壓電諧振元件頻率的調節方法
2023-10-20 01:57:52
專利名稱：壓電諧振元件頻率的調節方法
技術領域：
本發明涉及能量-陷阱型壓電諧振元件頻率的調節方法，例如，所述元件使用厚度延伸的振動模式、厚度滑動振動模式或其它振動模式，尤其，本發明涉及通過控制振動電極的厚度來調節能量-陷阱型壓電諧振元件頻率的方法。
傳統上，已經把能量-陷阱型壓電諧振元件用于振蕩器、壓電濾波器和其它電子部件。對於這種壓電諧振元件，必須使在諧振頻率和中心頻率中的振動最小。
在製造上述壓電諧振元件時，在壓電母襯底的上表面和下表面上的矩陣圖形中形成振動電極。切割壓電襯底以產生單獨的壓電諧振元件。然而，根據不同的壓電母襯底，諧振頻率和中心頻率有改變的傾向。此外，對於不同的單獨壓電諧振襯底，即使是從相同的壓電諧振母襯底形成的，彼此的頻率也趨向於不同。
為了這個原因，在傳統上已經提出許多壓電諧振元件頻率調節方法的建議。
例如，日本未審查的專利申請出版物10-126187揭示一種石英晶體振蕩器頻率的調節方法。在這個方法中，在石英板的兩個主表面上形成根據目標頻率具有相同厚度的電極薄膜。當測量頻率並確定該頻率高於目標頻率時，把電極材料加到振動電極之一，以增加電極的厚度而調節頻率。如果頻率低於目標頻率，則除去一部分電極，以致降低電極厚度而調節頻率。
然而，在把電極材料加到形成在壓電板主表面上的振動電極之一，或除去電極材料以降低電極厚度而調節頻率的情況中，在主表面上形成的電極厚度變得彼此顯著地不同。因此，由於在壓電板的兩個主表面上形成的振動電極的厚度差，發生部件的電特徵顯著地降低的問題，並在頻率特性中出現不希望有的紋波。
為了解決上述問題，本發明的實施例提供一種調節壓電諧振元件頻率的方法，所述方法防止由傳統的頻率調節方法導致的電特性的降低和不希望的紋波的產生，以致高度正確地控制新潁的壓電諧振元件的頻率以得到目標頻率。
根據本發明的實施例，調節能量一陷阱型壓電諧振元件頻率的方法包括壓電板；第一和第二振動電極，使它們部分地形成在壓電板的兩個主表面上，而且彼此由壓電板隔開並且對置；第一振動電極的厚度大於第二振動電極的厚度；以及處理第一振動電極或第二振動電極，以致使第一和第二振動電極的厚度彼此接近，以致壓電諧振元件具有所要求的頻率。
最好，在電極處理步驟中，在第二振動電極上形成金屬製成的電極薄膜，致使第二振動電極的厚度增加。
還有，最好在電極處理步驟中用如此的方式進行處理，使第一振動電極的厚度降低。
最好，所述方法進一步包括在準備壓電諧振元件的步驟之後測量壓電諧振器的諧振頻率的步驟，以及以如此的方式進行處理，當諧振頻率高於所要求的頻率時，增加第二振動電極的厚度，而當壓電諧振元件的諧振頻率低於所要求的頻率時，降低第一振動電極的厚度。
在電極處理步驟之前的第一和第二振動電極之間的厚度差最好是約0.3μm。
還有，最好壓電諧振元件進一步包括第一和第二引出電極，而且分別把第一和第二終端電極連接到在壓電板的兩個主表面上形成的第一和第二引出電極。在處理步驟之前，第一引出電極和第一振動電極最好具有基本相等的厚度，而第二引出電極和第二振動電極最好具有基本相等的厚度。在處理步驟期間，以如此的方式使第一和第二引出電極和第一和第二振動電極一起處理，使第一和第二引出電極的厚度彼此接近。
從下述較佳實施例的的詳細描述並結合附圖，本發明的較佳實施例的其它特性、元件、特徵和優點將變得更明了。
