V型手臂校正工具的製作方法
2023-10-09 17:59:44
專利名稱：V型手臂校正工具的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種半導體製作領域，尤其涉及一種V型手臂的輔助工具。
背景技術：
在半導體製作領域中，通常使用V型手臂對晶圓進行運輸，V型手臂通常包括第一手臂與第二手臂，兩個手臂一端的位置共同固定，另一端圍繞固定端做旋轉運動，從而完成對晶圓的傳輸。V型手臂是傳送系統中非常重要的一個環節，它的主要作用是和阻隔室配合將晶圓從大氣中傳送進入高真空的阻隔室，位置不能偏離阻隔室的槽。目前V型手臂的正確位置是通過阻隔室的上下反覆運動，由工程師觀察晶圓在阻隔室中是否有偏離，如果有，則需要重新設定V型馬達參數，然後再重複上面的操作。這樣費時、費力，還不準確。
實用新型內容本實用新型要解決的技術問題是提供一種能夠更方便快捷地確定V型手臂和阻隔室的相對位置的工具。為解決這一技術問題，本實用新型提供了一種V型手臂校正工具，用於協助調整V型手臂移動到阻隔室的環形載入槽上方正確位置，設於V型手臂的類橢圓形洞中，所述V型手臂校正工具包括固定部和延伸部，所述延伸部的一端與所述固定部的一端垂直連接，所述延伸部的另一端設有一個檢測孔，所述固定部可拆卸式安裝於所述V型手臂上，當V型手臂移動到阻隔室的環形載入槽上方正確位置時，所述檢測孔對準位於阻隔室內的晶圓感應器的位置。所述固定部通過設在V型手臂上的類橢圓形洞與所述V型手臂連接，所述固定部的橫截面形狀與所述類橢圓形洞相同。所述固定部的橫截面包括兩個互相對稱的第一半圓形和第二半圓形，以及一個矩形，所述第一半圓形和第二半圓形分別設置於所述矩形的長度方向的兩端，所述第一半圓形和第二半圓形的直徑等於所述矩形的寬度，所述第一半圓形和第二半圓形的直徑邊與所述矩形的短邊相接。所述第二半圓形的圓心到檢測孔圓心的距離與阻隔室的環形載入槽的圓心到晶圓感應器的圓心的距離相同。所述檢測孔的圓心與所述第二半圓形的圓心的連接線垂直於所述固定部，所述檢測孔的圓心與所述第二半圓形的圓心的連接線與所述延伸部的縱向中心線重合。所述固定部上與類橢圓形洞連接處比所述延伸部厚。所述檢測孔的尺寸與晶圓感應器相匹配。所述V型手臂校正工具為一體成型的部件。所述延伸部的厚度為4毫米，所述固定部的厚度為8毫米，所述檢測孔的直徑為4毫米。[0014]本實用新型將V型手臂校正工具的固定部安置在V型手臂的類橢圓形洞中，同時根據阻隔室的環形載入槽與晶圓感應器的形狀和位置，在延伸部上設置檢測孔，進而通過一個標準尺寸的V型手臂校正工具實現更方便快捷地確定V型手臂和阻隔室的相對位置。
圖1是本實用新型一實施例的V型手臂和阻隔室的局部結構示意圖；圖2是本實用新型一實施例的V型手臂校正工具的俯視結構示意圖；圖3是本實用新型一實施例的V型手臂校正工具的側視結構示意圖；圖4是本實用新型一實施例的V型手臂校正工具的使用狀態機構示意圖；圖中，101—V型手臂；102—類橢圓形洞；103—環形載入槽；104—晶圓感應器；201—延伸部；202—固定部；203—檢測孔；204—第一半圓形；205—平行直線；206—第二半圓形。
具體實施方式
以下將結合各附圖對本實用新型所提供的V型手臂校正工具進行比較詳細的介紹。本實施例提供了ー種V型手臂校正工具，設於V型手臂的類橢圓形洞102中，請參考圖1，所述類橢圓形洞102包括兩個互相對稱第一半圓結構與第二半圓結構，以及ー個矩形結構，所述矩形結構設在兩個半圓形結構之間，分別與所述的兩個半圓形結構的開ロ端連接。請參考圖2和圖4，本實施例提供的V型手臂校正工具，用於協助調整V型手臂移動到阻隔室的環形載入槽103上方正確位置，設於V型手臂的類橢圓形洞102中，所述V型手臂校正工具包括固定部202和延伸部201，所述延伸部201的一端與所述固定部202的一端垂直連接，所述延伸部201的另一端設有ー個檢測孔203，所述固定部202可拆卸式安裝於所述V型手臂上，當V型手臂移動到阻隔室的環形載入槽103上方正確位置時，所述檢測孔203對準位於阻隔室內的晶圓感應器104的位置。