承載盤以及具有該承載盤的頂出治具的製作方法

2023-10-05 03:31:44 8

專利名稱：承載盤以及具有該承載盤的頂出治具的製作方法
技術領域：
本發明涉及鍍膜領域，尤其涉及一種便於取出鍍膜傘架上的工件的承載盤以及具 有該承載盤的頂出治具。
背景技術：
當前，許多工業產品表面都鍍有功能薄膜，以改善產品表面的各種性能。如在光 學鏡片的表面鍍上一層抗反射膜，以降低鏡片表面的反射率，降低入射光通過鏡片的能量 損耗。又如在某些濾光元件表面鍍上一層濾光膜，可濾掉某一預定波段的光，製成各種各 樣的濾光片。一般地，鍍膜方法主要包括離子鍍膜法、射頻磁控濺鍍、真空蒸發法、化學氣 相沉積法等。Ichiki，M.等人在 2003 年 5 月發表於 2003Symposium on Design, Test, Integration andPackaging of MEMS/MOEMS StJife^I Thin film formation-a fabrication on non-planarsurface by spray coating method中介紹了通過噴塗在__平面形成薄膜的 方法。蒸鍍是一種物理氣相沉積技術，即以物理的方式進行薄膜沉積。具體地，其通過離 子束或電子束對蒸鍍材料進行加熱，使蒸鍍材料變成氣態或離子態，而沉積在待鍍膜的工 件表面以形成一蒸鍍材料膜層。頂出治具通常包括鍍膜傘架和蒸鍍靶材。鍍膜傘架上具有多個用於放置待鍍膜的 工件的開口。蒸鍍靶材設置於鍍膜傘架下方，通過蒸發而將靶材衝至鍍膜傘架，從而對待鍍 膜的工件朝向鍍膜傘架下方的一面進行鍍膜。蒸鍍時蒸鍍源的離子在真空腔體內是以無序 的方式運動，容易從固定式傘架的周圍流動至傘架上方，故鍍膜傘架上的開口通常與待鍍 膜的工件大小相當，如此，則對鍍膜完成後取出工件之一過程帶來麻煩，人工取出工件時， 不僅效率低，而且還容易汙染工件。因此，有必要提供一種便於取出鍍膜傘架上的工件的承載盤及具有該承載盤的頂 出治具。

發明內容
一種承載盤，用於承載鍍膜傘架。所述鍍膜傘架具有多個用於收容待鍍膜的工件 的收容通孔。所述承載盤包括承盤架和多個自承盤架向鍍膜傘架方向延伸的頂出柱。所述 承盤架的形狀與所述鍍膜傘架的形狀相對應。所述多個頂出柱與多個收容通孔一一對應， 用於分別穿入多個收容通孔中以頂出收容通孔中的工件。—種頂出治具，包括鍍膜傘架和承載盤。所述鍍膜傘架具有相對的內表面和外表 面。所述鍍膜傘架還具有多個貫穿所述內表面和外表面的收容通孔，所述收容通孔用於收 容待鍍膜的工件。所述承載盤用於承載鍍膜傘架，所述承載盤包括承盤架和多個頂出柱。所 述承盤架的形狀與所述鍍膜傘架的形狀相對應，且具有與所述鍍膜傘架的內表面相對的第 一表面。所述頂出柱自所述第一表面向鍍膜傘架的內表面方向延伸，所述多個頂出柱與多 個收容通孔一一對應，用於分別穿入多個收容通孔中以頂出收容通孔中的工件。
本技術方案提供的頂出治具的承載盤具有與所述鍍膜傘架的多個收容通孔一一 對應的多個頂出柱，可將收容於收容通孔內的工件頂出。使用本技術方案提供的頂出治具 可方便地取出工件，有利於提高鍍膜效率。


圖1是本技術方案第一實施例提供的頂出治具的結構示意圖。圖2是本技術方案第一實施例提供的頂出治具的鍍膜傘架的剖面示意圖。圖3是使用本技術方案第一實施例提供的頂出治具頂出工件的示意圖。圖4是本技術方案第二實施例提供的承載盤的結構示意圖。
