噴出量修正方法、功能液噴出方法、有機el裝置製造方法

2023-09-27 06:29:55 3

噴出量修正方法、功能液噴出方法、有機el 裝置製造方法
【專利摘要】本發明涉及噴出量修正方法、功能液噴出方法、有機EL裝置製造方法。所述噴嘴噴出量修正方法包含根據通過多次的主掃描將液滴D從選擇出的噴嘴（52）噴出至噴出區域A的情況下的規定量B與預先設定的規定量A的差C，計算多個驅動信號的各個的修正量並進行第一信號修正的第一修正步驟；根據在液滴D的噴出數最多的前段的主掃描使用進行了第一信號修正的多個驅動信號，在後段的主掃描使用修正前的驅動信號將液滴D噴出至噴出區域A的情況下的規定量D和上述規定量A的差E，計算與後段的主掃描對應的修正前的多個驅動信號的修正量並進行第二信號修正的第二修正步驟；以及與剩餘的主掃描次數對應地分階段地進行第二修正步驟的步驟。
【專利說明】噴出量修正方法、功能液噴出方法、有機EL裝置製造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及從噴頭的噴嘴噴出的功能液的噴嘴噴出量修正方法、使用了該噴嘴噴出量的修正方法的功能液噴出方法、有機電致發光(EL !Electroluminescence)裝置的製造方法。
【背景技術】
[0002]以往，已知一種從噴墨頭的噴嘴將包含功能性材料的液體以液滴的形式噴出來形成薄膜的液滴噴出法(噴墨法)。通過液滴噴出法形成的薄膜的代表例是彩色濾光片、有機EL面板的發光層。
[0003]噴墨頭具有:存積液體的多個腔、與該腔連通且在一個方向上配列的多個噴嘴、以及對各腔內的液體進行加壓的多個致動器(例如，壓電元件、電阻加熱元件等)。[0004]噴墨頭輸入與基於描繪數據而被選擇的致動器共用的驅動信號，來使液體的液滴從與各致動器對應的噴嘴噴出。在噴墨法中，通過使液體以液滴的形式從噴墨頭的噴嘴朝向基板噴出，使著落在基板上的液滴乾燥從而形成薄膜。
[0005]隨著描繪對象的高精細化，期待灰度表現良好的描繪的噴墨法，例如專利文獻I公開了作為能夠進行灰度表現良好的描繪的噴墨頭的液滴噴頭的驅動方法。
[0006]根據上述專利文獻I的液滴噴頭的驅動方法，基於描繪數據而被選擇的噴嘴被施加與在致動器中設定的等級對應的多個不同的驅動信號，能夠使噴出的液滴的平均重量成為預先規定的規定重量。因此，能夠通過按等級生成的驅動信號的組合，來按噴嘴較正噴出至對象物上的液體(液滴)的總重量，能夠使將液體乾燥得到的薄膜的膜厚均勻性提高。並且，記載了與利用單一的驅動信號噴出液滴的情況相比，能夠在上述平均重量的調整時使其精度提高與組合不同的驅動信號對應的量，並且能夠使其自由度擴展。
[0007]另一方面，在上述專利文獻I所記載的對多個液滴的平均重量劃分等級的液滴噴頭的驅動方法中，由於局限於分等級的灰度，所以難以充分地修正液滴的重量偏差。
[0008]在液滴的重量偏差的修正未被充分完成的情況下，重量較大的液滴，或者重量較小的液滴沿基板的掃描方向連續。因此，即使重量較大的液滴和重量較小的液滴的重量差微小，也會產生彩色濾光片、有機EL面板的發光層等薄膜的膜厚差，在電光裝置的顯示中，該膜厚差被以較高的靈敏度反映，所以存在使畫質降低這樣的課題。
[0009]作為改善這樣的課題的方法，專利文獻2公開了噴嘴噴出量的修正方法。上述專利文獻2的噴嘴噴出量的修正方法包括:第一步驟，在該第一步驟中，根據未按每個噴嘴進行液滴的重量的修正的情況下的噴出至噴出區域的所有液滴的重量的合計值A與預先設定的規定量B的差，以修正後的第一噴嘴列單位或者噴出單位或者掃描單位的液滴的重量、和噴出至相同的噴出區域的第一以外的噴嘴列單位或者噴出單位或者掃描單位的液滴的重量的合計值C成為規定量B的方式，按每個噴嘴進行第一噴嘴列單位或者噴出單位或者掃描單位的修正計算；以及第二步驟，在該第二步驟中，根據在第一步驟中修正的噴出至噴出區域的計算上的所有液滴的重量的合計值D與規定量B的差，以修正後的第一噴嘴列單位或者噴出單位或者掃描單位的液滴的重量、和噴出至相同的噴出區域的修正後的第二噴嘴列單位或者噴出單位或者掃描單位的液滴的重量、和噴出至相同的噴出區域的第一、第二以外的噴嘴列單位或者噴出單位或者掃描單位的液滴的重量的合計值E成為規定量B的方式按每個噴嘴進行第二噴嘴列單位或者噴出單位或者掃描單位的修正計算，分階段地進行噴嘴列單位或者噴出單位或者掃描單位的個數的量的修正量計算。
[0010]根據上述專利文獻2，以在一個噴嘴列單位或者噴出單位或者掃描單位使噴出區域的所有液滴的重量的合計值A、C成為規定量B的方式進行修正，所以能夠與將液滴噴出至噴出區域的噴嘴列單位或者噴出單位或者掃描單位的個數對應地通過累乘增加修正灰度。由此能夠充分地進行按每個噴嘴噴出的液滴的重量偏差的修正，能夠使使用多個噴嘴形成在噴出區域上的薄膜的膜厚均勻化。
[0011]專利文獻1:日本特開2008 - 136927號公報
[0012]專利文獻2:日本特開2012 - 209216號公報
[0013]然而，修正按噴嘴施加給致動器的驅動信號的情況下，若優先針對噴出區域的液滴的噴出數比其他的掃描少的掃描來修正上述驅動信號，則存在偏離適當的修正範圍的問題。
[0014]具體而言，在噴出數較少的掃描中，與其他的掃描相比，噴出至噴出區域的液體的總重量相對較少，若對該總重量優先進行修正，則例如，存在在偏離了表示施加給致動器的驅動信號的設定與從具有該致動器的噴嘴噴出的液滴的重量的關係的標準曲線的適當的範圍的狀態下進行修正這樣的課題。

【發明內容】

[0015]本發明是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，能夠以以下的方式或者應用例來實現。
[0016]應用例I
[0017]本應用例所涉及的噴嘴噴出量的修正方法的特徵在於，是使多個噴嘴與形成有噴出區域的被噴出物對置配置，並在使上述多個噴嘴和上述被噴出物相對移動的多次主掃描期間，將多個驅動信號中的一個驅動信號供給至上述多個噴嘴中的選擇出的噴嘴的致動器，並按上述多個噴嘴修正將預先設定的規定量A的功能液以液滴的形式噴出至上述噴出區域時的上述液滴的噴出量的噴嘴噴出量的修正方法，該修正方法包括:根據使用上述多個驅動信號並通過上述多次主掃描來將上述液滴從上述選擇出的噴嘴噴出至上述噴出區域的情況下的規定量B與上述規定量A的差C，計算上述多個驅動信號的每一個驅動信號的修正量來進行第一信號修正的第一修正步驟；根據在上述多次主掃描中的前段主掃描使用進行了上述第一信號修正後的上述多個驅動信號，並在後段主掃描中使用修正前的上述多個驅動信號來將上述液滴從上述選擇出的噴嘴噴出至上述噴出區域的情況下的規定量D與上述規定量A的差E，計算與上述後段主掃描對應的上述修正前的上述多個驅動信號的每個驅動信號的修正量來進行第二信號修正的第二修正步驟；以及根據上述多次主掃描的剩餘的次數，分階段地進行上述第二修正步驟的步驟，將上述多次主掃描中的噴出至上述噴出區域的上述液滴的噴出數最多的主掃描作為上述前段主掃描。
[0018]根據本應用例，施加給按多次主掃描的每一個而被選擇的噴嘴的致動器的驅動信號根據主掃描的次數而被依次修正，並且，將噴出到噴出區域的液滴的噴出數最多的主掃描作為前段主掃描進行第二修正步驟。
[0019]因此，與優先液滴的噴出數與其他的主掃描相比少的主掃描來進行第二修正步驟的情況相比，修正用於將液滴從噴嘴噴出的驅動信號的修正量變小。換句話說，驅動信號的修正負荷較少，因此能夠按主掃描進行在液滴的噴出量涉及的標準曲線的適當的範圍內的修正。因此，能夠提供能夠使規定量的功能液以液滴的形式高精度地從選擇出的噴嘴噴出的噴嘴噴出量的修正方法。
[0020]應用例2
[0021]在上述應用例所涉及的噴嘴噴出量的修正方法中，優選對同一上述噴出區域，在上述多次主掃描中的至少一次主掃描中選擇出的噴嘴與在其餘主掃描中選擇出的噴嘴不同。
[0022]根據該方法，能夠進行考慮了多個噴嘴的噴出特性的噴嘴分散型的噴嘴噴出量的修正。
[0023]應用例3
[0024]在上述應用例所涉及的噴嘴噴出量的修正方法中，優選對同一上述噴出區域，按上述多次主掃描的每一個選擇不同的噴嘴。
[0025]根據該方法，考慮多個噴嘴的噴出特性，能夠進行更可靠的噴嘴分散型的噴嘴噴出量的修正。
[0026]應用例4
[0027]在上述應用例所涉及的噴嘴噴出量的修正方法中，其特徵在於，上述致動器是壓電元件，上述多個驅動信號的修正是修正上述多個驅動信號的波形的電位。
[0028]根據該方法，通過修正驅動信號的波形的電位，控制作為致動器的壓電元件的驅動，能夠高精度地修正從噴嘴噴出的液滴的噴出量。
[0029]應用例5
[0030]本應用例所涉及的功能液的噴出方法的特徵在於，是使多個噴嘴與形成有噴出區域的被噴出物對置配置，在使上述多個噴嘴與上述被噴出物相對移動的多次主掃描期間，將多個驅動信號中的一個驅動信號供給至上述多個噴嘴中的選擇出的噴嘴的致動器，來將規定量的功能液以液滴的形式從上述選擇出的噴嘴噴出至上述噴出區域的功能液的噴出方法，該修正方法具有:使用上述應用例所記載的噴嘴噴出量的修正方法，按上述多次主掃描的每一個來進行上述多個驅動信號的信號修正的第一步驟；以及使用進行了信號修正後的上述多個驅動信號，在上述多次主掃描期間，將上述規定量的上述功能液以液滴的形式從上述選擇出的噴嘴噴出至上述噴出區域的第二步驟。
[0031]根據本應用例，能夠提供在多次主掃描期間，針對噴出區域從選擇出的噴嘴高精度地噴出規定量的功能液的功能液的噴出方法。
[0032]應用例6
[0033]在上述應用例所涉及的功能液的噴出方法中，優選在上述第二步驟中，將上述多次的主掃描中的針對上述噴出區域的液滴的噴出數最多的主掃描作為第一次的主掃描來實施。
[0034]根據該方法，在針對噴出區域的液滴的噴出數最多的最初的主掃描中，優先進行驅動信號的修正，因而與優先噴出數較少的主掃描進行驅動信號的修正的情況相比，能夠以較高的精度將規定量的功能液噴出至噴出區域。
[0035]應用例7
[0036]本應用例所涉及的有機EL裝置的製造方法的特徵在於，是具有在基板上的多個噴出區域的每一區域具有包含發光層的功能層的有機EL裝置的製造方法，該製造方法具備:使用上述應用例所記載的功能液的噴出方法，將規定量的上述功能液塗覆在各上述多個噴出區域的工序；和對塗覆的上述功能液進行固化，並在上述多個噴出區域的每一區域形成上述功能層中的一個有機層的工序。
[0037]根據本應用例，規定量的功能液被高精度地噴出至各多個噴出區域，因而能夠製造具備了具有膜厚不均、膜厚偏差較小的有機層的功能層的有機EL裝置。
[0038]應用例8
[0039]在上述應用例所涉及的有機EL裝置的製造方法中，其特徵在於，在塗覆上述功能液的工序中，塗覆包含發光層形成材料的上述功能液。
[0040]根據該方法，能夠高成品率地製造具有穩定的發光特性的有機EL裝置。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0041]圖1是表示噴出裝置的構成的示意立體圖。
[0042]圖2 Ca)是表示噴頭的構成的示意立體圖，圖2 (b)是表示噴嘴面中的多個噴嘴的配置狀態的俯視圖。
[0043]圖3是表示頭單元中的噴頭的配置的示意俯視圖。
