液滴噴出方法及裝置、噴頭單元、電光學裝置、電子設備的製作方法
2023-05-29 01:08:31 2
專利名稱：液滴噴出方法及裝置、噴頭單元、電光學裝置、電子設備的製作方法
技術領域：
本發明涉及液滴噴出方法、噴頭單元、液滴噴出裝置、電光學裝置以及電子設備。
背景技術：
噴墨印表機的液滴噴出頭能夠以點狀噴出微小的墨滴，在墨滴的大小和間距的均勻性方面具有極其高的精度。該技術應用在各種產品的製造領域。例如，也可以在形成液晶裝置的濾色器(color filter)和有機EL顯示裝置的發光部等時使用。具體而言，使液滴噴出頭中含有特殊的墨水或感光性的樹脂液等(功能液)，對電光學裝置用的基板噴出該功能液的液滴(例如，參照專利文獻1)。由於在通過該方法而形成的濾色器或發光部上，大多形成有多種顏色，所以通過每種不同的裝置將多種功能液噴出到基板上。
但是，在專利文獻1所記載的方法中，由於通過每種不同的裝置噴出多種功能液，所以噴出所需要的總時間變長。另一方面，如果以1個裝置來噴出多種功能液，則由於各種功能液的乾燥時間不同，所以被噴出的功能液會形成乾燥不均，使得在所形成的膜上產生不均勻。
專利文獻1特開2004-267927號公報發明內容鑑於上述情況，本發明的目的在於，提供一種能夠縮短整體的描畫時間，並且能夠防止在所形成的膜上產生不均勻的液滴噴出方法、噴頭單元、液滴噴出裝置、電光學裝置以及電子設備。
為了達成上述目的，本發明的液滴噴出方法，一邊使基板和噴頭相對掃描，一邊向該基板上噴出功能液的液滴，其特徵在於，在同一掃描中，將乾燥速度不同的多種功能液噴到各自掃描方向中的不同位置，並且所述多種功能液的至少一部分種類的各掃描區域重合。
根據本發明，由於一邊使基板和噴頭相對掃描，一邊以乾燥速度不同的多種功能液的至少一部分種類的掃描區域重合的方式噴出，所以在掃描區域重合的部分中，多種功能液蒸發，形成難以乾燥的氣氛，從而作為整體來說，功能液的乾燥速度變得均勻。因此，即使在同一掃描中噴出多種功能液，也不會在各功能液之間產生乾燥不均。由此，在縮短了整體的描畫時間的同時，還可以防止在所形成的膜上產生不均。
另外，優選所述多種功能液中、乾燥速度快的功能液的掃描區域與其他種類的功能液的掃描區域重合。
根據本發明，由於通過使乾燥速度快的功能液的掃描區域與其他種類的功能液的掃描區域重合，可以在掃描區域整體中，使從功能液蒸發的溶劑蒸發量平均化，所以可以形成均勻的溶劑氣氛。由此，可以提高幹燥速度的均一性，並能夠在各功能液之間使乾燥不均難以產生。
另外，優選以所述多種功能液的全部種類的掃描區域重合的方式噴出所述功能液。
根據本發明，通過以各種功能液的全部種類的掃描區域重合的方式噴出功能液，從而在掃描區域的所有部分中多種的功能液蒸發，產生難以乾燥的氣氛。由此，對整體來說，功能液的乾燥速度能夠容易地被均一化。
本發明其它觀點的噴噴頭單元，一邊相對地掃描基板，一邊向該基板上噴出功能液的液滴，其特徵在於，具有噴嘴，其同時噴出乾燥速度不同的多種功能液，並且排列為使所述多種功能液的至少一部分種類的各掃描區域重合而進行噴出。
根據本發明，一邊相對地掃描基板，一邊從設置在噴頭中的噴嘴，以乾燥速度不同的多種功能液的至少一部分種類的掃描區域重合的方式進行噴出。因此，在掃描區域重合的部分，由於從多種功能液蒸發的溶劑氣氛，形成難以乾燥的狀態，從而對整體來說，功能液的乾燥速度變得均一。由此，可以同時噴出多種功能液，並且，即使同時噴出該多種功能液，也能夠防止在各功能液之間產生乾燥不均。
本發明其它觀點的液滴噴出裝置，其特徵在於，搭載有上述的噴噴頭單元。
