一種用於檢驗受試裝置的探針系統的製作方法

2023-09-18 02:37:30 2

一種用於檢驗受試裝置的探針系統的製作方法
【專利摘要】一種用於檢驗受試裝置的探針系統，以對受試裝置進行電性檢驗。所述系統包括：存儲架；探針杆門架總成；探針總成支架，可附裝至探針杆門架總成；探針總成，可附裝至探針總成支架，並用以與受試裝置進行電性配合；以及機械手系統，用於從存儲架拾取探針總成並將探針總成遞送至附裝至探針杆門架的支架。所述機械手系統也能夠從附裝至探針杆門架的支架拾取探針總成並將探針總成遞送至存儲架。機械手系統可還用以將探針總成及支架沿探針杆門架總成的長度進行重新定位，以確保探針總成被正確地對齊以實現與受試裝置的配合。探針總成可包括接觸銷陣列，所述接觸銷陣列用以在探針總成安裝於在探針杆門架總成上所安裝的支架上時與受試裝置上的多個導電焊盤進行配合。
【專利說明】一種用於檢驗受試裝置的探針系統

【技術領域】
[0001]本發明大體而言涉及對大規模電子裝置進行電性檢驗的領域，具體而言，涉及對液晶(Liquid Crystal ；LC)顯示器及有機發光二極體(Organic Light Emitting D1de ；OLED)顯示器的檢驗、以及在此種檢驗中所使用的自動化系統。

【背景技術】
[0002]液晶顯示器(Liquid Crystal Display ;LCD)面板包含液晶，液晶呈現出電場相關(electric-field dependent)光調製特性。液晶顯示器面板最常用來在從傳真機、膝上型計算機屏幕到大屏幕、高清晰度電視機在內的各種裝置中顯示圖像及其他信息。有源矩陣LCD面板是由多個功能層組成的複雜分層式結構，所述多個功能層包括:偏光膜；TFT玻璃基板，包含多個薄膜電晶體、多個存儲電容器、多個畫素電極、以及互聯布線；濾色片玻璃基板，包含黑色矩陣及濾色片陣列以及透明共用電極；由聚醯亞胺製成的定向膜；以及實際液晶材料，包含塑料/玻璃間隔體，以維持恰當的LCD單元厚度。
[0003]IXD面板是在高度受控的條件下在潔淨室環境中製造，以使良率最大化。然而，許多IXD因為製造瑕疵而不得不被丟棄。
[0004]如上所述，為提高複雜電子裝置(例如LCD面板)的生產良率，執行各種檢驗步驟來識別可在製造過程的各個步驟期間出現的各種缺陷。可在各製造步驟之間或在完成整個製造過程之後執行上述檢驗步驟。上述檢驗過程的一個實例是測試LC顯示器及OLED顯示器中所用的TFT陣列是否存在電性缺陷。使用各種檢驗裝置來執行上述測試。可用於此種目的的實例性裝置包括由位於美國加利福尼亞州聖何塞(San Jose，California，USA)的奧寶科技有限公司(Orbotech Ltd.)市售的陣列檢查器(Array Checker) AC6080。作為另外一種選擇，可使用所屬領域的技術人員所已知的且可在市場上購得的電子束檢驗系統來執行TFT陣列測試。
[0005]一般而言，電性檢驗系統要求受試裝置(device under test ；DUT)由有利於探測缺陷的電性信號或模式來驅動。這些信號通過載有多個探針銷的結構而從模式產生器子系統被傳送至DUT，所述多個探針銷在實體上接觸位於DUT有效區域的周邊處的接觸焊盤。在對TFT陣列進行電性檢驗的情況下,經常將一或多個端接棒(shorting bar)(與陣列設置於同一基板上)設置於用於陣列測試的接觸焊盤與面板驅動線之間。這些端接棒被連接至驅動線子集(例如，一個端接棒可連接至每隔一個的門極線)，從而減少了所需觸點的數目，此使得探針總成被簡化。
[0006]一般而言，不同的裝置具有不同的測試焊盤布局(layout)。測試焊盤布局可取決於DUT的尺寸、欲在同一基板上被測試的相鄰裝置間的距離、DUT在基板上的取向以及其他因素。如果欲在同一電性檢驗系統上對不同的裝置進行測試，則因此必須修改探測結構來與DUT的構造相符合。目前，利用涉及到高強度體力勞動的過程來完成對探測結構的重新配置。舉例而言，在利用進行手動配置的探測結構的電性檢驗系統中，在欲測試不同的電路布局時，機器操作員需要安裝、校準、並配置新的探測結構。這個過程需要中斷生產過程，從而降低機器利用率。對於需要過程控制室的過程而言，操作員需要進入所述室來執行重新配置，此可在所述室被恢復到工藝條件時進一步造成停機時間且可使操作員處於安全隱患中。
[0007]在欲對新的面板布局進行測試的情況下，必須以客戶支付的額外成本來開發定製型的探測結構。不被使用的探測結構被存儲於機器之外，此需要額外的地面空間來進行存儲。
[0008]用於實現自動探針配置並為探針存儲創造條件的一個實例性解決方案闡述於PCT公開案第W02011/085227號中。然而，所述系統依賴於電性總線來遞送來自探針的信號或將信號遞送至探針，此會出現一定的可靠性不足問題。因此，需要新穎的經過改良的自動探針存儲及配置系統。


【發明內容】

[0009]本發明涉及用於實質上消除上述及其他與傳統技術相關聯的問題中的一或多個問題的方法及系統，以有利於對大規模電子裝置進行檢驗。
[0010]根據本文所述實施例的一個方面，提供一種用於檢驗受試裝置的探針系統，所述探針系統包括:存儲架；探針杆門架總成；支架，附裝至所述探針杆門架；探針總成，可附裝至所述支架，並用以與所述受試裝置進行電性配合；以及機械手系統，用以從所述存儲架拾取所述探針總成並將所述探針總成遞送至附裝至所述探針杆門架的所述支架，所述機械手系統還用以從附裝至所述探針杆門架的所述支架拾取所述探針總成並將所述探針總成遞送至所述存儲架。
[0011]在一或多個實施例中，所述機械手還用以將所述探針總成及所述支架沿所述探針杆門架總成的長度進行重新定位，以實現所述探針總成與所述受試裝置的對應配合部分的對齊。
[0012]在一或多個實施例中，所述探針系統還包括摩擦減低裝置，用以有利於所述將所述探針總成及所述支架沿所述探針杆門架總成的長度進行重新定位的步驟。
[0013]在一或多個實施例中，所述探針系統還包括空氣軸承，用以有利於所述將所述探針總成及所述支架沿所述探針杆門架總成的長度進行重新定位的步驟。
[0014]在一或多個實施例中，所述支架包括用以使所述探針總成與所述支架對齊的一或多個對齊銷。
[0015]在一或多個實施例中，所述支架包括夾持機構，以用於固持被附裝至所述支架的探針總成。