[0044]圖4 (a)是表示著落面積測量機構的構成的示意立體圖，圖4 (b)是表示從主掃描方向觀察到的著落面積測量機構的各構成的配置的圖。
[0045]圖5是表示噴出裝置的控制系統的框圖。
[0046]圖6是表示噴頭的電控制的框圖。
[0047]圖7是驅動信號以及控制信號的時序圖。
[0048]圖8 (a)?(C)是表示功能液的著落面積的測量方法的示意剖視圖。
[0049]圖9是表示液滴的著落痕跡的照片。
[0050]圖10是表示功能液的噴出方法的一個例子的示意俯視圖。
[0051]圖11是表示比較例的噴嘴噴出量的修正方法中的第一修正步驟的功能液的填充量偏差和驅動信號的修正量的表。
[0052]圖12是表示比較例的噴嘴噴出量的修正方法中的第二修正步驟的功能液的填充量偏差和驅動信號的修正量的表。
[0053]圖13是表示比較例的噴嘴噴出量的修正方法中的第三修正步驟的功能液的填充量偏差和驅動信號的修正量的表。
[0054]圖14是表示比較例的噴嘴噴出量的修正方法中的第四修正步驟的功能液的填充量偏差和驅動信號的修正量的表。
[0055]圖15是表示比較例的噴嘴噴出量的修正方法中的最終的修正後的功能液的填充
量偏差的表。
[0056]圖16是表示實施例的噴嘴噴出量的修正方法中的第一修正步驟的功能液的填充量和驅動信號的修正量的表。
[0057]圖17是表示實施例的噴嘴噴出量的修正方法中的第二修正步驟的功能液的填充量和驅動信號的修正量的表。
[0058]圖18是表示實施例的噴嘴噴出量的修正方法中的第三修正步驟的功能液的填充量和驅動信號的修正量的表。
[0059]圖19是表示實施例的噴嘴噴出量的修正方法中的第四修正步驟的功能液的填充量和驅動信號的修正量的表。
[0060]圖20是表示實施例的噴嘴噴出量的修正方法中的最終的修正後的功能液的填充量的表。
[0061]圖21是表示比較例以及實施例的主掃描中的驅動信號的修正量和噴出區域中的功能液的填充量偏差的表。
[0062]圖22 Ca)是表示比較例的各噴出區域中的功能液的填充量偏差的圖，圖22 (b)是表示實施例的各噴出區域中的功能液的填充量偏差的圖。
[0063]圖23 (a)是表示比較例和實施例的主掃描中的驅動信號的修正量的圖，圖23 (b)是表示比較例和實施例的主掃描中的填充量偏差的圖。
[0064]圖24是表不有機EL裝直的不意王視圖。
[0065]圖25是有機EL裝置的主要部分示意剖視圖。
[0066]圖26是表示有機EL裝置的製造方法的流程圖。
[0067]圖27 (a)?(d)是表示有機EL裝置的製造方法的示意剖視圖。
[0068]圖28 (e)?(h)是表示有機EL裝置的製造方法的示意剖視圖。
【具體實施方式】
[0069]以下，根據附圖對將本發明具體化了的實施方式進行說明。應予說明，適當地放大或者縮小顯示使用的附圖，以成為能夠識別說明的部分的狀態。
[0070]此外，在以下的方式中，記載為「在基板上」的情況，表示以接觸的方式配置在基板上的情況，或者經由其他的構成物配置在基板上的情況，或者一部分以接觸的方式配置在基板上的情況，一部分經由其他的構成物配置在基板上的情況。
[0071]第一實施方式
[0072]噴出裝置
[0073]首先，參照圖1?圖7對能夠將包含功能層形成材料的功能液以液滴的形成噴出至工件的噴出裝置進行說明。圖1是表示噴出裝置的構成的示意立體圖。
[0074]如圖1所示，噴出裝置10具備使作為被噴出物例如平板狀的工件W在作為第一方向的主掃描方向(Y軸方向)上移動的工件移動機構20、和使頭單兀9在與主掃描方向正交的作為第二方向的副掃描方向(X軸方向)上移動的頭移動機構30。
[0075]工件移動機構20具備一對導軌21、沿一對導軌21移動的移動臺22、和經由旋轉機構6配設在移動臺22上的載置工件W的工作檯5。
[0076]移動臺22通過設置於導軌21的內部的空氣滑塊和線性電機(圖示省略)在主掃描方向(Y軸方向)上移動。在移動臺22設置有作為時刻信號生成部的編碼器12 (參照圖5)。[0077]編碼器12隨著移動臺22沿主掃描方向(Y軸方向)的相對移動，讀取並設於導軌21的線性標尺(圖示省略)的刻度，生成作為時刻信號的編碼器脈衝。此外，編碼器12的設置並不局限於此，例如，也可以使移動臺22構成為沿旋轉軸在主掃描方向(Y軸方向)上相對移動，在設置了使旋轉軸旋轉的驅動部的情況下，也可以將編碼器12設置於驅動部。作為驅動部列舉有伺服電機等。
[0078]工作檯5能夠吸附及固定工件W，並且能夠通過旋轉機構6使工件W內的基準軸準確地對準主掃描方向(Y軸方向)、副掃描方向(X軸方向)。
[0079]另外，還能夠根據在工件W上被噴出功能液的噴出區域(也稱為膜形成區域)的配置，使工件W例如旋轉90°。
[0080]頭移動機構30具備一對導軌31、和沿一對導軌31移動的移動臺32。在移動臺32設置有經由旋轉機構7吊設的滑架8。
[0081]在滑架8安裝有頭單元9，該頭單元9在頭板9a搭載有多個噴頭50 (參照圖2)。
[0082]另外，設置有用於向噴頭50供給功能液的功能液供給機構(圖省略)、和用於進行多個噴頭50的電驅動控制的頭驅動器48 (參照圖5)。
[0083]移動臺32使滑架8在副掃描方向(X軸方向)上移動，並將頭單元9與工件W對置配置。
[0084]噴出裝置10除了上述構成外，還在面對多個噴頭50的位置處配設有維護機構，該維護機構進行搭載於頭單元9的多個噴頭50的噴嘴堵塞消除、噴嘴面的異物、汙垢的去除等維護。
[0085]另外，噴出裝置10具備:重量測量機構，其接受從噴頭50的多個噴嘴噴出的功能液，並測量噴出的功能液的重量；作為本實施方式的測量機構的著落面積測量機構60，其測量同樣地噴出的功能液的著落面積(參照圖5)。此外還具備統一控制這些構成的控制部40。此外,在圖1中，維護機構及重量測量機構以及著落面積測量機構60省略了圖示。
[0086]圖2 Ca)是表示噴頭的構成的示意立體圖，圖2 (b)是表示噴嘴面中的多個噴嘴的配置狀態的俯視圖。
[0087]如圖2 (a)所示，噴頭50是所謂的兩列式噴頭，具備具有兩列的連接針54的功能液的導入部53、層疊於導入部53的頭基板55、以及配置在頭基板55上且在內部形成有功能液的頭內流路的頭主體56。連接針54經由配管與上述的功能液供給機構(圖示省略)連接，來將功能液供給至頭內流路。在頭基板55設置有經由撓性扁平線纜(圖示省略)與頭驅動器48 (參照圖5)連接的兩列式的連接器58。
[0088]頭主體56具有由作為驅動單元(致動器)的壓電元件構成的具有腔的加壓部57、和在噴嘴面51a相互平行地形成有兩個噴嘴列52a、52b的噴嘴板51。
[0089]如圖2 (b)所示，兩個噴嘴列52a、52b被以多個(180個)噴嘴52分別以間距Pl大致等間隔地排列，且彼此錯開間距Pl的一半的間距P2的狀態配設於噴嘴面51a。在本實施方式中，間距Pl例如大概為141 μ m。由此，若從與由兩個噴嘴列52a、52b構成的噴嘴列52c正交的方向觀察，則成為360個噴嘴52以大概70.5 μ m的噴嘴間距配列的狀態。另夕卜，噴嘴52的直徑大致為27 μ m。
[0090]對噴頭50來說，若從頭驅動器48向壓電元件施加作為電信號的驅動信號，則引起加壓部57的腔的體積變動，在由此引起的抽吸作用下對填充於腔的功能液進行加壓，能夠將功能液以液滴的形式從噴嘴52噴出。
[0091]在噴頭50中按各噴嘴52設置的驅動單元(致動器)並不局限於壓電元件。也可以是通過靜電吸附使作為致動器的振動板位移的機電轉換元件、加熱功能液並使其以液滴的形式從噴嘴52噴出的電熱轉換元件。
[0092]圖3是表示頭單元中的噴頭的配置的示意俯視圖。詳細來說，是從與工件W對置的一側觀察到的圖。
[0093]如圖3所示，頭單元9具備配設有多個噴頭50的頭板9a。在頭板9a安裝有由三個噴頭50構成的頭組50A、和同樣由三個噴頭50構成的頭組50B的共計6個噴頭50。在本實施方式中，頭組50A的頭Rl (噴頭50)與頭組50B的頭R2 (噴頭50)噴出同種功能液。其他的頭Gl與頭G2、頭BI與頭B2中也同樣。即，成為能夠噴出三種不同的功能液的構成。
[0094]將一個噴頭50能夠描繪的描繪寬度設為L0，並將其設為噴嘴列52c的有效長度。以下，所謂的噴嘴列52c指由360個噴嘴52構成的噴嘴列。
[0095]頭Rl與頭R2被沿主掃描方向並列配置成從主掃描方向(Y軸方向)觀察，相鄰的噴嘴列52c在與主掃描方向正交的副掃描方向(X軸方向)上隔著一個噴嘴間距而連續。因此，噴出同種功能液的頭Rl與頭R2的有效描繪寬度LI為描繪寬度LO的兩倍。頭Gl與頭G2、頭BI與頭B2也同樣被沿主掃描方向(Y軸方向)並列配置。
[0096]此外，設置於噴頭50的噴嘴列52c並不局限於兩列式，也可以為單列式。另外，頭單元9中的噴頭50的配置並不局限於此。
[0097]接下來，參照圖4對著落面積測量機構進行說明。圖4 (a)是表示著落面積測量機構的構成的示意立體圖，圖4 (b)是表示從主掃描方向觀察到的著落面積測量機構的各構成的配置的圖。
[0098]如圖4 Ca)以及(b)所示，著落面積測量機構60由照明部61、攝像部62、圖像處理部63、顯不器64、移動臺65、以及載置於移動臺65的記錄用的介質160構成。
[0099]著落面積測量機構60使功能液以液滴的形式從上述的噴頭50的多個噴嘴52著落在介質160上，由攝像部62拍攝在介質160上產生的著落痕跡，並測量該著落痕跡的面積(著落面積)。
[0100]記錄用的介質160根據功能液而被選擇。在功能液包含著色材料的情況下,介質160例如使用不透明的記錄紙等。在功能液不包含著色材料幾乎透明的情況下，例如使用在表面形成有收容功能液的受容層的透明薄膜等。在本實施方式中，介質160使用後者的透明薄膜。
[0101]移動臺65與移動臺22 (參照圖1)同樣，能夠通過設置於一對導軌21的內部的空氣滑塊和線性電機(圖示省略)而在主掃描方向(Y軸方向)上移動。移動臺65也設置有作為時刻信號生成部的編碼器12 (參照圖5)。
[0102]在移動臺65上沿X軸方向延伸地配置有例如由透明的玻璃、塑料等構成的支承臺66。長條的介質160被纏繞在開卷棍68a和卷繞棍68b,長條的兩端被支承。在移動臺65上，開卷棍68a與卷繞棍68b分別被安裝在隔著支承臺66的設置於X軸方向的兩端側的軸承67上。由此,介質160在支承臺66上沿X軸方向被展開,介質160的背面側被支承臺66支承。
[0103]照明部61例如具備滷素燈、氙氣燈等光源、和使從光源發出的光向規定的方向聚光的聚光單元。聚光單元例如是反射板(鏡)、聚光透鏡。照明部61在X軸方向上被配置在一對導軌21之間，能夠朝向移動臺65照射來自光源的光。在面對照明部61的移動臺65的部分形成有貫通移動臺65的孔65a。透明的支承臺66以堵塞孔65a的方式配置在移動臺65上。換句話說，照明部61能夠經由移動臺65和支承臺66，從背面側對在支承臺66上展開的透明的介質160進行照明。
[0104]此外，也可以與如上述那樣使用例如不透明的記錄紙作為介質160的情況對應地具備從上方側對介質160進行照明的其他照明部。