本實用新型將V型手臂校正工具的固定部202安置在V型手臂的類橢圓形洞102中，同時根據阻隔室的環形載入槽103與晶圓感應器104的形狀和位置，在延伸部201上設置檢測孔203，進而通過ー個標準尺寸的V型手臂校正工具實現更方便快捷地確定V型手臂和阻隔室的相對位置。所述固定部202通過設在V型手臂上的類橢圓形洞102與所述V型手臂連接，所述固定部202的橫截面形狀與所述類橢圓形洞102相同。從而能夠保證固定部202能夠被安置在類橢圓形洞102中而不至於發生移動。請參考圖2和圖4，所述固定部202的橫截面包括兩個互相対稱的半圓形(即第一半圓形204和第二半圓形205)和ー個矩形，所述第一半圓形204和第二半圓形205分別設置於所述矩形的長度方向的兩端，所述第一半圓形204和第二半圓形205的直徑等於所述矩形的寬度，所述第一半圓形204和第二半圓形205的直徑邊與所述矩形的短邊相接。所述第二半圓形205的圓心到檢測孔203圓心的距離與阻隔室的環形載入槽103的圓心到晶圓感應器104的圓心的距離相同。[0027]請參考圖1，並結合圖2至圖4，本實施例提供的V型手臂校正工具為根據現有的阻隔室而定製，所述阻隔室至少包括環形載入槽103與晶圓感應器104，由於第二半圓形206的圓心到檢測孔203的圓心的距離與環形載入槽103的圓心到晶圓感應器104的圓心的距離相同，並通過實驗驗證，當第二半圓形206的圓心與檢測孔203分別和環形載入槽103的圓心與晶圓感應器104的圓心在水平面投影重合時，恰好能夠使得晶圓正確載入到環形載入槽103中。所述檢測孔203的圓心與所述第二半圓形206的圓心的連接線垂直於所述固定部202，所述檢測孔203的圓心與所述第二半圓形206的圓心的連接線與所述延伸部201的縱向中心線重合。進而保證了當V型手臂移動到正確位置時，檢測孔203與晶圓感應器104在水平面上的投影重合，同時，第二半圓形206的圓心與環形載入槽103的圓心在水平面上的投影重合。所述固定部202上與類橢圓形洞102連接處比所述延伸部厚，以便於將固定部202固定安置在所述類橢圓形洞102中。請參考圖3，固定部202與延伸部201的上表面持平，固定部202的下表面比延伸部201的下表面低，即固定部202比延伸部201厚。從而通過將固定部202底部比延伸部201厚的部分放入橢圓形洞102中，固定所述固定部202的位置，進而固定本實施例提供的V型手臂校正工具的位置。。所述檢測孔203的尺寸與晶圓感應器104相匹配。進而使得當檢測孔203與晶圓感應器104在水平面的投影重合時，晶圓感應器203檢測到檢測孔203時將其視為晶圓感應器203未被擋住。所述V型手臂校正工具為一體成型的部件。最佳地保證了裝置的穩定性和使用壽命O在本實施例中，所述延伸部的厚度為4毫米，所述固定部的厚度為8毫米，所述檢測孔的直徑為4毫米。請參考各附圖，在使用本實施例提供的V型手臂校正工具時，只需將固定部202放置到類橢圓形洞102中，將延伸部201安置在設有晶圓感應器104的一側。在實際使用過程中，V型手臂的水平移動是通過若干次點擊計算機操作界面中的「jog」，從而控制V型手臂的水平移動的，即點擊一次「jog」 V型手臂進行一定距離的水平移動，本實施例通過多次點擊「jog」來實現V型手臂位置的移動，由於V型手臂校正工具的存在，只需將V型手臂水平移動，即可通過判斷晶圓感應器104與檢測孔203在水平面的投影是否重合來確定V型手臂是否到達了標準的位置，而不需要將阻隔室進行上下的移動通過經驗和嘗試來判斷移動的位置是否正確。