一種載帶封裝處理器的製作方法
2023-10-20 14:09:17 2
專利名稱：一種載帶封裝處理器的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種載帶封裝處理器，其可以對以帶狀形式相互對準的載帶封裝(簡稱為TCP)上的測試片(test pad)進行順序和間歇傳送，並將它們與測針相接觸，從而用於半導體集成電路的測試。
採用了特別設計的TCP處理器，其用於沿TCP帶X的縱向順序和間歇地傳送載帶封裝1。這裡，半導體集成電路測試裝置提供了測針(未示出)，其與各TCP1的測試片1b之間充分接觸以進行指定的性能測試。具體地說，TCP處理器提供了鏈輪傳送器，其具有輪和位於輪的圓周表面上的凸齒(或鏈輪齒)。也就是說，TCP處理器驅動鏈輪傳送器使其輪旋轉，使得凸齒順序地和TCP帶X上的齒孔1e相接合。因此，就可以以相對較高的定位精度沿其縱向傳送TCP帶X。有一個明確的要求是，應操作TCP處理器使測試片1d儘可能精確地與測針相接觸。因此，TCP處理器通過鏈輪傳送器來進行TCP帶X的順序和間歇傳送，保證相對於測針間歇性停止的TCP的精確定位。在多種文獻如日本公開實用新型公報No.Hei4-34467中公布了對測試片1b與測針之間的定位精度的改進。
上述文獻介紹了一種技術，其中引入了定位針，以在TAB和電極(或TCP和測針)之間建立指定的定位關係。通常，在鏈輪傳送器和定位針之間會存在小間隙，因此，很難在TAB和電極之間建立十分精確的定位。近來，半導體晶片的電路元件的集成度提高的很快，因此，各TCP中測試片的數目也相應地增加。也就是說，測試片的間距存在著變小的趨勢。因此，在TCP處理器中首要的問題是在TAB和電極之間建立十分精確的定位。
近來，另一個趨勢是薄膜襯底1a的厚度變小。為此，當鏈輪傳送器的凸齒與TCP帶X的齒孔1e相接合時，存在著齒孔1e會發生變形或部分損壞的問題。這個問題尤其在TCP帶是由厚度為25μm左右的較薄薄膜襯底組成時更為嚴重。因此，十分需要發展一種嶄新的技術，能保證TCP帶的順序和間歇傳送，不會引起齒孔變形或部分損壞，同時在傳送的間歇停止處保證相對高的定位精度。
本發明的另一個目的是提供一種TCP處理器，其能保證TCP帶的順序和間歇傳送，不會引起齒孔變形或部分損壞，同時在傳送的間歇停止處保證相對高的定位精度。
本發明的TCP處理器基本上設計成可傳送TCP帶，使多個TCP在薄膜襯底上對準，因此各TCP的測試片可以相對於測針精確地定位，以用於半導體集成電路的測試。
在本發明的第一方面，鏈輪傳送器可進行同步和間歇性旋轉，沿TCP帶的縱向傳送TCP帶，因此，順序傳送的各TCP基本上在第一推動器和夾子之間的中間位置暫時停止。TCP被緊緊夾持在第一推動器和夾子之間，然後隨著與第一推動器相連的第二推動器的下降而被向下推動。TCP的測試片與安裝在探針板上的測針相接觸並可靠地連接。這裡，電荷耦合裝置(CCD)的照相機拍攝TCP的指定部分的圖像，在此指定部分中TCP的引線從探針板背側看去厚度變粗。所拍攝的圖像與指定的基準圖像相比較，並就其外形進行圖形匹配。為在這些圖像中實現完全的匹配，對TCP的定位以兩維方式進行精確調節。具體地說，TCP可稍微地水平移動，糾正在拍攝圖像和基準圖像之間所檢測到的X軸和Y軸的定位偏差。