[0105]攝像部62例如具備CXD等攝像元件，在照明部61的上方被配置在面對照明部61的位置處。攝像部62與圖像處理部63電連接。另外，圖像處理部63例如與液晶顯示裝置等顯示器64電連接。換句話說，能夠通過圖像處理部63對由攝像部62攝像到的圖像實施圖像處理，並且通過顯示器64不僅能夠確認拍攝到的原圖像，也能夠確認實施了圖像處理後的圖像。
[0106]接下來參照圖5對噴出裝置10的控制系統進行說明。圖5是表示噴出裝置的控制系統的框圖。如圖5所示，噴出裝置10的控制系統具備:驅動部46，其具有對噴頭50、工件移動機構20、頭移動機構30、著落面積測量機構60等進行驅動的各種驅動器；以及控制部40，其對驅動部46和噴出裝置10進行統一控制。
[0107]驅動部46具備分別對工件移動機構20以及頭移動機構30的各線性電機進行驅動控制的移動用驅動器47、對噴頭50進行驅動控制的頭驅動器48、以及對著落面積測量機構60進行驅動控制的著落面積測量用驅動器49。除此而外還具備對維護機構進行驅動控制的維護用驅動器、對重量測量機構進行驅動控制的重量測量用驅動器等，但省略它們的圖示。
[0108]控制部40具備CPU41、R0M42、RAM43、以及P — COM4，它們經由總線45相互連接。P - COM4與上位計算機11連接。R0M42具有存儲由CPU41處理的控制程序等的控制程序區域、以及存儲用於進行描繪動作、功能恢復處理等的控制數據等的控制數據區域。
[0109]RAM43具有存儲用於在工件W上進行描繪的描繪數據的描繪數據存儲部和存儲工件W以及噴頭50 (實際上是噴嘴列52c)的位置數據的位置數據存儲部等各種存儲部，作為用於控制處理的各種作業區域而被使用。P - COM4與驅動部46的各種驅動器等連接，在P - COM4中構成並組入有邏輯電路，該邏輯電路用於補充CPU41的功能，並且用於處理與外圍電路的接口信號。因此，P - COM4將來自上位計算機11的各種指令等直接或者進行加工後取入至總線45，並且與CPU41連動地將從CPU41等向總線45輸出的數據、控制信號直接或者進行加工後輸出給驅動部46。
[0110]而且，CPU41按照R0M42內的控制程序,經由P — COM4輸入各種檢測信號、各種指令、各種數據等，並在處理了 RAM43內的各種數據等後，經由P - COM4將各種控制信號輸出給驅動部46等，從而控制噴出裝置10整體。例如，CPU41控制噴頭50、工件移動機構20以及頭移動機構30，來使頭單元9與工件W對置配置。然後，向頭驅動器48發出控制信號，以便使功能液與頭單元9和工件W的相對移動同步地從安裝於頭單元9的各噴頭50的多個噴嘴52以液滴的形式向工件W噴出。在本實施方式中，將與工件W朝向Y軸方向的移動同步地噴出功能液稱為主掃描，相對於主掃描，將使頭單元9在X軸方向上的移動稱為副掃描。本實施方式的噴出裝置10通過組合主掃描與副掃描來多次反覆，能夠將功能液噴出至工件W。主掃描並不局限於工件W相對於噴頭50向單方向的移動，也能夠使工件W往復移動。
[0111]編碼器12與頭驅動器48電連接，隨著主掃描生成編碼器脈衝。在主掃描中，使移動臺22以規定的移動速度移動，因而編碼器脈衝周期性地產生。
[0112]例如，若將主掃描中的移動臺22的移動速度設為200mm / sec，將驅動噴頭50的驅動頻率(換句話說，連續噴出液滴的情況下的噴出時刻)設為20kHz，則主掃描方向上的液滴的噴出解析度通過將移動速度除以驅動頻率來獲得，因此為10 μ m。即，能夠將液滴以10 μ m的間距配置在工件W上。若將移動臺22的移動速度設為20mm / sec，則能夠將液滴以Iym的間距配置在工件W上。實際的液滴的噴出時刻基於對周期性地產生的編碼器脈衝進行計數而生成的鎖存信號。將這樣的主掃描中的工件W上的液滴的最小配置間距稱為噴出解析度。
[0113]上位計算機11將控制程序、控制數據等控制信息發送給噴出裝置10。另外，上位計算機11具有生成作為噴出控制數據的配置信息的配置信息生成部的功能，配置信息使按工件W上的噴出區域為單位將規定量的功能液以液滴的形式配置。配置信息例如以位圖的方式表示噴出區域(膜形成區域)中的液滴的噴出位置(換句話說，工件W與噴嘴52的相對位置)、液滴的配置數(換句話說，每個噴嘴52的噴出數)、主掃描中的多個噴嘴52的ON /OFF即噴嘴52的選擇/非選擇、噴出時刻等信息。上位計算機11不僅生成上述配置信息，還能夠修正暫時儲存於RAM43的上述配置信息。
[0114]接下來，參照圖6以及圖7對噴頭的噴出控制方法進行說明。圖6是表示噴頭的電控制的框圖。
[0115]如圖6所示，頭驅動器48具備D / A轉換器(以下稱為DAC)71A?71D，這些D /A轉換器7IA?71D分別獨立生成控制液滴的噴出量的不同的多個驅動信號COM ;波形數據選擇電路72，在其內部具有儲存DAC71A?7ID生成的驅動信號COM的轉換速率數據(以下，稱為波形數據(WDl?WD4))的存儲器；以及數據存儲器73，其用於儲存經由P — COM4從上位計算機11發送來的噴出控制數據。由DAC71A?DAC71D生成的驅動信號COM分別被輸出至COMl?COM4的各COM線。
[0116]各噴頭50具備:開關電路74，其打開、關閉向按各噴嘴52設置的作為驅動單元(致動器)的壓電元件59施加驅動信號COM ;以及驅動信號選擇電路75，其選擇各COM線的其中一個來將驅動信號COM發送至與各壓電元件59連接的開關電路74。
[0117]在噴嘴列52a (參照圖2 (b))中，壓電元件59的一方電極59b與DAC71A?71D的接地線(GND)連接。另外，壓電元件59的另一方電極59a (以下，為分段電極59a)經由開關電路74、驅動信號選擇電路75與各COM線電連接。另外，向開關電路74、驅動信號選擇電路75、波形數據選擇電路72輸入時鐘信號(CLK)、與各噴出時刻對應的鎖存信號(LAT)。這樣的驅動電路的構成在噴嘴列52b (參照圖2 (b))中也相同。
[0118]在數據存儲器73中，按根據各噴頭50的掃描位置而周期性地設定的各噴出時刻儲存有下面的數據。即，對向各壓電元件59的驅動信號COM的施加(ON / OFF)進行規定的噴出數據DA、對與各壓電元件59對應的COM線(C0M1?COM4)的選擇進行規定的驅動信號選擇數據DB、以及對輸入至DAC71A?71D的波形數據(WDl?WD4)的種類進行規定的波形編號數據WN。在本實施方式中，噴出數據DA構成為每一個噴嘴I位(0、1),驅動信號選擇數據DB構成為每一個噴嘴2位(O、1、2、3)，波形編號數據WN構成為每一個DAC7位(O?127)。此外，能夠適當地變更數據結構。
[0119]圖7是驅動信號以及控制信號的時序圖。在上述的構成中，按如下方式進行各噴出時刻所涉及的驅動控制。如圖7所示，在時刻tl?t2的期間，噴出數據DA、驅動信號選擇數據DB、波形編號數據WN分別被串行信號化，並被發送給開關電路74、驅動信號選擇電路75、波形數據選擇電路72。而且，在時刻t2，各數據被鎖存，從而成為噴出(ON)涉及的各壓電元件59的分段電極59a與以驅動信號選擇數據DB指定的COM線(COMl?COM4的其中一個)連接的狀態。例如，壓電元件59的分段電極59a在驅動信號選擇數據DB為「O」時，與COMl連接。同樣，在驅動信號選擇數據DB為「I」時與COM2連接，在驅動信號選擇數據DB為「2」時與COM3連接，在驅動信號選擇數據DB為「3」時與COM4連接。另外，DAC71A?71D的生成所涉及的驅動信號的波形數據(WDl?WD4)與該選擇連動地被設定。
[0120]在時刻t3?t4的期間，按照在時刻t2設定的波形數據，分別通過電位上升、電位保持、電位下降的一系列的步驟生成驅動信號COM。而且，向處於分別與COMl?COM4連接的狀態的壓電元件59供給生成的驅動信號C0M，進行與噴嘴52連通的腔的體積(壓力)控制。
[0121]驅動信號COM的電位上升、電位保持、電位下降所涉及的時刻成分、電壓成分緊密地取決於與通過其供給而噴出的功能液的噴出量。特別是在壓電方式的噴頭50中，噴出量對電壓成分的變化示出良好的線性，因此能夠將時刻t3?t4的電壓成分的變化(電位差)規定為驅動電壓Vh(Vhl?Vh4)，並能夠將其作為噴出量控制的條件加以利用。S卩，驅動電壓Vh是控制液滴的噴出量的驅動信號的條件之一。此外，生成的驅動信號COM並不限定於本實施方式所示的簡單的梯形波，例如，也能夠適當地採用矩形波等公知的各種形狀的波形。另外，在不同的驅動方式(例如熱敏方式)的實施方式的情況下，還能夠將驅動信號COM的脈衝寬度(時刻成分)作為噴出量控制的條件加以利用。
[0122]在本實施方式中，準備階段性地改變了驅動電壓Vh的多種的波形數據，通過向DAC71A?71D輸入分別獨立的波形數據(WDl?WD4)，能夠向各COM線分別輸出不同的驅動電壓Vhl?Vh4的驅動信號COM。能夠準備的波形數據的種類是與波形編號數據WN的信息量(7位)相當的128種，例如使其與每0.1V的驅動電壓Vh對應。換句話說，在12.8V的電位差的範圍內，能夠以0.1V為單位設定Vhl?Vh4的各驅動波形。
[0123]這樣，本實施方式的噴出裝置10通過考慮每個噴嘴52的噴出特性，適當地設定規定各壓電元件59 (噴嘴52)與各COM線的對應關係的驅動信號選擇數據DB、和規定各COM線與驅動信號COM的種類(驅動電壓Vh)的對應關係的波形編號數據WN，能夠調整液滴的噴出量來噴出功能液。換句話說，適當地進行根據驅動信號選擇數據DB和波形編號數據WN的關係決定的各噴嘴52的驅動信號COM的設定可以說是用於管理噴出量的重要事項。
[0124]在上述噴出裝置10中，噴頭50的噴出控制方法能夠按每次液滴的噴出，換句話說按每個噴出時刻來更新驅動信號選擇數據DB和波形編號數據WN。另外，還能夠與噴出數據DA對應地精細地設定驅動信號COM。因此，能夠使按各噴嘴52噴出的液滴的噴出量按噴出時刻至少經過四個階段地變化，因而與將恆定的驅動信號COM施加給各壓電元件59的情況相比，能夠按各噴嘴52，且按液滴的噴出來調整由噴嘴列52a、52b的噴出特性所帶來的液滴的噴出量的偏差。因此，能夠減少噴嘴列52a、52b的噴出特性所帶來的噴出不均地噴出功能液。
[0125]另一方面，即使能夠使按各噴嘴52噴出的液滴的噴出量按液滴的噴出至少經過四個階段地變化，難以在所有多個噴嘴52中使上述噴出量為恆定的值，例如，基準噴出量(或者目標噴出量)。這是因為存在例如與每個噴嘴52連通的腔的結構未必相同這樣的機械性因素、每個噴嘴52的壓電元件59的電特性也未必相同這樣的電性因素等。
[0126]於是，在本實施方式中，使功能液從噴嘴52以多個液滴的形式著落於介質160，測量其著落痕跡的著落面積，從而推測按各噴嘴52噴出的液滴的噴出量。而且，基於該液滴的噴出量與驅動信號COM的波形的電位的相關關係，進行四個階段的驅動信號COM的波形的電位的修正，以便使四個階段的驅動信號COM中的一個被合適地施加至在主掃描中選擇出的各噴嘴52。由此，將從通過多次主掃描選擇出的噴嘴52被以多個液滴的形式噴出至噴出區域的功能液的總量(也稱為填充量)的偏差收斂在某程度的範圍內。
[0127]功能液的噴出量的測量方法
[0128]以下，參照圖8以及圖9對能夠精度良好地測量幾乎透明的功能液的噴出量的、功能液的著落面積的測量方法進行說明。圖8 (a)?(C)是表示功能液的著落面積的測量方法的示意剖視圖，圖9是表示液滴的著落痕跡的照片。