[0016]在一或多個實施例中，所述探針總成包括安裝銷，用於以垂直預加載荷將所述探針總成附裝至所述支架，所述垂直預加載荷足以在最大探測力下固持被附裝至支架的所述探針總成。
[0017]在一或多個實施例中，所述探針總成包括多個接觸銷，所述多個接觸銷用以在所述探針總成附裝至所述支架時與所述受試裝置上的多個導電焊盤進行配合。
[0018]在一或多個實施例中，所述探針總成的所述接觸銷是根據所述受試裝置的構造進行預先定位。
[0019]在一或多個實施例中，所述支架包括第一電性連接器且所述探針總成包括第二電性連接器，在所述探針總成附裝至所述支架時，所述第一電性連接器與所述第二電性連接器進行配合。
[0020]在一或多個實施例中，所述探針系統還包括柔性纜線，用於將至少一個測試驅動信號遞送至所述支架的所述第一電性連接器。
[0021]在一或多個實施例中，所述探針系統還包括纜線引導構件，用於在所述支架安裝於所述探針杆門架總成上時確保所述柔性纜線被正確地定位及容納。
[0022]在一或多個實施例中，所述探針系統包括測試模式產生器，用以產生所述至少一個測試驅動信號，其中所述測試模式產生器電性連接至所述柔性纜線。
[0023]在一或多個實施例中，所述探針總成包括多個接觸銷，所述多個接觸銷用以在所述探針總成附裝至所述支架時與所述受試裝置上的導電焊盤進行配合，且其中所述多個接觸銷電性連接至所述探針總成的所述第二電性連接器的多個觸點。
[0024]在一或多個實施例中，所述探針總成用以從所述第二電性連接器接收所述至少一個測試驅動信號，並將所接收的所述至少一個測試驅動信號經由所述多個接觸銷施加至所述受試裝置。
[0025]在一或多個實施例中，所述探針杆門架總成用以提供自動化運動軸線，以將所述探針總成定位於所述受試裝置上的特定位置。
[0026]在一或多個實施例中，所述機械手系統包括抓持總成，所述抓持總成可操作以沿X軸及Y軸二者抓住並對齊所述探針總成。
[0027]在一或多個實施例中，所述抓持總成包括抓持臂,所述抓持臂可相對於所述抓持總成進行樞轉運動，且其中所述機械手系統包括用於致動所述抓持總成的所述抓持臂的致動器。
[0028]在一或多個實施例中，所述抓持總成包括預加載荷機構，用以在欲從支架移除所述探針總成時克服探針杆門架對支架的夾持力。
[0029]在一或多個實施例中，所述抓持總成包括依順性機構，以用於補償探針杆的旋轉及/或高度變動。
[0030]在一或多個實施例中，所述機械手系統包括用以對所述探針總成進行識別及定位的至少一個傳感器。
[0031]在一或多個實施例中，所述傳感器是RFID讀取器，且其中所述探針總成包括用以由所述RFID讀取器讀取的RFID標籤，且其中所述RFID標籤存儲以下至少其中之一:唯一探針總成標識符、探針類型信息、以及校準信息。
[0032]在一或多個實施例中，所述傳感器是條形碼讀取器，且其中所述探針總成包括用以由所述條形碼讀取器讀取的條形碼標籤，且其中所述條形碼標籤存儲以下至少其中之一:唯一探針總成標識符、探針類型信息、及校準信息。
[0033]在一或多個實施例中，所述傳感器是用以探測所述探針總成的邊緣的邊緣探測傳感器。
[0034]在一或多個實施例中，PCS系統包括探針總成識別傳感器(例如所述RFID讀取器或條形碼讀取器)以及探針總成位置傳感器(例如所述邊緣探測傳感器)兩者。
[0035]在一或多個實施例中，所述探針系統包括控制器，用以確定為補償在所述探針總成的放置或移除期間所述探針杆門架總成表面的任何畸變而需要進行的校正。
[0036]在一或多個實施例中，所述機械手系統包括用以對所述支架進行識別及定位的至少一個傳感器。
[0037]在一或多個實施例中，所述探針總成包括以下至少其中之一:光學探測裝置、電性探測裝置、熱探測裝置及對齊探測裝置。
[0038]在一或多個實施例中，所述探針杆門架總成可操作以將所述探針總成定位於所述受試裝置上的任意位置。
[0039]根據本文所述實施例的另一個方面，提供一種用於檢驗受試裝置的探針系統，所述探針系統包括:存儲架，包括第一軌道及第二軌道；探針杆門架總成；支架，附裝至所述探針杆門架總成，所述支架包括第一電性連接器及纜線，所述纜線用於將多個測試驅動信號遞送至所述第一電性連接器；探針總成，包括:多個銷，用以與所述受試裝置上的多個接觸焊盤進行電性配合；第二電性連接器，電性連接至所述多個銷並用以在所述探針總成附裝至所述支架時與所述第一電性連接器進行配合；以及安裝銷，用於將所述探針總成固定至所述支架；以及機械手系統，用以從所述存儲架拾取所述探針總成並將所述探針總成遞送至附裝至所述探針杆門架的所述支架，所述機械手還用以從附裝至所述探針杆門架的支架拾取所述探針總成並將所述探針總成遞送至所述存儲架。
[0040]在一或多個實施例中，所述纜線電性連接至用以產生所述測試驅動信號的測試模式產生器。
[0041]在一或多個實施例中，所述機械手還用以將所述探針總成及所述支架沿所述探針杆門架總成的長度進行重新定位，以實現所述探針總成與所述受試裝置的對應配合部分的對齊。
[0042]在一或多個實施例中，所述探針系統包括空氣軸承，用以有利於所述將所述探針總成及所述支架沿所述探針杆門架總成的長度進行重新定位的步驟。
[0043]在一或多個實施例中，所述探針總成包括安裝銷，以用於將所述探針總成附裝至所述支架。
[0044]根據本文所述實施例的又一個方面，提供一種系統，該系統包括:存儲架；第一門架總成；第一支架，附裝至所述第一門架總成；第二門架總成；第二支架，附裝至所述第二門架總成；近接區域，用於實現對所述第一門架總成的近接；第一機械手系統；以及第二機械手系統，用以在所述存儲架、附裝至所述第一門架總成的所述第一支架以及附裝至所述第二門架總成的所述第二支架的任一者中重新定位所述探針總成，其中所述第二機械手系統包括至少一個邊緣探測傳感器，所述至少一個邊緣探測傳感器用以通過探測有效載荷的至少一個邊緣來對所述有效載荷進行識別及定位。
[0045]與本發明相關的其他方面將在以下說明中予以部分地闡述，且所述其他方面將通過本說明而部分地變得顯而易見，或可通過實踐本發明而得知。本發明的各個方面可通過各元件及通過各種元件的組合以及在以下實施方式及隨附權利要求書中所特別指出的各個方面來實現及獲得。
[0046]應理解，以上說明及以下說明二者僅為實例性的及解釋性的，而並非旨在以任何方式對本發明及本發明的應用進行限制。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0047]併入本說明書中並構成本說明書一部分的附圖例示本發明的實施例，並與本說明一起解釋及例示本發明的原理。具體而言:
[0048]圖1例示根據本文所述的一或多個實施例，本發明的探針配置站(PCS)的某些所選組件；
[0049]圖2例示探針總成的實例性實施例；
[0050]圖3例示探針總成的本體部分；
[0051]圖4例示附裝至探針杆門架的探針總成支架的實例性實施例；
[0052]圖5例示附裝至探針杆門架的探針總成支架的另一視圖；
[0053]圖6例示探針總成存儲架的實例性實施例；
[0054]圖7及圖8例示PCS機械手的PCS抓持器總成的實例性實施例；
[0055]圖9、圖10及圖11例示在PCS機械手的實例性實施例中所使用的某些感測系統；以及
[0056]圖12例示探針銷測試器模塊(module)的實例性實施例。
[0057]主要元件標記說明
[0058]100:探針配置站
[0059]101:探針配置站機械手
[0060]103:存儲架
[0061]104:探針杆門架
[0062]105:支撐框架總成
[0063]108:探針總成支架
[0064]109:機械手路徑總成
[0065]110:存儲架軌道
[0066]111:探針配置站抓持器總成
[0067]200:探針總成
[0068]201:接觸銷
[0069]202:陣列
[0070]203:安裝銷
[0071]204:探針鼻形件
[0072]205:探針總成固持構件
[0073]206:探針總成抓持槽
[0074]207:探針總成本體
[0075]208:探針總成本體的槽
[0076]209:探針總成本體的槽
[0077]301:電性連接器
[0078]302:引導構件
[0079]401:探針總成安裝孔
[0080]402:探針總成對齊銷
[0081]403:電性連接器
[0082]501:柔性纜線或柔性印刷電路板
[0083]503:纜線引導構件
[0084]601:探針總成固持銷
[0085]701:抓持器臂
[0086]702:抓持器臂
[0087]703:抓持手指
[0088]704:抓持手指
[0089]705:抓持手指
[0090]706:抓持手指
[0091]707:定中構件
[0092]708:定中構件
[0093]709:彈簧
[0094]710:突出部
[0095]711:突出部
[0096]901:條形碼或RFID讀取系統
[0097]902:仰視傳感器
[0098]903:俯視傳感器
[0099]904:傳感器
[0100]905:邊緣探測傳感器
[0101]906:探針總成存在傳感器
[0102]1201:探針銷測試模塊。

【具體實施方式】
[0103]在下文說明中，將參考其中以相同編號表示相同功能元件的附圖。上述附圖以例示方式而非以限制方式顯示根據本發明原理的具體實施例及實施方案。對這些實施方案進行非常詳細的說明以使所屬領域的技術人員能夠實踐本發明，且應理解，在不背離本發明的範圍及精神的條件下，可利用其他實施方案以及可對各種元件進行結構上的改變及/或替代。因此，以下詳細說明不應被視為具有限制意義。
[0104]根據本文所述的一或多個實施例，在欲對不同裝置(具體而言，TFT陣列)進行電性測試時所需的當前手動探測結構更換程序以及相關聯的多種探測結構被取代為新穎的、經過改良的程序以及相關聯的機構，所述新穎的、經過改良的程序以及相關聯的機構可被遠程地(及自動地)使用以根據DUT的布局對探測結構進行重新配置。
[0105]圖1例示根據本文所述的一或多個實施例，本發明的探針配置站(PCS)的某些所選組件。如圖1所示，PCS部分地包括:拾取及放置機械手系統(PCS機械手)101、一或多個用於固持探針總成(圖1未顯示)的探針總成支架108、兩個探針總成存儲架103、以及探針杆門架104，如圖1所示。PCS機械手101用於在探針杆門架104與探針總成存儲架103之間移動探針總成(圖中未顯示)，並將探針總成支架108沿探針杆門架104的長度進行重新定位。為此，PCS機械手101設置有抓持器(gripper) 111。
[0106]在一或多個實施例中，探針總成存儲架103包括多個存儲架軌道110，以用於在探針總成未被使用時支撐所述探針總成。在一或多個實施例中，為執行將探針總成支架108沿探針杆門架104的長度進行重新定位的步驟，將探針總成局部地附裝至支架108。PCS機械手101的抓持器111附裝至探針總成，並將探針總成與所附裝的支架108 —起沿探針杆門架104的長度重新定位至期望的位置上。在一或多個實施例中，PCS機械手101可直接在附裝至探針杆門架104的各探針總成支架108之間移動探針總成。
[0107]在一或多個實施例中，探針總成可包括以下至少其中之一:光學探測裝置、電性探測裝置、熱探測裝置及對齊探測裝置。
[0108]在一或多個實施例中，探針杆門架104安裝於支撐框架總成105上。探針杆門架104與支撐框架總成105 —起可利用(例如)直線電動機通過計算機控制的致動器(圖1中未顯示)在其路徑總成(track assembly)(圖中未顯示)上沿Y方向移動。根據一或多個實施例，探針杆門架104提供自動化運動軸線，所述自動化運動軸線用於根據DUT的配置而將探針總成沿LCD玻璃的長度定位於特定位置處。
[0109]在一或多個實施例中，這兩個探針總成存儲架103相對於探針配置站100的框架是固定的。相反，如圖1所示，PCS機械手101可在機械手路徑總成109上沿X方向移動。PCS機械手101用以從存儲架103拾取探針總成並將所述探針總成安裝於探針總成支架108上。此外，PCS機械手可用於將探針總成支架108沿探針杆門架104的長度進行重新定位。
[0110]在一或多個實施例中，在每一個探針杆門架104上可附裝有8至12個探針總成支架108。另一方面，探針配置站可包括兩個杆門架104以及兩個PCS機械手101，每一個杆門架104及PCS機械手101可在單獨的機械手路徑總成109上移動，其中每一個機械手101服務於一個杆門架104。然而，本文所述的發明概念並不僅限於探針總成支架108、探針杆門架104、存儲架103或PCS機械手101的所述數目。