圖1是示意橫截面視圖，示出根據本發明第一較佳實施例的調節壓電諧振元件頻率的方法；圖2是包括壓電諧振元件的壓電諧振部件的部件分解透視圖，對它進行根據本發明第一較佳實施例的調節頻率的方法；圖3是包括壓電諧振元件的基片(chip)壓電諧振部件的透視圖，對它進行根據本發明第一較佳實施例的調節頻率的方法；圖4是曲線圖，示出第一較佳實施例的壓電諧振元件的阻抗和相位-頻率特性，是在一個特定的實驗例子中，在頻率調節之前得到的；圖5是曲線圖，示出第一較佳實施例的壓電諧振元件的阻抗和相位-頻率特性，是在一個特定的實驗例子中，在頻率調節之後得到的；圖6是曲線圖，示出為了和本發明的較佳實施例進行比較而準備的壓電諧振元件的阻抗和相位-頻率特性，是在頻率調節之後得到的；圖7是曲線圖，示出為了和本發明的較佳實施例進行比較而準備的壓電諧振元件的阻抗和相位-頻率特性，是通過根據傳統方法進行頻率調節而得到的；圖8是曲線圖，示出配置在兩個主表面上的振動電極之間的厚度差和在頻帶中的紋波的形成比值之間的關係；圖9是曲線圖，示出配置在兩個主表面上的振動電極之間的厚度差和在相位特性中出現的紋波之間的關係；圖10是示意橫截面視圖，示出根據本發明第二較佳實施例的調節壓電諧振元件頻率的方法；圖1是橫截面視圖，示出根據本發明的調節壓電諧振元件頻率的方法的一個較佳實施例。
在本實施例中，準備能量-陷阱型壓電諧振元件1。能量-陷阱型壓電諧振元件1最好包括從諸如鉛榍石鋯酸鹽陶瓷之類的陶瓷形成的壓電板2。使第一振動電極3位於壓電板2的下表面，而第二振動電極4位於壓電板2的上表面。以如此的方式安排第一和第二振動電極3和4，使它們的前表面和後表面彼此對置。
圖1示意地示出壓電諧振元件1。壓電諧振元件1具有示於圖2中的結構。圖2是包括上述壓電諧振元件1的壓電諧振部件的部件分解透視圖。在壓電諧振元件1中，在壓電板2的上表面2a上不但安排第二振動電極4，而且也安排第二引出電極5。把第二引出電極5的外側-末端電氣地連接到終端電極6。終端電極6沿壓電板2的側邊2c延伸。相似地，在壓電板2的下表面上安排第一引出電極和終端電極，以連接到示於圖3中的第一振動電極3。第一振動電極伸出到壓電板2的下表面2b上的側邊，它和上述側邊2c對置。
本較佳實施例的一個新潁的特徵是把上述第一振動電極3和第二振動電極4事先製造成具有不同的厚度。即，如此地形成第一和第二振動電極3和4，使第一振動電極3的厚度大於第二振動電極4的厚度。
可以通過蒸汽沉積或噴塗諸如銀、銀-鎘合金之類的合適的金屬材料，或其它合適的處理來形成第一和第二振動電極3和4、上述引出電極5、終端電極6和其它電極元件。在本較佳實施例的配置中，最好用銀製成第一振動電極3，並具有約0.6μm的厚度。最好用銀製成第二振動電極4，並具有約0.3μm的厚度。
提供不同厚度的第一和第二振動電極3和4的方法的例子包括當形成振動電極3和4時，把不同的電功率施加到配置在壓電板2的上表面和下表面或右和左側的目標上，例如提供噴塗或其它合適的處理。
此外，通過在壓電板2的上表面2a和下表面2b上先形成銀薄膜，以致具有基本相等的厚度，此後，只在下表面2b上再形成銀薄膜，這樣可以增加第一振動電極3的厚度。
其次，根據本發明的另一個較佳實施例，測量上述壓電諧振元件1的諧振頻率。先以如此的方式形成壓電諧振元件1，致使所測量到的諧振頻率高於目標頻率。
其次，由於實際測量到的諧振頻率高於目標頻率，在第二振動電極4上形成確定電極薄膜的銀薄膜8，如在圖1中的的下面部分所示。即，調節壓電諧振元件1以致通過形成銀薄膜8和銀薄膜8的產物質量的附加作用，使諧振頻率降低。相應地，以相應於諧振頻率差的方式形成銀薄膜8來以進行頻率調節，以致在頻率調節之後，壓電諧振元件1具有基本上等於目標頻率的諧振頻率，所述諧振頻率差是指在頻率調節之前實際測量到的壓電諧振元件1的諧振頻率和目標頻率之間的差。