[0129]本實施方式中的功能液的噴出量的測量方法具備:如圖8 Ca)所示的以多個液滴D的形式從噴頭50的多個噴嘴52向介質160按多個噴嘴52噴出規定量的功能液的測量用噴出工序；以及如圖8 (c)所示測量按多個各噴嘴52著落於介質160的功能液的著落面積的測量工序。介質160具有透明的基膜161、和形成於基膜161的表面且接受並收容功能液的受容層162。如圖8 (b)所示，從噴嘴52噴出且著落於受容層162的液滴D浸透至受容層162並被收容而成為著落痕跡165。在測量工序中，通過照明部61從背面側對介質160進行照明，並通過攝像部62對著落痕跡165進行攝像。明確著落痕跡165的著落面積與噴出的功能液的噴出量之間存在相關關係，因此通過根據攝像的圖像求出著落痕跡165的著落面積與其偏差，能夠推測按各噴嘴52噴出的功能液的噴出量與其偏差。
[0130]本實施方式的功能液在通過液相法(噴墨法)形成後述的有機電致發光(EL ;Electro Luminescence)裝置的功能層時使用。功能液包含功能層形成材料和溶劑,幾乎透明。溶劑未必為一種，為了使噴出的功能液不容易乾燥，優選選擇沸點大概為200°C以上的溶劑。作為溶劑，例如能夠列舉作為脂溶劑的乙二醇(沸點197.3°C)、作為芳香族溶劑的環己基苯(沸點240°C )、I，4 一二甲基萘(沸點247°C )等。
[0131]介質160使用PICT0RIC0公司制的圖形藝術透明薄膜。基膜161使用厚度大概為145 μ m的聚對苯二甲酸乙二酯(PET)薄膜。受容層162的詳細構成未被公開,但能夠選擇與塗覆的功能液對應的厚度的受容層162。在本實施方式中，使用受容層162的厚度為35 μ m的介質160。
[0132]如圖8 (a)所示，在測量用噴出工序中，使噴頭50與介質160對置，將功能液以多個液滴D的形式從噴頭50的多個噴嘴52噴出。另外，在使噴頭50與介質160在主掃描方向上相對移動的主掃描期間，使多個液滴D以規定的噴出時刻反覆噴出。換句話說，在介質160中著落痕跡165在主掃描方向上顯出多個，並且在副掃描方向上顯出多個與使液滴噴出的噴嘴52的個數對應的量。另外，在使多個液滴D著落於受容層162的相同的位置時，若超過受容層162中的功能液的受容量，則落痕跡165滲入而難以高精度地測量著落面積，所以使多個液滴D的著落位置以微米(μ m)為單位偏移。
[0133]圖9是表示通過測量用噴出工序產生的功能液的著落痕跡的照片。
[0134]根據上述那樣的測量用噴出工序，如圖9所示，通過使多個液滴D以微米(μπι)為單位偏移而著落於介質160,能夠獲得清晰的著落痕跡165。因此,著落痕跡165的著落面積的測量精度提高。此外，圖9是從多個噴嘴52分別噴出十滴一滴為IOpl的液滴D至受容層162的厚度為35 μ m的介質160,且彼此著落位置偏移I μ m而形成的圖。
[0135]另外，透過幾乎透明的功能液著落並浸透的受容層162的部分的光與其他的部分相比散射。因此，功能液著落並浸透的受容層162的部分與其他的部分相比更明亮，所以通過圖像處理部63進行強調亮度的差的處理。
[0136]在著落面積的測量工序中，按各噴嘴52測量通過測量用噴出工序產生的多個著落痕跡165的著落面積。而且，計算多個著落痕跡165的著落面積的例如平均值，根據該平均值推測該噴嘴52的噴出量與其偏差。在多個噴嘴52的每一個中實施這樣的著落面積的測量。按每一個噴嘴52測量的著落痕跡165的個數例如為40個。
[0137]這樣能夠高精度地求出從多個噴嘴52噴出的功能液的噴出量與其偏差。作為下一個階段，列舉具體的功能液的噴出方法，對根據求出的各噴嘴52的功能液的噴出量與其偏差，怎樣設定對各噴嘴52的壓電元件59進行驅動的驅動信號C0M，怎樣抑制作為其結果噴出至噴出區域的功能液的總量(也稱為填充量)的偏差進行說明。
[0138]功能液的噴出方法以及噴嘴噴出量的修正方法
[0139]首先，參照圖10對本實施方式的功能液的噴出方法進行說明。
[0140]圖10是表示功能液的噴出方法的一個例子的示意俯視圖。
[0141]本實施方式的功能液的噴出方法應用於後述的有機EL裝置的製造方法的液相法中，即將包含功能層形成材料的功能液噴出至噴出區域，並將噴出的功能液乾燥、固化從而形成功能層。
[0142]如圖10所示，噴出區域A例如為相互對置的一方邊部比另一方邊部長的大致矩形形狀，在工件W上，噴出區域A的長邊方向沿副掃描方向，且在副掃描方向(X軸方向)與主掃描方向(Y軸方向)上配列多個。另外，多個噴出區域A被區分成與紅色(R)、綠色(G)、藍色(B)對應，採用相同顏色的噴出區域A沿副掃描方向(X軸方向)排列，不同顏色的噴出區域A在主掃描方向(Y軸方向)上，以紅色(R)、綠色(G)、藍色(B)為一個單位反覆排列的條紋方式的配置。此外，噴出區域A的配置並不限定於此。
[0143]針對這樣的多個噴出區域A，噴頭50的噴嘴列52c(包括噴嘴列52a和噴嘴列52b ；參照圖2)沿副掃描方向(X軸方向)對置配置。
[0144]使工件W與噴頭50對置配置，在工件W與噴頭50向主掃描方向的相對移動(主掃描)的期間，從噴嘴列52c中選擇出的噴嘴52以液滴D的形式將功能液噴出至噴出區域A。特別是在按R、G、B噴出不同種類的功能液的情況下，如圖10所示，在主掃描方向上，例如從R、G、B中選擇性地將液滴D噴出至R的噴出區域A。在其他的G、B的噴出區域A中也相同。
[0145]在圖10所示的功能液的噴出方法的例子中，噴出區域A的副掃描方向上的長度例如大概為200 μ m,同樣地副掃描方向上的配置間距例如大概為250 μ m。因此,從主掃描方向觀察時的噴嘴列52c中的噴嘴52的配置間距大概為70 μ m，所以在主掃描上最大有三個噴嘴52覆蓋噴出區域A。在主掃描中，從覆蓋噴出區域A的多個噴嘴52中選擇在噴出區域A的長邊方向上液滴D著落於中央附近的噴嘴52。
[0146]以下，列舉將規定量的功能液以5滴的液滴D的形式噴出至一個噴出區域A的比較例與實施例，對應用了本發明的噴嘴噴出量的修正方法的功能液的噴出方法進行說明。在以下的比較例、實施例的說明中，將主掃描稱為經過(Pass )。另外，將一次的主掃描中的液滴D的噴出數稱為發射(shot)數。
[0147]如上述，噴嘴列52c包含由180個噴嘴52構成的噴嘴列52a、和同樣地由180個噴嘴52構成的噴嘴列52b，所以總共由360個噴嘴52構成。將360個中除位於噴嘴列52c的兩端的10個噴嘴52而外的340個噴嘴52作為有效噴嘴加以利用。在使用了有效噴嘴的主掃描中，將有效噴嘴覆蓋的噴出區域A的個數設為60個(參照圖10)，對以下的比較例、實施例進行說明。
[0148]比較例
[0149]在比較例的功能液的噴出方法中，將規定量的功能液以5滴液滴D的形式分四次的經過噴出至一個噴出區域A。具體而言，在第一次至第三次的經過中分別噴出各一滴液滴D，在最後的第四次的經過中噴出兩滴液滴D。
[0150]另外，每次經過改變所選擇的噴嘴52。換句話說，實際的液滴D的噴出時，對噴嘴列52c進行副掃描並在每次經過時改變噴嘴列52c相對於噴出區域A的相對位置。採用通過從每次經過而不同的噴嘴52噴出液滴D，使因噴嘴52間的噴出特性的不同而引起的液滴D的噴出量偏差分散的方法。
[0151]這樣的比較例的功能液的噴出方法中的噴嘴噴出量的修正方法是應用了在【背景技術】中示出的專利文獻2 (日本特開2012 - 209216號)的發明的方法。
[0152]參照圖11?圖15對比較例中的噴嘴噴出量的修正方法進行說明。圖11是表示比較例的噴嘴噴出量的修正方法中的第一修正步驟的功能液的填充量偏差與驅動信號的修正量的表，圖12是表示比較例的噴嘴噴出量的修正方法中的第二修正步驟的功能液的填充量偏差與驅動信號的修正量的表，圖13是表示比較例的噴嘴噴出量的修正方法中的第三修正步驟的功能液的填充量偏差與驅動信號的修正量的表，圖14是表示比較例的噴嘴噴出量的修正方法中的第四修正步驟的功能液的填充量偏差與驅動信號的修正量的表，圖15是表示比較例的噴嘴噴出量的修正方法中的最終的修正後的功能液的填充量偏差的表。
[0153]比較例的噴嘴噴出量的修正方法具有按多次(四次)的經過分階段地進行多個驅動信號COM的修正的第一修正步驟?第四修正步驟。
[0154]首先，在第一修正步驟中，按60個噴出區域A的每一個計算第一次經過至第四次經過從使用修正前的驅動信號COM選擇出的噴嘴52分別將液滴D噴出至噴出區域A的情況下的功能液的總量(填充量)。具體而言，將修正前的驅動信號COM施加給有效噴嘴的致動器亦即壓電元件59，將多個液滴D從各個有效噴嘴噴出至介質160，並測量其著落痕跡165的著落面積，從而推測出液滴D的噴出量與其偏差，將功能液的填充量數值化。在比較例中，將噴出到一個噴出區域A的功能液的填充量，換句話說，本發明中的預先設定的規定量數值化為「5.0000」。
[0155]如圖11所示，根據比較例的第一修正步驟中的功能液的填充量的計算結果，例如在一號(N0.1)噴出區域A中，從在第一次經過中選擇出的噴嘴52噴出的液滴D的噴出量為「0.98845」，同樣地，第二次經過的噴出量為「1.02080」，第三次經過的噴出量為「1.00433」，第四次經過的噴出量為「1.00250」。此外，示出了各經過中一滴液滴D的噴出量，所以由於第四次經過噴出兩滴液滴D，而實際成為兩倍的值。因此，噴出到四次經過後的一號噴出區域A的功能液的總量(填充量)成為「5.01858」，與規定量的「5.0000」的差(偏移量)成為「0.01858」。60個噴出區域A中的與規定量的差(偏移量)的最大值為14號噴出區域A中的「0.07899」。60個噴出區域A中的與規定量的差(偏移量)的最小值為10號噴出區域A中的「一 0.11223」。因此，噴出至60個噴出區域A中的功能液的總量(填充量)與規定量的差(偏移量)的範圍的大小(範圍；Range)成為「0.19122」。該範圍相對於規定量的比例為「3.82%」。
[0156]在比較例的第一修正步驟中，為了例如僅通過第一次經過噴出的液滴D的噴出量的修正消除一號(N0.1)噴出區域A中的偏移量「0.01858」，計算施加給在第一次經過中選擇出的噴嘴52的壓電元件59的驅動信號COM的修正量。預先求出驅動信號COM的波形中的電位與液滴D的噴出量的關係作為標準曲線，基於該標準曲線計算驅動信號COM的修正量。基於該修正量，將在第一次經過中選擇出的噴嘴52例如劃分為8個等級。在60個的噴出區域A的每一個中，針對在第一次經過中選擇出的噴嘴52劃分等級。而且，根據60個選擇出的噴嘴52的等級進行多個驅動信號COM的均等分配。例如將8個等級中的兩個等級分配給四個驅動信號COM中的一個。
[0157]在比較例的第一修正步驟中，將驅動信號COMl設為「 103.6%」，將驅動信號COM2設為「99.8%」，將驅動信號COM3設為「97.8%」，將驅動信號COM4設為「95.5%」。驅動信號COM中的修正率的最大值(MAX)與最小值(MIN)的差為8.1%。另外，將驅動信號COM中的修正率的最大值(MAX)與最小值(MIN)的差的I / 2設定為驅動信號COM的基準電壓。然後，進入第二修正步驟。
