滾輪及刻蝕清洗機的製作方法
2023-05-26 13:28:41
專利名稱：滾輪及刻蝕清洗機的製作方法
技術領域：
本發明涉及刻蝕清洗技術領域，特別涉及一種滾輪及刻蝕清洗機。
背景技術：
現有的溼法刻蝕清洗機通過控制藥液液面高度，來保證藥液只接觸太陽能電池片下表面而不損傷電池片的上表面，來實現對工件的單面刻蝕，此種方式可以形象的稱之為「水上漂」，如圖1所示。在該方式中，盛放藥液的儲液槽3中安裝有滾輪1』，作為太陽能電池片2 (矽片)的傳輸載體。利用太陽能電池片2的吸水特性，電池片2與液面的距離必須保證小於0. 5mm，這時電池片2的下表面就會吸附液面，吸附液面處電池片2和藥液5發生化學反應，將理想刻蝕面21腐蝕掉，達到對電池片2進行單面刻蝕的目的。由於整個工藝過程中電池片2在滾輪1 』的轉動下傳動，電池片2的厚度大概為180 μ m-220 μ m,比較薄，傳動過程中，滾輪1』濺起的藥液很容易對電池片2的上表面產生腐蝕，尤其電池片2的邊緣部分為過蝕點7，腐蝕最為嚴重。另一方面，由於藥液5的揮發及凝結，揮發出來的氣體與凝結的液滴也極易對電池片2的上表面產生腐蝕，為了解決這種問題通常會設置排風管，但此種結構只能將排風管設置於電池片2的上表面，在排風過程中酸霧就會對電池片2的上表面產生不必要的腐蝕。上表面被腐蝕的電池片2就是不合格品，造成資源的大量浪費。再一方面，現有的滾輪1』通常採用「0」型圈或光面滾輪，滾輪1』僅僅作為傳輸用途。光面滾輪無法將藥液5均勻的分布到電池片2的下表面上，還會形成間隔攜帶藥液5的情況，造成刻蝕不均勻，且光面滾輪攜帶的藥液量有限，無法滿足刻蝕使用藥液量。
發明內容
(一)要解決的技術問題本發明要解決的技術問題是如何避免溼法刻蝕過程中藥液對工件上表面的腐蝕。( 二 )技術方案為了解決上述技術問題，本發明提供了一種滾輪，其中，在所述滾輪表面沿其徑向方向設置有凹槽。進一步地，所述凹槽沿滾輪徑向截面的形狀，為方形、半圓形或V形。進一步地，所述凹槽為若干個。進一步地，所述凹槽的深度為0. 2mm 0. 5_。進一步地，沿所述滾輪軸向方向上各個凹槽之間的間距為0. 2mm 0. 4mm。為了解決上述技術問題，本發明還提供了一種刻蝕清洗機，包括上述的滾輪，其中，還包括放置所述滾輪的儲液槽，與所述儲液槽連接的補液組件，以及設置在所述滾輪之間的排風組件。進一步地，所述排風組件包括若干個排風管。(三)有益效果
上述技術方案具有如下有益效果通過在滾輪上設置凹槽，利用凹槽攜帶藥液能夠實現對電池片下表面的均勻刻蝕，而且藥液液面僅達到滾輪的四分之一直徑處即可，避免了藥液對電池片上表面的腐蝕。更進一步地，由於電池片和藥液液面之間具有一定空隙，可以將排風管設置在電池片下方，有利於更好的排出藥液形成的酸霧，避免酸霧對電池片上表面的腐蝕。提高了電池片的刻蝕效率，改善了電池片的刻蝕效果，提高了電池片的合格率。
圖1是現有技術中溼法刻蝕的示意圖；圖2是本發明實施例的滾輪的結構示意圖；圖3是本發明實施例的刻蝕清洗機的結構示意圖；其中，1，1，滾輪；11 凹槽；2 電池片；21 理想刻蝕面；3 儲液槽；4 排風管；5 藥液。
具體實施例方式下面結合附圖和實施例，對本發明的具體實施方式
作進一步詳細描述。以下實施例用於說明本發明，但不用來限制本發明的範圍。實施例一如圖2、圖3所示，為本發明實施例提供的滾輪的結構示意圖，該滾輪1表面沿滾輪1的徑向方向設置有凹槽11。凹槽11沿滾輪1徑向截面的形狀，可以為方形、半圓形等規則形狀。優選地，本實施例中的凹槽11為V形槽。在設置凹槽11時，不同尺寸會產生不同腐蝕效果。凹槽11間距過大會造成腐蝕不均勻；間距過小會造成加工難度增大，容易出現過蝕點。凹槽11的深度過大會造成藥液無法形成弧面，達不到腐蝕效果；深度過小會造成攜帶藥液量不足的情況。經過大量試驗反覆證明，優選地，凹槽11的深度為0. 2mm 0. 5mm，沿滾輪1軸向方向上凹槽11之間的間距為0. 2讓 0. 4讓。