彩色閃爍器和圖像傳感器的製作方法
2023-06-26 23:57:06 2
專利名稱：彩色閃爍器和圖像傳感器的製作方法
技術領域：
本發明涉及可識別能量和種類不同的電磁波及放射線並轉換為光的彩色閃爍器、以及將由彩色閃爍器變換的光圖像化的圖像傳感器。
背景技術：
在X射線和γ射線等放射線透射物體時，物體內的放射線的吸收和散射根據放射線透射的物體的形狀和構成物體的物質的種類而不同。因此，通過利用該性質測量透射了物體的放射線的強度，進行影像化後用照片、視頻錄像和數字文件化等記錄方法進行記錄，就能夠得到物體內部的破損狀態、變化或填充狀況等信息。
通過利用透射了該物體的放射線，不破壞物體和試樣就可以測量物體和試樣的內部狀態的方法，被稱作射線照相術或無損放射線攝影法。作為無損放射線攝影法的例子，例舉有在現有醫療診斷中利用的、用X射線照相診查人體的內部狀態的方法。
再有，在無損放射線攝影法中，也可以取代放射線而使用紫外線和光等電磁波。
當前，在醫療診斷和工業用無損檢查中利用的無損放射線攝影法中，使用使攝影系統的靈敏度提高的圖像傳感器之一、即圖5所示的X射線圖像增強器1。
在現有的X射線圖像增強器1中，電磁波和放射線，例如從X射線管2放射後透射了物體的X射線E1，從管容器3的入射面4經由設置在管容器3內部的鋁(Al)基板4，射入到由碘化銫(CsI)等材料構成的閃爍器5中。通過使射入的X射線E1與閃爍器5反應後發光來轉換為光，在受光傳感器6中，將轉換的光轉換為電信號E2。
接著，在受光傳感器6中轉換的電信號E2，在用Al基板4閉塞的圖像增強器管7內部的真空區域8中，被利用高壓電源9與內部電極10的作用所形成的電場的作用聚集並放大後，成為輸出像尺寸S1的電信號E2，被引導到陽極11側。
另外，從形成在圖像增強器管7的端部的螢光體12的輸出面，將圖像的電信號E2轉換為圖像E3後輸出，利用向著透鏡13設置在螢光體12的輸出面上的照相機14攝影物體的圖像E3。
在此，為了提高X射線圖像增強器1的靈敏度，考慮增大閃爍器5與X射線E1的反應區域、即管容器3的入射面4中的入射面有效面積S2，但隨著入射面有效面積S2變大，測定的位置解析度就降低。即，存在若要相互地提高圖像傳感器的靈敏度和解析度的一方，另一方就降低的關係。
於是，當前考慮取代增大入射面有效面積S2即閃爍器5的發光區域，將光轉換為電信號E2之後放大電信號E2而使用的裝置是X射線圖像增強器1。即，可以將X射線圖像增強器1叫作具有電信號E2的電子放大功能的圖像傳感器。
另一方面，作為得到低靈敏度高清晰度的方法，例舉有增長放射線的照射時間，利用積分功能進行測定的方法。在該方法中使用薄膜和輝盡性螢光薄板等記錄媒體。但是，在使用了薄膜和輝盡性螢光薄板等記錄媒體的測定中，由於無顯影和讀取操作等間接的操作而不能得到物體的內部結構作為圖像數據，因此，沒有實時性。
且說，在使種類和能量不同的放射線或波長不同的紫外線和光等電磁波透射物體進行測定，要掌握因為放射線和電磁波的差異所產生的測定值的差異的情況下，需要關於各個放射線和電磁波分別進行測定。
例如，在使用中子射線和X射線E1進行測定的情況下，必須要置換與中子射線反應的閃爍器5和與X射線E1反應的閃爍器5。
因此，為了能夠同時測定種類和能量不同的放射線或波長不同的電磁波，考慮有既維持放射線或電磁波的特性，又能夠用色別測定種類和能量不同的放射線或波長不同的電磁波的彩色閃爍器的結構和方法(例如，參照美國專利第6,313,465號說明書和日本特開平11-271453號公報)。
在具有能夠用色別測定該不同的放射線和電磁波的彩色閃爍器的圖像傳感器中，也考慮了為了提高靈敏度而使入射面有效面積S2擴大的方法和在用受光傳感器將由彩色閃爍器的發光產生的光轉換為電信號的結構的情況下，使用具有X射線圖像增強器1和微型通道陽極(plate)等電氣放大裝置的圖像傳感器，將放射線和電磁波轉換為電信號後，電氣放大轉換後的電信號的方法。
在使用X射線圖像增強器1作為圖像傳感器的情況下，為了放大電子的能量，在圖像增強器管內部的真空區域8中形成具有如圖6所示的放射狀的等位線15的可變視野型電子透鏡16，放射狀形成電子的軌道17。
因此，在使用了X射線圖像增強器1的圖像傳感器中，若不從等位線15的朝向開始，將放射線和電磁波的輸入面即彩色閃爍器和受光傳感器的光電轉換面幾何學性地形成為曲面，就不能電氣放大電信號E2後成像圖像E3。
其結果，如圖7所示，在與放射線和電磁波如X射線E1反應的彩色閃爍器的發光部分中，隨著X射線E1對彩色閃爍器的入射角度從中心部分靠近外周部分，其成為依次從垂直方向向斜向進行變化的角度。因此，彩色閃爍器的發光部分的外周部分附近的清晰度就比中心部分附近低下。
在圖7中，例如，在假設彩色閃爍器的受光傳感器6的光電面側的面是用虛線示出的面的情況下，由於彩色閃爍器的厚度比較薄，因此，在彩色閃爍器的發光部分的中心部分和外周部分中，與X射線E1反應的彩色閃爍器的反應區域的差小。因此，有時對清晰度的影響就不大。
但是，在如圖7所示的實際的彩色閃爍器這樣的具有一定的厚度的情況下，在彩色閃爍器的發光部分的外周部分中，由於從斜向向彩色閃爍器射入X射線E1，因此，在外周部分中，與X射線E1反應的彩色閃爍器的反應區域比中心部分的更寬。因此，隨著靠近彩色閃爍器的發光部分的外周部分，與X射線E1反應後產生的發光部分急劇變大，隨之清晰度降低。
即，一方面，為了提高彩色閃爍器的發光部分的外周部分中的清晰度，需要使X射線E對彩色閃爍器的入射面成為平面，另一方面，為了放大在受光傳感器6中轉換的電信號，必須要為了形成電子透鏡16而使彩色閃爍器形成為曲面。