根據本發明，由於搭載了可以同時噴出多種功能液，並且即使同時噴出該多種功能液，也能夠防止在各功能液之間產生乾燥不均的噴噴頭單元，所以，在縮短了整體的描畫時間的同時，還可以防止在所形成的膜上產生不均。
本發明其它觀點的電光學裝置，其特徵在於，包括通過上述的液滴噴出方法而被噴出功能液的基板。
根據本發明，由於通過在縮短了整體的描畫時間的同時，還可以防止在所形成的膜上產生不均的液滴噴出方法，來噴出功能液的液滴，所以，在提高製造速度，能夠在短時間內得到多個電光學裝置的同時，還能夠得到顯示均勻、品質優良的電光學裝置。
本發明其它觀點的電子設備，其特徵在於，搭載了上述的電光學裝置。
根據本發明，由於搭載了顯示均勻、品質優良的電光學裝置，所以能夠得到顯示性能優越的電子設備。
圖1是表示本發明實施方式的液晶裝置的結構的立體圖。
圖2是表示本實施方式的濾色器基板的結構的俯視圖。
圖3是表示本實施方式的液滴噴出裝置的整體結構的立體圖。
圖4是表示本實施方式的液體噴出裝置的臺架的結構的俯視圖。
圖5是表示本實施方式液滴噴出裝置的噴頭的外部結構的俯視圖。
圖6是表示本實施方式的液滴噴出裝置的噴頭的內部結構的圖。
圖7是表示本實施方式的液滴噴出裝置的控制部的結構的框圖。
圖8是表示本實施方式的液滴噴出裝置的頭驅動部的結構的圖。
圖9是表示本實施方式的液滴噴出裝置的噴頭的配置的圖。
圖10是表示本實施方式的液滴噴出裝置的動作的圖(其1)。
圖11是表示本實施方式的液滴噴出裝置的動作的圖(其2)。
圖12是表示本實施方式的液滴噴出裝置的動作的圖(其3)。
圖13是表示本實施方式的液滴噴出裝置的動作的圖(其4)。
圖14是表示本發明的電子設備的結構的立體圖。
圖中1-液晶裝置，2-有源矩陣基板，3-濾色器基板，10A-基體，16-濾色器，18(18R、18G、18B)-被噴出部，100-液滴噴出裝置(噴出裝置)，103-臺架，106-載物臺，111(111R、111G、111B)-液體材料，114(114R、114G、114B)-噴頭，114P-噴頭組，114G-噴頭，118-噴嘴，300-行動電話。
具體實施例方式
(電光學裝置)下面，根據附圖對本發明的實施方式進行說明。在下面的圖中，為了將各部件形成為可以識別的大小，適當地變更了比例尺。
圖1是表示本實施方式的液晶裝置1的結構的立體圖。
如該圖所示，液晶裝置1以液晶面板40、背光燈41為主體而構成。液晶面板40的構成如下，有源矩陣基板2與濾色器基板3通過密封材料26被粘在一起，在該有源矩陣基板2、濾色器基板3和密封材料26之間夾持有液晶6。圖中虛線所表示的顯示區域2a是顯示圖像或動畫等的區域。
另外，雖然本實施方式的液晶裝置1，採用使用了作為二端子型非線性元件的薄膜二極體(TFD)元件來作為開關元件的有源矩陣方式的液晶裝置，但是，也可以採用例如使用了薄膜電晶體(TFT)元件作為開關元件的液晶裝置、或無源矩陣方式的液晶裝置。而且，液晶面板40是通過將兩張大開本的母基板粘在一起，並進行切斷而形成的(形成多個)。兩張母基板是生成濾色器基板3的濾色器側母基板、和生成有源矩陣基板2的有源矩陣側母基板。
圖2是表示濾色器基板3的結構的俯視圖。圖2(a)是表示濾色器基板3的整體結構的圖，圖2(b)是放大表示濾色器基板3的一部分的圖。
如圖2(a)所示，濾色器基板3是由例如玻璃或者塑料等透明的材料形成的矩形基板。在濾色器基板3上設置有遮光層13，與由遮光層13所包圍的區域(像素)對應，設置具有紅色層16R、綠色層16G、藍色層16B的濾色器16。另外，在濾色器基板3上形成有外塗層(未圖示)，以便覆蓋該濾色器16，在該外塗層上形成有取向膜(未圖示)。該取向膜例如由聚醯亞胺等構成，表面是被研磨(rubbing)處理的水平取向膜。