由於用於刻蝕的藥液為酸性，具有一定的粘性和濃度，本實施例利用V形槽的儲液特性，當滾輪在藥液中旋轉時，藥液能夠附著於凹槽內，隨著滾輪的轉動，電池片的下表面一直與滾輪接觸，電池片經過多根滾輪，凹槽中的藥液就會均勻的布滿電池片的下表面，對電池片的下表面進行單面刻蝕，而不會對電池片的上表面造成影響。這種情況下，刻蝕清洗劑的儲液槽中的液面低於滾輪的最頂端即可，利用滾輪旋轉就可以將藥液附著於凹槽內。此外由於凹槽的結構是均勻分布，還可實現攜帶藥液的均勻性。此外，由於凹槽之間有一定距離，因此與電池片相接觸處的滾輪不受任何影響，即不會對傳輸帶來任何影響。滾輪設置有50根左右，即使單根滾輪的凹槽只會造成電池片下表面的部分腐蝕，其他滾輪交錯布置，即可滿足均勻腐蝕的要求。本實施例中凹槽的深度，寬度以及各個凹槽之間的間隔可以靈活設置，以滿足不同工藝對藥液的不同需求量。而且該滾輪的選用可降低對循環管路流量及槽體加工製造精度的要求，大大降低成本。本實施例的滾輪在傳送電池片的同時又能滿足單面刻蝕的目的，不會腐蝕到電池片的上表面，在保證工藝的前提下能夠提高產能，提高電池片的合格率。實施例二如圖3所示，本發明實施例還提供了一種刻蝕清洗機，該清洗機包括儲液槽3，用於盛放刻蝕電池片2的藥液5 ；傳動組件，包括若干個滾輪1，位於儲液槽3中，用於放置電池片2以及傳輸電池片2運動；排風組件，包括若干個排風管4，設置在滾輪1之間，位於電池片2的下方，用於將電池片2下方的藥液5產生的酸霧排走；還包括補液組件，與儲液箱3連接，用於給儲液箱3補充藥液。本實施例的滾輪1即實施例一的滾輪，在此不再贅述。由於滾輪1帶有凹槽11，凹槽11可以攜帶一定量的藥液5對電池片2的下表面進行刻蝕，因此液面不必再像現有技術中那樣浸沒滾輪1並離電池片2的下表面很近，而是僅達到滾輪1的四分之一直徑處就可以，這樣電池片2的下表面和液面之間就具有一定空間，因此將排風管4設置於電池片2的下方，對電池片2下方的酸霧排走即可。與現有技術將排氣管設置在電池片2上方相比，不會將酸霧帶到電池片2的上表面，僅對電池片2下表面的理想刻蝕面21進行刻蝕，保證電池片2上表面的完好。以上所述僅是本發明的優選實施方式，應當指出，對於本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明技術原理的前提下，還可以做出若干改進和變型，這些改進和變型也應視為本發明的保護範圍。
權利要求
1.一種滾輪，其特徵在於，在所述滾輪表面沿其徑向方向設置有凹槽。
2.如權利要求1所述的滾輪，其特徵在於，所述凹槽沿滾輪徑向截面的形狀，為方形、半圓形或V形。
3.如權利要求1所述的滾輪，其特徵在於，所述凹槽為若干個。
4.如權利要求3所述的滾輪，其特徵在於，所述凹槽的深度為0.2mm 0. 5mm。
5.如權利要求4所述的滾輪，其特徵在於，沿所述滾輪軸向方向上各個凹槽之間的間距為 0. 2mm 0. 4mm。
6.一種刻蝕清洗機，包括權利要求1-4任一項所述的滾輪，其特徵在於，還包括放置所述滾輪的儲液槽，與所述儲液槽連接的補液組件，以及設置在所述滾輪之間的排風組件。
7.如權利要求6所述的刻蝕清洗機，其特徵在於，所述排風組件包括若干個排風管。
全文摘要
本發明涉及刻蝕清洗技術領域，具體公開了一種滾輪和刻蝕清洗機，其中，在所述滾輪表面沿其徑向方向設置有凹槽。本發明通過在滾輪上設置凹槽，利用凹槽攜帶藥液能夠實現對電池片下表面的均勻刻蝕，而且藥液液面僅達到滾輪的四分之一直徑處即可，避免了藥液對電池片上表面的腐蝕。更進一步地，由於電池片和藥液液面之間具有一定空隙，可以將排風管設置在電池片下方，有利於更好的排出藥液形成的酸霧，避免酸霧對電池片上表面的腐蝕。提高了電池片的刻蝕效率，改善了電池片的刻蝕效果，提高了電池片的合格率。
文檔編號H01L31/18GK102386086SQ201110356000
公開日2012年3月21日 申請日期2011年11月10日 優先權日2011年11月10日
發明者李建國, 楊來寶, 胡彩豐 申請人:北京七星華創電子股份有限公司