但是，依然沒有考慮同時滿足這樣的相反要求的彩色閃爍器和受光傳感器6的結構或構造。
另一方面，在使用了微型通道陽極作為圖像傳感器的情況下，微型通道陽極的通道間隔等於圖像傳感器的解析度。因此，就有為了提高圖像傳感器的解析度，不僅需要製作通道間隔微米尺寸的微型通道陽極，而且必須要具備通道間的放大特性的問題。
即，在現有的閃爍器5和圖像傳感器中，如上所述地，為了提高測定靈敏度，不能避免清晰度的降低。同樣地，在使用了能夠根據電磁波和放射線的種類和能量的差異按色別進行測定的彩色閃爍器的結構中，為了不降低清晰度而同時提高靈敏度，也謀求有能夠放大電信號的結構或方法。
發明內容
本發明為了解決現有問題，其目的在於提供一種能夠用更少的線量或光量更高效率並且同時地將種類和能量不同的電磁波或放射線轉換為光的彩色閃爍器。
此外，本發明的另一個目的在於提供一種能夠利用彩色閃爍器同時將種類和能量不同的電磁波或放射線轉換為光，不降低轉換後的光的清晰度而效率良好地進行放大，能夠更高靈敏度地掌握因為放射線和電磁波的種類和能量的差異而產生的測定值的差異的圖像傳感器。
本發明涉及的彩色閃爍器為了達到上述目的，如權利要求1記載地，其特徵在於，具有光學基板，具有集束光纖的結構；針狀閃爍器，設置在該光學基板上，與電磁波和放射線的至少一方反應後發光，並且具有針狀或柱狀的晶體結構；塗敷用閃爍器，塗敷該針狀閃爍器，並且與電磁波和放射線的至少一方反應後，用與上述針狀閃爍器不同的顏色進行發光，所述電磁波和放射線與與上述針狀閃爍器反應的電磁波或放射線不同種類或能量。
此外，本發明涉及的彩色閃爍器為了達到上述目的，如權利要求2記載地，其特徵在於，具有光學基板，具有集束光纖的結構；針狀閃爍器，設置在該光學基板上，與電磁波和放射線的至少一方反應後發光，並且具有針狀或柱狀的晶體結構；塗敷用閃爍器，塗敷該針狀閃爍器，並且與電磁波和放射線的至少一方反應後，用與上述針狀閃爍器不同的發光壽命進行發光，所述電磁波和放射線與與上述針狀閃爍器反應的電磁波或放射線不同種類和能量。
此外，本發明涉及的彩色閃爍器為了達到上述目的，如權利要求3記載地，其特徵在於，具有光學基板，具有集束光纖的結構；針狀閃爍器，設置在該光學基板上，與電磁波和放射線的至少一方反應後發光，並且具有針狀或柱狀的晶體結構；塗敷用閃爍器，塗敷該針狀閃爍器，並且與電磁波和放射線的至少一方反應後，用與上述針狀閃爍器不同的發光壽命和顏色進行發光，所述電磁波和放射線與與上述針狀閃爍器反應的電磁波或放射線不同種類和能量。
此外，本發明涉及的彩色閃爍器為了達到上述目的，如權利要求4記載地，其特徵在於，具有光學基板，具有集束光纖的結構；針狀閃爍器，設置在該光學基板上，與電磁波和放射線的至少一方反應後發光，並且具有針狀或柱狀的晶體結構；塗敷用閃爍器，塗敷該針狀閃爍器，並且與電磁波和放射線的至少一方反應後，用與上述針狀閃爍器不同的發光條件進行發光，所述電磁波和放射線與與上述針狀閃爍器反應的電磁波或放射線不同種類和能量。
圖1是示出本發明涉及的圖像傳感器的第一實施方式的結構圖。
圖2是圖1中示出的彩色閃爍器和受光傳感器的放大剖面圖。
圖3是示出使用結構不同的多個閃爍器得到的物體的圖像的一例的圖。
圖4是示出本發明涉及的圖像傳感器的第二實施方式的結構圖。
圖5是現有的X射線圖像增強器的結構圖。
圖6是示出由圖5中示出的現有的X射線圖像增強器形成的電子透鏡的結構的圖。
圖7是圖5中示出的現有的彩色閃爍器的發光部分的放大結構圖。
具體實施例方式
參照附圖，關於本發明涉及的彩色閃爍器和圖像傳感器的實施方式進行說明。
圖1是示出本發明涉及的圖像傳感器的第一實施方式的結構圖。
是圖像傳感器的一例的圖像增強器20與具有透鏡21的彩色照相機22共同被收納在管容器23中。圖像增強器20具有高壓電源24和一端閉口並且具有斷坡的管狀的圖像增強器管25，用彩色閃爍器26閉塞圖像增強器管25的開口部。
將在圖像增強器管25的開口部中設置的彩色閃爍器26配置在管容器23的開放部。然後構成為，透射了想要得到圖像的物體27的電磁波和放射線、例如從配置在管容器23外部的X射線管28放射的X射線E4，射入到形成在彩色閃爍器26上的平面狀的入射面29上。因此，彩色閃爍器26的面向管容器23外部的部位的面積就成為X射線E4的入射面有效面積S3。
此外，彩色閃爍器26的結構在於，在作為光學基板的一例的纖維光學板(fiberoptics plate)30上設置具有將X射線E4等放射線和電磁波轉換為光的功能的閃爍器層31，並且用樹脂32保護了閃爍器層31。然後，在管容器23的開放部配置彩色閃爍器26的樹脂32，形成X射線E4的入射面29。
在彩色閃爍器26的圖像增強器管25內部側形成具有規定曲率的曲面，在該曲面上設置受光傳感器33。在該受光傳感器33的彩色閃爍器26側形成具有規定曲率的光的輸入面34，在受光傳感器33的圖像增強器管25內部側形成具有規定曲率的光電面35。
然後構成為，射入到了形成X射線E4的入射面29的樹脂32中的X射線E4，在閃爍器層31中轉換為光後，經由纖維光學板30，在受光傳感器33中被接收。
此外，在圖像增強器管25的內部設置多個內部電極36。然後構成為，通過從高壓電源24向圖像增強器管25內部的各內部電極36施加電壓，就能夠形成電場。
另一方面，在圖像增強器管25內部的閉口端附近設置陽極37。另外，在圖像增強器管25內部的閉口端側內面設置輸出側閃爍器38。一方面，將輸出側閃爍器38的受光傳感器33側形成與受光傳感器33的光電面35的曲率相應的規定曲率的曲面，另一方面，將圖像增強器管25的閉口端側形成為平面狀。