在本發明的第二方面，TCP帶X在一對滾輪之間在壓力下被緊緊夾持，通過滾輪間的摩擦力傳送。這就防止了厚度較薄的TCP帶的齒孔的變形或損壞。TCP帶X的傳送值(即傳送距離)由鏈輪和旋轉編碼器檢測。也就是說，旋轉編碼器檢測在傳送中凸齒與TCP帶的齒孔順序地接合的鏈輪的旋轉。另外，控制單元對分別由電機驅動的滾輪的旋轉進行反饋控制，使得所檢測到的傳送值通常恆定，或其通常符合指定的目標值。因此，就可能實現TCP帶的平穩傳送，保證測針和在測試中會暫時停止的載帶封裝的測試片之間的定位具有所需精度。
本發明的第一實施例基本包括三種元件，即傳送元件、加壓元件和停止位置調節元件。在
圖1所示的TCP處理器中，輸入側鏈輪傳送器4和輸出側鏈輪傳送器5構成了傳送元件；第一推動器2、夾子3和第二推動器6構成了加壓元件；圖像處理單元11、控制單元12和X-Y運動機構7構成了停止位置調節元件。
在上文中已結合圖6介紹了TCP帶X，其中多個TCP1以帶狀形式對準並相互連接，這種帶狀形式還具有條狀的輔助傳送區域1A。另外，各TCP1包括薄膜襯底1a、測試片1b、半導體晶片1c和引線1d。此外，在TCP帶X的輔助傳送區域1A上以相等的間距設有齒孔1e。
各輸入側鏈輪傳送器4和輸出側鏈輪傳送器5由端部均設有齒輪的圓柱體構成。輪和輪之間隔開指定的距離，此距離基本等於TCP帶X的輔助傳送區域1A間的距離。另外，鏈輪傳送器4和5設置成沿TCP帶X的指定傳送方向基本上相互平行。因此，TCP帶X在其縱向上暫時地固定在鏈輪傳送器4和5之間的位置。在鏈輪傳送器4和5的輪的圓周表面上設有凸齒(或鏈輪齒)，凸齒之間設置成相等間距。當TCP帶X在TCP處理器中定位時，鏈輪傳送器4和5的輪的圓周表面上的凸齒和TCP帶X的齒孔1e充分地接合。然後，鏈輪傳送器4和5進行同步和間歇地旋轉，使得TCP帶X在其縱向上順序和間歇地傳送，如圖1中箭頭所示。因此，TCP帶X的TCP1從輸入側鏈輪傳送器4順序和間歇地傳送到輸出側鏈輪傳送器5。由於TCP帶X的間歇傳送，各TCP1在與測針9相對的指定停止位置處精確地定位和暫時地停止，測針9基本上設置在輸入側鏈輪傳送器4和輸出側鏈輪傳送器5之間的中間位置的下方。
第一推動器2和夾子3沿TCP帶X的傳送方向設置在輸入側鏈輪傳送器4和輸出側鏈輪傳送器5之間。夾子3是與第二推動器6相連的中空支座，並設置在TCP帶X的下方。第一推動器2和第二推動器6相連，可以在垂直方向上自由地上下運動。第一推動器2設置在TCP帶X的上方。也就是說，TCP帶X設置成被第一推動器2和夾子3垂直地夾在中間。當第一推動器2下降到低於夾子3時，TCP帶X的兩側可以在第一推動器2和中空夾子3之間緊密地夾住。
第二推動器6可使將TCP帶X緊密地夾在中間的第一推動器2和夾子3上下運動。當它們向下運動時，TCP帶X被壓住並向下運動，使得TCP1的測試片1b和測針9直接接觸。
上述傳送元件和加壓元件通常設置在X-Y運動機構7之上。通過使傳送元件和加壓元件在X-Y平面(或水平面)內微小運動，X-Y運動機構7可以精確地調節測針9和TCP1(更明確地說是測試片1b)之間建立的定位。X-Y運動機構7是一個X-Y脈衝運動臺，其例如可使用兩個脈衝電動機來操作X軸和Y軸的驅動。脈衝電動機響應於控制單元12發出的驅動信號(或脈衝信號)而操作。
探針板8設置並固定在基本上位於輸入側鏈輪傳送器4和輸出側鏈輪傳送器5之間的中間位置，並位於夾子3的下面。在探針板8的表面上設有指定排列的測針9，其對應於TCP1的測試片1b而設置。這些測針9是具有彈性的觸頭，並與通過導線測試TCP1操作的半導體集成電路測試裝置(未示出)相連。
