H從第二部件651B的中心垂下，升降導向裝置651H貫通在第一部件651A的底面中心形成的孔。在升降導向裝置651H的下端形成有凸緣，利用該凸緣來與因探針卡51的自重而下降的第一部件651A接合。
另外，如圖3、圖4的(b)所示，兩個下檢測傳感器651E在周方向互相隔開180°而配置在第一部件651A的側壁上面。當第一部件651A因探針卡51的自重而克服彈簧部件651C的彈簧力並沿著升降導向裝置651H下降時，卡檢測傳感器651E根據第一、第二部件651A、651B的間隔變化來檢測保持探針卡51的情況。如後所述，卡檢測傳感器651E在電氣上與升降驅動裝置554的控制部連接。另外，在本實施方式中，是在第一部件651A上設置卡檢測傳感器651E，但是，也可以設置第二部件651B上。卡檢測傳感器651E除了電容傳感器以外，還可以使用光學傳感器等。
另外，升降驅動裝置554具有在抓住操作手柄552C進行操作時起作用的操作開關654G(參照圖7)，如後所述，操作開關554G與卡檢測傳鹹器651E共同作用，開閉控制電磁閥554C和電空調節器554D。即，卡檢測傳感器651E和操作開關554G，通過控制部554H與輸入端子554E電氣連接，當卡檢測傳感器651E和操作開關554G兩者接通時，通過控制部554H，根據輸入端子554E的輸入值，使電空調節器554D工作，同時，使電磁調554C成為開狀態。
換句話說，當卡檢測傳感器651E和操作開關554G兩者接通時，通過控制部554H而打開電磁閥554C，在電空調節器554D的控制下，將壓縮空氣供給至汽缸554A。另外，當卡檢測傳感器651E、操作開關554G的任何一個斷開時，通過控制部554H而關閉電磁閥554C，將壓縮空氣封止在汽缸554A內，使汽缸554A停止，從而，使臂552在下降途中停止。例如，當探針卡51的重量比輸入端子554E的輸入重量大時，抓住操作手柄552C來轉動臂552時，汽缸554A的按壓力不足，臂552因自重而開始下降。這時，當因不注意而操作手柄552C離開操作者的手時，操作開關554G斷開，關閉電磁閥554C，自此為止供給至汽缸554A的壓縮空氣被封止在汽缸554A內。因此，臂552由於探針卡51的自重而下降，利用壓縮空氣的作用，臂552在途中停止，從而能夠防止探針卡51落下。另外，在輸入端子554E將探針卡51的重量設定得過小的情況下，操作手柄552C離開操作者的手，與上述情況相同，能夠使汽缸554A的急劇上升而停止。此外，在圖7中，554I為霧隔離器。
其次，對動作進行說明，在檢查設備50中，當操作者安裝或更換檢查裝置52的探針卡51時，從收納架取出探針卡51，與託盤一起將必要塊數的探針卡51收納在搬送臺車54上。此外，如圖1所示，操作者將搬送臺車54移動至目的檢查裝置52。
對於操作者來說，在放置在架上的狀態下，將與託盤一起收納在架上的探針卡51從搬送臺車54拉出，並放置在搬送臺車54的上面。使用探針卡放輔助裝置55，只將探針卡51移載至檢查裝置52上。在使用探針卡移載輔助裝置55的情況下，通過升降驅動裝置554的輸入端子554E，預先設定探針卡51的重量。然後，使臂552立起，將支架部件558掛在第二銷557A上，將臂552維持水平。在該狀態下，操作手柄552C進行操作，從而使臂552迴轉，以使保持件551與探針卡51的中心一致。
其次，使用操作手柄552C來按壓保持件651，將線材651的鉤掛在把手51A的孔中。在該狀態下，使探針卡51的把手51A、51A立起，將4根線材651D的鉤651F分別掛在一對把手51A、51A的孔中，另外，當操作者使操作開關554G接通時，由於壓力傳感器554F檢測正常的壓縮空氣的壓力而接通，使得電磁閥554C成為開狀態，在電空調節器554D的控制下，將根據探針卡51的輸入重量的規定壓力的壓縮空氣供給至汽缸554A內。這樣，臂552和保持件651上升，線材651D伸長而松馳，另外，當臂552上升時，保持件651的第二部件651B抵抗彈簧部件651C的彈簧力而上升，當與第一部件651A的間隔變化時，卡檢測傳感器651E工作，檢測探針卡51，在從搬送臺車54的架抬起探針卡51的方向上施加輔助力。這樣，當第二部件651B上升，升降導向裝置651H的凸緣與第一部件651A接觸時，探針卡51從搬送臺車54的架上抬起。在該狀態下，操作者操作手柄552C，將臂552向檢查裝置52迴轉，從而將探針卡51搬送至檢查裝置52的卡搬送裝置52B的上面。
在卡搬送裝置52B的上面，斷開操作開關554G，按下操作手柄552C，使探針卡51落在搬送裝置52B上。然後，從把手51A、51A取出線材651D的鉤651F，從保持件651解放探針卡51，結束探針卡51的移載作業另外，當從檢查裝置52將探針卡51移載至搬送臺車54上的情況下，通過按照上述順序使用探針卡移載輔助裝置55，能夠平穩地移載探針卡51。