輸出側閃爍器38具有將圖像增強器管25內部的電子轉換為光的功能。這時，在輸出側閃爍器38中具有能夠根據電子的強度轉換為紅色、綠色、藍色的發光比例不同的光的功能，即作為彩色閃爍器的功能。
然後，將被彩色閃爍器26閉塞的圖像增強器管25的內部減壓形成真空區域39。即，被彩色閃爍器26閉塞的圖像增強器管25分別兼具真空容器40的一部分的功能。
其結果，圖像增強器管25具有兼作以受光傳感器33的光電面35為陰極的真空容器40的放電管的功能，並且，在與陽極37之間形成電子透鏡。即，構成利用圖像增強器管25、內部電極36、高壓電源24、規定的曲面具有陰極功能的受光傳感器33的光電面35和陽極37形成電子透鏡，利用電場的作用加速電子的電信號放大裝置。
然後構成為，將在受光傳感器33的輸入面34中接收到的光轉換為電信號E5，作為電信號E5從受光傳感器33的光電面35放出的電子，被電子透鏡的作用放大成輸出像尺寸S4的電信號E5，照射到輸出側閃爍器38上。
此外，在圖像增強器管25的閉口端側，平面狀形成輸出物體27的圖像的輸出側閃爍器38的輸出螢光面41，將彩色照相機22的透鏡21向著輸出側閃爍器38的輸出螢光面41。然後構成為，將照射到輸出側閃爍器38上的放大電信號E5轉換為彩色圖像E6，在輸出螢光面41中成像，能夠用彩色照相機22攝影彩色圖像E6。
接著，關於彩色閃爍器26和受光傳感器33的詳細結構進行說明。
圖2是圖1中示出的彩色閃爍器26和受光傳感器33的放大剖面圖。
彩色閃爍器26設置在例如CMOS(Complementary Metal-OxideSemiconductor)傳感器和CCD(Charge Coupled Device)傳感器等受光傳感器33的輸入面34側。
再有，也可以不成為在圖像增強器管25內放大已用CMOS傳感器和CCD傳感器等受光傳感器33轉換的電信號E5後用照相機進行攝影的結構，而是構成為用具有CMOS照相機和CCD照相機等受光元件的照相機攝影來自彩色閃爍器26的光。
彩色閃爍器26是在纖維光學板30上重疊設置了閃爍器層31的結構。這時，將纖維光學板30與閃爍器層31的邊界面形成為平面狀。即，將纖維光學板30的光的射入側即閃爍器層31側形成為平面，另一方面，將光的輸出側即受光傳感器33側形成為曲面狀。
另外，將閃爍器層31的與纖維光學板30相反側的面形成為平面狀，用平面薄板狀的保護膜樹脂32進行保護。
彩色閃爍器26的閃爍器層31是用塗敷用閃爍器51塗敷了針狀閃爍器50的結構。然後，在纖維光學板30側設置針狀閃爍器50，用塗敷用閃爍器51塗敷針狀閃爍器50的與纖維光學板30相反側的部位。
用一端成為尖形的針狀或柱狀的晶體結構的多個單元構成閃爍器層31的針狀閃爍器50。因此，針狀閃爍器50就成為集束光纖的結構。由於針狀閃爍器50內部的光在單元內部一邊全反射一邊向1方向前進，因此，就能夠抑制彩色閃爍器26的靈敏度的降低。
因此，由於一進一步增加針狀閃爍器50的厚度，與X射線E4反應的區域就增加，因此，能夠提高圖像增強器20的靈敏度。但是，在針狀閃爍器50的厚度足夠厚的情況下，由於與從斜向射入的X射線E4反應的針狀閃爍器50的反應區域比與從垂直方向射入的X射線E4反應的針狀閃爍器50的反應區域變寬，因此，有可能針狀閃爍器50的周邊部分比中央部分的清晰度低。
於是，為了即使增加針狀閃爍器50的厚度後提高靈敏度也少許地抑制清晰度的降低，利用塗敷用閃爍器51塗敷針狀閃爍器50的X射線E4的射入側。
組合粒徑幾微米到幾十微米的多種粉末狀閃爍器微粒構成塗敷用閃爍器51。因此，利用塗敷用閃爍器51的作用減輕X射線E4的斜向成分，即使增加針狀閃爍器50的厚度來提高靈敏度，也能夠少許地抑制清晰度的降低。
在此，關於閃爍器層31的材料結構例進行說明。
在彩色閃爍器26中具有能量和種類不同的放射線和電磁波的分離識別功能，使得對於能量和種類不同的放射線和電磁波分別示出不同反應。因此，在構成彩色閃爍器26的閃爍器層31中使用與各能量和種類的放射線和電磁波反應的螢光體。
即，針狀閃爍器50和塗敷用閃爍器51至少包括相互不同的螢光體。針狀閃爍器50由單一或多個螢光體構成，塗敷用閃爍器51也同樣地由單一或多個螢光體構成。
首先，關於按色別同時測定不同種類的放射線或電磁波的情況中的彩色閃爍器26的材料結構例進行說明。
在射入到彩色閃爍器26中的放射線是熱中子射線和X射線或γ射線的情況下，選擇包含對於熱中子射線反應的元素的螢光體和包含對於X射線或γ射線反應的元素的螢光體。
作為包含對於熱中子射線反應的元素的螢光體，例如例舉有包含引起與熱中子(n，γ)反應的釓(Gd)元素的螢光體和包含引起與熱中子(n，α)反應的硼(10B)和鋰(6Li)的螢光體。
在使熱中子射線射入到包含Gd元素的螢光體中的情況下，由於熱中子與Gd的熱中子反應的反應截面積比較大，因此，即使螢光體的厚度是150微米的程度，熱中子射線也不透射螢光體，但即使使包含Gd元素的螢光體的厚度設定為500微米，能量高的X射線和γ射線也透射了螢光體。
在此，在受光傳感器33是CMOS傳感器或CCD傳感器等受光傳感器33的情況下和是用具有CMOS照相機和CCD照相機等受光元件的照相機攝影來自彩色閃爍器26的光的結構的情況下，使用受光轉換效率高的碘化銫作為針狀閃爍器50十分有效。
因此，作為與熱中子射線反應用的螢光體，可以將由銪活化硫酸釓Gd2O2S(Eu)構成的紅色螢光體使用於塗敷用閃爍器51中。