在探針板8的中心部分設有開口，允許CCD照相機10對TCP1進行圖像拍攝。CCD照相機10整體地包括了用於照明的光源。CCD照相機10固定地設置在探針板8的下方，因此可以拍攝上方的TCP1的圖像。特別地，可以調節CCD照相機10的位置和放大率，以保證對TCP1內引線1d的厚度變粗處的特定部分進行圖像拍攝。
在代表了由CCD照相機10所拍攝的TCP1圖像的圖像信號的基礎上，圖像處理單元11對TCP1特定部分的圖像G1和預先存儲的代表TCP1正常位置的基準圖像G2進行圖形匹配處理。然後，圖像處理單元11生成代表了圖形匹配度的偏差信號，並將其輸出給控制單元12。具體地說，圖像處理單元11從CCD照相機10所拍攝的特定部分的圖像G1中抽取外形或輪廓。因此，通過比較所抽取的輪廓和基準圖像G2的輪廓，圖像處理單元11可以進行圖形匹配。另外，圖像處理單元11還生成代表了圖形匹配狀態的圖像信號，並將其輸出給顯示器13。
控制單元12在圖像處理單元11輸出的偏差信號的基礎上控制X-Y運動機構7。也就是說，控制單元12對X-Y運動機構7進行反饋控制，在TCP1的拍攝圖像G1的基礎上實現了對TCP1定位的精確調節。顯示器13顯示上述的圖形匹配狀態，換句話說，它顯示代表了拍攝圖像G1和預先存儲在圖像處理單元11中的基準圖像G2之間差別的圖像。因此，顯示器13允許操作者人工地調節X-Y運動機構7。
接著，將結合圖1、圖2A到2C和圖3對本實施例的TCP處理器的整體操作進行介紹。
首先，將結合圖1和圖2A到2C介紹TCP處理器的傳送操作和夾緊操作。通過分別地控制輸入側鏈輪傳送器4和輸出側鏈輪傳送器5的旋轉，可以實現TCP帶X的同步和間歇旋轉。每次TCP處理器進行同步和間歇旋轉，使得TCP帶X以指定長度從輸入側鏈輪傳送器4傳送到輸出側鏈輪傳送器5時，各TCP1向前運動和暫時地停止在探針板8的正上方。圖2A到2C顯示了TCP處理器的指定部分(即2，3，8和9)和暫時停止的TCP1之間的關係，這些視圖是沿TCP帶X的縱向方向的側視圖。如圖2A所示，TCP1處於暫時停止狀態的初始階段，此時TCP1暫時地停止在探針板8的正上方，TCP1基本上位於比第一推動器2和夾子3之間的中間位置更高的位置。
然後，只有輸入側鏈輪傳送器4以相反方向稍微地旋轉，這樣就對TCP帶X施加了一定的反張力。在這種狀態下，第一推動器2下降，使得TCP1被緊緊地夾持在第一推動器2和夾子3之間，如圖2B所示。也就是說，TCP1被夾持在第一推動器2的下表面和夾子3的上表面之間。由於TCP帶X被施加了反張力，TCP帶X不會鬆開，並基本上保持平面形狀。因此，就可以可靠地將「平面」的TCP1夾持在第一推動器2和夾子3之間。
在相對於TCP1建立了夾緊狀態後，第二推動器6下降，使得夾在第一推動器2和夾子3之間的TCP1進一步地向下運動。因此，TCP1的測試片1b分別與安裝在探針板8上的測針9在壓力下相接觸。也就是說，圖2C顯示了接觸狀態，TCP1的測試片1b完全地與探針板8上的測針9相接觸且連接。
接著，TCP處理器對TCP1相對於測針9的定位進行精確調節，這將結合圖1、圖2A到2C和圖3進行介紹。
在本實施例中，CCD照相機10對處於夾緊狀態的TCP1的特定部分拍攝下側圖像，換句話說，它拍攝TCP1中引線1d厚度會變粗的部分的圖像。在TCP1特定部分的拍攝圖像G1的基礎上，TCP處理器在水平面內對TCP1相對於測針9的定位進行精確調節。拍攝圖像G1通過圖像處理單元11與基準圖像G2進行圖形匹配。然後，圖像處理單元11生成代表圖形匹配度的偏差信號，並將其輸出給控制單元12。控制單元12在偏差信號的基礎上生成驅動信號。因此，X-Y運動機構7響應於此驅動信號而被驅動。