如上所述，根據本實施方式，檢查設備50包括具有用於進行晶片的電氣特性檢查的探針卡51的檢查裝置52(在圖1中只表示1臺)，根據配置有多臺該檢查裝置52的通路53來搬送探針卡51的搬送臺車54，以及在該搬送臺車54與設置在各檢查裝置52的裝置本體52A上的卡搬送裝置52B之間輔助探針卡51的移載作業的探針卡移載輔助裝置55，其中，探針卡移載輔助裝置55包括掛住其把手51A以保持探針卡51的保持件651；該保持件651安裝在前端的可伸縮的臂552；支承該臂552的可自由轉動的支承體553；以及通過該支承體553按重量區分探針卡51並使其升降的升降動裝置554，因此，能夠以保持件651的線材651D保持探針卡51，用升降驅動裝置554從搬送臺車54或者檢查裝置52的卡搬送裝置52B抬起臂552，通過操作操作手柄552C，使臂552轉動，從而，操作者容易在搬送臺車54和檢查裝置52的卡搬送裝置52B之間移載不伴隨著力做功的探針卡51，從而能夠特別減輕操作者的負荷。另外，當利用保持件651保持並搬送探針卡51時，即使臂552的剛性不是很大，臂552撓曲，若能夠利用升降驅動裝置554很好地使保持件651下降至臂552而不撓曲，則由於在線材651D不拉伸的狀態下，能夠將線材651D在探針卡51的把手51A、51A上進行裝卸，從而，可以穩定地移載探針卡51。
另外，採用本實施方式，保持件651包括第一部件651A；配置在第一部件651A的中心的上方，且直徑形成為與第一部件651大致相同的圓形的第二部件651B；可升降地使第一部件651A與第二部件651B連接的彈簧部件651C；安裝在第一部件651A的下面的4根線材651D；以及檢測第一、第二部件651A、651B的間隔變化的卡檢測傳感器651E，由此，可以利用卡檢測傳感器651E可靠地檢測出由保持件651保持探針卡51的情況。另外，升降驅動裝置554根據從卡檢測傳感器651E和操作開關554G兩者發出的檢測信號，將輔助力施加給臂552，因此，能夠抬起探針卡51。
另外，由於臂552在縮回狀態下以迴轉體560為中心迴轉，並移動由保持件651所保持的探針卡51，因此，能夠將以臂552的基端為中心的移動範圍抑制至最小限度。因此，由於檢測設備50節省空間，所以能夠密集配置多個檢測裝置52，即使相鄰的檢查裝置52間的間隔狹窄而不能夠在該間隙中配置搬送臺車54，也可以確保從配置在通路53上的搬送臺車54向檢查裝置52的臂552的迴轉區域，並能夠確保操作者的進入空間。
此外，升降驅動裝置554具有在操作臂552時起作用的操作開關554G，連攜於卡檢測傳感器651E、操作開關554G和壓力傳感器554F來開閉電磁閥554C，因此，當操作手柄552C從操作者的手離開時，操作開關554G自動斷開，電磁閥554C關閉，能夠抑制臂552因探針卡51的自重而下降，從而防止探針卡51受到損傷。
另外，在上述各實施方式中，對以單體移載探針卡的情況進行了說明，但是，對於帶卡座的探針卡也同樣可以移載，因此，本發明不限於上述實施方式，可根據需要來設計變更各構成部件。
本發明能夠應用於在配置有多個具有探針卡的檢查裝置的檢查設備中。
權利要求
1.一種探針卡移載輔助裝置，能夠輔助電氣檢查裝置中使用的探針卡的移載作業，其特徵在於，包括掛住或者吊下以保持所述探針卡的一對把手的保持部；可移動地支承所述保持部的支承部；和升降所述支承部的裝置。
2.如權利要求1所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於所述保持部具有掛住所述一對把手的槽。
3.如權利要求1或2所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於在所述保持部上設置有用於防止所述一對把手從所述保持部脫出的防止脫出裝置。
4.如權利要求3所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於所述防止脫出裝置為能夠立起倒下地安裝在所述保持部的端部上的槓桿。
5.如權利要求3所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於所述防止脫出裝置為從所述槽突出地安裝在所述保持部的端部上的可撓性部件。
6.如權利要求2～5中任一項所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於所述保持部包括具有所述槽的第一板部件；配置在第一板部件的上方，並且可升降地保持第一板部件的第二板部件；和檢測第一、第二板部件的間隔變化的傳感器。
7.如權利要求1～6中任一項所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於所述保持部被安裝在從所述支承部伸出的可伸縮臂上。
8.如權利要求7所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於在所述臂上設置有升降所述保持部的裝置。
9.如權利要求7或8所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於所述支承部的升降裝置包括升降所述臂的缸體機構；開閉將驅動流體供給至所述缸體機構的流路的閥；控制所述驅動流體的壓力的調節器；預先將所述探針卡的重量輸入至所述調節器的輸入端子；和檢測所述驅動流體壓力的壓力傳感器。