另一方面，作為與X射線和γ射線反應用的螢光體，可以將由CsI構成的螢光體使用作針狀閃爍器50。作為由CsI構成的螢光體，主要例舉有由發出的光的主波長為540nm的鉈活化碘化銫CsI(TL)構成的綠色螢光體或由發出的光的主波長為420nm的鈉活化碘化銫CsI(Na)構成的藍色螢光體的這兩種螢光體。
再有，在使用了CsI作為針狀閃爍器50的情況下，由於CsI具有吸溼性，有可能隨之性能降低，因此，在用CsI形成了針狀閃爍器50後，最好用碳化矽SiC等保護材料進行塗敷以用於保護。
此外，為了提高對於X射線和γ射線的靈敏度，也可以在由Gd2O2S(Eu)構成的紅色螢光體和由CsI構成的針狀閃爍器50之間設置與熱中子的反應截面積小的綠色螢光體的鋱活化硫酸鑭La2O2S(Tb)和紅色螢光體的鋱活化硫酸釔Y2O2S(Tb)作為塗敷用閃爍器51或針狀閃爍器50，成為三層結構。
即，由於若將閃爍器層31設定為Gd2O2S(Eu)、La2O2S(Th)或者Y2O2S(Tb)和CsI的三層結構，一方面，閃爍器層31與熱中子反應後發出紅色成分的光，另一方面，與X射線和γ射線反應後發出綠色成分的光，因此，就能夠用色別測定熱中子射線與X射線和γ射線。
另一方面，在射入到彩色閃爍器26中的放射線是β射線和X射線或γ射線的情況下，選擇包含對於β射線反應的元素的螢光體和包含對於X射線或γ射線反應的元素的螢光體。
由於β射線的射程距離比X射線和γ射線短，因此，射入到彩色閃爍器26中的放射線可以使用與在熱中子射線和X射線或γ射線的情況中使用的閃爍器層31的材料結構同一材料結構的閃爍器層31。
此外，在由Gd2O2S(Eu)構成的塗敷用閃爍器51與由CsI構成的針狀閃爍器50之間設置不包含Gd元素的紅色螢光體的銪活化硫酸釔Y2O2S(Eu)和綠色螢光體的銪活化硫酸鑭La2O2S(Eu)成為三層結構的閃爍器層31，也能夠同樣地按色別使β射線與X射線或γ射線分離後同時進行測定。
同樣地，在射入到彩色閃爍器26中的放射線至紫外線是紫外線和X射線或γ射線的情況下，也能夠通過選擇包含對於紫外線反應的元素的螢光體和包含對於X射線或γ射線反應的元素的螢光體構成閃爍器層31，來按色別使紫外線和X射線或γ射線分離後同時進行測定。
下面，關於按色別同時測定不同能量的放射線或電磁波的情況中的彩色閃爍器26的材料結構例進行說明。
在按色別同時測定不同能量的放射線或電磁波的情況下，利用構成閃爍器層31的元素的K吸收端的差異與能量吸收係數和比重的關係。即，放射線或電磁波如X射線的能量越小，構成閃爍器層31的元素的能量吸收係數就越大，構成閃爍器層31的元素的比重就越大，可以利用在短射程距離中與放射線或電磁波的反應量變多的這樣的結構元素的性質。
因此，作為塗敷用閃爍器51，可以使用紅色螢光體的Y2O2S(Eu)和Gd2O2S(Eu)。Y2O2S(Eu)的比重是4.9，K吸收端是17keV，Gd2O2S(Eu)的比重是7.3，K吸收端是50.2keV。
此外，在針狀閃爍器50中使用綠色螢光體的CsI(Tl)。
另外，為了提高靈敏度，在綠色螢光體的CsI(Tl)與紅色螢光體的Y2O2S(Eu)和Gd2O2S(Eu)之間設置比重是7.9並且K吸收端是69.5keV的綠色螢光體的鎢酸鎘CdWO4，使閃爍器層31成為三層結構，這也有效。
向CsI(Tl)、CdWO4和Y2O2S(Eu)或Gd2O2S(Eu)的三層結構的閃爍器層31一射入能量不同的X射線，閃爍器層31就利用與能量低的X射線成分的反應發出紅色的光，利用與能量高的X射線成分反應發出綠色的光。
此外，若在使用紅色螢光體的Y2O2S(Eu)和Gd2O2S(Eu)作為塗敷用閃爍器51，使用藍色螢光體的CsI(Na)作為針狀閃爍器50的同時，設置K吸收端是69.5keV並且比重是6.1的藍色螢光體的鎢酸鈣(灰重石)CaWO4成為三層結構，就能夠使能量不同的X射線分離為紅色的光和藍色的光進行轉換。
下面，關於不是用色別，而是利用螢光體的發光壽命的差異來同時測定不同能量和種類的放射線或電磁波的情況中的彩色閃爍器26的材料結構例進行說明。
通過用發光壽命、即要直到亮度變為1/10的時間不同的螢光體構成閃爍器層31，就能夠識別不同能量和種類的放射線或電磁波。
例如，使用作針狀閃爍器50的藍色螢光體的CsI(Na)的發光壽命是0.63μs，比較短，但發光顏色與CsI(Na)同樣是藍色的藍色螢光體的CaWO4的發光壽命是10μs，比CsI(Na)的發光壽命充分長。
因此，若向由CsI(Na)和CaWO4構成的閃爍器層31脈衝照射能量不同的X射線，雖然CsI(Na)與CaWO4的發光顏色都是藍色，但是可以識別每個能量來觀測X射線。即，若使圖像的觀測比利用閃爍器層31與X射線的反應所產生的發光的時間晚，雖然CsI(Na)與CaWO4的發光顏色都是藍色，但是可以根據CsI(Na)與CaWO4的發光壽命的差異來識別是CsI(Na)發出的光還是CaWO4發出的光，因此，能夠對每個能量同時觀測能量不同的X射線。
同樣地，綠色螢光體的Y2O2S(Tb)的發光壽命是2.7ms，紅色螢光體的Y2O2S(Eu)的發光壽命是2.5ms。因此，若用發光壽命不同的螢光體構成閃爍器層31，就能夠通過調整觀測時間來對每個能量或種類觀測放射線或電磁波。
另外，通過用不但發光壽命而且發光顏色不同的螢光體構成閃爍器層31，就能夠提高彩色閃爍器26的識別性能。
另一方面，在彩色閃爍器26的樹脂32中使用例如聚對苯二甲酸乙撐酯等材料。在樹脂32的顏色是白色的情況下，由於具有使由彩色閃爍器26發出的光在受光傳感器33側進行反射的反射膜的功能，因此期望能提高靈敏度。