[0158]在比較例的第二修正步驟中，計算將在第一修正步驟計算出的多個驅動信號COM(C0M1?COM4)的修正(第一信號修正)應用於第一次經過的各噴出區域A的噴出量。第二次經過至第四次經過與第一修正步驟相同，直接使用應用修正前的驅動信號COM噴出液滴D的情況下的噴出量。而且，再次計算噴出至四次經過結束後的各噴出區域A的功能液的總
量(填充量X
[0159]如圖12所示，根據比較例的第二修正步驟中的功能液的填充量的計算結果，例如在一號(N0.1)噴出區域A中，第一次經過的噴出量為「0.95464」，第二次經過的噴出量為「 1.02080」，第三次經過的噴出量為「 1.00433」,第四次經過的噴出量為「 1.00250」。因此，噴出至四次經過後的一號噴出區域A的功能液的總量(填充量)為「4.98477」，與規定量的「5.0000」的差(偏移量)成為「一 0.01523」。60個噴出區域A中的與規定量的差(偏移量)的最大值為「0.03176」。60個噴出區域A中的與規定量的差(偏移量)的最小值為「一0.03139」。因此，噴出至60個噴出區域A的功能液的總量(填充量)與規定量的差的範圍的大小(範圍；Range)成為「0.06315」。該範圍相對於規定量的比例為「 1.26%」。
[0160]在比較例的第二修正步驟中，與第一修正步驟相同，例如為了僅通過第二次經過噴出的液滴D的噴出量的修正消除一號噴出區域A中的偏移量「一 0.01523」，計算施加給第二次經過選擇出的噴嘴52的壓電元件59的驅動信號COM的修正量。基於該修正量，將第二次經過所選擇出的噴嘴52例如劃分為8個等級。對在60個的各噴出區域A中在第二次經過中選擇出的噴嘴52劃分等級。而且，根據60個選擇出的噴嘴52的等級進行多個驅動信號COM的均等分配。例如將8個等級中的兩個等級分配給四個驅動信號COM中的一個。
[0161]在比較例的第二修正步驟中，將驅動信號COMl設為「101.6%」，將驅動信號COM2設為「 100.8%」，將驅動信號COM3設為「99.4%」，將驅動信號COM4設為「97.5%」。驅動信號COM中的修正率的最大值(MAX)與最小值(MIN)的差為4.1%。另外，將驅動信號COM中的修正率的最大值(MAX)與最小值(MIN)的差的I / 2設定為驅動信號COM的基準電壓。然後，進入第三修正步驟。
[0162]在比較例的第三修正步驟中，將在第二修正步驟中計算出的多個驅動信號COM(C0M1?COM4)的修正(第二信號修正)應用於第二次經過，並計算出各噴出區域A的噴出量。第三次經過、第四次經過直接使用應用修正前的驅動信號COM噴出液滴D的情況下的噴出量。而且，再次計算出噴出至四次經過結束後的各噴出區域A的功能液的總量(填充量)。
[0163]如圖13所示，根據比較例的第三修正步驟中的功能液的填充量的計算結果，例如在一號(N0.1)噴出區域A中，第一次經過的噴出量為「0.95464」，第二次經過的噴出量為「1.03507」，第三次經過的噴出量為「1.00433」，第四次經過的噴出量為「1.00250」。因此，噴出至四次經過後的一號噴出區域A的功能液的總量(填充量)成為「4.99903」，與規定量的「5.0000」的差(偏移量)成為「一 0.00097」。60個噴出區域A中的與規定量的差(偏移量)的最大值為「0.01285」。60個噴出區域A中的與規定量的差(偏移量)的最小值為「一0.01520」。因此，噴出至60個噴出區域A中的功能液的總量(填充量)與規定量的差的範圍的大小(範圍；Range)成為「0.02805」。該範圍相對於規定量的比例為「0.56%」。
[0164]在比較例的第三修正步驟中，與第二修正步驟相同，例如，為了僅通過第三次經過噴出的液滴D的噴出量的修正消除一號噴出區域A中的偏移量「 一 0.00097」，計算施加給第三次經過選擇出的噴嘴52的壓電元件59的驅動信號COM的修正量。基於該修正量，將第三次經過選擇出的噴嘴52例如劃分為8個等級。對60個的各噴出區域A中在第三次經過中選擇出的噴嘴52劃分等級。而且，根據60個的選擇出的噴嘴52的等級進行多個驅動信號COM的均等分配。例如將8個等級中的兩個等級分配給四個驅動信號COM中的一個。
[0165]在比較例的第三修正步驟中，將驅動信號COMl設為「100.3%」，將驅動信號COM2設為「 100.0%」，將驅動信號COM3設為「99.6%」，將驅動信號COM4設為「98.9%」。驅動信號COM中的修正率的最大值(MAX)與最小值(MIN)的差為1.4%。另外，將驅動信號COM中的修正率的最大值(MAX)與最小值(MIN)的差的I / 2設定為驅動信號COM的基準電壓。然後，進入第四修正步驟。
[0166]在比較例的第四修正步驟中，將在第三修正步驟中計算出的多個驅動信號COM(C0M1?COM4)的修正(第三信號修正)應用於第三次經過，並計算出各噴出區域A的噴出量。第四次經過直接使用應用修正前的驅動信號COM噴出液滴D的情況下的噴出量。而且，再次計算出噴出到四次經過結束後的各噴出區域A的功能液的總量(填充量)。
[0167]如圖14所示，根據比較例的第四修正步驟中的功能液的填充量的計算結果，例如在一號(N0.1)噴出區域A中，第一次經過的噴出量為「0.95464」，第二次經過的噴出量為「1.03507」，第三次經過的噴出量為「1.00650」，第四次經過的噴出量為「1.00250」。因此，噴出至四次經過後的一號噴出區域A的功能液的總量(填充量)成為「5.00120」，與規定量的「5.0000，，的差(偏移量)成為「0.00120」。60個噴出區域A中的與規定量的差(偏移量)的最大值為「0.00598」。60個噴出區域A中的與規定量的差(偏移量)的最小值為「一0.00576」。因此，噴出至60個噴出區域A的功能液的總量(填充量)與規定量的差的範圍的大小(範圍;1^1^)成為「0.01174」。該範圍相對於規定量的比例為「0.23%」。
[0168]在比較例的第四修正步驟中，與第三修正步驟相同，例如為了僅通過第四次經過噴出的液滴D的噴出量的修正消除一號噴出區域A中的偏移量「0.00120」，計算出施加給在第四次經過中選擇出的噴嘴52的壓電元件59的驅動信號COM的修正量。基於該修正量，將在第四次經過中選擇出的噴嘴52例如劃分為8個等級。對60個的各噴出區域A中在第四次經過中選擇出的噴嘴52劃分等級。而且，根據60個的選擇出的噴嘴52的等級進行多個驅動信號COM的均等分配。例如將8個等級中的兩個等級分配給四個驅動信號COM中的一個。
[0169]在比較例的第四修正步驟中，將驅動信號COMl設為「 100.2%」，將驅動信號COM2設為「 100.0%」，將驅動信號COM3設為「 100.0%」，將驅動信號COM4設為「99.9%」。驅動信號COM中的修正率的最大值(MAX)與最小值(MIN)的差為0.3%。另外，將驅動信號COM中的修正率的最大值(MAX)與最小值(MIN)的差的I / 2設定為驅動信號COM的基準電壓。然後，進入最終步驟。
[0170]在比較例的最終步驟中，將在第四修正步驟中計算出的多個驅動信號COM(C0M1~COM4)的修正(第四信號修正)應用於第四次經過，並計算出各噴出區域A的噴出量。而且，再次計算出噴出至四次經過結束後的各噴出區域A的功能液的總量(填充量)。
[0171]如圖15所示，根據比較例的最終步驟中的功能液的填充量的計算結果，例如在一號(N0.1)噴出區域A中，第一次經過的噴出量為「0.95464」，第二次經過的噴出量為「1.03507」，第三次經過的噴出量為「1.00650」，第四次經過的噴出量為「1.00223」。因此，噴出至四次經過後的一號噴出區域A的功能液的總量(填充量)成為「5.00067」，與規定量的「5.0000」的差(偏移量)成為「0.00067」。60個噴出區域A中的與規定量的差(偏移量)的最大值為「0.00244」。60個噴出區域A中的與規定量的差(偏移量)的最小值為「一0.00237」。因此，噴出至60個噴出區域A的功能液的總量(填充量)與規定量的差的範圍的大小(範圍；Range)成為「0.00481，，。該範圍相對於規定量的比例為「0.10%，，。
[0172]實施例
[0173]實施例的功能液的噴出方法與比較例相同，將規定量的功能液以5滴液滴D的形式分四次經過噴出至一個噴出區域A。具體而言，在第一次經過中噴出兩滴液滴D，在第二次至第四次經過中分別噴出各一滴液滴D。另外，與比較例相同，每次經過改變所選擇的噴嘴52。換句話說，採用通過從每次經過而不同的噴嘴52噴出液滴D，從而使因噴嘴52間的噴出特性的不同引起的液滴D的噴出量偏差分散的方法。
[0174]這樣的實施例的功能液的噴出方法中的噴嘴噴出量的修正方法基本應用了在【背景技術】中示出的專利 文獻2 (日本特開2012 - 209216號)的發明，但第一次經過中的液滴D的噴出數(發射數)比其他經過多這一點與比較例不同。進一步來說，優先實際噴出液滴D的多次主掃描中噴出數(發射數)最多的主掃描來分階段地進行噴嘴噴出量的修正這一點不同。
[0175]參照圖16~圖20對實施例中的噴嘴噴出量的修正方法進行說明。圖16是表示實施例的噴嘴噴出量的修正方法中的第一修正步驟的功能液的填充量和驅動信號的修正量的表，圖17是表示實施例的噴嘴噴出量的修正方法中的第二修正步驟的功能液的填充量和驅動信號的修正量的表，圖18是表示實施例的噴嘴噴出量的修正方法中的第三修正步驟的功能液的填充量和驅動信號的修正量的表，圖19是表示實施例的噴嘴噴出量的修正方法中的第四修正步驟的功能液的填充量和驅動信號的修正量的表，圖20是表示實施例的噴嘴噴出量的修正方法中的最終的修正後的功能液的填充量的表。
[0176]實施例的噴嘴噴出量的修正方法具有按多次(四次)經過分階段地進行多個驅動信號COM的修正的第一修正步驟?第四修正步驟。
[0177]首先，在第一修正步驟中，按60個噴出區域A的每一個計算第一次經過至第四次經過從使用修正前的驅動信號COM選擇出的噴嘴52分別將液滴D噴出至噴出區域A的情況下的功能液的總量(填充量)。第一修正步驟的驅動信號COM的修正中的基本思路與比較例相同，但在第一次經過中從選擇出的噴嘴52噴出兩滴液滴D，所以計算結果受到噴出數的影響，未必與比較例的第一修正步驟相同。對致動器亦即壓電元件59施加修正前的驅動信號C0M，從各有效噴嘴將多個液滴D噴出至介質160，通過測量其著落痕跡165的著落面積來推測液滴D的噴出量和其偏差，將功能液的填充量數值化。在實施例中，也與比較例相同，將噴出至一個噴出區域A的功能液的填充量，換句話說，本發明中的預先設定的規定量數值化為「5.0000」。
[0178]如圖16所示，根據實施例的第一修正步驟中的功能液的填充量的計算結果，例如在一號(N0.1)噴出區域A中，從在第一次經過中選擇出的噴嘴52噴出的液滴D的噴出量為「0.99643」，同樣地第二次經過的噴出量為「1.02080」，第三次經過的噴出量為「1.00433」，第四次經過的噴出量為「1.00250」。此外，在各經過中示出有一滴液滴D的噴出量，所以由於第一次經過噴出兩滴液滴D而實際上成為兩倍的值。因此，噴出至四次經過後的一號噴出區域A的功能液的總量(填充量)成為「5.02049」，與規定量的「5.0000」的差(偏移量)成為「0.02049」。60個噴出區域A中的與規定量的差(偏移量)的最大值為58號噴出區域A中的「0.09801」。60個噴出區域A中的與規定量的差(偏移量)的最小值為20號噴出區域A中的「一 0.07126」。因此，噴出至60個噴出區域A中的功能液的總量(填充量)與規定量的差(偏移量)的範圍的大小(範圍；Range)成為「0.16927」。該範圍相對於規定量的比例為 「3.39%」。