在如上所述地製成的壓電諧振元件1中，在第二振動電極4上形成銀薄膜8，以致第二振動電極4的厚度接近第一振動電極3的厚度。因此，在頻率調節之後得到的位於兩個主表面上的振動電極之間的厚度差減少。相應地，如下所述，有效地防止了不希望有的紋波的產生。產物，頻率調節量約為傳統例子頻率調節量的兩倍。尤其，根據調節壓電諧振元件頻率的傳統方法，事先在兩個主表面上形成具有厚度基本相等的振動電極。相應地，如果通過頻率調節增加在主表面上的兩個振動電極之間的厚度差，則如下所述，會產生不希望有的紋波。另一方面，在本實施例中，事先減少第二振動電極4的厚度。相應地，可以調節頻率而同時防止不希望有的紋波的產生。因此，使不產生紋波的頻率調節量加倍。
其次，將參考一個實驗例子更具體地描述本發明。
提供鉛榍石鋯酸鹽型壓電陶瓷製成的母襯底，它具有約20mm×30mm×0.15mm厚度的大小。通過噴塗而形成銀薄膜，在母襯底的上表面上形成多個第二振動電極4，每個第二振動電極具有約0.3μm的厚度，並在下表面上形成多個第一振動電極3，每個第一振動電極由銀薄膜製成並具有約0.6μm的厚度。如圖2所示，第一和第二振動電極的平面形狀基本上是園形，每個園形具有約0.6mm的直徑。在母襯底的上表面和下表面上形成引出電極和終端電極。即，每個定位在壓電板2的上表面2a上的引出電極5和終端電極6具有和第二振動電極4的厚度基本上相同的厚度。定位在壓電板2的下表面2b上的引出電極和終端電極具有和第一振動電極3的厚度基本上相同的厚度。
把密封襯底連接到母襯底的上表面和下表面，母襯底具有如上所述地形成的電極圖形。此後，切割所連接的襯底以形成有角度的片形壓電諧振元件1，其大小約為2×3mm。圖4示出壓電諧振元件1的阻抗和相位-頻率特性。
在提供上述母襯底的步驟中，在壓電諧振元件1的上表面上提供的第二振動電極4、第二引出電極5和終端電極6上進一步形成薄膜厚度約為0.6μm的銀薄膜。此後，重複上述步驟以得到壓電諧振元件。即，通過降低諧振頻率來進行頻率調節。圖5示出在頻率調節之後得到的壓電諧振元件1A的阻抗和相位-頻率特性。
通過比較圖4和圖5可以清楚地理解，用本發明的較佳實施例的方法使諧振頻率降低，並且在頻帶中幾乎不產生不希望有的紋波。
為了和本發明的較佳實施例所得到的結果相比較，根據傳統方法進行頻率調節。首先，通過使用和上述較佳實施例中所使用的相同的壓電板準備壓電諧振元件，上述壓電諧振元件具有銀薄膜製成的第一和第二振動電極，它們形成在兩個主表面上具有約0.3μm的相同的厚度。圖6示出壓電諧振元件的阻抗和相位-頻率特性。在如上準備的壓電諧振元件的一個振動極上形成約具有0.6μm厚度的銀薄膜。即，通過降低頻率進行頻率調節。圖7示出在頻率調節之後得到的壓電諧振元件的阻抗和相位-頻率特性。
如在圖7中看到，當根據傳統方法進行壓電諧振元件的頻率調節時，在通帶中產生大紋波，如箭頭A所示。在兩個主表面上的振動電極之間的厚度差導致這種情況，通過頻率調節增加了它的厚度。
示於圖4和圖5中的結果的比較，還有示於圖6和圖7中的結果的比較示出，根據本發明較佳實施例的頻率調節大大地改善了諧振頻率接近目標頻率，並同時抑制了不希望有的紋波的產生。
在根據傳統例子進行頻率調節的情況下，估計在兩個主表面上的振動電極之間的最終薄膜厚度差和紋波的產生比。在圖8中，把兩個主表面上的振動電極之間的薄膜厚度差標繪成橫坐標，而把紋波產生比標繪成縱坐標。在圖9中，把兩個主表面上的振動電極之間的薄膜厚度差標繪成橫坐標，而把在其中產生紋波的相位特性曲線部分的相位值θ標繪成縱坐標。術語「紋波產生比」的意思是對200個壓電諧振元件進行測量而得到的在箭頭A所指示的頻帶中的紋波產生比。經估計，當相位角達75°時產生紋波。
如在圖8和9中看到，在根據傳統方法進行頻率調節的情況下，兩個主表面上的振動電極之間的薄膜厚度差增加時產生更多的紋波A。換言之，可以看到，當兩個主表面上的振動電極之間的薄膜厚度差達到約0.3μm時，可以有效地抑制紋波的產生。