此外，在樹脂32的顏色是無色透明的情況下和樹脂32的材質是對於紫外線容易透射的材質的情況下，作為激勵光源，就可以測定從紫外線到短波長的光的電磁波。例如，可以在構成檢測放射線和雷射與物質反應後發出的紫外線作為信號的圖像傳感器的情況中和構成以紫外線為光源的紫外線顯微鏡等的圖像傳感器的情況中加以利用。
此外，纖維光學板30是集束光纖使得與針狀閃爍器50的結構匹配的結構，形成為多個柱狀。因此，纖維光學板30具有不使光衰減而進行傳輸的功能。即，若使用受光面是平面的CMOS傳感器和CCD傳感器作為受光傳感器33，就能夠不使用透鏡等非效率的傳輸裝置，而使用能有效傳輸光的纖維光學板30作為光學基板。
此外，纖維光學板30具有遮蔽透射了閃爍器層31的X射線等的放射線的功能。即，在測定對象是X射線和β射線等放射線的情況下，有可能由於透射了閃爍器層31的放射線而損傷CMOS傳感器和CCD傳感器等受光傳感器33。因此，為了對受光傳感器33遮蔽放射線，設置了纖維光學板30。
另外，為了使在受光傳感器33中轉換後的電信號E5放大，為了形成電子透鏡，必須要使被彩色閃爍器26閉塞的圖像增強器管25的內部成為真空狀態。於是，例如通過使用集束了多條具有一定強度的細玻璃的纖維光學板30作為彩色閃爍器26的光學基板，就能夠對彩色閃爍器26附加需要的強度，使得能夠保證圖像增強器管25的內部為真空狀態。
此外，在受光傳感器33中設置彩色濾波器等濾波機構52和定時調整機構53。受光傳感器33的濾波機構52具有挑選使其接收的光的波長的功能。因此，受光傳感器33能夠從由彩色閃爍器26發出的各種各樣波長的光中挑選所要波長的光進行接收。即，在彩色閃爍器26中按色別將能量和種類不同的放射線和電磁波轉換為光的情況下，能夠將光轉換為電信號E5，使得能夠適當地識別放射線和電磁波。
此外，受光傳感器33的定時調整機構53具有調整接收彩色閃爍器26中發出的光的定時的功能。因此，在彩色閃爍器26中利用發光壽命不同的螢光體將能量和種類不同的放射線和電磁波轉換為光的情況下，能夠按照適當的定時接收光，將光轉換為電信號E5，使得能夠識別放射線和電磁波。
作為定時調整機構53的例子，例舉有用於控制受光的定時和測定定時門的定時調整電路。
下面，關於圖像增強器20的作用進行說明。
首先，向想要圖像化的物體27照射能量和種類不同的電磁波和放射線。例如，從X射線管28向想要圖像化的物體27照射能量不同的X射線E4。因此，透射了物體27的X射線E4就射入到形成在圖像增強器20的彩色閃爍器26中的X射線E4的入射面29上。
射入到了彩色閃爍器26的入射面29上的X射線E4，透射樹脂32的一例的白色ペツト，射入到閃爍器層31內部，閃爍器層31與射入的X射線E4反應後發光。這時，由於X射線E4的一部分透射塗敷用閃爍器51射入到針狀閃爍器50中，因此，塗敷用和針狀帶電器50兩方與X射線E4反應後發光。
在此，由於在塗敷用閃爍器51中使用的螢光體和在針狀閃爍器50中使用的螢光體構成為相互對於種類和能量不同的放射線或電磁波進行反應，因此，各螢光體分別與高能量的X射線E4和低能量的X射線E4反應後進行發光。
例如，在塗敷用閃爍器51和針狀閃爍器50中使用了不同發光顏色的螢光體的情況下，各螢光體分別與高能量的X射線E4和低能量的X射線E4反應後發出不同顏色的光。
此外，在塗敷用和針狀閃爍器50中使用了不同發光壽命的螢光體的情況下，各螢光體分別與高能量的X射線E4和低能量的X射線E4反應後按不同發光壽命進行發光。
因此，在塗敷用閃爍器51和針狀閃爍器50中，能夠識別每個能量，將X射線E4轉換為光。
但是，在射入到閃爍器層31中的X射線E4的能量高的情況下，由於與X射線E4反應的塗敷用閃爍器51的區域變寬，因此，在塗敷用閃爍器51內部，無能量損失地透射後到達針狀閃爍器50中的X射線E4的比例增加。
此外，與塗敷用閃爍器51的反應量小的能量的X射線E4，透射塗敷用閃爍器51後到達針狀閃爍器50中。
但是，由於塗敷用閃爍器51和針狀閃爍器50的界面成為凹凸形狀，因此，在塗敷用閃爍器51中發出的光效率地射入到針狀閃爍器50的內部。另外，由於樹脂32由白色的白色ペツト構成，因此，在樹脂32側散射的光在白色ペツト上反射後射入到針狀閃爍器50中。
射入到針狀閃爍器50中的光和在針狀閃爍器50中與X射線E4反應後發出的光，一邊在針狀閃爍器50的柱狀的單元內部全反射，一邊向纖維光學板30和受光傳感器33側前進。因此，在針狀閃爍器50的內部抑制光的散射。
即，由於針狀閃爍器50是集束光纖的結構，因此，與在光纖內部前進的光同樣地抑制散射。因此，能夠不降低清晰度，而向一定的方向、即纖維光學板30和受光傳感器33傳達針狀閃爍器50內部的圖像信號即光。
經由了針狀閃爍器50的光在集束光纖的結構的纖維光學板30內部，與在針狀閃爍器50內部同樣地，一邊進行全反射一邊前進，到達受光傳感器33。
在此，使也透射了針狀閃爍器50的能量大的X射線E4在纖維光學板30中衰減。即，利用纖維光學板30遮蔽向著受光傳感器33的X射線E4。
接著，在閃爍器層31中產生的光經由纖維光學板30，在受光傳感器33的受光面中接收，在光電面35中被轉換為電信號E5。這時，在利用受光傳感器33的濾波機構52調整接收的光的波長的同時，利用定時調整機構53調整使其接收光的定時。因此，利用受光傳感器33的濾波機構52和定時調整機構53挑選在閃爍器層31中按不同顏色或發光壽命產生的光。