[0111]圖2例示探針總成200的實例性實施例。在一或多個實施例中，探針總成200是用於提供電性接觸銷201的完整陣列202的可定製型模塊，電性接觸銷201被設計用於嚙合DUT上的信號接收導電焊盤以在電性測試操作期間驅動DUT。在許多情況下，上述導電焊盤定位於DUT的周邊上。在DUT為TFT面板的情況下，探針總成200可將驅動信號及/或數據信號遞送至TFT面板以實現電性測試操作。在一或多個實施例中，電性接觸銷201以單行或多行形式或以任何其他空間排列形式設置於安裝於探針總成本體207上的細長鼻形件(nose) 204上。除上述電性接觸銷201之外，探針總成200還包括一或多個安裝銷203，以用於以垂直預加載荷將探針總成本體207附裝至探針總成支架108，所述垂直預加載荷足以在最大探測力下固持被附裝至支架的探針總成。此外，探針總成200包括四個用於在多個存儲架103其中之一上支撐探針總成本體207的探針總成固持構件205。在一或多個實施例中，探針總成可由標準探針總成本體207以及可定製的探針鼻形件204組成。探針鼻形件204可在銷的數目、銷間隔、以及沿水平還是垂直方向設計方面針對焊盤及面板布局加以定製。其中，探針總成包括用於將探針總成附裝至支架的安裝銷。
[0112]圖3顯示探針總成本體207的另一視圖。在一或多個實施例中，圖3所示探針總成本體207的視圖是用以與探針總成支架108進行配合的探針總成本體207的頂側。如圖3所示，探針總成本體207另外包括一對電性連接器301，所述一對電性連接器301在探針總成本體207被附裝至探針總成支架108時與探針總成支架108的對應電性連接器進行配合。上述電性連接器301的銷與安裝於探針總成200上的鼻形件204上的對應銷201電性耦合，從而使驅動電性信號可經由電性連接器301而施加至DUT。在一或多個實施例中，上述電性連接器301被設計用於即便在各個電性連接器之間未執行任何物理插入動作時也與探針總成支架108的對應電性連接器建立電性連接。
[0113]此外，圖3所示的探針總成本體207的支架配合側可包括引導構件302，以用於確保探針總成本體207與探針總成支架108正確對齊。在一或多個實施例中，引導構件302可被實施為圖3所示的迷你滾柱(min1-roller)。當將探針總成本體207安裝於探針總成支架108上時，安裝銷203嚙合探針總成支架108的對應安裝孔，進而使兩者形成可靠的機械耦合。在一或多個實施例中，可提供一或多個傳感器來探測探針總成本體207與探針總成支架108之間是否已發生可靠的機械耦合。
[0114]圖4例示附裝至探針杆門架104的探針總成支架108的實例性實施例。如圖4所示，探針總成支架108包括:探針總成安裝孔401，用於接納探針總成安裝銷203 ;以及探針總成對齊銷402，用以嚙合引導構件302以在探針總成支架108與探針總成本體207配合期間確保兩者正確對齊。此外，探針總成支架108可包括安裝銷固定總成(圖中未顯示)，以用於將安裝銷203固定於安裝孔410內部。上述安裝銷固定總成用作機械夾持機構，所述機械夾持機構被提供用於固持被附裝至支架的探針總成。在一或多個實施例中，探針總成支架108還包括一對電性連接器403，以用於與探針總成本體207的電性連接器301進行配口 ο
[0115]在一或多個實施例中，每一個探針總成支架108都包括經磁性預加載的空氣軸承(magnetically pre-loaded air bearing),所述經磁性預加載的空氣軸承包括為探針總成支架108提供磁性預加載荷的永久稀土磁鐵。在沿探針杆門架104的長度移動探針總成支架108之前，將加壓空氣(pressurized air)供應至探針總成支架108的空氣軸承。空氣壓力足以克服磁鐵的吸引力且支架108可輕易地沿探針杆門架104滑動。當探針總成支架108沿探針杆門架104到達正確的位置時，供應至空氣軸承的加壓空氣被斷開且磁鐵的吸引力將探針總成支架108固持於探針杆門架104上的定位上。在一或多個實施例中，可經由探針杆門架104中的空氣遞送孔遞送加壓空氣。在一或多個實施例中，可將加壓空氣選擇性地遞送至每一個探針總成支架108。為此，可對應於每一個所安裝的探針杆總成108而將探針杆門架104劃分成多個空氣遞送區域，對這些空氣遞送區域的加壓空氣供應可被選擇性地啟動。
[0116]在替代實施例中，可通過PCS機械手101將空氣供應至探針總成支架的空氣軸承，PCS機械手101可包括被設計用於與探針總成200或探針總成支架108的空氣供應入口進行配合的加壓空氣供應出口。當PCS機械手101將探針總成200附裝至探針總成支架108時，可接通上述加壓空氣供應，以使PCS機械手101將探針總成支架108沿探針杆門架104的長度進行重新定位。在完成上述重新定位步驟之後，將空氣供應斷開，從而使探針總成支架通過上述磁力被牢固地附裝至探針杆門架104。
[0117]圖5例示附裝至探針杆門架104的探針總成支架108的另一視圖。在一或多個實施例中，每一個探針總成支架108被優選地配備有用於將DUT驅動信號遞送至探針總成支架108的專用柔性導體(例如柔性纜線或柔性印刷電路板)501。在一或多個實施例中，專用柔性纜線501是被設計用於使PCS機械手101沿著探針杆門架104的長度而移動探針總成支架108的柔性纜線。探針總成支架108中的每一個均沿探針杆支架104具有預定的運動範圍。在一或多個實施例中，各個探針總成支架108被排列成使其上述預定運動範圍彼此重疊以確保完全覆蓋探針杆門架104的長度。為避免各個探針總成支架間可能產生的機械幹擾，在一或多個實施例中，PCS機械手101可設置有一或多個傳感器，所述一或多個傳感器被設計用於對探針總成支架108在探針杆門架104上的存在及位置進行探測。來自上述傳感器的信號被發送至PCS系統的控制模塊，所述控制模塊用以探測及防止探針杆門架上各個探針總成支架間可能產生的機械幹擾。類似地，PCS機械手101可設置有一或多個傳感器，所述一或多個傳感器用以探測探針總成是否早已安裝於特定的探針總成支架108上，以避免試圖將不同的探針總成安裝於這個支架108上。
[0118]探針總成支架108的專用柔性纜線或柔性印刷電路板501電性連接至探針總成支架108的電性連接器403，以在探針總成200與探針總成支架108進行配合時確保將DUT驅動信號遞送至探針總成200的電性連接器301。專用柔性纜線或柔性印刷電路板501的其他端電性連接至測試模式產生器,所述測試模式產生器被定位成遠離探針總成支架108。上述遠程驅動電子器件在測試期間執行為驅動DUT所必需的驅動信號切換，且可接收往來於探針總成200的上述接觸銷201的電性信號。因此，在一或多個實施例中，探針總成200及探針總成支架108不包含任何有源電子器件。