10.如權利要求1～9中任一項所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於所述支承部的升降裝置構成為能夠在按壓所述探針卡的方向上施加輔助力。
11.如權利要求10所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於所述輔助力能夠根據所述探針卡的重量而變更。
12.如權利要求1～11中任一項所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於被附設在所述檢查裝置上。
13.如權利要求1～11中任一項所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於當在所述檢查裝置和搬送在所述檢查裝置中所使用的探針卡的搬送裝置之間輔助所述探針卡的移載作業時，放置在所述檢查裝置和所述搬送裝置之間。
14.如權利要求13所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於所述搬送裝置為搬送臺車。
15.如權利要求1所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於所述保持部利用紐狀部件吊下以保持所述探針卡的一對把手。
16.如權利要求15所述的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於所述保持部包括安裝有多個所述紐狀部件的第一部件；配置在第一部件的上方，並且可升降地與第一部件連接的第二部件；以及檢測第一、第二部件的間隔變化的傳感器。
17.一種檢查設備，具有電氣檢查裝置和輔助在該電氣檢查裝置中所使用的探針卡的移載作業的探針卡移載輔助裝置，其特徵在於所述探針卡移載輔助裝置包括掛住或者吊下以保持所述探針卡的一對把手的保持部；可移動地支承所述保持部的支承部；和升降所述支承部的裝置。
18.如權利要求17所述的檢查設備，其特徵在於所述保持部具有掛住所述一對把手的槽。
19.如權利要求17或18所述的檢查設備，其特徵在於在所述保持部上設置有防止所述一對把手從述保持部脫出的防止脫出裝置。
20.如權利要求19所述的檢查設備，其特徵在於所述防止脫出裝置為能夠立起倒下地安裝在所述保持部的端部上的槓桿。
21.如權利要求19所述的檢查設備，其特徵在於所述防止脫出裝置為從所述槽突出地安裝在所述保持部的端部上的可撓性部件。
22.如權利要求18～21中任一項所述的檢查設備，其特徵在於所述保持部包括具有所述槽的第一板部件；配置在第一板部件的上方，並且可升降地保持第一板部件的第二板部件；和檢測第一、第二板部件的間隔變化的傳感器。
23.如權利要求17～22中任一項所述的檢查設備，其特徵在於所述保持部被安裝在從所述支承部伸出的可伸縮臂上。
24.如權利要求23所述的檢查設備，其特徵在於在所述臂上設置有升降所述保持部的裝置。
25.如權利要求23或24所述的檢查設備，其特徵在於所述支承部的升降裝置包括升降所述臂的缸體機構；開閉將驅動流體供給至所述缸體機構的流路的閥；控制所述驅動流體的壓力的調節器；預先將所述探針卡的重量輸入至所述調節器的輸入端子；和檢測所述驅動流體壓力的壓力傳感器。
26.如權利要求17～25中任一項所述的檢查設備，其特徵在於所述支承部的升降裝置構成為能夠在按壓所述探針卡的方向上施加輔助力。
27.如權利要求26所述的檢查設備，其特徵在於所述輔助力能夠根據所述探針卡的重量而變更。
28.如權利要求17～27中任一項所述的檢查設備，其特徵在於被附設在所述檢查裝置上。
29.如權利要求17～28中任一項所述的檢查設備，其特徵在於當在所述檢查裝置和搬送在所述檢查裝置中所使用的探針卡的搬送裝置之間輔助所述探針卡的移載作業時，放置在所述檢查裝置和所述搬送裝置之間。
30.如權利要求29所述的檢查設備，其特徵在於所述搬送裝置為搬送臺車。
31.如權利要求17所述的檢查設備，其特徵在於所述保持部利用紐狀部件吊下以保持所述探針卡的一對把手。
32.如權利要求31所述的檢查設備，其特徵在於所述保持部包括安裝有多個所述紐狀部件的第一部件；配置在第一部件的上方，並且可升降地與第一部件連接的第二部件；和檢測第一、第二部件的間隔變化的傳感器。
全文摘要
本發明提供一種探針卡移載輔助裝置，能夠輔助電氣檢查裝置中使用的探針卡的移載作業，包括掛住或者吊下以保持所述探針卡的一對把手的保持部；可移動地支承所述保持部的支承部；和升降所述支承部的裝置，即使對於重量較大的探針卡，也能夠減輕操作者的負擔，可以平穩地移載探針卡。
文檔編號G01R31/00GK1975439SQ200610162999
公開日2007年6月6日 申請日期2006年11月30日 優先權日2005年11月30日
發明者望月智秋, 長坂旨俊 申請人:東京毅力科創株式會社