然後，在受光傳感器33中轉換後的電信號E5被導向被彩色閃爍器26閉塞的圖像增強器管25的內部的真空區域39中。即，圖像增強器管25具有兼作以受光傳感器33的光電面35為陰極的真空容器40的放電管的功能，電信號E5變為電子向陽極37側前進。
這時，利用從高壓電源24施加的電壓的作用，在圖像增強器管25的內部的內部電極36上形成電場。另外，在圖像增強器管25內部的受光傳感器33的光電面35與陽極37之間形成與受光傳感器33的光電面35的曲率和輸出側閃爍器38的曲率相應的電子透鏡。
其結果，被導入到圖像增強器管25內部的真空區域39中的電子，由於電場的作用加速後向陽極37側前進，照射到輸出側閃爍器38上。這時，由於電子透鏡的作用，將電信號E5放大為輸出像尺寸S4的圖像的電信號E5。
接著，在輸出側閃爍器38中，電信號E5被轉換為彩色圖像E6後，在輸出螢光面41中成像，被彩色照相機22攝影。其結果，能夠將透射了物體27的X射線E4圖像化為由每個能量不同顏色或發光壽命的光構成的彩色圖像E6，根據能量不同的X射線E4分別確認物體27內部的狀況。
這時，通過設定為能夠根據電子的強度，將輸出側閃爍器38轉換為紅色、綠色、藍色的發光比例不同的光的彩色閃爍器，從發光壽命不同的螢光體產生的光就根據時間變為各個強度的電子，照射到輸出側閃爍器38中，因此，就用放射線或電磁波的每個能量或種類不同的顏色，來向輸出側閃爍器38的輸出螢光面41輸出彩色圖像E6。
根據圖像增強器20的彩色閃爍器26，由於用針狀或柱狀的針狀閃爍器50和微粒狀的塗敷用閃爍器51構成閃爍器層31，因此，限定了在閃爍器層31中產生的光的前進方向，降低了損失，同時能夠均一化放射線或電磁波與閃爍器層31的反應區域的寬度，能夠不降低清晰度而提高靈敏度。
此外，在彩色閃爍器26中，由於用分別與相互能量和種類不同的電磁波和放射線反應後產生顏色或發光壽命不同的光的螢光體，構成了構成閃爍器層31的針狀閃爍器50和塗敷用閃爍器51，因此，能夠同時可識別地圖像化能量和種類不同的放射線或電磁波。
另外，通過根據與能量和種類不同的電磁波和放射線的反應，用發光顏色和發光壽命雙方不同的螢光體構成彩色閃爍器26，就能夠更高靈敏度並且同時圖像化能量和種類不同的電磁波和放射線。
此外，根據圖像增強器20，由於將現有技術中是曲面的閃爍器層31設定為平面，因此，能夠不降低閃爍器層31的周邊部分的清晰度，而增厚閃爍器層31的厚度來提高靈敏度。另外，在減小現有圖像增強器20的問題中的中心部與周邊部的清晰度的差的同時，能夠得到大的放射線和電磁波的入射面有效面積S3。
同樣地，根據圖像增強器20，為了形成電子透鏡，使輸出側閃爍器38的受光傳感器側成為具有規定曲率的曲面，另一方面，通過將彩色照相機22側的輸出螢光面形成為平面狀，就能得到失真少的圖像。
此外，根據圖像增強器20，作為受光傳感器33，通過使用平面型的CMOS傳感器和CCD傳感器，能夠不用透鏡等傳輸裝置，而利用纖維光學板30向受光傳感器33傳輸已在閃爍器層31中轉換的光。因此，在圖像增強器20中能夠得到更清晰的圖像。
此外，一般地，將用於形成真空容器40的部件和設置在真空容器40內部的受光傳感器33和內部電極36等部件安裝為獨立的部件。
另一方面，由於圖像增強器20是利用彩色閃爍器26的光學基板即纖維光學板30閉塞圖像增強器管25形成真空區域39的結構，因此，不需要當前的使用於閉塞圖像增強器管25的不透明的Al基板。
因此，根據圖像增強器20，可以在彩色閃爍器26上設置白色或透明樹脂32作為保護膜，能夠提高對於低能量的X射線和紫外線、短波長的光等的能量小的放射線和電磁波的靈敏度。特別是能夠避免當前成為問題的低能量的放射線和電磁波被Al基板吸收，能夠抑制靈敏度的降低。
圖3是示出使用結構不同的多個閃爍器得到的物體的圖像的一例的圖。
在圖3中，用箭頭1示出的部位是僅用由Gd2O2S(Eu)構成的紅色閃爍器，將透射了物體的X射線轉換為光後，用CCD照相機攝影所得到的圖像。
用箭頭2.5示出的部位是在纖維光學板30上設置由CsI(Tl)構成的針狀閃爍器50，用由Gd2O2S(Eu)的紅色閃爍器構成的塗敷用閃爍器51塗敷了針狀閃爍器50之後，進一步利用已用由白色ペツト構成的樹脂32保護了的彩色閃爍器26，將X射線轉換為光，用CCD照相機攝影所得到的圖像。
用箭頭2.1示出的部位是在纖維光學板30上設置由CsI(Tl)構成的針狀閃爍器50，利用已用由Gd2O2S(Eu)的紅色閃爍器構成的塗敷用閃爍器51塗敷了針狀閃爍器50的彩色閃爍器26、即，不用樹脂32保護的彩色閃爍器26，將X射線轉換為光，用CCD照相機攝影所得到的圖像。
用箭頭1.6示出的部位是在纖維光學板30上設置由CsI(Tl)構成的針狀閃爍器50，利用當前使用的高靈敏度的閃爍器，將X射線轉換為光，用CCD照相機攝影所得到的圖像。
再有，設定由Gd2O2S(Eu)構成的紅色閃爍器的厚度為大約70微米，設定CsI(Tl)的厚度為大約500微米。
此外，各箭頭的數字示出以紅色閃爍器的發光量為基準1時的各彩色閃爍器26的相對發光量。即，示出了用箭頭2.5示出的由纖維光學板30、CsI(Tl)、Gd2O2S(Eu)、白色ペツト構成的彩色閃爍器26的發光量是紅色閃爍器的發光量的2.5倍。
同樣地，用箭頭2.1示出的由纖維光學板30、CsI(Tl)、Gd2O2S(Eu)構成的彩色閃爍器26的發光量是紅色閃爍器的發光量的2.1倍，用箭頭1.6示出的由纖維光學板30、CsI(Tl)構成的彩色閃爍器26的發光量是紅色閃爍器的發光量的1.6倍。