而且，如圖2(b)所示，對於一個紅色層16R(或者綠色層16G、藍色層16B)來說，其被設置成短邊長度S例如是170μm左右、長邊長度L例如是510μm左右的矩形。另外，對於相鄰的濾色器16之間的間隔來說，行方向的間隔T1大約為20μm，列方向的間隔T2大約為40μm。
(液滴噴出裝置)接著，對本實施方式的液滴噴出裝置(下面稱作「噴出裝置」)100進行說明。
如圖3所示，噴出裝置100以下述部件為主體而構成，即保持液體材料111的容器101；經由管道(tube)110而被從容器101供給液體材料111的噴出掃描部102，。
液體材料111有三種，分別是例如構成液晶裝置1的濾色器16的紅色層16R的材料(下面稱作「紅色材料」)111R、構成綠色層16G的材料(下面稱作「綠色材料」)111G、和構成藍色層16B的材料(下面稱作「藍色材料」)111B。
容器101具有保持紅色材料111R的紅色材料容器101R、保持綠色材料111G的綠色材料容器101G、和保持藍色材料111B的藍色材料容器101B，將上述3種液體材料111單獨保持。在各容器101中，例如安裝有未圖示的壓力泵。通過驅動該壓力泵，向容器101內部施加壓力，從而液體材料111從容器101內向噴出掃描部102供給。
在這裡，作為紅色材料111R使用下述溶液，即，例如在聚氨酯低聚物中分散紅色的無機顏料(例如紅色氧化鐵(III)或鎘紅等)之後，加入二甘醇-丁醚乙酸酯作為溶劑，進而添加非離子系表面活性劑作為分散劑，並將粘度調整到規定的範圍。
而且，作為綠色材料111G使用下述溶液，即，例如在聚氨酯低聚物中分散綠色的無機顏料(例如氧化鉻綠或鈷綠等)之後，加入環己酮和乙酸丁酯作為溶劑，添加非離子系表面活性劑作為分散劑，並將粘度調整到規定的範圍。
並且，作為藍色材料111B使用下述溶液，即，例如在聚氨酯低聚物中分散藍色的無機顏料(例如群青或普魯士藍等)之後，加入二甘醇-丁醚乙酸酯作為溶劑，添加非離子系表面活性劑作為分散劑，並將粘度調整到規定的範圍。
其中，在綠色材料111G中所使用的環己酮和乙酸丁酯，與在紅色材料111R和藍色材料111B中所使用的二甘醇-丁醚乙酸酯相比容易蒸發。由於液體材料111的乾燥速度依靠於溶劑的蒸發容易程度，所以綠色材料111G的乾燥速度比其他的液體材料111大，即綠色材料111G容易乾燥。另外，液體材料111的乾燥速度除了依靠於溶劑的蒸發容易程度之外，還與固體成分濃度有關。
噴出掃描部102具有保持多個噴頭114(參照圖4)的臺架103、控制臺架103的位置的臺架位置控制裝置104、保持構成濾色器側母基板的基體10A的載物臺106、控制載物臺106的位置的載物臺位置控制裝置108、控制部112。另外，實際在噴出裝置100上設置有多個(例如10個)臺架103。在圖3中，為了簡化說明，圖示一個臺架103進行了說明。
臺架位置控制裝置104根據來自控制部112的信號，使臺架103沿著X軸方向或Z軸方向移動的同時，還具有使臺架103在以Z軸為軸的旋轉方向上旋轉的功能。載物臺位置控制裝置108根據來自控制部112的信號，使載物臺106沿著Y軸方向移動的同時，還具有使載物臺106在以Z軸為軸的旋轉方向上旋轉的功能。
如上所述，臺架103根據臺架位置控制裝置104的控制，在X軸方向上移動。另一方面，載物臺106根據載物臺位置控制裝置108的控制，在Y軸方向上移動。即，通過臺架位置控制裝置104和載物臺位置控制裝置108，噴頭114相對於載物臺106的相對位置發生變化。
即，通過使臺架103和載物臺106中的雙方或任意一方移動，臺架103可以掃描載物臺106(或者保持在載物臺106上的基體10A)。下面，在本實施方式中，對通過使臺架103靜止而使載物臺106移動來進行掃描的情況進行說明。