[0179]在實施例的第一修正步驟中，例如為了僅通過在第一次經過中噴出的兩滴液滴D的噴出量的修正消除一號(N0.1)噴出區域A中的偏移量「0.02049」，計算出施加給在第一次經過中選擇出的噴嘴52的壓電元件59的驅動信號COM的修正量。預先求出驅動信號COM的波形中的電位與液滴D的噴出量的關係作為標準曲線，基於該標準曲線計算出驅動信號COM的修正量。基於該修正量，將在第一次經過中選擇出的噴嘴52例如劃分8個等級。對在60個噴出區域A的每一個中在第一次經過中選擇出的噴嘴52劃分等級。而且，根據60個選擇出的噴嘴52的等級進行多個驅動信號COM的均等分配。例如將8個等級中的兩個等級分配給四個驅動信號COM中的一個。
[0180]在實施例的第一修正步驟中，將驅動信號COMl設為「101.5%」，將驅動信號COM2設為「99.9%」，將驅動信號COM3設為「98.9%」，將驅動信號COM4設為「97.5%」。驅動信號COM中的修正率的最大值(MAX)與最小值(MIN)的差為4.0%。另外，將驅動信號COM中的修正率的最大值(MAX)與最小值(MIN)的差的I / 2設定為驅動信號COM的基準電壓。若在第一修正步驟的時刻比較比較例與實施例，則驅動信號COM中的修正率的最大值(MAX)與最小值(MIN)的差幾乎成為一半。然後，進入第二修正步驟。
[0181]在實施例的第二修正步驟中，計算將在第一修正步驟中計算出的多個驅動信號COM (C0M1?COM4)的修正(第一信號修正)應用於第一次經過的各噴出區域A的噴出量。第二次經過至第四次經過與第一修正步驟相同，直接使用應用修正前的驅動信號COM來噴出液滴D的情況下的噴出量。而且，再次計算出噴出到四次經過結束後的各噴出區域A的功能液的總量(填充量)。
[0182]如圖17所示，根據實施例的第二修正步驟中的功能液的填充量的計算結果，例如在一號(N0.1)噴出區域A中，第一次經過的噴出量為「0.97899」，第二次經過的噴出量為「1.02080」，第三次經過的噴出量為「1.00433」，第四次經過的噴出量為「1.00250」。因此，噴出至四次經過後的一號噴出區域A的功能液的總量(填充量)成為「4.98561」，與規定量的「5.0000」的差(偏移量)成為「 一 0.01439」。60個噴出區域A中的與規定量的差(偏移量)的最大值為「0.02702」。60個噴出區域A中的與規定量的差(偏移量)的最小值為「一0.02566」。因此，在60個噴出區域A中噴出的功能液的總量(填充量)與規定量的差的範圍的大小(範圍；Range)成為「0.05268」。該範圍相對於規定量的比例為「1.05%」。
[0183]在實施例的第二修正步驟中，與第一修正步驟相同，例如，為了僅通過在第二次經過中噴出的液滴D的噴出量的修正消除一號噴出區域A中的偏移量「 一 0.01439」，計算施加給在第二次經過中選擇出的噴嘴52的壓電元件59的驅動信號COM的修正量。基於該修正量，將在第二次經過中選擇出的噴嘴52例如劃分為8個等級。對在60個噴出區域A的每一個中在第二次經過中選擇出的噴嘴52劃分等級。而且，根據60個選擇出的噴嘴52的等級進行多個驅動信號COM的均等分配。例如將8個等級中的兩個等級分配給四個驅動信號COM中的一個。
[0184]在實施例的第二修正步驟中，將驅動信號COMl設為「101.4%」，將驅動信號COM2設為「 100.4%」，將驅動信號COM3設為「99.7%」，將驅動信號COM4設為「99.1%」。驅動信號COM中的修正率的最大值(MAX)與最小值(MIN)的差為2.3%。另外，將驅動信號COM中的修正率的最大值(MAX)與最小值(MIN)的差的I / 2設定為驅動信號COM的基準電壓。然後，進入第三修正步驟。
[0185]在實施例的第三修正步驟中，將在第二修正步驟中計算出的多個驅動信號COM(C0M1?COM4)的修正(第二信號修正)應用於第二次經過，計算出各噴出區域A的噴出量。第三次經過、第四次經過直接使用應用修正前的驅動信號COM來噴出液滴D的情況下的噴出量。而且，再次計算出噴出至四次經過結束後的各噴出區域A的功能液的總量(填充量)。
[0186]如圖18所示，根據實施例的第三修正步驟中的功能液的填充量的計算結果，例如在一號(N0.1)噴出區域A中，第一次經過的噴出量為「0.97899」，第二次經過的噴出量為「1.03415」，第三次經過的噴出量為「1.00433」，第四次經過的噴出量為「1.00250」。因此，噴出至四次經過後的一號噴出區域A的功能液的總量(填充量)成為「4.99895」，與規定量的「5.0000」的差(偏移量)成為「一 0.00105」。60個噴出區域A中的與規定量的差(偏移量)的最大值為「0.00777」。60個噴出區域A中的與規定量的差(偏移量)的最小值為「一
0.00640」。因此，噴出至60個噴出區域A的功能液的總量(填充量)與規定量的差的範圍的大小(範圍；1^1^6)成為「0.01417」。該範圍相對於規定量的比例為「0.28%」。
[0187]在實施例的第三修正步驟中，與第二修正步驟相同，例如為了僅通過在第三次經過中噴出的液滴D的噴出量的修正消除一號噴出區域A中的偏移量「 一 0.00105」，計算施加給在第三次經過中選擇出的噴嘴52的壓電元件59的驅動信號COM的修正量。基於該修正量，將在第三次經過中選擇出的噴嘴52例如劃分為8個等級。對在60個噴出區域A的每一個中在第三次經過中選擇出的噴嘴52劃分等級。而且，根據60個選擇出的噴嘴52的等級進行多個驅動信號COM的均等分配。例如將8個等級中的兩個等級分配給四個驅動信號COM中的一個。
[0188]在實施例的第三修正步驟中，將驅動信號COMl設為「 100.4%」，將驅動信號COM2設為「 100.2%」，將驅動信號COM3設為「 100.0%」，將驅動信號COM4設為「99.7%」。驅動信號COM中的修正率的最大值(MAX)與最小值(MIN)的差為0.7%。另外，將驅動信號COM中的修正率的最大值(MAX)與最小值(MIN)的差的I / 2設定為驅動信號COM的基準電壓。然後，進入第四修正步驟。
[0189]在實施例的第四修正步驟中，將在第三修正步驟中計算出的多個驅動信號COM(C0M1~COM4)的修正(第三信號修正)應用於第三次經過，計算出各噴出區域A的噴出量。第四次經過直接使用應用修正前的驅動信號COM來噴出液滴D的情況下的噴出量。而且，再次計算噴出至四次經過結束後的各噴出區域A的功能液的總量(填充量)。
[0190]如圖19所示，根據實施例的第四修正步驟中的功能液的填充量的計算結果，例如在一號(N0.1)噴出區域中，第一次經過的噴出量為「0.97899」，第二次經過的噴出量為「1.03415」，第三次經過的噴出量為「1.00433」，第四次經過的噴出量為「1.00250」。因此，噴出至四次經過後的一號噴出區域A的功能液的總量(填充量)成為「4.99895」，與規定量的「5.0000」的差(偏移量)成為「一 0.00105」。60個噴出區域A中的與規定量的差(偏移量)的最大值為「0.00284」。60個噴出區域A中的與規定量的差(偏移量)的最小值為「一
`0.00260」。因此，噴出至60個噴出區域A的功能液的總量(填充量)與規定量的差的範圍的大小(範圍；Range)成為「0.00544」。該範圍相對於規定量的比例為「0.11%」。
[0191]在實施例的第四修正步驟中，與第三修正步驟相同，例如為了僅通過第四次經過噴出的液滴D的噴出量的修正消除一號噴出區域A中的偏移量「一 0.00105」，計算施加給在第四次經過中選擇出的噴嘴52的壓電元件59的驅動信號COM的修正量。基於該修正量，將在第四次經過中選擇出的噴嘴52例如劃分為8個等級。對在60個噴出區域A的每一個中在第三次經過中選擇出的噴嘴52劃分等級。而且，根據60個選擇出的噴嘴52的等級進行多個驅動信號COM的均等分配。例如將8個等級中的兩個等級分配給四個驅動信號COM中的一個。
[0192]在實施例的第四修正步驟中，將驅動信號COMl設為「 100.1%」，將驅動信號COM2設為「 100.1%」，將驅動信號COM3設為「 100.0%」，將驅動信號COM4設為「99.9%」。驅動信號COM中的修正率的最大值(MAX)與最小值(MIN)的差為0.3%。另外，將驅動信號COM中的修正率的最大值(MAX)與最小值(MIN)的差的I / 2設定為驅動信號COM的基準電壓。然後，進入最終步驟。
[0193]在實施例的最終步驟中，將在第四修正步驟中計算出的多個驅動信號COM(C0M1~COM4)的修正(第四信號修正)應用於第四次經過，計算出各噴出區域A的噴出量。而且，再次計算出噴出至四次經過結束後的各噴出區域A的功能液的總量(填充量)。
[0194]如圖20所示，根據實施例的最終步驟中的功能液的填充量的計算結果，例如在一號(N0.1)噴出區域A中，第一次經過的噴出量成為「0.97899」，第二次經過的噴出量成為「1.03417」，第三次經過的噴出量成為「1.00433」，第四次經過的噴出量成為「1.00363」。因此，噴出至四次經過後的一號噴出區域A的功能液的總量(填充量)成為「5.00008」，與規定量的「5.0000」的差(偏移量)成為「0.00008」。60個噴出區域A中的與規定量的差(偏移量)的最大值為「0.00076」。60個噴出區域A中的與規定量的差(偏移量)的最小值為「一
0.00078」。因此，噴出至60個噴出區域A的功能液的總量(填充量)與規定量的差的範圍的大小(範圍；Range)成為「0.00154」。該範圍相對於規定量的比例為「0.03%」。
[0195]圖21是表示比較例以及實施例的主掃描中的驅動信號的修正量和噴出區域中的功能液的填充量偏差的表。圖22 (a)是表示比較例的各噴出區域中的功能液的填充量偏差的圖，圖22 (b)是表示實施例的各噴出區域中的功能液的填充量偏差的圖，圖23 (a)是表示比較例和實施例的主掃描中的驅動信號的修正量的圖，圖23 (b)是表示比較例和實施例的主掃描中的填充量偏差的圖。圖22 (a)以及(b)、圖23 (a)以及(b)是將圖21的數值數據置換為圖來進行表示的圖。
[0196]如圖21的表以及圖22 Ca)以及(b)的圖所示，在比較例以及實施例的功能液的噴出方法中，若使用修正前的驅動信號COM進行液滴D的噴出，則噴出區域A中的功能液的總量(填充量)分別具有超過3%的偏差。
[0197]通過在每次經過(主掃描)中分別修正多個驅動信號COM (C0M1?COM4)，來修正從在每次經過(主掃描)中選擇出的噴嘴52噴出的液滴D的噴出量，即噴嘴噴出量，所以比較例以及實施例的填充量的偏差分別隨著經過的行進而變小。