根據圖3可知，通過對由纖維光學板30和CsI(Tl)構成的當前使用的高靈敏度閃爍器加以Gd2O2S(Eu)和白色ペツト作為結構要素，亮度進一步提高。
特別是在由纖維光學板30、CsI(Tl)、Gd2O2S(Eu)、白色ペツト構成的彩色閃爍器26中，可知，亮度比由纖維光學板30和CsI(Tl)構成的當前使用的高靈敏度閃爍器提高60％。
再有，由纖維光學板30、CsI(Tl)、Gd2O2S(Eu)、白色ペツト構成的彩色閃爍器26的厚度比由纖維光學板30和CsI(Tl)構成的高靈敏度閃爍器的厚度厚大約10％。
但是，為了在由纖維光學板30和CsI(Tl)構成的高靈敏度閃爍器中得到與由纖維光學板30、CsI(Tl)、Gd2O2S(Eu)、白色ペツト構成的彩色閃爍器26的亮度同等的亮度，必須要使由纖維光學板30和CsI(Tl)構成的高靈敏度閃爍器的厚度最低在500微米到800微米以上。
再有，在從斜向對彩色閃爍器26和高靈敏度閃爍器有X射線的照射的情況下，可知，清晰度與厚度幾何學地成比例，最大降低60％。因此可知，即使使由纖維光學板30和CsI(Tl)構成的高靈敏度閃爍器的厚度增加，得到了與由纖維光學板30、CsI(Tl)、Gd2O2S(Eu)、白色ペツト構成的彩色閃爍器26的亮度同等的亮度，也不能避免從斜向射入的X射線的清晰度的降低。
另一方面可知，若由纖維光學板30、CsI(Tl)、Gd2O2S(Eu)、白色ペツト構成彩色閃爍器26，能夠不極端地增加厚度，而既抑制了從斜向射入的X射線的清晰度的降低，又提高靈敏度。
再有，在圖像增強器20中，作為光學基板，也可以取代纖維光學板30，使用玻璃。此外，也可以取代彩色照相機22，設置彩色受光傳感器33等圖像化裝置。另外，也可以不將輸出側閃爍器38設定為彩色閃爍器，而用單色的螢光體，取代彩色照相機22，成為用照相機和受光傳感器33等圖像化裝置攝影單色圖像的結構。
此外，電信號放大裝置不僅是利用電子透鏡放大電信號E5的結構，也可以是利用其他方法的電信號放大裝置。
此外，也可以是不在受光傳感器33中設置定時調整機構53和濾波機構52的結構。另外，也可以是不在受光傳感器33中設置定時調整機構53，通過調節彩色照相機22的門的時間來分離由不同的發光壽命的螢光體的發光得到的彩色圖像E6。
例如，在使中子和X射線或γ射線射入到彩色閃爍器26中同時進行圖像化的情況中，一方面，若將與熱中子反應的綠色螢光體的Gd2O2S(Tb)作為塗敷用閃爍器51，將不與熱中子反應而與X射線和γ射線反應的藍色螢光體的CsI(Na)作為針狀閃爍器50構成彩色閃爍器26，另一方面，將輸出側閃爍器38設定為根據電子射線的強度向輸出螢光面41發出紅色、綠色、藍色的發光比例不同的光的由Y2O2S(Eu)構成的彩色閃爍器，通過調整彩色照相機22的輸入的門使發光時間延遲，就能夠用彩色圖像E6按色別同時攝影各放射線。
因此，解決了下面這樣的現有問題，即，在如使中子和X射線或γ射線射入到彩色閃爍器26中的情況下，即使在閃爍器層3中按色別轉換為了光，在將光轉換為電信號E5後進行放大時，也損失顏色信息，不能從放大後的電信號E5識別放射線的種類的問題。
圖4是示出本發明涉及的圖像傳感器的第二實施方式的結構圖。
再有，在圖4中示出的圖像傳感器60中，在與圖1中示出的圖像增強器20同等的結構上標記相同符號。
圖像傳感器60是在暗箱61內部配置了彩色閃爍器26和彩色照相機22的結構。在暗箱61中設置開放部，在該暗箱61的開放部，使入射面29向著暗箱61外部配置彩色閃爍器26，使得能夠射入來自暗箱61外部的X射線。
彩色閃爍器26是在作為光學基板的鉛玻璃62上重疊設置閃爍器層31的結構。這時，將鉛玻璃62與閃爍器層31的邊界面形成為平面狀。另外，將閃爍器層31的與鉛玻璃62相反側的面形成為平面狀，用平面薄板狀的樹脂32進行保護。
彩色閃爍器26的閃爍器層31是用塗敷用閃爍器51塗敷了由針狀或柱狀的多個單元構成的針狀閃爍器50的結構。然後，在鉛玻璃62側設置針狀閃爍器50，用塗敷用閃爍器51塗敷針狀閃爍器50的與鉛玻璃62相反側的部位。
此外，將彩色閃爍器26的鉛玻璃62的暗箱61內部側形成為平面狀，在與鉛玻璃62相對的位置上配置彩色照相機22。
即，圖像傳感器60的彩色閃爍器26是將圖2中示出的彩色閃爍器26的光學基板即纖維光學板30置換為鉛玻璃62的結構。
一般地，纖維光學板30的透射率也依賴於透射的電磁波和放射線的波長，但光學特性上比相同厚度的鉛玻璃62的透射率小。
因此，在能夠直接確認由彩色閃爍器26發出的光的情況下，將彩色閃爍器26的光學基板設為鉛玻璃62，通過成為用彩色照相機22攝影彩色閃爍器26發出的光的結構，就能夠提高靈敏度。
此外，通過利用鉛玻璃62作為彩色閃爍器26的光學基板，能夠進行遮蔽，使得射入到彩色閃爍器26中的電磁波和放射線不射入到彩色照相機22中。
因此，在圖像傳感器60中，不僅能夠與圖1中示出的圖像增強器20同樣地抑制清晰度的降低並且提高靈敏度，而且能夠從電磁波和放射線方面保護彩色照相機22等的攝影系統。
再有，在圖像增強器20和圖像傳感器60中，作為測定對象，不限於X射線，也可以使用短波長的光和紫外線等電磁波及γ射線和中子射線等放射線。
此外，塗敷用閃爍器按與針狀閃爍器不同的發光壽命和顏色進行發光，但也可以使除了發光壽命和顏色以外的發光條件不同，使得基於發光條件識別不同能量和種類的放射線或電磁波。
工業上的可利用性根據本發明涉及的彩色閃爍器，能夠用更少的線量或光量，更高效且同時將種類和能量不同的電磁波或放射線轉換為光。