[0119]在一或多個實施例中，為專用柔性纜線或柔性印刷電路板501中的每一者提供纜線引導構件503，以用於在探針總成支架108沿探針杆門架104安裝於不同位置處時確保對纜線或柔性印刷電路板501進行正確定位。在一或多個實施例中，柔性導體引導構件503包括由金屬、塑料或任何其他合適的材料所製成的板條。
【發明者】已發現，以與捲尺測量片(tape measuring blade)的材料及形狀類似的材料及形狀製成的引導件適合於製造引導構件503。纜線引導構件503防止專用柔性纜線或柔性印刷電路板501起皺及幹擾探針配置站100的運行。在一或多個實施例中，如圖1所示，不同探針總成支架108的專用柔性纜線或柔性印刷電路板501可被排列成嵌套形式。
[0120]圖6例示探針總成存儲架103的實例性實施例。如圖6所示，探針總成存儲架103包括設置於其頂側上的多個存儲架軌道。每一個存儲架軌道110均包括探針總成固持構件，例如在其側面凸出的探針總成固持銷601。在圖6所示的實施例中，使用四個固持銷601。然而，本發明並不僅限於固持銷的這一數目，且可利用任何其他合適的數目。這些探針總成固持銷601與圖2所示的探針總成固持構件205進行機械配合，以在探針總成存儲架103上支撐探針總成200。存儲架103用於存儲備用探針總成200或對其他DUT布局所使用的探針總成。在一或多個實施例中，PCS機械手101可設置有一或多個傳感器，所述一或多個傳感器被設計用於探測探針總成是否早已安裝於存儲架軌道110上的特定位置，以避免試圖在存儲架軌道110的同一位置安裝不同的探針總成。來自上述傳感器的信號被發送至PCS系統的控制模塊，所述控制模塊用以探測並防止安裝於存儲架軌道110上的不同探針總成間可能產生的機械幹擾。
[0121]根據一或多個實施例，PCS機械手101使用高度集成的機構，即PCS抓持器總成111，PCS抓持器總成111的實例性實施例例示於圖7中。PCS抓持器總成111用於從附裝至探針杆門架104的存儲架103以及探針總成支架108「拾取」探針總成200或將探針總成200 「放置」到附裝至探針杆門架104的存儲架103及探針總成支架108。此外，PCS抓持器總成111可用於將探針總成支架108與所附裝的探針總成200 —起沿著探針杆門架104的長度進行重新定位。
[0122]在圖7所示的實施例中，PCS抓持器總成111包括抓持臂701及702，抓持臂701及702可相對於PCS抓持器總成111的其餘部分進行樞轉運動，並利用例如氣缸(pneumaticcylinder)(圖中未顯示)進行致動。當抓持臂701與抓持臂702嚙合時，它們用以/適於利用圖2所示的探針總成抓持槽206來抓住探針總成200的本體。抓持手指(finger) 703、704、705及706插入探針總成200的探針總成抓持槽206中，以在重新定位操作期間有利於將探針總成200固定於抓持器總成111中。在一或多個實施例中，PCS抓持器總成111包括預加載機構，所述預加載機構用以在探針總成被抓持臂701及702嚙合時克服將支架108附裝至探針杆門架總成104的夾持力。當抓持臂701與抓持臂702脫離時，探針總成200從PCS抓持器總成111釋放。
[0123]在一或多個實施例中，PCS抓持器總成111包括定中機構(centeringmechanism)，所述定中機構包括可樞轉地安裝的定中構件707及708，定中構件707及708利用彈簧709進行機械耦合。定中構件707及708分別包括突出部710及711，突出部710及711用以在PCS抓持器總成111附裝至探針總成本體200時與探針總成本體200的槽208及209進行配合，從而確保探針總成本體200相對於PCS抓持器總成111正確對齊(定中)。此外，在一或多個實施例中，PCS抓持器總成111包括一或多個抓持臂傳感器，以用於感測抓持臂701及702的當前位置並將所感測位置傳送至PCS系統的控制模塊。
[0124]圖8例示位於附裝至探針總成支架108的探針總成200的本體附近的PCS抓持器總成111。從圖8中可以看到，PCS抓持器總成111的抓持臂702適於利用探針總成抓持槽206來抓住探針總成200的本體。在一或多個實施例中，PCS抓持器總成111包括依順性機構，以用於補償探針杆門架總成的旋轉或高度變化。
[0125]根據一或多個實施例，PCS抓持器總成111包括集成機械連杆，所述集成機械連杆有利於通過致動抓持器氣缸來打開(open)及閉合(close)抓持器臂701及702。這使得抓持器手指703、704、705及706能夠在探針總成200上建立穩固的抓持。在同一或其他實施例中，上述集成機械連杆也使得能夠將探針總成支架108的安裝銷固定總成打開及關閉。
[0126]根據一或多個實施例，在上述拾取及放置操作期間，由PCS抓持器總成111以用於致動抓持臂701及702的上述氣缸的單一衝程來執行以下順序性操作:抓住探針總成200以及打開探針總成支架108的安裝銷固定總成，從而使探針總成200從探針總成支架108釋放。
[0127]根據本發明的一或多個實施例，為在LCD玻璃或其他DUT上激發驅動電路以進行電性檢驗，利用多個遠程測試模式產生器(圖中未顯示)其中的一或多個來產生多個電性測試信號其中的一或多個。在各個實施例中，將單一模式通道(single channel ofpattern)定義為一系列電脈衝,所述電脈衝的幅值介於預定值之間(例如±50伏特)。上述一或多個電性測試信號經由專用信號纜線(例如圖5所示的上述專用柔性纜線501)而投送至探針總成支架108，並從探針總成支架108經由電性連接器403及301而投送至探針總成200的接觸銷201。接觸銷201又相應地電性耦合至IXD玻璃或其他DUT表面上的信號接收導電焊盤，從而將所產生的測試信號遞送至所述導電焊盤。為實現探針總成200的接觸銷201與DUT表面上的信號接收導電焊盤之間的正確對齊，將探針總成200恰當地定位於探針杆門架104上。
[0128]根據一或多個實施例，在PCS 100的所述實施例中的實例性探針總成200放置程序可包括以下步驟:
[0129]首先，探針杆門架104沿Y方向移動至探針總成加載位置。