[0198]然而，如圖21的表以及圖23 (a)的圖所示，比較例的各經過中的驅動信號COM的修正量比實施例大。換句話說，實施例中的驅動信號COM的修正量比比較例的小。由於在實施例中優先修正液滴D的噴出數較多的經過(主掃描)，所以可以不進行驅動信號COM中的過度修正。對於表示施加給作為致動器的壓電元件59的驅動信號COM的波形的電位與液滴D的噴出量的關係的標準曲線而言，例如，相對於基準電位升壓或者降壓的電位的大小越大，液滴D的噴出量越容易偏離標準曲線中的直線關係。換句話說，優選在驅動信號COM的標準曲線的可靠度高的範圍內進行驅動信號COM的修正。
[0199]根據這樣的實施例的功能液的噴出方法以及噴嘴噴出量的修正方法，如圖23 (b)所示，能夠使噴出區域A中的功能液的填充量偏差比比較例的小。
[0200]第二實施方式
[0201]有機場致發光裝置
[0202]接下來，參照圖24以及圖25對有機場致發光(EL)裝置進行說明。圖24是表示有機EL裝置的示意主視圖，圖25是有機EL裝置的主要部分示意剖視圖。
[0203]如圖24所示，有機EL裝置100具備具備R (紅色)、G (綠色)、B (藍色)的三種顏色的發光像素107的元件基板101、和間隔規定的間隔對置配置在元件基板101上的密封基板102。密封基板102被以密封設置了多個發光像素107的發光區域106的方式，使用具有較高的氣密性的密封劑貼合在元件基板101上。
[0204]發光像素107具備後述的作為發光元件的有機EL元件112 (參照圖25)，且成為獲得同種顏色的發光的發光像素107沿附圖上的縱向排列的所謂條紋方式。此外，實際上，發光像素107為微小的元件，為便於圖示而放大圖示。
[0205]元件基板101比密封基板102大一圈，在突出為邊框狀的部分設置有驅動發光像素107的兩個掃描線驅動電路部103和一個數據線驅動電路部104。例如可以將掃描線驅動電路部103、數據線驅動電路部104以集成了電路的IC的方式安裝於元件基板101，也可以將掃描線驅動電路部103以及數據線驅動電路部104直接形成在元件基板101的表面上。
[0206]在元件基板101的端子部IOla安裝有用於連接這些掃描線驅動電路部103、數據線驅動電路部104和外部驅動電路的中繼基板105。中繼基板105例如能夠使用可撓性電
路基板等。
[0207]如圖25所示，在有機EL裝置100中，有機EL元件112具有作為像素電極的陽極
131、劃分陽極131的隔壁133、和形成在陽極131上的包含由有機膜構成的發光層的功能層
132。另外，具有以經由功能層132與陽極131對置的方式形成的作為共用電極的陰極134。
[0208]隔壁133由苯酚樹脂或者聚醯亞胺樹脂等具有絕緣性的感光性樹脂構成，並被設置成部分覆蓋構成發光像素107的陽極131的周圍，並分別劃分多個陽極131。
[0209]陽極131與形成在元件基板101上的TFT元件108的三個端子中的一個連接，例如，是以厚度IOOnm左右成膜作為透明電極材料的ITO (Indium Tin Oxide:氧化銦錫)而成的電極。
[0210]陰極134例如由Al、Ag等具有光反射性的金屬、該金屬與其他金屬(例如Mg)的合金等形成。
[0211]有機EL裝置100成為所謂的底部發光型的構造，使驅動電流在陽極131與陰極134之間流通而在功能層132處發出光的光在陰極134處反射，並從元件基板101側取出。因此，元件基板101使用玻璃等透明基板。另外，密封基板102也能夠使用透明基板以及不透明基板的任意一個。作為不透明基板，例如，除了有在氧化鋁等陶瓷、不鏽鋼等金屬薄板上實施表面氧化等絕緣處理而形成的基板外，還列舉了熱固化性樹脂、熱塑性樹脂等。
[0212]在元件基板101設置有驅動有機EL元件112的電路部111。即，在元件基板101的表面作為基底形成以SiO2為主體的基底保護層121，在其上例如形成有由多晶矽等構成的半導體層122。在該半導體層122的表面形成有以SiO2以及/或者SiN為主體的柵極絕緣膜123。
[0213]另外，將半導體層122中，隔著柵極絕緣膜123與柵電極126重疊的區域作為溝道區域122a。此外，該柵電極126為未圖示的掃描線的一部分。另一方面，在覆蓋半導體層122，且形成了柵電極126的柵極絕緣膜123的表面形成有以SiO2為主體的第一層間絕緣層 127。
[0214]另外，半導體層122中，在溝道區域122a的源極側設有低濃度源極區域以及高濃度源極區域122c，另一方面，在溝道區域122a的漏極側設有低濃度漏極區域以及高濃度漏極區域122b，成為所謂的LDD (Light Doped Drain:輕摻雜漏極)結構。它們中的高濃度源極區域122c經由遍及柵極絕緣膜123和第一層間絕緣層127開孔的接觸孔125a，與源極電極125連接。該源極電極125作為電源線(未圖示)的一部分而構成。另一方面，高濃度漏極區域122b經由貫通柵極絕緣膜123和第一層間絕緣層127的接觸孔124a，與由和源極電極125同一層構成的漏極電極124連接。
[0215]在形成了源極電極125以及漏極電極124的第一層間絕緣層127的上層形成有平坦化層128。該平坦化層128由丙烯系、聚醯亞胺系等耐熱性絕緣樹脂等形成，是為了去除由TFT元件108、源極電極125、漏極電極124等形成的表面的凹凸而形成的已知層。
[0216]而且，陽極131形成在該平坦化層128的表面上，並且經由設於該平坦化層128的接觸孔128a與漏極電極124連接。S卩，陽極131經由漏極電極124與半導體層122的高濃度漏極區域122b連接。陰極134與GND連接。因此，利用作為開關元件的TFT元件108，控制被從上述電源線供給至陽極131且在與陰極134之間流通的驅動電流。由此，電路部111能夠使所希望的有機EL元件112發光，並進行彩色顯示。
[0217]此外，驅動有機EL元件112的電路部111的構成並不限定於此。
[0218]功能層132由包括作為有機層的空穴注入層、中間層、發光層的多個薄膜層構成，從陽極131側按該順序層疊。在本實施方式中，使用液相法(噴墨法)成膜這些有機層。
[0219]作為空穴注入層的材料，例如，可以使用對聚乙撐二氧噻吩(PEDOT)等聚噻吩衍生物添加作為摻雜劑的聚苯乙烯磺酸(PSS )而成的混合物(PEDOT / PSS )、聚苯乙烯、聚吡咯、聚苯胺、聚乙炔、其衍生物。
[0220]中間層被設在空穴注入層與發光層之間，是為了使針對發光層的空穴的輸送性(注入性)提高，並且抑制電子從發光層向空穴注入層洩露而設置的。即，用於改善基於發光層中的空穴與電子的結合的發光的效率。作為中間層的材料，例如，列舉了包含空穴輸送性良好的三苯胺基聚合物的材料。
[0221]作為發光層的材料，例如，能夠使用能夠獲得紅色、綠色、藍色的發光的聚芴衍生物(PF )、聚對苯撐乙烯衍生物(PPV )、聚亞苯基衍生物(PP )、聚對亞苯基衍生物(PPP )、聚乙烯咔唑(PVK)、PEDOT等聚硫苯衍生物、聚甲基矽烷苯(PMPS)等。另外，也可以對這些高分子材料摻雜二萘嵌苯系色素、香豆素系色素、若丹明系色素等高分子材料、紅熒烯、二萘嵌苯、9，10—二苯基蒽、四苯基丁二烯、尼羅紅、香豆素6、喹吖啶酮等低分子材料。
[0222]具有這樣的有機EL元件112的元件基板101被經由將熱固化型環氧樹脂等作為密封部件使用的密封層135與密封基板102無縫隙地密封。
[0223]有機EL裝置100使用在上述第一實施方式中說明的噴出裝置10而得以製造，至少發光層具有幾乎恆定的膜厚和穩定的膜形狀(剖面形狀)，所以在能夠獲得不同發光顏色的功能層132R、132G、132B中能夠獲得各自所希望的發光特性。
[0224]此外，本實施方式的有機EL裝置100並不限定於底部發光型，例如也可以為使用光反射性的導電材料形成陽極131，使用透明的導電材料形成作為共用電極的陰極134，使有機EL元件112的發光在陽極131反射，並從密封基板102側取出的頂部發光型的結構。另外，在為頂部發光型的情況下，也可以為將與有機EL元件112的發光顏色對應的彩色濾光片設於密封基板102側的構成。並且，在密封基板102側具有彩色濾光片的情況下，也可以為能夠從有機EL元件112獲得白色發光的構成。
[0225]有機EL裝置的製造方法
[0226]接下來，參照圖26?圖28對本實施方式的有機EL裝置的製造方法進行說明。圖26是表示有機EL裝置的製造方法的流程圖，圖27 (a)?(d)以及圖28 (e)?(h)是表示有機EL裝置的製造方法的示意剖視圖。[0227]本實施方式的有機EL裝置100的製造方法使用上述第一實施方式的噴出裝置10。另外，使用應用了本發明的噴嘴噴出量的修正方法的功能液的噴出方法。
[0228]如圖26所示，本實施方式的有機EL裝置100的製造方法至少具備隔壁形成工序(步驟SI)、對形成了隔壁的基板實施表面處理的表面處理工序(步驟S2)、空穴注入層形成工序(步驟S3)、中間層形成工序(步驟S4)、發光層形成工序(步驟S5)、陰極形成工序(步驟S6)、以及粘合形成了有機EL元件112的元件基板101和密封基板102的密封基板粘合工序(步驟S7)。此外，在元件基板101上形成電路部111 (參照圖25)的工序、形成與電路部111電連接的陽極131的工序使用公知的製造方法即可，在本實施方式中省略詳細的說明。因此，在圖27 Ca)?(d)以及圖28 Ce)?(h)中，省略電路部111的圖示。
[0229]圖26的步驟SI是隔壁形成工序。在步驟SI中，如圖27 (a)所示，以覆蓋陽極131的周圍的一部分了劃分每個陽極131的方式形成隔壁133。作為形成方法，例如，在形成了陽極131的元件基板101的表面以大概I μ m?3 μ m左右的厚度塗覆感光性的苯酚樹脂或者聚醯亞胺樹脂。作為塗覆方法，列舉了轉印法、狹縫塗布法等。而且，通過使用與發光像素107的形狀對應的掩模進行曝光、顯影來形成隔壁133。以下，通過隔壁133劃分的發光像素107的區域是本發明中的噴出區域A。然後，進入步驟S2。
[0230]圖26的步驟S2是表面處理工序。在步驟S2中，在形成了隔壁133的元件基板101的表面實施親液處理和防水處理。首先，進行將氧作為處理氣體的等離子體處理，主要對由無機材料構成的陽極131的表面實施親液處理。接下來，進行將CF4等氟類氣體作為處理氣體的等離子體處理，在由有機材料構成的隔壁133的表面導入氟並實施防水處理。
[0231]此外，具有防水性的隔壁133的形成並不局限於此。例如，也可以在隔壁133的頭頂部轉印防水性材料來形成防水層，以使上述感光性樹脂本身包含防水性材料的方式形成隔壁133。另外，該情況下，表面處理也可以採用去除形成隔壁133時的殘渣，例如照射紫外線而產生臭氧的UV臭氧處理。然後，進入步驟S3。
[0232]圖26的步驟S3是空穴注入層形成工序。在步驟S3中，首先，如圖27 (b)所示，將包含空穴注入層形成材料的功能液70塗覆於噴出區域A。功能液70例如使用作為溶劑包含二甘醇和水(純水)，作為空穴注入層形成材料以0.5%左右的重量比包含PEDOT / PSS的功能液。以粘度大概在20mPa.s以下的方式調整溶劑的比例。