圖3顯示了在顯示器13的屏幕上顯示的拍攝圖像G1和基準圖像G2之間圖形匹配狀態的一個示例。圖3顯示了拍攝圖像G1和基準圖像G2之間在X軸和Y軸方向上的位置偏差，其中X軸方向對應於TCP帶X的縱向，而Y軸方向對應於TCP帶X的寬度方向(或者是正交於縱向的方向)。具體地說，在X軸方向上發生位置偏差Δx，在Y軸方向上發生位置偏差Δy。這裡，當拍攝圖像G1和基準圖像G2的輪廓完全地相互匹配時，就形成了完全圖形匹配狀態。在完全圖形匹配狀態中，TCP1最優地定位成與探針板8相連，使得所有的測試片1b和測針9充分地接觸。
圖像處理單元11計算攝圖像G1和基準圖像G2之間的偏差值，從而生成與偏差值對應的偏差信號，並將其輸出給控制單元12。為糾正偏差值，控制單元12計算出分別供應給X-Y運動機構7中用於X軸和Y軸驅動的上述脈衝電動機的脈衝數目。因此，控制單元12生成具有計算出的脈衝數目的驅動信號，並將其輸出給X-Y運動機構7。也就是說，驅動X軸的脈衝電動機響應於所計算出的用於糾正X軸位置偏差Δx的脈衝數而被驅動，驅動Y軸的脈衝電動機響應於所計算出的用於糾正Y軸位置偏差Δy的脈衝數而被驅動。因此，偏差值被糾正，使得TCP1相對探針板8上的測針9最優地定位。
接著，將對基準圖像G2進行補充介紹。也就是說，基準圖像G2是「第一」TCP的特定部分的拍攝圖像，第一TCP是在半導體集成電路測試裝置對TCP帶X進行測試之前相對於測針9精確定位的TCP。因此，第一TCP特定部分的拍攝圖像作為基準圖像G2而存儲在圖像處理單元11的存儲器(未示出)內。當TCP帶X在輸入側鏈輪傳送器4和輸出側鏈輪傳送器5之間順序和間歇地傳送時，各TCP1可進行精確地定位，使得測試片與探針板8上的測針9可靠地接觸並連接。這裡，只有TCP帶X的第一TCP才能通過操作者人工地操作X-Y運動機構7來相對於測針9定位。
在上述介紹中，操作者在與CCD照相機10相連的顯示器13的屏幕上目測確認通過人工操作已相對於測針9精確定位的第一TCP的特定部分的拍攝圖像。然後，拍攝圖像存儲在圖像處理單元11的存儲器中。至於從第二個到最後一個TCP，對它們的定位自動地進行上述精確調節。
用於精確調節TCP定位的實際方法可取決於所需的定位精度和傳送元件所能實現的定位精度。最好不要對第一TCP後面所有的TCP進行連續的精確調節。也就是說，只有當在測試片1b和測針9之間出現了連接錯誤時，才使用停止位置調節元件來重新進行精確調節。或者，可以對第一TCP後指定數目的TCP進行精確調節。通過在TCP定位的精確調節中採用合適的測量方法，可以提高TCP帶X測試的產量。第二實施例下面將介紹根據本發明第二實施例的TCP處理器機構的核心部件。圖4A是顯示了第二實施例的TCP處理器機構的一些部件的正視圖。圖4B是顯示了向前傳送TCP帶的TCP處理器機構的平面圖。圖4C是顯示了用於TCP處理器中TCP帶的滾輪和電機相接合的側視圖。在這些圖中，標號22A和22B表示滾輪，標號23A和23B表示電動機，標號24表示在圓周表面上具有凸齒(或鏈輪齒)的鏈輪，標號25表示旋轉編碼器。
圖5顯示了第二實施例的TCP處理器的電子結構。這裡，標號26A和26B表示電動機驅動器，標號27表示控制單元。
上述部件分成兩種元件，即傳送元件和傳送值檢測元件。也就是說，傳送元件由滾輪22A，22B，電動機23A，23B和電動機驅動器26A，26B構成；傳送值檢測元件由鏈輪24和旋轉編碼器25構成。