具體實施例方式下面將結合附圖及多個實施例，對本技術方案提供的承載盤和頂出治具作進一步 的詳細說明。請參閱圖1，本技術方案第一實施例提供一種頂出治具100，用於頂出完成鍍膜的 工件。所述頂出治具100包括鍍膜傘架10和承載盤20。所述鍍膜傘架10用於收容待鍍膜的工件以對其表面進行鍍膜。所述鍍膜傘架10 可為傘形，其具有相對的內表面11和外表面12。所述內表面11為內凹表面。所述內表面 11在鍍膜時與蒸鍍靶材相對。所述外表面12為外凸表面。所述鍍膜傘架10還具有位於其 中心處的結合孔13和用於收容待鍍膜的工件的多個收容通孔14。所述結合孔13為貫穿 內表面11和外表面12的通孔，可在鍍膜時與驅動器的輸出軸相結合，以使得所述鍍膜傘架 10在驅動器的帶動下旋轉以進行鍍膜。所述收容通孔14為貫穿所述內表面11和外表面 12的通孔。每一收容通孔14均用於收容待鍍膜的工件(如，鏡片)。本實施例中，所述收 容通孔14為階梯孔，其包括相連通的第一孔15和第二孔16。所述第一孔15為自所述外表 面12向內表面11開設的盲孔，所述第一孔15包括相連接的側壁17和底壁18。所述第二 孔16為自所述底壁18向內表面11開設的通孔。所述第二孔16的孔徑小於第一孔15的 孔徑。當然，所述收容通孔14還可以為其它結構，僅需其在鍍膜完成前後均可穩定承載工 件即可。例如，還可將所述收容通孔14設計為孔逕自所述外表面12向內表面11逐漸減小 的結構，如此，收容通孔14的孔壁也可以實現在鍍膜完成前後均可穩定承載工件。所述收 容通孔14分布於以所述鍍膜傘架10的中心為圓心的同心圓周上，且位於同一圓周上的多 個收容通孔14等角度分布。具體的，所述收容通孔14的數量為三十二個，分布於以鍍膜傘 架10中心為圓心的四個同心圓周上，每一個圓周上等角度分布有八個收容通孔14。所述承載盤20用於承載鍍膜傘架以便於取出收容於鍍膜傘架上的工件。所述承 載盤20包括承盤架21、間隔元件23和多個頂出柱25。所述承盤架21、間隔元件23和多個 頂出柱25可為一體成型。所述承盤架21的形狀與所述鍍膜傘架10的形狀相對應，本實施例中，所述承盤架 21也為傘形。所述承盤架21具有相對的第一表面210和第二表面211。所述第一表面210 為外凸表面，用於與所述鍍膜傘架10相對。所述第二表面211為內凹表面。當然，所述承 盤架21的形狀可根據待承載的鍍膜傘架10的形狀作相應的設計。所述間隔元件23用於間隔所述承盤架21和鍍膜傘架10。所述間隔元件23自所述承盤架21的第一表面210向所述鍍膜傘架10的內表面11方向延伸。所述間隔元件23 具有遠離所述承盤架21的承載面230。所述承載面230用於與所述鍍膜傘架10相接觸以 承載鍍膜傘架10。本實施例中，所述間隔元件23為圓柱體形，其垂直於所述承盤架21的第 一表面210，且自第一表面210中心處延伸。所述間隔元件23的高度為D1。當然，所述間 隔元件23還可以為圓環形、稜柱或其他形狀，僅需其遠離所述承盤架21的承載面230可與 所述鍍膜傘架10相接觸並承載鍍膜傘架10即可。當然，所述承載盤20也可以不包括間隔元件23，如此，鍍膜傘架10承載於承載盤 20上時，內表面11直接與所述第一表面210相接觸。所述多個頂出柱25與多個收容通孔14 一一對應，用於分別穿入多個收容通孔14 中以頂出收容通孔中的工件。所述多個頂出柱25可均為圓柱體形，每一頂出柱25均自所 述承盤架21的第一表面210向外延伸，即向遠離第二表面211方向延伸。本實施例中，所 述頂出柱25的延伸方向垂直於第一表面210。所述頂出柱25的高度為D2，大於所述間隔 元件23的高度D1，所述多個頂出柱25的大小形狀均相同。當然，所述多個頂出柱25的延 伸方向不一定要相同，也不一定為垂直於所述承盤架21，也可以平行於所述承盤架21的中 心軸向，或者為與所述承盤架21的中心軸向之間成一定夾角的其他方向。所述頂出柱25 的數量及排布方式均與所述收容通孔14的數量及排布方式相對應，並且每一頂出柱25均 位於與之對應的收容通孔14靠近所述鍍膜傘架10的中心的一側。本實施例中，所述頂出 柱25的數量也為三十二個，分布在以承盤架21的中心為圓心的四個同心的圓周上，每一個 圓周上等角度分布有八個頂出柱25。優選的，可在所述頂出柱25遠離承盤架21的端部包 覆軟性材料(如，海綿、布料等)，如此，可避免刮傷工件。當然，若所述承盤架21、間隔元件 23和多個頂出柱25不是一體成型，可直接用軟性材料(如，橡膠)製造頂出柱25，再通過 粘結或其他方式結合於承盤架21。