圖4是從載物臺106側觀察一個臺架103的圖，與圖4的紙面方向垂直的方向是Z軸方向。另外，圖4的紙面的左右方向為X軸方向，紙面的上下方向為Y軸方向。
如該圖所示，臺架103保持分別具有大致相同結構的多個噴頭114。在噴頭114中有三種噴頭，分別是噴出液體材料111中的紅色材料111R的噴頭114R、噴出綠色材料111G的噴頭114G、和噴出藍色材料111B的噴頭114B。
在本實施方式中，在一個臺架103上分別設置四個噴頭114R、噴頭114G、和噴頭114B，噴頭114的個數總計12個。另外，關於噴頭114之間的位置關係將在後面敘述。另外，在本說明書中，將在Y軸方向上鄰接的6個噴頭114表示為「噴頭組114P」。
圖5是表示噴頭114的底面114a的圖。底面114a的形狀為具有對置的兩條長邊和對置的兩條短邊的矩形。該底面114a朝向載物臺106側(圖中Z軸方向)。噴頭114的長邊方向與圖中X軸方向平行，另外，噴頭114的短邊方向與圖中Y軸方向平行。
而且，在該底面114a上，沿著X軸方向配置有例如2列(列116A和列116B)、每列90個的噴嘴118。而且，各噴嘴118的噴嘴直徑r大約為30μm。列116A側的噴嘴118和列116B側的噴嘴118，分別以規定的間距LNP(LNP大約140μm)配置在各列中。並且，噴嘴列116B的各噴嘴118的位置被配置成，相對噴嘴列116A的各噴嘴118的位置，向X軸方向的負方向僅偏移噴嘴間距LNP的一半的長度(大約70μm)。另外，設置在噴頭114中的噴嘴列也可以不是2列。例如，可以將列數增加為3列、4列、…M列(M為自然數)，或者還可以是1列。
由於噴嘴列116A和噴嘴列116B分別由90個噴嘴構成，所以在一個噴頭114中設置有180個噴嘴。但是，從噴嘴列116A的兩端開始到第5個為止的噴嘴，處於不能噴出材料液體111的狀態(間歇噴嘴圖5中由虛線包圍的部分)。同樣地，從噴嘴列116B的兩端開始到第5個為止的噴嘴，也是不能噴出材料液體111的間歇噴嘴(圖5中由虛線包圍的部分)。因此，在噴頭114的180個噴嘴118中，除去兩端的20個噴嘴所剩餘的160個噴嘴118會噴出液體材料111(噴出噴嘴)。
在本說明書中，以說明噴頭114的位置關係為目的，將包含在噴嘴列116A內的90個噴嘴118中、從圖中上端排列為第6個的噴嘴118標記為噴頭114的「基準噴嘴118R」。即，噴嘴列116A的80個噴出噴嘴中、位於圖中最上部的噴出噴嘴是噴頭114的「基準噴嘴118R」。另外，對所有的噴頭114來說，由於只要是「基準噴嘴118R」的指定方法相同即可，所以，「基準噴嘴118R」的位置也可以不是上述位置。
接著，對噴頭114的內部結構進行說明。如圖6(a)和圖6(b)所示，每個噴頭114是噴墨頭。更為具體而言，各噴頭114具有振動板126、和噴嘴板128。在振動板126和噴嘴板128之間設置有液體存積單元129，從容器101經由孔131而被供給的液體材料111總是填充於此。
另外，在振動板126與噴嘴板128之間設置有多個隔壁122。而且，由振動板126、噴嘴板128和1對隔壁122所包圍的部分是內腔室(cavity)120。內腔室120按每個噴嘴118設置，所以內腔120的個數與噴嘴118的數量相同。經由設置在1對隔壁122之間的供給口130，液體材料111從液體存積單元129而被供給到內腔室120中。