例如，滾輪22A和22B均為具有指定彈性的橡膠輪。它們設置成可緊緊地將TCP帶X夾持在中間，並以一定壓力下壓TCP帶X的輔助傳送區域1A(見圖6)。通過旋轉，滾輪22A和22B沿TCP帶X的縱向傳送TCP帶X。具體地說，滾輪22A與電動機23A的旋轉軸相連，滾輪22B與電動機23B的旋轉軸相連，控制單元27控制滾輪22A和22B各自旋轉。
鏈輪24設置成隨著TCP帶X沿其縱向運動，其凸齒與TCP帶X的輔助傳送區域1A的齒孔1e順序地相接合。也就是說，鏈輪24響應於TCP帶X的傳送值(或傳送距離)而旋轉。旋轉編碼器25與鏈輪24的軸相連。也就是說，它檢測鏈輪24的旋轉值，即TCP帶X的傳送距離(或傳送值)。檢測到的鏈輪24的旋轉值傳送給控制單元27。
在控制單元27的控制下，電動機23A由電動機驅動器26A所驅動，電動機23B由電動機驅動器26B所驅動。也就是說，控制單元27在傳送值檢測元件所檢測到的TCP帶X的傳送值的基礎上控制電動機驅動器26A和26B，使得TCP1在與測針9相對的位置處停止(見圖1)。
接著將詳細地介紹TCP處理器的整體操作。第二實施例的TCP處理器不採用第一實施例的TCP處理器中採用的鏈輪傳動器4和5來傳送TCP帶X。換句話說，第二實施例的TCP處理器通過滾輪22A和22B傳送TCP帶X，滾輪22A和22B壓在TCP帶X上，並將其緊密地夾在中間，並通過電動機驅動器26A和26B帶動旋轉。也就是說，TCP帶X與滾輪22A和22B相接觸，並且在壓力下夾在滾輪22A和22B中間，通過TCP帶X指定表面區域上的摩擦，產生了TCP帶X的傳送力。因此，TCP帶X響應於滾輪22A和22B產生的傳送力而沿其縱向傳送。當在傳送過程中鏈輪傳動器的凸齒與TCP帶X的齒孔1e順序地接合時，齒孔1e的損壞可能引起TCP帶X的損壞。
本實施例獨特地通過夾緊在滾輪22A和22B之間的TCP帶X上產生的摩擦力來傳送TCP帶X。然而，由於在TCP帶X和滾輪22A，22B之間可能發生一些「滑動」，因此在滾輪22A，22B的旋轉值和TCP帶X的傳送值之間可能會發生一些錯誤。
為了消除上述錯誤，控制單元27在傳送值檢測元件所檢測到的傳送值，即代表TCP帶X傳送距離的物理值的基礎上對電動機驅動器26A和26B進行反饋控制，也就是說，控制單元27控制電動機驅動器26A和26B，使得傳送值變得正常地穩定，或者傳送值通常與指定的目標值相匹配。因此，第二實施例的TCP處理器可以順序和間歇地傳送TCP帶X，同時保證測試片1b和測針9之間建立所需的定位精度。通過簡單地採用上述反饋控制，本發明可以顯著地減少測試片1b和測針9之間不希望發生的定位精度降低。
由於在不脫離本發明的精神和核心特徵的前提下本發明可以幾種形式進行，因此本實施例只是說明性的而不是限制性的。本發明的範圍由所附的權利要求而不是由上述的介紹限定。因此，權利要求包括了在權利要求的範圍或等效物內進行的所有變化。
權利要求
1.一種載帶封裝(TCP)處理器，其可以順序和間歇地傳送TCP帶(X)，使多個所述載帶封裝(1)對準，可使各所述載帶封裝的測試片(1b)暫時地停止，並與和半導體集成電路測試裝置相連的測針(9)相接觸，所述TCP處理器包括傳送元件(4，5)，可順序和間歇地傳送所述TCP帶，並可暫時停止所述TCP帶的各所述載帶封裝，並使其位於與所述測針相對的位置；加壓元件(2，3，6)，可向下壓所述TCP帶的載帶封裝，使得所述TCP的測試片分別與所述測針相接觸；圖像拍攝裝置(10)，其固定在指定位置，可以拍攝所述載帶封裝的圖像；和位置調節元件(7，11，12)，可以調節所述載帶封裝的定位，使得所述載帶封裝的拍攝圖像(G1)與基準圖像(G2)相匹配，所述基準圖像代表了其測試片與所述測針相接觸以進行測試的所述載帶封裝的標準定位。
