一種表面堅硬的雙銀低輻射鍍膜玻璃的製作方法
2023-10-11 11:31:14 1
專利名稱：一種表面堅硬的雙銀低輻射鍍膜玻璃的製作方法
技術領域：
本實用新型屬於一種鍍膜玻璃，主要涉及一種十一層膜結構的表面堅硬的雙銀低輻射鍍膜玻璃。
背景技術：
低輻射鍍膜玻璃是指在玻璃表面沉積一層高紅外線反射材料(金屬銀)，使玻璃吸收太陽光光譜中的紅外線和其它物體發出的紅外線非常少，玻璃自身又不存儲能量，因此鍍膜玻璃向外輻射的紅外線也非常少，稱為低輻射鍍膜玻璃。該玻璃用於窗戶上，可有效地阻擋太陽光中的紅外線進入室內，降低夏天室內溫度，節約空調製冷費用，冬天可以阻擋室內物體發出的紅外線被玻璃吸收，散發到室外，提高室內溫度，節約取暖費用。現在市場上已經有很多種雙銀低輻射鍍膜玻璃產品，第一層膜有用氧化錫的，也有用氧化鋅的，第二層膜都是銀膜，也有前面加一層鎳鉻膜的結構，第三層都用鎳鉻層，第四層主要為間隔層，第五層膜是銀膜，第六層為鎳鉻層，第七層為氧化錫或者氮化矽膜，這些產品抗劃傷的能力都不強，即表面不夠堅硬。
發明內容本實用新型目的是提供一種十一層膜結構的表面堅硬的雙銀低輻射鍍膜玻璃，使其具有輻射率低，耐磨、耐劃傷、耐腐蝕性能好的優點。本實用新型的目的可採用如下技術方案來實現其具有玻璃基片，在玻璃基片表面上從底層向上依次鍍有氧化錫膜層、鎳鉻膜層、氧化錫膜層、銀膜層、鎳鉻膜層、氧化錫膜層、銀膜層、鎳鉻膜層、氮化矽膜層、氧化矽膜層、氮化矽膜層，從而構成十一層膜結構的雙銀低輻射鍍膜玻璃。該產品具有輻射率低，耐磨、耐劃傷性能和耐氧化、耐腐蝕性能好的優點。
附圖1為本實用新型的具體結構示意圖。圖中1、玻璃基片，2、氧化錫膜層，3、鎳鉻膜層，4、氧化錫膜層，5、銀膜層，6、鎳鉻膜層，7、氧化錫膜層，8、銀膜層，9、鎳鉻膜層，10、氮化矽膜層，11、氧化矽膜層，12、氮化矽膜層。
具體實施方式
結合附圖，說明本實用新型的具體實施例。如附圖1所示其具有玻璃基片1，在玻璃基片表面從底層向上依次鍍有氧化錫膜層2、鎳鉻膜層3、氧化錫膜層4、銀膜層5、鎳鉻膜層6、氧化錫膜層7、銀膜層8、鎳鉻膜層9、 氮化矽膜層10、氧化矽膜層11、氮化矽膜層12，從而構成十一層膜結構的雙銀低輻射鍍膜玻璃。[0011]本實用新型是在真空環境下，通過磁控濺射在玻璃表面沉積十一層膜的方法，生產一種紅外線輻射率很低的，包含有兩個銀層的低輻射鍍膜玻璃。所述的表面堅硬的低輻射鍍膜玻璃是在鍍膜室抽真空至1. lX10-4Pa以下，充入工藝氣體(氧氣或氮氣或氬氣)，使鍍膜室壓力穩定在0. 3 左右，將濺射源送電，靶材開始濺射，送入玻璃將靶材原子或其化合物沉積到玻璃表面。第一個鍍膜室充入氧氣，靶材為錫靶，將氧化錫膜沉積到玻璃表面為第一層膜，厚度10至60納米，第二個鍍膜室充入氬氣，靶材為鎳鉻靶，在氧化錫上面沉積第二層鎳鉻膜，厚度1至10納米；第三個鍍膜室充入氧氣， 靶材為錫靶，在鎳鉻膜上沉積第三層氧化錫膜，厚度10至60納米；第四個鍍膜室充入氬氣， 靶材為銀靶，在氧化錫上面沉積第四層銀膜，厚度1至10納米；第五個鍍膜室充入氬氣，靶材為鎳鉻靶，在銀膜上沉積第五層鎳鉻膜，厚度1至10納米；第六個鍍膜室充入氧氣，靶材為錫靶，在鎳鉻膜上沉積第六層氧化錫膜，厚度15至60納米；第七個鍍膜室充入氬氣，靶材為銀靶，在氧化錫上面沉積第七層銀膜，厚度1至10納米；第八個鍍膜室充入氬氣，靶材為鎳鉻靶，在銀膜上沉積第八層鎳鉻膜，厚度1至10納米；第九個鍍膜室充入氮氣，靶材為矽靶，在鎳鉻膜上沉積第九層氮化矽膜，厚度10至40納米；第十個鍍膜室充入氧氣，靶材為矽靶，在氮化矽膜上沉積第十層氧化矽膜，厚度5至40納米；第十一個鍍膜室充入氮氣，靶材為矽靶，在氧化矽膜上沉積第十一層氮化矽膜，厚度10 60納米。第四層和第七層的銀膜起到降低鍍膜玻璃輻射率的作用，兩層不相鄰的銀膜，可以產生比一層銀膜性能好很多，即輻射率低很多的優點。第一層、第三層氧化錫膜和第九層、第十一層氮化矽膜都起保護銀膜和鎳鉻膜的作用，第十層氧化矽膜，將較厚的氮化矽膜分割成兩層膜，有效地提高了膜層的耐磨、耐劃傷性能和耐氧化、耐腐蝕性能。
權利要求1. 一種表面堅硬的雙銀低輻射鍍膜玻璃，其具有玻璃基片(1)，其特徵是在玻璃基片 (1)表面上從底層向上依次鍍有氧化錫膜層O)、鎳鉻膜層(3)，氧化錫膜層0)，銀膜層 (5)，鎳鉻膜層(6)，氧化錫膜層(7)，銀膜層(8)，鎳鉻膜層(9)，氮化矽膜層(10)，氧化矽膜層(11)，氮化矽膜層(12)。
專利摘要本實用新型公開了一種表面堅硬的雙銀低輻射鍍膜玻璃，其具有玻璃基片(1)，其特徵是在玻璃基片(1)表面上從底層向上依次鍍有氧化錫膜層(2)、鎳鉻膜層(3)，氧化錫膜層(4)，銀膜層(5)，鎳鉻膜層(6)，氧化錫膜層(7)，銀膜層(8)，鎳鉻膜層(9)，氮化矽膜層(10)，氧化矽膜層(11)，氮化矽膜層(12)。該產品具有輻射率低，耐磨、耐劃傷性能和耐氧化、耐腐蝕性能好的優點。
文檔編號C03C17/36GK202181261SQ20112028878
公開日2012年4月4日 申請日期2011年8月4日 優先權日2011年8月4日
發明者張珮珮, 王紅兵, 郭明 申請人:洛陽新晶潤工程玻璃有限公司