振子124與各個內腔室120對應地位于振動板126上。振子124具有壓電元件124C、和夾持壓電元件124C的1對電極124A、124B。通過在該1對電極124A、124B之間施加驅動電壓，從而液體材料111自對應的噴嘴118噴出。另外，調整噴嘴118的形狀，使得從噴嘴118向Z軸方向噴出液體狀材料。此外，也可以替代壓電元件而具有電熱轉換元件。即，也可以具有利用基於電熱轉換元件的材料的熱膨脹來噴出液體材料111的結構。
接著，對控制部112的結構進行說明。
控制部112是對噴出液滴材料111的定時、臺架103的固定位置、載物臺106的移動(移動速度、移動距離等)等、噴出裝置1的動作進行統一控制的部位。
如圖7所示，控制部112包括輸入緩衝存儲器200、存儲機構202、處理部204、掃描驅動部206和頭驅動部208，並且各部分之間可通信地連接。
輸入緩衝存儲器200從與外部連接的例如信息處理裝置等，接受用於進行液體材料111的液滴噴出的噴出數據。輸入緩衝存儲器200將噴出數據供給到處理部204，處理部204將噴出數據存儲在存儲機構202中。作為存儲機構202可以使用例如RAM等。
處理部204對在存儲機構202內存儲的噴出數據進行訪問，以該噴出數據為基礎，向掃描驅動部206和頭驅動部208供給必要的驅動信號。
掃描驅動部206基於驅動信號，向臺架位置控制裝置104和載物臺位置控制裝置108供給規定的位置控制信號。另外，頭驅動部208基於驅動信號，向各噴頭114供給噴出液體材料111的噴出信號。
頭驅動部208如圖8(a)所示，具有1個驅動信號生成部203、和多個模擬開關AS。模擬開關AS與噴頭114內的振子124連接(具體而言，與電極124A連接，但是電極124A在圖8(a)中沒有圖示)。該模擬開關AS被設置成與各個噴嘴118分別對應，即設置與噴嘴118的個數相同的數量。
驅動信號生成部203生成圖8(b)所示的驅動信號DS。驅動信號DS獨立地向模擬開關AS的各個輸入端子供給。驅動信號DS的電位相對於標準電位L在時間上發生變化。即，驅動信號DS是在噴出周期EP內重複多個噴出波形P的信號。噴出周期EP可以通過例如處理部204而被調節成所期望的值。通過適當地調節該噴出周期EP，能夠生成從多個噴嘴118同時噴出液體材料111的噴出信號。另外，也可以生成噴出信號，以便從多個噴嘴118以不同定時噴出液體材料111。這樣，可以控制噴出的定時。
而且，控制部112不僅能夠控制噴出的定時，還可以控制從噴嘴118噴出的液體材料111的體積。該液體材料111體積的控制，可以對各個噴嘴118分別進行控制。對於從各噴嘴118噴出的液體材料111的體積來說，可以在0pl～42pl(微升)之間變動。
另外，控制部112也可以是包含CPU、ROM、RAM的計算機。在該情況下，控制部112的上述功能可以通過計算機所執行的軟體程序來實現。當然，控制部112也可以通過專用的電路(硬體)來實現。
接著，對噴頭組114P中的6個噴頭114的位置關係進行說明。
圖9是表示噴頭114的相對位置關係的圖。另外，在本圖中，對圖4所示的2組噴頭114R、114G、114B分別標記為114R1、114G1、114B1和114R2、114G2、114B2來進行區分。
如圖9所示，噴頭組114P配置成相鄰的噴頭114彼此之間在X方向錯開。例如，與噴頭114R1相鄰的噴頭114G1的有效噴嘴列設置為相對於噴頭114R1的有效噴嘴列，向X方向僅錯開其有效噴嘴列長度t的三分之一的長度。
在這裡，所謂有效噴嘴列長度是指噴頭114中、排列有噴出液體材料111的噴出噴嘴118的部分(有效噴嘴列這裡是基準噴嘴118R之間的部分)的長度。該有效噴嘴列長度例如可以設定為1釐米左右。另外，在圖9中，為了使說明簡單，對跨過噴頭寬度整體形成噴出噴嘴118的情況進行說明。