晶圓感應器104設在阻隔室中，且位置是固定的，即環形載入槽103、晶圓感應器104的水平位置均是固定不變的，所述晶圓感應器104能夠感應其豎直方向的上方是否被擋住，進而即時給出指示信號，在具體操作過程中，首先通過點擊計算機操作界面中的「jog」來移動V型手臂101，參考圖1和圖4，V型手臂101向左移動，直至晶圓感應器104掠過檢測孔203後完全被延伸部201擋住，然後往反方向移動V型手臂101，即向右移動，檢測孔203和晶圓感應器104之間的關係會從晶圓感應器104完全被延伸部201擋住，發展為檢測孔203和晶圓感應器104水平面上投影部分重合，而同時晶圓感應器104部分被延伸部201擋住，再到檢測孔203與晶圓感應器104在水平面上投影全部重合，即晶圓感應器104完全未被擋住，繼而隨著V型手臂向右的移動，晶圓感應器104與檢測孔203的水平投影的關係從全部重合到部分重合，最後晶圓感應器104再次被延伸部201完全擋住，記下這ー過程中點擊「jog」的次數N，此時反向移動V型手臂，但只點擊N/2次「 jog」，即可使得晶圓感應器104與檢測孔203在水平面上的投影充分重合。本實施例僅重複一次這樣的過程，也可以進行多次重複，進而使得其位置更準確。 綜上所述，本實用新型將V型手臂校正工具的固定部安置在V型手臂的類橢圓形洞中，同時根據阻隔室的環形載入槽與晶圓感應器的形狀和位置，在延伸部上設置檢測孔，進而通過ー個標準尺寸的V型手臂校正工具實現更方便快捷地確定V型手臂和阻隔室的相對位置。
權利要求1.ー種V型手臂校正工具，用於協助調整V型手臂移動到阻隔室的環形載入槽上方正確位置，設於V型手臂的類橢圓形洞中，其特徵在於:所述V型手臂校正工具包括固定部和延伸部，所述延伸部的一端與所述固定部的一端垂直連接，所述延伸部的另一端設有ー個檢測孔，所述固定部可拆卸式安裝於所述V型手臂上，當V型手臂移動到阻隔室的環形載入槽上方正確位置時，所述檢測孔對準位於阻隔室內的晶圓感應器的位置。
2.如權利要求1所述的V型手臂校正工具，其特徵在於:所述固定部通過設在V型手臂上的類橢圓形洞與所述V型手臂連接，所述固定部的橫截面形狀與所述類橢圓形洞相同。
3.如權利要求2所述的V型手臂校正工具，其特徵在於:所述固定部的橫截面包括兩個互相対稱的第一半圓形和第二半圓形，以及ー個矩形，所述第一半圓形和第二半圓形分別設置於所述矩形的長度方向的兩端，所述第一半圓形和第二半圓形的直徑等於所述矩形的寬度，所述第一半圓形和第二半圓形的直徑邊與所述矩形的短邊相接。
4.如權利要求3所述的V型手臂校正工具，其特徵在於:所述第二半圓形的圓心到檢測孔圓心的距離與阻隔室的環形載入槽的圓心到晶圓感應器的圓心的距離相同。
5.如權利要求3所述的V型手臂校正工具，其特徵在於:所述檢測孔的圓心與所述第ニ半圓形的圓心的連接線垂直於所述固定部，所述檢測孔的圓心與所述第二半圓形的圓心的連接線與所述延伸部的縱向中心線重合。
6.如權利要求2所述的V型手臂校正工具，其特徵在於:所述固定部上與類橢圓形洞連接處比所述延伸部厚。
7.如權利要求1所述的V型手臂校正工具，其特徵在於:所述檢測孔的尺寸與晶圓感應器相匹配。
8.如權利要求1所述的V型手臂校正工具，其特徵在於:所述V型手臂校正工具為ー體成型的部件。
9.如權利要求1至8任意之一所述的V型手臂校正工具，其特徵在於:所述延伸部的厚度為4毫米，所述固定部的厚度為8毫米，所述檢測孔的直徑為4毫米。
專利摘要本實用新型提供了一種V型手臂校正工具，用於協助調整V型手臂移動到阻隔室的環形載入槽上方正確位置，設於V型手臂的類橢圓形洞中，其特徵在於所述V型手臂校正工具包括固定部和延伸部，所述延伸部的一端與所述固定部的一端垂直連接，所述延伸部的另一端設有一個檢測孔，所述固定部可拆卸式安裝於所述V型手臂上，當V型手臂移動到阻隔室的環形載入槽上方正確位置時，所述檢測孔對準位於阻隔室內的晶圓感應器的位置。本實用新型將V型手臂校正工具的固定部安置在V型手臂的類橢圓形洞中，同時通過一個標準尺寸的V型手臂校正工具實現更方便快捷地確定V型手臂和阻隔室的相對位置。
文檔編號H01L21/677GK202957222SQ20122052060
公開日2013年5月29日 申請日期2012年10月11日 優先權日2012年10月11日
發明者陳中林, 劉群超, 陳曉, 單易飛 申請人:中芯國際集成電路製造(北京)有限公司