相應地，可以看到，在上述較佳實施例中，通過把在頻率調節之前(即，先於電極處理步驟)得到的第一和第二振動電極3和4之間的厚度差設置為0.3μm或更小，在頻率調節之後可以防止紋波的產生。尤其，以如此的方式事先製成兩個主表面上的振動電極3和4的厚度差，致使諧振頻率高於目標頻率，而電極之間的厚度差約變成0.3μm或更小。此後，如在上述較佳實施例中所述，為了頻率調節，增加第二振動電極的厚度使之接近第一振動電極3的厚度，有效地抑制了紋波A的產生。
在上述實驗例子中，當通過增加第二振動電極4的厚度而進行頻率調節時，還處理引出電極5和振動電極6，以致增加了它們相應的厚度。只處理第二振動電極4以致具有增加的厚度。
在諸如蒸汽沉積、噴塗或其它方法之類的薄膜成形方法的情況下，在壓電板2的上表面2a上同時形成第二振動電極4、引出電極5和振動電極6，最好從便於電極處理的觀點出發，不但處理振動電極4，而且還處理引出電極5和振動電極6，使它們同時增加厚度。
構造本較佳實施例的壓電諧振元件1以確定一個壓電諧振部件，示於圖2和3，以構造電子基片部件。即，把外罩(casing)襯底10和11堆疊在壓電諧振元件1的上側和下側。用諸如鋁土或其它合適的材料或合成樹脂之類的絕緣陶瓷製成外罩襯底10和11。
如在圖3中所示的最終得到的壓電諧振基片部件12中，配置形成外部電極13到15，以致分別覆蓋兩個末端表面。
圖10是示意橫截面圖，示出根據本發明的第二較佳實施例調節壓電諧振元件頻率的方法。
在第一較佳實施例中，最好在比第一振動電極薄的第二振動電極上通過形成金屬製成的電極，即，通過增加第二振動電極的厚度，來進行頻率調節。相反地，根據本發明的另一個實施例，可以通過處理第一振動電極以致降低厚度來進行頻率調節。
即，如圖10所示，準備一個壓電諧振元件21。在壓電諧振元件21中，使第一振動電極23定位於壓電板22的上表面22a上，而使第二振動電極24定位於壓電板22的下表面22b上。在壓電諧振元件21中，與在圖2中示出的壓電諧振元件1相似地安排引出電極和終端電極。壓電諧振元件板22在厚度方向上經過極化處理。因此，提供使用厚度延伸振動模式的能量-陷阱型壓電諧振器。
最好使第一振動電極23的厚度大於第二振動電極24的厚度。
為了頻率調節，通過雷射器、離子束、噴塗、蝕刻或其它合適的方法除去一部分第一振動電極，以降低第一振動電極23的厚度，使之接近第二振動電極24的厚度。因此，進行頻率調節以致增加諧振頻率。
在第二較佳實施例中，最好事先把第一振動電極23的厚度設置成大於第二振動電極24的厚度。當為了上述的頻率調節而降低電極薄膜的厚度時，第一和第二振動電極的厚度彼此接近並且彼此基本相等。因此，有效地防止了不需要的紋波。
在第三較佳實施例中，也在第一較佳實施例中，準備如圖1所示的能量-陷阱型壓電諧振元件。在該實施例中，以如此的方式形成第一和第二振動電極，致使第一振動電極3的厚度大於第二振動電極4的厚度，與第一較佳實施例相似。
其次，相似於第一較佳實施例，測量如上所述地準備的壓電諧振元件1的諧振頻率。在第一較佳實施例中，形成壓電諧振元件1以致使它的諧振頻率高於目標頻率。另一方面，在第三較佳實施例中，所測量到的頻率可能高於或低於目標頻率。
在第三較佳實施例中，在實際測量到的壓電諧振元件1的諧振頻率高於目標頻率的情況下，進行相似於第一較佳實施例的電極處理。即，通過形成銀薄膜8進行頻率調節以致降低諧振頻率，以致諧振頻率到達目標頻率，這是通過銀薄膜8的質量附加作用而得到的。