此外，根據本發明涉及的圖像傳感器，能夠利用彩色閃爍器，同時將種類和能量不同的電磁波或放射線轉換為光，不降低轉換後的光的清晰度而效率良好地進行放大，更高靈敏度地掌握由於放射線和電磁波的種類和能量的差異而產生的測定值的差異。
權利要求
1.一種彩色閃爍器，其特徵在於，具有光學基板，其具有集束光纖的結構；針狀閃爍器，設置在該光學基板上，與電磁波和放射線的至少一個反應後發光，並且具有針狀或柱狀的晶體結構；塗敷用閃爍器，塗敷該針狀閃爍器，並且與電磁波和放射線的至少一個反應，以與上述針狀閃爍器不同的顏色進行發光，所述電磁波和放射線的種類或能量和與上述針狀閃爍器反應的電磁波或放射線不同。
2.一種彩色閃爍器，其特徵在於，具有光學基板，其具有集束光纖的結構；針狀閃爍器，設置在該光學基板上，與電磁波和放射線的至少一個反應後發光，並且具有針狀或柱狀的晶體結構；塗敷用閃爍器，塗敷該針狀閃爍器，並且與電磁波和放射線的至少一個反應，以與上述針狀閃爍器不同的發光壽命進行發光，所述電磁波和放射線的種類或能量和與上述針狀閃爍器反應的電磁波或放射線不同。
3.一種彩色閃爍器，其特徵在於，具有光學基板，其具有集束光纖的結構；針狀閃爍器，設置在該光學基板上，與電磁波和放射線的至少一個反應後發光，並且具有針狀或柱狀的晶體結構；塗敷用閃爍器，塗敷該針狀閃爍器，並且與電磁波和放射線的至少一個反應，以與上述針狀閃爍器不同的發光壽命和顏色進行發光，所述電磁波和放射線的種類或能量和與上述針狀閃爍器反應的電磁波或放射線不同。
4.一種彩色閃爍器，其特徵在於，具有光學基板，其具有集束光纖的結構；針狀閃爍器，設置在該光學基板上，與電磁波和放射線的至少一個反應後發光，並且具有針狀或柱狀的晶體結構；塗敷用閃爍器，塗敷該針狀閃爍器，並且與電磁波和放射線的至少一個反應，以與上述針狀閃爍器不同的發光條件進行發光，所述電磁波和放射線的種類或能量和與上述針狀閃爍器反應的電磁波或放射線不同。
5.一種圖像傳感器，其特徵在於，具有權利要求1至3中任一項所述的彩色閃爍器；受光傳感器，具有按各波長分選由該彩色閃爍器產生的光的濾波機構和調整受光的定時的定時調整機構，接收由彩色閃爍器產生的光並轉換為電信號。
6.一種圖像傳感器，其特徵在於，具有權利要求1至3中任一項所述的彩色閃爍器；受光傳感器，接收由該彩色閃爍器產生的光並轉換為電信號；電信號放大單元，通過利用電場的作用使電子加速來放大上述電信號；輸出側閃爍器，將由該電信號放大單元放大的上述電信號轉換為圖像。
7.一種圖像傳感器，其特徵在於，具有權利要求1至3中任一項所述的彩色閃爍器；受光傳感器，接收由該彩色閃爍器產生的光並轉換為電信號，並且光電面具有形成電子透鏡的曲率；電信號放大單元，通過利用電場的作用使電子加速來放大上述電信號；輸出側閃爍器，將由該電信號放大單元放大的上述電信號轉換為圖像，並且，上述光電面側具有形成電子透鏡的曲率。
8.一種圖像傳感器，其特徵在於，具有權利要求1至3中任一項所述的彩色閃爍器，該彩色閃爍器具有上述放射線或電磁波的入射側為平面、且光的輸出側為曲面的光學基板；受光傳感器，接收由該彩色閃爍器產生的光並轉換為電信號，並且光電面具有形成電子透鏡的曲率；電信號放大單元，通過利用電場的作用使電子加速來放大上述電信號；輸出側閃爍器，將由該電信號放大單元放大的上述電信號轉換為圖像，並且上述光電面側具有形成電子透鏡的曲率。
9.一種圖像傳感器，其特徵在於，具有權利要求1至3中任一項所述的彩色閃爍器；受光傳感器，接收由該彩色閃爍器產生的光並轉換為電信號，並且光電面具有形成電子透鏡的曲率；電信號放大單元，通過利用電場的作用使電子加速來放大上述電信號；輸出側閃爍器，將由該電信號放大單元放大的上述電信號轉換為圖像，並且上述光電面側是具有形成電子透鏡的曲率的曲面，並且，形成平面狀的輸出螢光面。
10.一種圖像傳感器，其特徵在於，具有權利要求1至3中任一項所述的彩色閃爍器，上述光學基板構成真空容器的一部分；受光傳感器，接收由該彩色閃爍器產生的光並轉換為電信號，並且光電面具有形成電子透鏡的曲率；電信號放大單元，通過利用電場的作用使電子加速來放大上述電信號；輸出側閃爍器，將由該電信號放大單元放大的上述電信號轉換為圖像，並且上述光電面側具有形成電子透鏡的曲率。
11.一種圖像傳感器，其特徵在於，具有權利要求1至3中任一項所述的彩色閃爍器；受光傳感器，接收由該彩色閃爍器產生的光並轉換為電信號，並且光電面具有形成電子透鏡的曲率；電信號放大單元，通過利用電場的作用使電子加速來放大上述電信號；輸出側閃爍器，根據電子的強度，將由該電信號放大單元放大的上述電信號轉換為由紅色、綠色、藍色的發光比例不同的光構成的圖像，上述光電面側是具有形成電子透鏡的曲率的曲面，並且，形成平面狀的輸出螢光面。
全文摘要
本發明的彩色閃爍器(26)具有光學基板(30)，具有集束光纖的結構；針狀閃爍器(50)，設置在光學基板(30)上，與電磁波和放射線的至少一個反應而發光，並且具有針狀或柱狀的晶體結構；塗敷用閃爍器(51)，塗敷該針狀閃爍器(50)，並且與電磁波和放射線的至少一個反應，以與針狀閃爍器(50)不同的顏色進行發光，所述電磁波和放射線的種類或能量和與針狀閃爍器(50)反應的電磁波或放射線不同。
文檔編號G01T1/20GK1886675SQ20048003531
公開日2006年12月27日 申請日期2004年9月29日 優先權日2003年9月29日
發明者日塔光一, 中山邦彥, 桔川敬介, 阿部素久, 野地隆司 申請人:株式會社東芝