[0233]作為塗覆功能液70的方法，使用在第一實施方式中說明的能夠將功能液(墨水)從噴頭50的噴嘴52噴出的噴出裝置10。使噴頭50與作為工件W的元件基板101對置，將功能液70從噴頭50噴出。噴出的功能液70以液滴的形式著落於進行了親液處理的陽極131並暈開。另外，以乾燥後的空穴注入層的膜厚大概為50nm?70nm的方式，噴出與噴出區域A的面積對應的規定量的液滴。然後進入乾燥工序。
[0234]在乾燥工序中，例如以燈退火等方法加熱元件基板101，從而使功能液70的溶劑成分乾燥並去除，如圖27 (c)所示，在噴出區域A的陽極131上形成空穴注入層132a。此夕卜，在本實施方式中，在各噴出區域A形成了由相同材料構成的空穴注入層132a，但也可以與後面形成的發光層對應地按發光顏色改變空穴注入層132a的材料。然後進入步驟S4。
[0235]圖26的步驟S4是中間層形成工序。在步驟S4中，如圖27 (d)所示，將包含中間層形成材料的功能液80塗覆於噴出區域A。
[0236]功能液80例如使用作為溶劑包含環己基苯，作為中間層形成材料以0.1%左右的重量比包含上述的三苯胺系聚合物的功能液。粘度大概為6mPa?s。
[0237]作為塗覆功能液80的方法，與塗覆功能液70的情況相同，使用第一實施方式的噴出裝置10。以乾燥後的中間層的膜厚大概為IOnm~20nm的方式，來噴出與噴出區域A的面積對應的規定量的液滴。然後進入乾燥工序。
[0238]在乾燥工序中，例如以燈退火等方法加熱元件基板101，從而使功能液80的溶劑成分乾燥並去除，如圖28 (e)所示，在噴出區域A的空穴注入層132a上形成中間層132c。然後進入步驟S5。
[0239]圖26的步驟S5是發光層形成工序。在步驟S5中，如圖28 (f)所示，將包含發光層形成材料的功能液90R、90G、90B塗覆於各自對應的噴出區域A。
[0240]功能液90R、90G、90B例如使用了作為溶劑包含環己基苯，作為發光層形成材料以
0.7%的重量比包含PF的功能液。粘度大概為14mPa?s。
[0241]在塗覆功能液90R、90G、90B的方法中，仍然使用第一實施方式的噴出裝置10來填充至分別不同的噴頭50並從其噴出。另外，以乾燥後的發光層的膜厚大概為50nm~IOOnm的方式，來噴出與噴出區域A的面積對應的規定量的液滴。然後進入乾燥工序。
[0242]本實施方式中的噴出的功能液90R、90G、90B的乾燥工序使用與一般的加熱乾燥相比能夠比較均勻地乾燥溶劑成分的減壓乾燥法。在噴出區域A普遍塗覆所需量的功能液90R、90G、90B。因此，如圖28(g)所示，乾燥後形成的發光層132r、132g、132b在每個噴出區域A具有大致恆定的膜厚和穩定的膜形狀(剖面形狀)。由此，完成包含發光層132r、132g、132b的功能層132R、132G、132B。然後，進入步驟S6。
[0243]圖26的步驟S6是陰極形成工序。在步驟S6中，如圖28 (h)所示，以覆蓋隔壁133和各功能層132R、132G、132B的方式形成陰極134。由此，按各發光像素107構成有機EL元件112。
[0244]作為陰極134的材料，使用鋁(Al)、銀(Ag)和鎂(Mg)的合金等。也可以在靠近功能層132R、132G、132B的一側形成功函數較小的Ca、Ba、LiF的膜。另外，也可以在陰極134上層疊Si02、SiN等的保護層。這樣一來，能夠防止陰極134的氧化。作為陰極134的形成方法，列舉了蒸鍍法、濺射法、CVD法等。特別是在能夠防止功能層132R、132G、132B的因熱而引起的損傷這一點，優選蒸鍍法。然後，進入步驟S7。
[0245]圖26的步驟S7是密封基板粘合工序。在步驟S7中，對形成有有機EL元件112的元件基板101塗覆密封層135，並與密封基板102無縫隙地密封(參照圖25)。並且優選在密封基板102的外周區域設置防止水分、氧等浸入的粘合層並粘合。
[0246]根據以上那樣的有機EL裝置100的製造方法，使用上述第一實施方式的噴出裝置10通過液相法(噴墨法)來形成功能層132R、132G、132B。另外，使用上述第一實施方式的噴嘴噴出量的修正方法，按每次經過(主掃描)修正驅動信號C0M，將各功能液以液滴的形式從選擇出的噴嘴52噴出到噴出區域A。進行經過(主掃描)中的液滴D的噴出數最多的經過(主掃描)作為第一次經過(主掃描)。因此，從噴頭50的噴嘴52噴出的功能液的填充量偏差被抑制在某種程度的範圍內。因此，在發光區域106的各發光像素107中，形成具有幾乎恆定的膜厚和穩定的膜形狀(剖面形狀)的發光層132r、132g、132b的功能層132RU32G、132B。因此，起因於功能層132R、132G、132B的膜厚偏差的亮度不均被減少，能夠製造具有優良的發光特性即顯示品質，且能夠進行好看的彩色顯示的有機EL裝置100。[0247]此外，通過將使用了上述第一實施方式的噴出裝置10的功能液的噴出方法至少應用於包含發光層形成材料的功能液90R、90G、90B的塗覆，所以能夠獲得其效果。
[0248]電子設備
[0249]能夠將使用本發明的有機EL裝置的製造方法製造出的有機EL裝置100優選應用於各種電子設備的顯示部。
[0250]作為電子設備，能夠列舉行動電話機、個人計算機、PDA、P0S等可攜式信息終端、數位照相機、數碼攝像機、汽車導航系統、電視、HMD (頭戴式顯示器)、HUD (平視顯示器)等。
[0251]另外，有機EL裝置100不僅用作顯示部,例如作為使有機EL元件112為獲得白色發光的結構，還可以用作電子設備的照明裝置。
[0252]本發明並不限定於上述的實施方式，在不違背從要求保護的範圍以及說明書整體領會出的發明的主旨或者思想的範圍內能夠適當地變更，隨著該變更的噴嘴噴出量的修正方法及應用該噴嘴噴出量的修正方法的功能液的噴出方法以及應用該功能液的噴出方法的有機EL裝置的製造方法也包含在本發明的技術範圍內。除了上述實施方式以外也考慮各種變形例。以下，列舉變形例進行說明。
[0253]變形例I
[0254]在上述第一實施方式中的噴嘴噴出量的修正方法以及功能液的噴出方法中，噴出至一個噴出區域A的液滴的個數並不限定於5滴，並且，並不限定於將5滴液滴分成四次的主掃描噴出。應用本發明的功能液的噴出方法應用於分為N (N為正整數)次的主掃描，至少將N+ I的液滴噴出至噴出區域A，且在N次的主掃描中包含與其他的主掃描相比液滴的噴出數多的主掃描的情況。
`[0255]變形例2
[0256]上述第一實施方式的功能液的噴出方法中的相對於多個噴出區域A的噴嘴列52c的配置並不限定於此。若使噴嘴列52c相對於主掃描方向傾斜地對置配置，則雖然在主掃描中由一個噴嘴列52c能夠噴出液滴D的描繪範圍變小，但能夠在主掃描中增加覆蓋一個噴出區域A的噴嘴52的個數，所以能夠提高噴嘴52的噴出量偏差中的分散性。
[0257]變形例3
[0258]在上述第一實施方式的功能液的噴出方法中，並不限定於在每次主掃描中改變選擇出的噴嘴52來噴出液滴D。若在多次主掃描中的至少一次主掃描中改變選擇出的噴嘴52，則能夠使噴嘴52的噴出量偏差分散。
[0259]變形例4
[0260]在主掃描中選擇出的噴嘴52中的液滴的噴出量等級並不限定於8個。只要是不同波形的驅動信號COM的個數的整數倍，就能夠進行均等分配。
[0261]變形例5
[0262]能夠應用本發明的噴嘴噴出量的修正方法以及功能液的噴出方法的並不限定於有機EL裝置100的製造方法。例如，也能夠應用於功能液包含著色材料的彩色濾光片的製造方法、功能液包含導電材料的布線、電極等的形成方法、功能液包含半導體材料的半導體層的形成方法等。
[0263]符號說明
[0264]52…噴嘴，59…作為致動器的壓電元件，70、80、90R、90G、90B…功能液，100…有機EL裝置，101…作為基板的元件基板，132r、132g、132b…發光層，132R、132G、132B…功能層，A…噴出區域，W…作為被噴出物的工件。
【權利要求】
1.一種噴出量修正方法，其特徵在於， 是使多個噴嘴與形成有噴出區域的被噴出物對置配置，並在使所述多個噴嘴與所述被噴出物相對移動的多次主掃描的期間，將多個驅動信號中的一個驅動信號供給至所述多個噴嘴中被選擇的噴嘴的致動器，並按所述多個噴嘴的每一個對將預先設定的規定量A的功能液以液滴的形式噴出至所述噴出區域時的所述液滴的噴出量進行修正的噴嘴噴出量的修正方法，該修正方法包括: 第一修正步驟，根據使用所述多個驅動信號並通過所述多次主掃描來將所述液滴從所述被選擇的噴嘴噴出至所述噴出區域的情況下的規定量B與所述規定量A之差C，計算所述多個驅動信號的每一個驅動信號的修正量來進行第一信號修正； 第二修正步驟，根據在所述多次主掃描中的前段主掃描中使用進行了所述第一信號修正後的所述多個驅動信號，並在後段主掃描中使用修正前的所述多個驅動信號來將所述液滴從所述被選擇的噴嘴噴出至所述噴出區域的情況下的規定量D與所述規定量A之差E，計算與所述後段的主掃描對應的所述修正前的所述多個驅動信號的每一個信號的修正量來進行第二信號修正；以及 根據所述多次主掃描的剩餘次數，分階段地進行所述第二修正步驟的步驟， 將所述多次主掃描中的、噴出至所述噴出區域的所述液滴的噴出數最多的主掃描作為所述前段主掃描。
2.根據權利要求1所述的噴出量修正方法，其特徵在於， 針對同一所述噴出區域，在所述多次主掃描中的至少一次主掃描中被選擇的噴嘴與在其餘的主掃描中被選擇的噴嘴不同。
3.根據權利要求1所述的噴出量修正方法，其特徵在於， 針對同一所述噴出區域，按所述多次主掃描的每一個選擇不同的噴嘴。
4.根據權利要求1~3中任意一項所述的噴出量修正方法，其特徵在於， 所述致動器是壓電元件， 所述多個驅動信號的修正是修正所述多個驅動信號的波形的電位。
5.—種功能液噴出方法,其特徵在於， 是使多個噴嘴與形成有噴出區域的被噴出物對置配置，在使所述多個噴嘴與所述被噴出物相對移動的多次主掃描的期間，將多個驅動信號中的一個驅動信號供給至所述多個噴嘴中被選擇的噴嘴的致動器，來將規定量的功能液以液滴的形式從所述被選擇的噴嘴噴出至所述噴出區域的功能液的噴出方法，該修正方法具有: 第一步驟，使用權利要求1~4中任意一項所述的噴嘴噴出量的修正方法，並按所述多次主掃描的每一個進行所述多個驅動信號的信號修正；以及 第二步驟，使用進行了信號修正後的所述多個驅動信號，在所述多次主掃描的期間，將所述規定量的所述功能液以液滴的形式從所述被選擇的噴嘴噴出至所述噴出區域。
6.根據權利要求5所述的功能液噴出方法，其特徵在於， 在所述第二步驟中，將所述多次主掃描中的、針對所述噴出區域的液滴的噴出數最多的主掃描作為第一次主掃描來實施。
7.一種有機EL裝置製造方法，其特徵在於， 是在基板上的多個噴出區域的每一區域具有包含發光層的功能層的有機EL裝置的製造方法，所述製造方法具備: 使用權利要求5或者權利要求6所述的功能液的噴出方法，來將規定量的所述功能液塗覆在所述多個噴出區域的每一個噴出區域的工序；以及 對塗覆的所述功能液進行固化，並在所述多個噴出區域的每一個噴出區域形成所述功能層中的一個有機層的工序。
8.根據權利要求7所述的有機EL裝置製造方法，其特徵在於， 在塗覆所述功能液的工序中 ，塗覆包含發光層形成材料的所述功能液。
【文檔編號】B41J2/045GK103879145SQ201310689043
【公開日】2014年6月25日 申請日期:2013年12月16日 優先權日:2012年12月21日
【發明者】北林厚史 申請人:精工愛普生株式會社