[0130]之後，PCS機械手101使用其抓持器總成111從存儲架103拾取探針總成200。
[0131]接著，已將探針總成200附裝至其抓持器總成111的PCS機械手101沿X方向移動至探針總成支架108的位置，其中探針總成支架108負責探針杆門架104的欲放置探針總成200的區域。
[0132]隨後，仍將探針總成200附裝至其抓持器總成111的PCS機械手101向上移動至探針總成支架108並將探針總成200附裝至探針總成支架108。
[0133]然後，在仍嚙合至探針總成200及探針總成支架108的同時，PCS機械手101沿X方向移動，並將探針總成200及探針總成支架108拖拽至探針杆門架104上的正確的X位置。在這個步驟期間，將加壓空氣供應至上述空氣軸承，以有利於上述將探針總成200及探針總成支架108沿探針杆門架104的長度進行重新定位的步驟。
[0134]其後，PCS機械手101從探針總成200及探針總成支架108脫離，並將兩者鎖定於探針杆門架104上的正確位置。中斷加壓空氣的供應。
[0135]在將探針總成200鎖定於探針杆上之後，利用電性連接器403上的專用連續性銷(continuity pin)來檢查電性連接的連續性，以確定探針總成200是否正確地配合至探針總成支架108。倘若連續性檢查失敗，則重複對探針總成200與探針總成支架進行鎖定的步驟。當在電性連接器403上建立正確連續性再一次失敗時，探針總成200便被視為具有缺陷並被放置於存儲架103中。通過從存儲架103上拾取類似的探針總成200來繼續所述操作。
[0136]PCS機械手101向下移動並返回至存儲架103來獲取下一個探針總成200以將其放置於探針杆門架104上，然後重複上述步驟直至已針對IXD面板或其他DUT的電性測試而充分配置探針杆門架為止。
[0137]根據一或多個實施例，為跟蹤與探針總成200及/或探針總成支架108相關聯的位置、配置及/或其他信息，以及為將探針總成200定位於存儲架103或探針杆門架104上，PCS機械手101配備有條形碼或RFID讀取系統901及邊緣探測傳感器905，如圖9、圖10及圖11所示。在一或多個實施例中，每一個探針總成200及每一個探針總成支架108均包括可由PCS機械手101的條形碼或RFID讀取系統901讀取的條形碼或RFID標籤(圖中未顯示)。除其他相關參數之外，所述條形碼或RFID標籤還存儲唯一的探針總成或探針總成支架ID、探針類型、以及XY偏移校準。可在運行時將任何其他裝置(例如照相機、光源、雷射器、用於對齊、計量、能量傳遞、以及將熱量傳送至基板的其他傳感器(有線的/無線的)以及類似裝置)添加至本發明的PCS系統的實施例中。在一或多個實施例中，本發明的系統還包括探針總成存在傳感器906，用以探測PCS抓持器總成111上是否存在探針總成，以進行無故障重新配置。
[0138]在一或多個實施例中，PCS機械手101的邊緣探測傳感器805用於將探針總成支架108及/或探針總成200定位於探針杆門架104上。此外，邊緣探測傳感器802也可用於在垂直方向上進行軟體補償，以補償探針杆門架104表面的任何平坦度或畸變，從而有利於無故障地更換探針總成200。
[0139]在一或多個實施例中，本發明的系統還包括探針總成支架存在傳感器904，用以在試圖將探針總成放置於探針總成支架108上之前探測探針杆門架104上是否存在探針總成支架108。其他傳感器可包括仰視(look up)傳感器902及俯視(look down)傳感器903,以用於在試圖進行可能會干擾上述存儲架安裝的探針總成的預定運動之前檢查探針總成存儲架103上是否存在一或多個所安裝的探針總成。
[0140]在一或多個實施例中，安裝於卡盤後面的探針銷測試器模塊用於探測探針總成的鼻形件204上是否有任何缺失或損壞的銷201，進而節約探測DUT所需的時間。安裝於探針杆門架104上的探針總成在探針銷測試器模塊的頂上被驅動，且探針銷下降到銷測試器板上，此後軟體算法接通每一個銷兩端的電路，以探測是否有任何缺失或損壞的銷。
[0141]根據本發明的一或多個實施例，所述系統也可包含(除位於所述系統前部的上述機械手及第一探針杆門架之外)位於所述系統後部的第二機械手。也位於後部的是近接區域(例如窗口或另一開口)以及第二可移動探針杆門架104，其中第二可移動探針杆門架104可由所述系統的操作員近接或可由任何自動化構件經由所述近接區域而近接。第二可移動探針杆門架104也可被重新定位(通過在(第一)門架上行進)成使其可由(第一，前部)機械手系統近接。此前部機械手系統用以在存儲架、第一門架總成以及第二門架總成中的任一者中對有效載荷進行重新定位。可提供一或多個邊緣探測傳感器，用以通過探測有效載荷的邊緣來對有效載荷進行識別及定位。
[0142]將探針總成200裝載於存儲架103或(第一)探針杆門架104上可包括以下步驟。
[0143]在操作期間，位於PCS系統後部的第二機械手在默認位置保持處於固定的位置。
[0144]首先，操作員經由近接區域將探針總成手動裝載於附裝至第二門架(位於所述系統的後部)的支架上。
[0145]第二門架(位於所述系統的後部)在第一機械手(位於所述系統的前部)頂上移動，然後第一機械手拾取裝載於附裝至第二門架的支架上的探針總成。
[0146]最後，第一機械手(位於所述系統的前部)存儲位於存儲架(位於所述系統的前部)或第一門架(位於所述系統的前部)上的探針總成。
[0147]探針總成的卸載程序則以相反的順序完成。
[0148]所屬領域的技術人員應理解，本文所述的本發明PCS系統的優點包括產品變更所需的停工時間減少、採用電性檢驗系統來測試新產品所需的成本減少、以及操作員暴露於安全隱患的機率減小。
[0149]應注意，用於遠程地(及/或自動地)對探測結構進行重新配置以符合DUT配置的本發明程序及相關聯的機構並不僅限於任何特定的測試裝置或任何特定的測試系統或方法。所述概念可用於利用任何已知的測試技術(包括電子束、電壓成像或任何其他現在已知或以後開發的測試技術)對IXD或OLED面板以及任何其他電子裝置進行的測試。此夕卜，本發明的系統並不限於僅處理探針總成或特定的測試設備，且可用於處理任何有效載荷(包括但不限於照相機、傳感器或其他任何設備(無論是測試設備還是非測試設備))。