請一併參閱圖1至圖3，如上所述的頂出治具100 —般在鍍膜完成後使用。鍍膜時，可先提供多個工件200，所述工件200具有一個待鍍表面201。本實施例 中，所述工件200為方形的玻璃片，其數量與所述鍍膜傘架10的收容通孔14的數量一致。 具體的，將工件200收容於所述鍍膜傘架10的收容通孔14時，使所述工件200的待鍍表面 201承載於收容通孔14的第一孔15的底壁18。其次，將所述多個工件200分別收容於所 述鍍膜傘架10的多個收容通孔14。最後，使鍍膜傘架10的內表面11與蒸鍍靶材相對，將 所述結合孔13與驅動器的輸出軸相結合，以使得所述鍍膜傘架10在驅動器的帶動下旋轉 以對工件200的待鍍表面201進行鍍膜。鍍膜完成後，可先將所述鍍膜傘架10對準所述承載盤20，使鍍膜傘架10承載於所 述承載盤20，並且每一頂出柱25均穿入與之對應的收容通孔14中，從而將該收容通孔14 中的工件200的一端頂出。具體的，可採用人工方式或機械手將鍍膜傘架10移動至承載盤 20上方。使鍍膜傘架10的內表面11與所述承盤架21的第一表面210相對並使內表面11 中心處與所述間隔元件23的承載面230相接觸，從而將鍍膜傘架10承載於承載盤20上。 同時，每一頂出柱25均與工件200的待鍍表面201相接觸，並且，由於頂出柱25的高度D2 大於所述間隔元件23的高度Dl，頂出柱25穿入與之對應的收容通孔14，每一工件200靠 近鍍膜傘架10中心處的一側均被頂出柱25頂出收容通孔14。由於所述收容通孔14為階 梯孔，其第一孔15的底壁18可支撐工件200從而避免工件200掉入鍍膜傘架10與承載盤20之間的空間內。最後，從多個工件200被頂出的一端將多個工件200從多個收容通孔14中取出。本技術方案提供的頂出治具100的承載盤20具有與所述鍍膜傘架10的多個收容 通孔14 一一對應的多個頂出柱25，可將收容於收容通孔14內的工件200頂出。使用本技 術方案提供的頂出治具100後，操作人員可方便地取出工件200，有利於提高工作效率。請一併參閱圖2和圖4，本技術方案第二實施例提供一種承載盤30，其包括承盤架 31、間隔元件33和多個頂出柱35。所述承盤架31的形狀與所述鍍膜傘架10的形狀相對應。本實施例中，所述承盤 架31為中空的傘狀支架，其包括一個支撐環310和等角度連接於所述支撐環310的多根連 接杆311。所述支撐環310可為圓環狀，其可由圓柱形杆首尾相接而形成。每一連接杆311 均為弧形杆，其具有相對的第一端部312和第二端部313。所述第一端部312連接於所述支 撐環310，第二端部313連接於所述間隔元件33。當然，每一連接杆311的第二端部313還 可對應連接於其他連接杆311的第二端部313。例如，多個連接杆311的第二端部313的連 接於所述承盤架31的支撐環310的中心處。當然，所述支撐環310並不限於為圓環狀，還可以為多邊形或其他形狀。若所述多 根連接杆311為剛性材質，所述承盤架31也可以不包括支撐環310。所述間隔元件33包括相連接的間隔部330和結合部331。所述間隔部330可為圓 柱體形，其具有用於與鍍膜傘架10接觸的承載面332。所述承載面332位於遠離所述承盤 架31的一側。所述結合部331自所述承載面332向遠離承盤架31方向延伸。所述結合部 331的形狀與所述鍍膜傘架10的結合孔13形狀相對應，用於將鍍膜傘架10承載於承載盤 30時與結合孔13相配合以定位，從而有利於收容通孔14與頂出柱35之間的對應。所述多個頂出柱35與多個收容通孔14 一一對應，用於分別穿入多個收容通孔14 中以頂出收容通孔中的工件。所述多個頂出柱35可均為圓柱體形，所述頂出柱35自所述 連接杆311與所述鍍膜傘架10相對處向外延伸。當然，所述多個頂出柱35的延伸方向不 一定要相同，也不一定為垂直於所述承盤架31，也可以平行於所述承盤架31的中心軸向， 或者為與所述承盤架31的中心軸向之間成一定夾角的其他方向。