塑料基材上鍍覆高遮蔽防電磁幹擾薄膜的濺鍍方法
2023-10-10 14:25:54 2
專利名稱：塑料基材上鍍覆高遮蔽防電磁幹擾薄膜的濺鍍方法
技術領域：
本發明涉及一種在產品表面鍍覆薄膜的方法，特別是涉及一種以真空濺鍍方法在塑料基材表面鍍覆高遮蔽防電磁幹擾薄膜的物理鍍膜方法。
背景技術：
在塑料基材表面鍍上具有特色且附著力強的鍍膜，可以達到保護基材、裝飾、抗電磁波、導電或是抗反射等目的。在塑料基材表面鍍覆電磁幹擾(EMI，英文全稱為Electromagnetic Interference)防護膜是其中一種常見而重要的實施，如圖1所示，一般均採用在塑料基材1表面鍍上厚約2.5μm的銅薄膜2，其遮蔽效果可達70dB以上，而為了表面抗腐蝕防護，通常還會鍍上一層不鏽鋼膜4。
在塑料件表面鍍膜的工藝由來已久，一般分為化學鍍膜方法和物理鍍膜方法。
採用化學鍍膜方法具有價格低，操作容易，膜層附著性較好的優點，但由於在生產過程中有大量的有害廢水排放，對環境的汙染極大。
真空鍍膜技術，又稱為物理鍍膜或物理氣相沉積(Physical VaporDeposition，簡稱PVD)技術，是指在真空條件下，用物理的方法，將材料汽化成原子、分子或使其電離成離子，並通過氣相過程，在材料或工件表面沉積一層具有某些特殊性能的薄膜的技術，是一種現在比較先進的鍍膜方法，如濺鍍、蒸鍍、離子鍍等。
真空濺射鍍膜(Sputter)簡稱為濺鍍，其基本原理是根據離子濺射原理，當高能粒子，通常是由電場加速的正離子，衝擊到固體表面，固體表面的原子和分子在與這些高能粒子交換動能後，就從固體表面飛出來，此現象稱之為「濺射」，先利用電場使兩極間產生電子，這些加速電子會與鍍膜室中已預先充入的惰性氣體碰撞，使其帶正電，這些帶正電的粒子會受陰極即靶材吸引而撞擊陰極，入射離子，通常用氬氣，受到電場作用獲得動量，撞擊靶材表面的原子，這些原子受到正電離子的碰撞得到入射離子的動量轉移，被撞擊的靶材表面原子因接受入射離子的動量，對靶材表面下原子造成壓擠使其發生移位，此靶材表面下多層原子的擠壓，會產生垂直靶材表面的作用力而把表面原子碰撞出去，這些被碰撞出去的原子沿途尚可將中性氬原子碰撞成帶正電，最後終於沉積在基板即陽極上形成薄膜。
濺鍍是迄今一種極為常用的物理鍍膜方法。與傳統的化學鍍膜技術相比，具有無汙染、低成本、工藝簡單、可鍍塑料種類多、可鍍金屬層種類廣等優點。但是，為了避免濺鍍時溫度過高會導致塑料變形，通常濺鍍溫度不宜設置較高，由於濺鍍的溫度問題，以致一次濺鍍的厚度需控制在0.7μm以內，以銅+不鏽鋼則其遮蔽效果無法達到70dB，例如，一次只能鍍厚約0.5-0.7μm的銅膜，其遮蔽效果只達57dB，塑料產品必須離開真空濺鍍裝置在大氣中冷卻後再重複進行濺鍍，也就是說需要重複進入真空濺鍍裝置又離開冷卻至少三次以上方可達到鍍上厚約2μm的銅薄膜從而使遮蔽效果達70dB以上，現有的在塑料件表面濺鍍金屬膜的技術存在不足，將影響設備產量，生產效率較低。
發明內容
本發明的目的是提供一種用於以真空濺鍍在塑料基材上鍍覆防電磁幹擾薄膜的方法中，改進工藝步驟從而提高生產效率並增強防電磁幹擾效果的方法。
為了達到上述的目的，本發明的技術方案如下一種塑料基材上鍍覆高遮蔽防電磁幹擾薄膜的濺鍍方法，包括如下步驟噴沙處理步驟，以剛玉沙對塑料基材表面進行噴沙處理；清洗步驟，用超聲波清洗已經噴沙處理的塑料基材表面；鍍膜步驟，以真空濺鍍方法在塑料基材表面鍍上一層銅膜，再鍍上一層銀膜，再鍍上一層銅膜，構成一「銅+銀+銅」的三明治式鍍層結構。