另一方面，在本較佳實施例中，當實際測量到的壓電諧振元件1的諧振頻率低於目標頻率時，以如此的方式進行電極處理致使降低相當厚的第一振動電極的厚度。與上述第二較佳實施例相似地進行電極處理，從而，增加壓電諧振元件的諧振頻率以達到用於頻率調節的目標頻率。
相應地，在第三較佳實施例中，不管實際測量到的壓電諧振元件1的諧振頻率是高於或低於目標頻率，通過進行如在第一實施例中或第二實施例中所述的電極處理，正確和精確地控制壓電諧振元件的諧振頻率到達目標頻率。
在第一到第三較佳實施例中，描述了使用厚度延伸振動模式的能量-陷阱型壓電諧振器。本發明的調節壓電諧振元件頻率的方法可以使用另外的振動模式，諸如厚度滑動模式。此外，不但可以把本發明的調節壓電諧振元件頻率的方法應用於壓電諧振元件，而且也可以應用於諸如壓電濾波器或其它部件之類的另外的壓電諧振元件。
根據本發明的各較佳實施例的能量-陷阱型壓電諧振元件的頻率調節方法，準備第一振動電極厚度大於第二振動電極厚度的壓電諧振元件，並以如此的方式通過處理第一振動電極或第二振動電極來調節頻率，致使第一和第二振動電極的厚度彼此接近，而且元件達到所要求的頻率。在頻率調節之後得到的第一和第二振動電極的厚度彼此極接近。因此，在把頻率調節到目標頻率的壓電諧振元件中，有效地使頻帶中的紋波最小。相應地，提供具有優良電特徵的壓電諧振元件。
在電極處理步驟中最好在第二振動電極上形成金屬製成的電極薄膜，從而增加第二振動電極的厚度。在這種情況下，可以進行頻率調節以致降低諧振器的頻率。
相反，當進行電極處理以降低第一振動電極的厚度時，進行頻率調節以致增加諧振器的頻率。
根據本發明的較佳實施例，最好測量所準備的壓電諧振元件的諧振頻率。以如此的方式進行電極處理致使當諧振頻率高於所要求的頻率時，增加第二振動電極的厚度，而當壓電諧振元件的諧振頻率低相應地，不管實際測量到的壓電諧振元件的諧振頻率是高於或低於目標頻率，於所要求的頻率時，降低第一振動電極的厚度。相應地，不管實際測量到的壓電諧振元件的諧振頻率是高於還是低於目標頻率，都可以安全地把壓電諧振元件的諧振頻率調節到目標頻率。
相應地，當準備壓電諧振元件時，不需要設置壓電諧振元件的諧振頻率，以致頻率高於或低於目標頻率。因此，可以減少在準備壓電諧振元件的步驟中的限制。此外，在增加第二振動電極厚度和減少第一振動電極厚度的兩個步驟中可以分別使第一和第二振動電極的工作量減到最小。即，電極材料的價格大大地降低。當用壓電陶瓷製成壓電襯底時，電極厚度比在石英晶體製成的壓電襯底上形成的電極厚度較厚。相應地，期望上述對於電極材料的價格-節省效果是較大的。
此外，當在電極處理步驟之前第一和第二振動電極之間的厚度差到達約0.3μm時，更有效地使頻帶中不需要的紋波最小，如在上述實驗例子中所看到。即，可以安全地提供具有優良電特性的壓電諧振器。
當提供帶有第一和第二引出電極和第一和第二終端電極的壓電諧振元件時，此外，當處理第一或第二引出電極以致第一和第二引出電極的厚度彼此接近時，可以把第一或第二引出電極和第一或第二振動電極在第一或第二振動電極的處理步驟中一起處理。相應地，與第一和第二振動電極之一的處理相比較，可以方便地得到用於獲得頻率調節的電極處理。
應該理解，上述描述只是本發明的較佳實施例的說明。熟悉本領域技術的人員可以設計各種不偏離本發明的變更和修改。相應地，本發明勢必包含落在所附的權利要求書的範圍內的所有這樣的變更、修改和變化。
權利要求
1．一種用於調節電子部件頻率的方法包括下列步驟準備準備壓電諧振元件，所述元件包括具有兩個主表面的壓電板；第一和第二振動電極，它們部分地形成在壓電板的兩個主表面上，並且彼此對置而使壓電板安置在它們之間，第一振動電極的厚度第一第二振動電極的厚度；以及對第一振動電極和第二振動電極中的至少一個電極進行處理，以致使第一和第二振動電極的厚度彼此接近，致使壓電諧振元件具有所要求的頻率。