2.如權利要求1所述的TCP處理器，其特徵在於，所述位置調節元件包括圖像處理單元(11)，用於在所述拍攝圖像和基準圖像之間進行圖形匹配，從而生成代表圖形匹配度的偏差信號，控制單元(2)，可根據所述偏差信號生成驅動信號，和X-Y運動機構(7)，可在所述驅動信號的基礎上相對所述測針調節所述載帶封裝的兩維定位。
3.如權利要求1所述的TCP處理器，其特徵在於，所述基準圖像是TCP帶的相對所述測針精確定位的第一載帶封裝的拍攝圖像，其預先存儲在所述圖像處理單元內。
4.如權利要求1所述的TCP處理器，其特徵在於，所述圖像拍攝裝置相對至少一條引線(1d)拍攝圖像，所述引線將半導體晶片(1c)和所述載帶封裝上的所述測試片相互連接。
5.如權利要求1所述的TCP處理器，其特徵在於，所述圖像拍攝裝置包括CCD照相機和用於照明的光源。
6.如權利要求1所述的TCP處理器，其特徵在於，所述傳送元件包括輸入側鏈輪傳送器(4)和輸出側鏈輪傳送器(5)，所述TCP帶在它們之間順序和間歇地向前傳送。
7.如權利要求6所述的TCP處理器，其特徵在於，當所述傳送元件傳送和暫時停止所述TCP帶，使得所述載帶封裝在所述加壓元件被觸發前停止於相對所述測針的位置上時，所述輸入側鏈輪傳送器稍微向後旋轉，從而對所述TCP帶施加反張力。
8.如權利要求1所述的TCP處理器，其特徵在於，所述加壓元件包括夾子(3)，其位於向前傳送的所述TCP帶的下方，第一推動器(2)，其通常位於向前傳送的所述TCP帶的上方，當所述TCP帶的載帶封裝暫時停止於相對所述測針的位置上時，所述第一推動器下降，從而和所述夾子一起夾緊所述TCP帶的端部，第二推動器(3)，其可以在所述第一推動器操作後朝所述測針下壓所述載帶封裝。
9.如權利要求1所述的TCP處理器，其特徵在於，一旦所述位置調節元件完成了所述TCP帶的第一載帶封裝的定位調節，所述位置調節元件被釋放，而當至少一對所述測試片和測針發生連接錯誤時，所述位置調節元件再次激活。
10.如權利要求1所述的TCP處理器，其特徵在於，一旦所述位置調節元件完成了所述TCP帶的第一載帶封裝的定位調節，所述位置調節元件被順序測試的指定數目所述載帶封裝周期性地激活。
11.一種TCP處理器的定位方法，所述TCP處理器可以順序和間歇地傳送TCP帶(X)，使多個所述載帶封裝(1)對準，可使各所述載帶封裝的測試片(1b)暫時停止，並與和半導體集成電路測試裝置相連的測針(9)相接觸，所述方法包括步驟通過固定在指定位置上的圖像拍攝裝置來拍攝所述載帶封裝的圖像；和調節停止的所述載帶封裝相對於所述測針的定位，使得拍攝圖像(G1)與基準圖像(G2)相匹配，所述基準圖像代表了其測試片與測針相接觸以進行測試的所述載帶封裝的標準定位。
12.如權利要求11所述的TCP處理器的定位方法，其特徵在於，根據所述拍攝圖像和基準圖像進行圖形匹配處理。
13.如權利要求11所述的TCP處理器的定位方法，其特徵在於，以兩維方式調節所述載帶封裝相對於所述測針的定位。
14.如權利要求11所述的TCP處理器的定位方法，其特徵在於，所述基準圖像是TCP帶上相對於所述測針精確地定位的第一載帶封裝的拍攝圖像，其已預先存儲。