對於和噴頭G1相鄰的噴頭114B1的有效噴嘴列來說，也同樣地設置為相對於相鄰的噴頭114G1的有效噴嘴列，向X方向僅錯開其有效噴嘴列長度的三分之一的長度。對於和噴頭114B1相鄰的噴頭114R2、和該噴頭114R2相鄰的噴頭114G2、和該噴頭114G2相鄰的噴頭114B2的各有效噴嘴列來說，也同樣地設置為各個噴頭114的有效噴嘴列相對於相鄰的各噴頭114的有效噴嘴列，向X方向僅錯開其有效噴嘴列長度的三分之一的長度。
結果，設置於噴頭114R2的有效噴嘴列的X軸方向中的圖中上側端部的位置，與設置於噴頭114R1的有效噴嘴列的圖中下側端部的X軸方向的位置一致(圖中，以虛線(4)表示的位置)。而且，設置於噴頭114G2的有效噴嘴列的圖中上側端部的X軸方向的位置，與設置於噴頭114G1的有效噴嘴列的圖中下側端部的X軸方向的位置一致(圖中，以虛線(5)表示的位置)。另外，設置於噴頭114B2的有效噴嘴列的圖中上側端部的X軸方向的位置，與設置於噴頭114B1的有效噴嘴列的圖中下側端部的X軸方向的位置一致(圖中，以虛線(6)表示的位置)。
即，噴出紅色材料111R的X方向範圍，是在噴頭114R1和114R2中各自的有效噴嘴列的X方向的範圍，即，從虛線(1)到虛線(7)之間的範圍。而且，噴出綠色材料111G的X方向範圍，是在噴頭114G1和114G2中各自的有效噴嘴列的X方向的範圍，即，從虛線(2)到虛線(8)之間的範圍。另外，噴出藍色材料111B的X方向範圍，是在噴頭114B1和114B2中各自的有效噴嘴列的X方向的範圍，即，從虛線(3)到虛線(9)之間的範圍。
因此，在臺架103進行掃描(scan)之際，虛線(1)和虛線(2)之間的範圍僅是紅色材料111R的掃描區域，虛線(2)和虛線(3)之間的範圍是紅色材料111R的掃描區域和綠色材料111G的掃描區域重合的區域，虛線(3)和虛線(7)之間的範圍是紅色材料111R的掃描區域、綠色材料111G的掃描區域和藍色材料111B的掃描區域全部重合的區域，虛線(7)和虛線(8)之間的範圍是綠色材料111G的掃描區域和藍色材料111B的掃描區域重合的區域，虛線(8)和虛線(9)之間的區域僅是藍色材料111B的掃描區域。這樣，除了虛線(1)和虛線(2)之間的區域、虛線(8)和虛線(9)之間的區域之外的區域，是各液體材料111的掃描區域的重合區域。
(液晶裝置的製造方法(液滴噴出方法))接著，對如此構成的液晶裝置1的製造工序進行說明。
在本實施方式中，以使用大面積的母基板一次形成多個液晶裝置，並通過切斷而分離成每個液晶裝置1的方法為例進行說明。
首先，對濾色器側母基板的形成工序進行簡單的說明。
使基體10A保持在噴出裝置100的載物臺106上。在該基體10A上形成有保持濾色器16的被噴出部18(18R、18G、18B參照圖10等)。紅色層16R保持在被噴出部18R上，綠色層16G保持在被噴出部18G上，藍色層16B保持在被噴出部18B上。另外，在將基體10A保持在載物臺106上時，以基體10A的短邊方向與X軸方向一致、長邊方向與Y軸方向一致的方式來調節位置。
在該狀態下，如圖10所示，使載物臺106從圖中左側向右側移動。臺架103例如從圖中右側向左側掃描基體10A中的區域W(被點劃線夾持的區域)。此時，臺架103掃描基體10A的區域W，同時從各噴頭114噴出液體材料111。
從各噴頭114同時噴出液體材料111。所謂的「同時噴出」不是每一次掃描(在圖10中，例如從右側向左側)噴出1種顏色，而是指在一次掃描中，從噴頭114R噴出紅色材料111R，從噴頭114G噴出綠色材料111G，從噴頭114B噴出藍色材料111G。