所述的塑料基材上鍍覆高遮蔽防電磁幹擾薄膜的濺鍍方法，其中，所述的鍍膜步驟中最後鍍上一層不鏽鋼膜。
所述的塑料基材上鍍覆高遮蔽防電磁幹擾薄膜的濺鍍方法，其中，所述的不鏽鋼膜採用SUS316號不鏽鋼。
所述的塑料基材上鍍覆高遮蔽防電磁幹擾薄膜的濺鍍方法，其中，所述的噴沙處理步驟中，採用的剛玉沙為棕剛玉沙粒或白剛玉沙粒。
採用本發明的濺鍍鍍膜方法，「銅+銀+銅」的三明治式的鍍層結構有利於降低膜層的單位阻抗，增強膜層的防電磁幹擾效果，而且能在一次濺鍍中即達成「銅/銀/銅/不鏽鋼」的鍍層結構，其遮蔽效果即可達到較理想的70dB以上，有利於提高生產效率。
下面結合附圖，通過對本發明的具體實施方式
詳細描述，將使本發明的技術方案及其有益效果顯而易見。
圖1為現有技術的塑料基材鍍膜成品的剖面放大圖；圖2為本發明的塑料基材鍍膜成品的剖面放大圖。
具體實施例方式
為更進一步了解本發明的特徵及技術內容，請參閱以下有關本發明的詳細說明與附圖，然而所附圖式僅提供參考與說明用，並非用來對本發明加以限制。
如圖2所示，本發明的塑料基材上鍍覆高遮蔽防電磁幹擾薄膜的濺鍍方法，包括如下步驟噴沙處理步驟，以棕剛玉沙粒或白剛玉沙粒對塑料基材1表面進行噴沙處理；清洗步驟，用超聲波清洗已經噴沙處理的塑料基材1表面，洗掉塑料基材1表面的沙粒；鍍膜步驟，以真空濺鍍方法在塑料基材1表面鍍上一層銅膜21，再鍍上一層銀膜3，再鍍上一層銅膜22，構成一「銅+銀+銅」的三明治式鍍層結構，最後鍍上一層SUS316號不鏽鋼膜4。
由技術常識可知，本發明可以通過其它的不脫離其精神實質或必要特徵的實施方案來實現。因此，上述公開的實施方案，就各方面而言，都只是舉例說明，並不是僅有的。所有在本發明範圍內或在等同於本發明的範圍內的改變均被本發明包含。
權利要求
1.一種塑料基材上鍍覆高遮蔽防電磁幹擾薄膜的濺鍍方法，依次包括如下步驟噴沙處理步驟，以剛玉沙對塑料基材表面進行噴沙處理；清洗步驟，用超聲波清洗已經噴沙處理的塑料基材表面；鍍膜步驟，以真空濺鍍方法在塑料基材表面鍍上一層銅膜，再鍍上一層銀膜，再鍍上一層銅膜，構成一「銅+銀+銅」的三明治式鍍層結構。
2.根據權利要求1所述的塑料基材上鍍覆高遮蔽防電磁幹擾薄膜的濺鍍方法，其特徵在於，所述的鍍膜步驟中最後鍍上一層不鏽鋼膜。
3.根據權利要求2所述的塑料基材上鍍覆高遮蔽防電磁幹擾薄膜的濺鍍方法，其特徵在於，所述的不鏽鋼膜採用SUS316號不鏽鋼。
4.根據權利要求1所述的塑料基材上鍍覆高遮蔽防電磁幹擾薄膜的濺鍍方法，其特徵在於，所述的噴沙處理步驟中，採用的剛玉沙為棕剛玉沙粒或白剛玉沙粒。
全文摘要
一種塑料基材上鍍覆高遮蔽防電磁幹擾薄膜的濺鍍方法，包括如下步驟噴沙處理步驟，以剛玉沙對塑料基材表面進行噴沙處理；清洗步驟，用超聲波清洗已經噴沙處理的塑料基材表面；鍍膜步驟，以真空濺鍍方法在塑料基材表面鍍上一層銅膜，再鍍上一層銀膜，再鍍上一層銅膜，構成一「銅+銀+銅」的三明治式鍍層結構。採用本發明的濺鍍鍍膜方法，「銅+銀+銅」的三明治式的鍍層結構有利於降低膜層的單位阻抗，增強膜層的防電磁幹擾效果，而且能在一次濺鍍中即達成「銅/銀/銅/不鏽鋼」的鍍層結構，其遮蔽效果可達到較理想的70dB以上，有利於提高生產效率。
文檔編號G12B17/00GK1940126SQ200510100009
公開日2007年4月4日 申請日期2005年9月30日 優先權日2005年9月30日
發明者吳政道 申請人:佛山市順德區漢達精密電子科技有限公司