15.如權利要求11所述的TCP處理器的定位方法，其特徵在於，所述拍攝圖像相對至少一條引線(1d)產生，所述引線將半導體晶片(1c)和所述載帶封裝上的所述測試片相互連接。
16.如權利要求11所述的TCP處理器的定位方法，其特徵在於，所述方法還包括步驟當所述載帶封裝相對於所述測針停止時，對所述TCP帶施加反張力。
17.如權利要求11所述的TCP處理器的定位方法，其特徵在於，所述方法還包括步驟當所述載帶封裝相對於所述測針停止時，夾緊TCP帶靠近所述測針的端部；和朝所述測針壓下所述載帶封裝。
18.如權利要求11所述的TCP處理器的定位方法，其特徵在於，在所述TCP帶的第一載帶封裝的定位調節完成後，所述位置調節元件被釋放，而當至少一對所述測試片和測針發生連接錯誤時，所述位置調節元件再次激活。
19.如權利要求11所述的TCP處理器，其特徵在於，在所述TCP帶的第一載帶封裝的定位調節完成後，所述位置調節元件被順序測試的指定數目所述載帶封裝周期性地激活。
20.一種載帶封裝(TCP)處理器，其可以順序和間歇地傳送TCP帶(X)，使多個所述載帶封裝(1)對準，可使各所述載帶封裝的測試片(1b)暫時停止，並與和半導體集成電路測試裝置相連的測針(9)相接觸，所述TCP處理器包括傳送元件(22A，22B，23A，23B，26A，26B)，通過旋轉將所述TCP帶夾在中間的一對滾輪(22A，22B)，可順序和間歇地傳送所述TCP帶；傳送值檢測元件(4，5)，可檢測代表沿其縱向方向傳送的TCP的傳送距離的傳送值；和控制元件(27)，可根據所述傳送值控制所述TCP帶的順序和間歇性傳送，使得所述TCP帶的載帶封裝精確地停止在與所述測針相對的位置。
21.如權利要求20所述的TCP處理器，其特徵在於，所述傳送元件包括將所述TCP帶夾在中間的一對滾輪(22A，22B)和它們的旋轉驅動元件(23A，23B，26A，26B)，所述旋轉驅動元件在所述控制元件的控制下驅動所述滾輪旋轉。
22.如權利要求21所述的TCP處理器，其特徵在於，所述旋轉驅動元件包括一對分別使所述滾輪旋轉的電動機(23A，23B)，以及一對分別使所述電動機旋轉的電動機驅動器(26A，26B)。
23.如權利要求20所述的TCP處理器，其特徵在於，所述滾輪為橡膠滾輪。
24.如權利要求20所述的TCP處理器，其特徵在於，所述傳送值檢測元件包括鏈輪(24)，其凸齒在傳送過程中與所述TCP帶的齒孔(1e)順序地相接合，所述傳送值檢測元件還包括旋轉編碼器(25)，其與所述鏈輪的軸相連，檢測所述軸的旋轉作為所述傳送值。
全文摘要
TCP處理器傳送TCP帶(X),將多個TCP(1)在薄膜襯底上對準,使得各TCP的測試片相對於測針(9)精確地定位,以便用於半導體集成電路測試。這裡,鏈輪(4,5)可實現TCP帶沿其縱向方向傳送;然後,TCP帶暫時停止,使得TCP被夾緊且朝測針下降。CCD照相機(10)拍攝TCP的圖像(G1),並將其與基準圖像(G2)比較,從而對TCP相對測針的定位進行兩維的精確調節。或者,TCP帶通過一對滾輪在滾輪間產生的摩擦來傳送TCP帶。根據TCP帶的傳送值對滾輪的旋轉進行反饋控制。因此,可以保證測針和載帶封裝的測試片之間具有所需精度的定位,而不會使TCP帶變形或損壞。
文檔編號B65G49/07GK1378261SQ02108530
公開日2002年11月6日 申請日期2002年3月27日 優先權日2001年3月27日
發明者牧下裕之, 新村年弘 申請人:安藤電氣株式會社