[0150]圖12例示探針銷測試器模塊1201的實例性實施例，探針銷測試器模塊1201包括用於對系統的整個信號路徑進行測試的銷測試器板條。探針銷測試器板條由安裝至卡盤後部的導電錶面組成。在將探針總成裝載至探針杆門架上之後，將探針杆門架移動至探針銷測試器板條上方的位置。使探針杆門架104在Z方向上下降，從而使探針總成200內所容納的探針銷與探針銷測試器板條進行實體接觸。然後，啟動軟體例程以產生來自上述測試模式產生器的信號，所述信號經由開關電子器件被投送至特定探針總成200上的特定探針銷。同時，對同一探針總成上的其他探針銷進行監測。由於探針銷測試器板條的導電性質，被驅動至探針總成的信號可由同一探針總成上被監測的不同的一組銷來測量。通過此種方法，在開始檢驗LCD面板或其他受試裝置之前，可為探針總成驗證整個信號路徑的功能。可對探針杆上的每一個探針總成重複進行所述過程。
[0151]最後，應理解，本文所述的過程及技術並不固有地涉及任何特定的設備，且可由任何合適的組件組合來實施。此外，可根據本文所述的教示內容來使用各種類型的通用裝置。也可證明構造專用設備來執行本文所述的方法步驟是有利的。已參照特定的實例闡述了本發明，所述實例旨在所有方面均是例示性的而非限制性的。
[0152]此外，所屬領域的技術人員根據本文所述發明的說明書及實踐本發明，將易知本發明的其他實施方案。所述實施例的各個方面及/或組件可在用於測試電子裝置的系統中單獨使用或以任何組合方式使用。本發明旨在使說明書及實例僅被視為實例性的，本發明的真正範圍及精神由上文權利要求書指示。
【權利要求】
1.一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，所述探針系統包括: a.存儲架； b.探針杆門架總成； c.支架，附著至所述探針杆門架； d.探針總成，可附裝至所述支架，並用以與所述受試裝置進行電性配合；以及 e.機械手系統，用以從所述存儲架拾取所述探針總成並將所述探針總成遞送至附裝至所述探針杆門架的所述支架，所述機械手系統還用以從附裝至所述探針杆門架總成的所述支架拾取所述探針總成並將所述探針總成遞送至所述存儲架。
2.如權利要求1所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，所述機械手還用以將所述探針總成及所述支架沿所述探針杆門架總成的長度進行重新定位，以實現所述探針總成與所述受試裝置的對應配合部分的對齊。
3.如權利要求2所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，還包括摩擦減低裝置，用以有利於所述將所述探針總成及所述支架沿所述探針杆門架總成的長度進行重新定位的步驟。
4.如權利要求2所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，還包括空氣軸承，用以有利於所述將所述探針總成及所述支架沿所述探針杆門架總成的長度進行重新定位的步驟。
5.如權利要求1所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，所述探針總成包括安裝銷，用於將所述探針總成附裝至所述支架。
6.如權利要求1所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，所述探針總成包括多個接觸銷，在所述探針總成附裝至所述支架時，所述多個接觸銷用以與所述受試裝置上的多個導電焊盤進行配合。
7.如權利要求6所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，所述探針總成的所述接觸銷是根據所述受試裝置的構造進行預先定位。
8.如權利要求1所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，所述探針總成包括第二電性連接器，且其中所述支架包括第一電性連接器，在所述探針總成附裝至所述支架時，所述第一電性連接器與所述第二電性連接器進行配合。
9.如權利要求8所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，還包括柔性纜線，用於將至少一個測試驅動信號遞送至所述支架的所述第一電性連接器。
10.如權利要求9所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，還包括纜線引導構件，在所述支架安裝於所述探針杆門架總成上時，所述纜線引導構件用於確保所述柔性纜線被正確地定位。
11.如權利要求9所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，還包括測試模式產生器，用以產生所述至少一個測試驅動信號，其中所述測試模式產生器電性連接至所述柔性纜線。
12.如權利要求8所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，還包括柔性印刷電路板，用於將至少一個測試驅動信號遞送至所述支架的所述第一電性連接器。
13.如權利要求9或12所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，所述探針總成包括多個接觸銷，在所述探針總成附裝至所述支架時，所述多個接觸銷用以與所述受試裝置上的導電焊盤進行配合，且其中所述多個接觸銷電性連接至所述探針總成的所述第二電性連接器的多個觸點。
14.如權利要求13所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，所述探針總成用以從所述第二電性連接器接收所述至少一個測試驅動信號，並將所接收的所述至少一個測試驅動信號經由所述多個接觸銷施加至所述受試裝置。
15.如權利要求1所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，所述探針總成包括安裝銷，用於以垂直預加載荷將所述探針總成附裝至所述支架，所述垂直預加載荷足以在最大探測力下固持被附裝至所述支架的所述探針總成。
16.如權利要求1所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，所述探針杆門架總成用以提供自動化運動軸線，以將所述探針總成定位於所述受試裝置上的特定位置。