本實施例中，所述連接杆 311的數量為八個，每一連接杆311上均設置有四個頂出柱35。相較於第一實施例提供的頂出治具100的承載盤20，本技術方案第二實施例提供 的承載盤30的承盤架31可節約大量材料，此外，由於間隔元件33還包括結合部331，更有 利於承載盤30與鍍膜傘架10之間的定位。可以理解的是，對於本領域的普通技術人員來說，可以根據本發明的技術構思做 出其它各種相應的改變與變形，而所有這些改變與變形都應屬於本發明權利要求的保護範圍。
權利要求
1.一種承載盤，用於承載鍍膜傘架，所述鍍膜傘架具有多個用於收容待鍍膜的工件的 收容通孔，所述承載盤包括承盤架和多個頂出柱，所述承盤架的形狀與所述鍍膜傘架的形 狀相對應，且具有用於與所述鍍膜傘架相對的第一表面，所述多個頂出柱自所述承盤架的 第一表面向外延伸，且與多個收容通孔一一對應，用於分別穿入多個收容通孔中以頂出收 容通孔中的工件。
2.如權利要求1所述的承載盤，其特徵在於，還包括用於間隔所述承盤架和鍍膜傘架 的間隔元件，所述間隔元件在承盤架和鍍膜傘架之間的厚度小於所述頂出柱的延伸高度。
3.如權利要求1所述的承載盤，其特徵在於，所述承盤架包括一個支撐環和多根連接 杆，所述多根連接杆的一端連接於所述支撐環，另一端在支撐環的中心處相互連接，所述頂 出柱自所述連接杆延伸。
4.如權利要求3所述的承載盤，其特徵在於，還包括用於間隔所述承盤架和鍍膜傘架 的間隔元件，所述多根連接杆遠離支撐環的另一端通過所述間隔元件相互連接。
5.如權利要求1所述的承載盤，其特徵在於，所述多個頂出柱垂直於承盤架的第一表
6.一種頂出治具，用於頂出完成鍍膜的工件，包括鍍膜傘架和承載盤，所述鍍膜傘架 具有相對的內表面和外表面，所述鍍膜傘架還具有多個貫穿所述內表面和外表面的收容通 孔，所述收容通孔用於收容待鍍膜的工件，所述承載盤用於承載鍍膜傘架，所述承載盤包括 承盤架和多個頂出柱，所述承盤架的形狀與所述鍍膜傘架的形狀相對應，且具有用於與所 述鍍膜傘架的內表面相對的第一表面，所述頂出柱自所述第一表面向外延伸，所述多個頂 出柱與多個收容通孔一一對應，用於分別穿入多個收容通孔中以頂出收容通孔中的工件。
7.如權利要求6所述的頂出治具，其特徵在於，還包括用於間隔所述承盤架的第一表 面和鍍膜傘架的內表面的間隔元件，所述間隔元件在承盤架的第一表面和鍍膜傘架的內表 面之間的厚度小於所述頂出柱的延伸高度。
8.如權利要求7所述的頂出治具，其特徵在於，所述鍍膜傘架具有結合孔，所述間隔元 件相連接的間隔部和結合部，所述間隔部具有用於與鍍膜傘架接觸的承載面，所述結合部 自所述承載面向遠離承盤架方向延伸，所述結合部的形狀與所述鍍膜傘架的結合孔形狀相 對應，用於與結合孔相配合以將所述承載盤與所述鍍膜傘架相結合。
9.如權利要求6所述的頂出治具，其特徵在於，所述多個收容通孔分布於以所述鍍膜 傘架的中心為圓心的多個同心圓周上，位於同一圓周上的多個收容通孔等角度分布。
10.如權利要求6所述的頂出治具，其特徵在於，所述收容通孔包括相連通的第一孔和 第二孔，所述第一孔靠近所述外表面，所述第二孔靠近所述內表面，所述第二孔的孔徑小於 第一孔的孔徑。
全文摘要
一種承載盤，用於承載鍍膜傘架。所述鍍膜傘架具有多個用於收容待鍍膜的工件的收容通孔。所述承載盤包括承盤架和多個自承盤架向鍍膜傘架方向延伸的頂出柱。所述承盤架的形狀與所述鍍膜傘架的形狀相對應。所述多個頂出柱與多個收容通孔一一對應，用於分別穿入多個收容通孔中以頂出收容通孔中的工件。本技術方案還提供一種具有如上所述的承載盤的頂出治具。
文檔編號C23C16/54GK102002680SQ200910306339
公開日2011年4月6日 申請日期2009年8月31日 優先權日2009年8月31日
發明者蔡泰生 申請人:鴻富錦精密工業(深圳)有限公司, 鴻海精密工業股份有限公司