2．如權利要求1所述的方法，其特徵在於，處理步驟包括在第二振動電極上形成金屬製成的電極薄膜的步驟，以致增加第二振動電極的厚度。
3．如權利要求1所述的方法，其特徵在於，以如此的方式進行處理步驟，以致降低第一振動電極的厚度。
4．如權利要求1所述的方法，其特徵在於，所述方法進一步包括下列步驟在準備壓電諧振元件的步驟之後，測量壓電諧振器的諧振頻率；並且以如此的方式進行下列步驟，當諧振頻率高於所要求的頻率時，增加第二振動電極的厚度，而當壓電諧振元件的諧振頻率低於所要求的頻率時，降低第一振動電極的厚度。
5．如權利要求1所述的方法，其特徵在於，在處理步驟之前的第一和第二振動電極的厚度差約等於或小於0.3μm。
6．如權利要求1所述的方法，其特徵在於，壓電諧振元件進一步包括連接到第一和第二振動電極的第一和第二引出電極，以及連接到第一和第二引出電極的第一和第二終端電極，它們分別形成在壓電板的兩個主表面上，第一引出電極和第一振動電極具有基本相等的厚度，而第二引出電極和第二振動電極具有基本相等的厚度，在處理步驟之前或在處理步驟中，以如此的方式使第一和第二引出電極中的至少一個電極和第一和第二振動電極中的至少一個電極一起處理，以致第一和第二引出電極的厚度彼此接近。
7．如權利要求1所述的方法，其特徵在於，通過蒸汽沉積金屬材料和噴塗金屬材料中的至少一種來形成第一和第二振動電極。
8．如權利要求1所述的方法，其特徵在於，用銀製成第一振動電極，而且在處理步驟之前具有約0.6μm的厚度。
9．如權利要求1所述的方法，其特徵在於，用銀製成第二振動電極，而且在處理步驟之前具有約0.3μm的厚度。
10．如權利要求1所述的方法，其特徵在於，在準備壓電諧振元件的步驟中，通過首先在壓電板的上表面和下表面上形成銀薄膜以致具有相等的厚度，此後，只在壓電板的下表面上再形成銀薄膜，以增加第一振動電極的厚度。
11．如權利要求1所述的方法，其特徵在於，在處理步驟中，在第二振動電極上形成銀薄膜以致第二振動電極的厚度接近於第一振動電極的厚度，致使第一和第二振動電極的厚度基本相同。
12．如權利要求1所述的方法，其特徵在於，進一步包括在壓電板的上表面和下表面上安裝外罩襯底的步驟。
13．如權利要求1所述的方法，其特徵在於，在壓電諧振元件板的厚度方向上進行壓電諧振元件板的極化處理，以確定一個使用厚度延伸振動模式的能量-陷阱型壓電諧振器。
14．如權利要求1所述的方法，其特徵在於，處理步驟包括通過除去第一振動電極的一部分而進行頻率調節的步驟。
15．如權利要求15所述的方法，其特徵在於，通過雷射器、離子束、噴塗和蝕刻中的至少一個來除去第一振動電極的一部分。
16．如權利要求15所述的方法，其特徵在於，除去第一振動電極的一部分以降低第一振動電極的厚度，以致第一振動電極和第二振動電極的厚度彼此基本相等。
17．如權利要求1所述的方法，其特徵在於，電子部件是能量-陷阱型壓電諧振元件。
18．如權利要求1所述的方法，其特徵在於，在處理步驟之後，第一和第二振動電極具有相同的厚度。
全文摘要
一種調節能量—陷阱型壓電諧振元件頻率的方法包括下列步驟:準備包括第一和第二振動電極的壓電諧振元件,在壓電板的兩個主表面上部分地形成所述電極,使第一振動電極的厚度大於第二振動電極的厚度;以及以如此的方式修改第一振動電極或第二振動電極,使第一和第二振動電極的厚度彼此基本相等,致使壓電諧振元件具有所要求的頻率。
文檔編號H03H9/17GK1296337SQ0013283
公開日2001年5月23日 申請日期2000年10月31日 優先權日1999年11月11日
發明者中福祥人 申請人:株式會社村田製作所