17.如權利要求1所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，所述機械手系統包括抓持總成，所述抓持總成可操作以抓住所述探針總成。
18.如權利要求17所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，所述抓持總成包括抓持臂，所述抓持臂可相對於所述抓持總成進行樞轉運動，且其中所述機械手系統包括用於致動所述抓持總成的所述抓持臂的致動器。
19.如權利要求17所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，所述抓持總成包括預加載荷機構，在欲從所述支架移除所述探針總成時，所述預加載荷機構用以克服將所述支架附裝至所述探針杆門架總成上的夾持力。
20.如權利要求17所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，所述抓持總成包括依順性機構，以用於補償所述探針杆門架總成的旋轉或高度變動。
21.如權利要求1所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，所述機械手系統包括用以對所述探針總成進行識別或定位的至少一個傳感器。
22.如權利要求21所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，所述傳感器是RFID讀取器，且其中所述探針總成包括用以經由所述RFID讀取器讀取的RFID標籤，且其中所述RFID標籤存儲以下至少其中之一:唯一探針總成標識符、探針類型信息、以及校準信息。
23.如權利要求21所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，所述傳感器是用以探測所述探針總成的邊緣的邊緣探測傳感器。
24.如權利要求23所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，還包括控制器，所述控制器用以確定為補償在所述探針總成的放置或移除期間所述探針杆門架總成的任何畸變而需要進行的校正。
25.如權利要求21所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，所述傳感器是條形碼讀取器，且其中所述探針總成包括用以由所述條形碼讀取器讀取的條形碼標籤，且其中所述條形碼標籤存儲以下至少其中之一:唯一探針總成標識符、探針類型信息、及校準信息。
26.如權利要求1所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，所述機械手系統包括用以對所述支架進行識別及定位的至少一個傳感器。
27.如權利要求1所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，所述探針總成包括以下至少其中之一:光學探測裝置、電性探測裝置、熱探測裝置及對齊探測裝置。
28.如權利要求1所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，所述探針杆門架總成可操作以將所述探針總成定位於所述受試裝置上的任意位置。
29.如權利要求1所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，所述支架包括用以使所述探針總成與所述支架對齊的至少一個對齊銷。
30.如權利要求1所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，所述支架包括夾持機構，以用於固持被附裝至所述支架的所述探針總成。
31.一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，所述探針系統包括: a.存儲架，包括第一軌道及第二軌道； b.探針杆門架總成； c.支架，附裝至所述探針杆門架總成，所述支架包括第一電性連接器及纜線，所述纜線用於將多個測試驅動信號遞送至所述第一電性連接器； d.探針總成，包括:多個銷，用以與所述受試裝置上的多個接觸焊盤進行電性配合；第二電性連接器，電性連接至所述多個銷並用以在所述探針總成附裝至所述支架時與所述第一電性連接器進行配合；以及安裝銷，用於將所述探針總成固定至所述支架；以及 e.機械手系統，用以從所述存儲架拾取所述探針總成並將所述探針總成遞送至附裝至所述探針杆門架的所述支架，所述機械手還用以從附裝至所述探針杆門架的所述支架拾取所述探針總成，並將所述探針總成遞送至所述存儲架。
32.如權利要求31所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，所述機械手還用以將所述探針總成及所述支架沿所述探針杆門架總成的長度進行重新定位，以實現所述探針總成與所述受試裝置的對應配合部分的對齊。
33.如權利要求32所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，還包括空氣軸承，用以有利於所述將所述探針總成及所述支架沿所述探針杆門架總成的長度進行重新定位的步驟。
34.如權利要求31所述的一種用於檢驗受試裝置的探針系統，其特徵在於，所述探針總成包括安裝銷，以用於將所述探針總成附裝至所述支架。
35.一種用於檢驗受試裝置的系統，其特徵在於，包括: a.存儲架； b.第一門架總成； c.第一支架，附裝至所述第一門架總成； d.第二門架總成； e.第二支架，附裝至所述第二門架總成； f.近接區域，用於實現對所述第一門架總成的近接； g.第一機械手系統；以及 h.第二機械手系統，用以在所述存儲架、附裝至所述第一門架總成的所述第一支架以及附裝至所述第二門架總成的所述第二支架的任一者中重新定位有效載荷，其中所述第二機械手系統包括至少一個邊緣探測傳感器，所述至少一個邊緣探測傳感器用以通過探測所述有效載荷的至少一個邊緣來對所述有效載荷進行識別及定位。
【文檔編號】G01R1/067GK204154762SQ201420356287
【公開日】2015年2月11日 申請日期:2014年6月30日 優先權日:2013年6月30日
【發明者】喬治·柯瑞爾思, 麥克·菲利皮, 史帝文·亞奇, 麥克·尚·卡薩帝, 奇瑞·吉添卓, 恩甘·杜, 肯特·恩古言, 尤裡·皮科史凱, 尼爾·萊特 申請人:烽騰科技有限公司