例如，通過一次的掃描，如圖10所示，紅色材料111R、綠色材料111G、藍色材料111B噴到例如圖中最上行的各被噴出部18和圖中最下行的各被噴出部18上。此時，向跨過多行而設置的被噴出部18中的哪一行噴出液體材料111，是能夠適當地設定的。
接著，進行第2次掃描。在第1次掃描結束的狀態下，載物臺106向圖中右側移動。在第2次掃描中，如圖11所示，使載物臺106從圖中右側向左側移動。載物臺103從和第1次掃描相反的方向，即從圖中左側向右側對基體10A的區域W進行掃描。此時，載物臺103掃描基體10A，同時從各噴頭114噴出液體材料111。
在第2次掃描中，向第1次掃描時噴出了液體材料111的被噴出部18之外的被噴出部18噴出液體材料111。例如，如圖11所示，向在第1次掃描時沒有被噴出液體材料111的從圖中上數第2行的各被噴出部18以及從圖中下數第2行的各被噴出部18，噴出紅色材料111R、綠色材料111G和藍色材料111B。
這樣，在第2次之後的掃描中，一邊從跨過多行而設置的被噴出部18中選擇沒有被噴出液體材料111的被噴出部18的行，一邊噴出液體材料111，反覆進行掃描，直至向各被噴出部18分別噴出1次液體材料111。
如果在各被噴出部18上分別噴出1次液體材料111，則反覆進行圖10和圖11的掃描，直至如圖12所示，此次向各被噴出部18噴出液體材料111共計2次。然後，反覆進行該掃描，通過向各被噴出部18噴出液體材料111共計3次、共計4次，即漸漸地增加噴出次數，如圖13所示，向各被噴出部18的整體噴出液體材料111。
對此之後的工序進行簡單的說明。在形成有濾色器16的基體10A上，形成未圖示的電極和布線等，並形成平坦化膜。另外，在基體10A的表面上形成間隙控制用的未圖示的隔板(spacer)和隔壁。以覆蓋形成於該基體10A上的布線和濾色器的方式形成取向膜，並對該取向膜實施研磨處理。取向膜可以通過塗覆或印刷例如聚醯亞胺而形成。另外，將由環氧樹脂等構成的密封材料形成為矩形環狀，並在由密封材料包圍的區域上塗覆液晶。
接著，對有源矩陣側母基板的形成進行說明，在由玻璃或塑料等透光性材料構成的大開本的基材上形成布線、電極等，並在形成有該布線、電極等的區域上形成平坦化膜。形成平坦化膜之後，形成由聚醯亞胺構成的取向膜，並對該取向膜進行研磨處理。
接著，將濾色器側母基板和有源矩陣側母基板粘貼成面板狀。使兩極板接近，並使有源矩陣側母基板與濾色器側母基板上的密封材料粘接。然後，在粘接的兩母基板上形成劃線，沿著該劃線將面板切斷，並對切斷後的各面板進行清洗，之後，在各面板上安裝驅動器等。在各液晶面板的外側表面上粘貼偏振片，並安裝背光燈41，則液晶裝置1完成。
這樣，根據本實施方式，由於在臺架103掃描基體10A的同時噴出液體材料111，以使紅色材料111R、綠色材料111G、藍色材料111B各液體材料111的掃描區域中的至少一部分重合，所以在掃描區域重合的部分中，各液體材料111的溶劑蒸發，形成難以乾燥的氣氛，從而作為整體來說，液體材料111的乾燥速度變得均勻。因此，即使在同一掃描中噴出紅色材料111R、綠色材料111G、藍色材料111B各液體材料111，也不會在各液體材料111之間產生乾燥不均。由此，在縮短了整體的描畫時間的同時，還可以防止在所形成的濾色器層16上產生不均。
另外，如本實施方式所述，通過使乾燥速度最快的綠色材料111G的掃描區域與紅色材料111R的掃描區域和藍色材料111B的掃描區域重合，從而可以避免從各液體材料111蒸發的溶劑蒸發量因場所不同而產生偏差，從而能夠形成均勻的溶劑氣氛。由此，可以提高幹燥速度的均一性，並能夠在各液體材料111之間使乾燥不均難以產生。
而且，在本實施方式中，例如如圖10～圖12所示，在區域W中，以紅色材料111R的掃描區域、綠色材料111G的掃描區域以及藍色材料111B的掃描區域全部重合的方式，噴出各液體材料111。由此，可以在掃描區域整體中形成均勻的溶劑氣氛。由此，可以提高各液體材料111乾燥速度的均一性，並能夠在各液體材料111之間使乾燥不均難以產生。
(電子設備)接著，以行動電話為例，對本發明的電子設備進行說明。
圖14是表示行動電話300的整體結構的立體圖。
行動電話300具有框體301；設置有多個操作按鈕的操作部302；顯示圖像、動畫或文字等的顯示部303。在顯示部303上搭載有本發明的液晶裝置1。
這樣，因為搭載了顯示均勻、質量優良的液晶裝置1，所以可以得到顯示性能優越的電子設備(行動電話300)。
本發明的技術範圍不限定於上述實施方式，在不脫離本發明主旨的範圍內，可以施加適宜的改變。
例如，在上述實施方式中，如圖10～圖12所示，以紅色材料111R的掃描區域、綠色材料111G的掃描區域以及藍色材料111B的掃描區域全部重合的方式，噴出各液體材料111，但是並不限定於此。
舉一個例子來說明，也可以在第1次掃描中，向紅色材料111R的掃描區域和綠色材料111G的掃描區域重合的區域噴出紅色材料111R和綠色材料111G；在第2次掃描中，向綠色材料111G的掃描區域和藍色材料111B的掃描區域重合的區域噴出綠色材料111G和藍色材料111B。即，不僅在各液體材料111的掃描區域全部重合的情況下，在2種液體材料111的掃描區域重合的情況下也可以採用本發明。
另外，上述實施方式的說明，是以在液晶裝置1的濾色器基板3上形成濾色器層16的情況為例，對本發明進行說明，但是不限定於該實例，例如，也可以在有機EL裝置用基板上形成有機層(發光層等)的情況下採用本發明。
權利要求
1.一種液滴噴出方法，一邊使基板和噴頭相對掃描，一邊向該基板噴出功能液的液滴，在同一掃描中，將乾燥速度不同的多種功能液分別噴到掃描方向中的不同位置，並且，所述多種功能液的至少一部分種類的各掃描區域重合。
2.根據權利要求1所述的液滴噴出方法，其特徵在於，所述多種功能液中、乾燥速度快的功能液的掃描區域與其他種類的功能液的掃描區域重合。
3.根據權利要求1或2所述的液滴噴出方法，其特徵在於，所述多種功能液的全部種類的各掃描區域重合。
4.一種噴頭單元，一邊相對地掃描基板，一邊向該基板噴出功能液的液滴，該噴頭單元具有噴嘴，其同時噴出乾燥速度不同的多種功能液，並且排列為使所述多種功能液的至少一部分種類的各掃描區域重合而進行噴出。
5.一種液滴噴出裝置，搭載有權利要求4所述的噴頭單元。
6.一種電光學裝置，包括通過權利要求1～3所述的液滴噴出方法噴出了功能液的基板。
7.一種電子設備，搭載有權利要求6所述的電光學裝置。
全文摘要
本發明提供一種液滴噴出方法、噴頭單元、液滴噴出裝置、電光學裝置以及電子設備。由於臺架(103)在基體(10A)上進行掃描，同時以紅色材料(111R)、綠色材料(111G)、藍色材料(111B)各液體材料(111)的掃描區域中的至少一部分重合的方式噴出液體材料(111)，所以在掃描區域重合的部分，各液體材料(111)的溶劑蒸發，形成難以乾燥的氣氛，從而作為整體來說，液體材料(111)的乾燥速度變得均勻。因此，即使同時噴出紅色材料(111R)、綠色材料(111G)、藍色材料(111B)各液體材料(111)，也不會在各液體材料(111)之間產生乾燥不均。由此，在縮短了整體的描畫時間的同時，還可以防止在所形成的濾色器層(16)上產生不均。
文檔編號H05B33/14GK1872429SQ20061008994
公開日2006年12月6日 申請日期2006年5月29日 優先權日2005年5月30日
發明者加藤剛, 有賀和巳 申請人:精工愛普生株式會社