用於檢測硫醯氟氣體殘留濃度的光聲光譜檢測裝置製造方法
2023-10-11 23:34:54 1
用於檢測硫醯氟氣體殘留濃度的光聲光譜檢測裝置製造方法
【專利摘要】本發明公開了一種用於檢測硫醯氟氣體殘留濃度的光聲光譜檢測裝置，包括：光源，斬波器，波數860、中心波長為11.6微米的窄帶濾光片，非諧振圓柱體結構的光聲池，多個微音器，數據收集分析處理模塊，以及紅外溼度傳感器；所述數據收集分析處理模塊，包括：與微音器一一對應連接的鎖相放大器，與各個鎖相放大器分別連接的數據採集電路，以及與所述數據採集電路連接的數據定量分析子模塊。本發明設置有多個微音器，能降低單個微音器在轉換出電信號時引起的誤差，且多個微音器均布在光聲池的環形側壁上，能減少由於微音器測量位置引起的誤差。
【專利說明】 用於檢測硫醯氟氣體殘留濃度的光聲光譜檢測裝置
【技術領域】
[0001 ] 本發明涉及用於檢測硫醯氟氣體殘留濃度的光聲光譜檢測裝置。
【背景技術】
[0002]目前用於檢測硫醯氟氣體殘留濃度的光聲光譜檢測裝置，其微音器是關鍵部件，需要通過微音器來轉換出電信號，而目前光聲光譜檢測裝置的微音器數量單一，設置位置也不是很合理，容易引起測量誤差。
【發明內容】
[0003]本發明的目的在於提供一種用於檢測硫醯氟氣體殘留濃度的光聲光譜檢測裝置，其設置有多個微音器，能降低單個微音器在轉換出電信號時引起的誤差，且多個微音器均布在光聲池的環形側壁上，能減少由於微音器測量位置引起的誤差。
[0004]為實現上述目的，本發明的技術方案是設計一種用於檢測硫醯氟氣體殘留濃度的光聲光譜檢測裝置，包括:光源，斬波器，波數860、中心波長為11.6微米的窄帶濾光片，非諧振圓柱體結構的光聲池，多個微音器，數據收集分析處理模塊，以及紅外溼度傳感器；
[0005]所述光源連接斬波器，並與濾光片一起設置在光聲池一側；
[0006]所述紅外溼度傳感器設置連接在光聲池的另一側；
[0007]所述多個微音器均布在光聲池的環形側壁上；所述微音器採用振動敏感度小於〈ldB的娃微微音器,娃微微音器內置有用來檢測聲壓的娃薄膜；
[0008]所述光源發出光發射到斬波器，通過斬波器切光，形成調製光；
[0009]所述調製光照射到濾光片上後，形成窄帶可調製光譜，照射到光聲池；
[0010]所述數據收集分析處理模塊，包括:與微音器一一對應連接的鎖相放大器，與各個鎖相放大器分別連接的數據採集電路，以及與所述數據採集電路連接的數據定量分析子模塊。
[0011]優選的，所述光源採用非幹涉熱輻射源，工作溫度為850攝氏度。
[0012]所述鎖相放大器用於放大微音器輸出的電信號；
[0013]所述數據採集電路用於綜合採集各個鎖相放大器輸出的放大後的電信號；
[0014]所述數據定量分析子模塊用於對各個放大後的電信號進行綜合處理，並完成硫醯氟殘留濃度的定量分析，以此來完成硫醯氟濃度的檢測。
[0015]本發明的優點和有益效果在於:提供一種用於檢測硫醯氟氣體殘留濃度的光聲光譜檢測裝置，其設置有多個微音器，能降低單個微音器在轉換出電信號時引起的誤差，且多個微音器均布在光聲池的環形側壁上，能減少由於微音器測量位置引起的誤差。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0016]圖1是本發明的示意圖。【具體實施方式】
[0017]下面結合附圖和實施例，對本發明的【具體實施方式】作進一步描述。以下實施例僅用於更加清楚地說明本發明的技術方案，而不能以此來限制本發明的保護範圍。
[0018]本發明具體實施的技術方案是:
[0019]如圖1所示，一種用於檢測硫醯氟氣體殘留濃度的光聲光譜檢測裝置，包括:光源1，斬波器2，波數860、中心波長為11.6微米的窄帶濾光片3，非諧振圓柱體結構的光聲池4，多個微音器5，數據收集分析處理模塊6，以及紅外溼度傳感器7 ；
[0020]所述光聲池4設有氣體進口 41和氣體出口 42 ；
[0021]所述光源I採用非幹涉熱輻射源，工作溫度為850攝氏度；
[0022]所述光源I連接斬波器2，並與濾光片3 —起設置在光聲池4 一側；
[0023]所述紅外溼度傳感器7設置連接在光聲池4的另一側；
[0024]所述多個微音器5均布在光聲池4的環形側壁上；所述微音器5採用振動敏感度小於〈ldB的娃微微音器5,娃微微音器5內置有用來檢測聲壓的娃薄膜；
[0025]所述光源I發出光發射到斬波器2，通過斬波器2切光，形成調製光；
[0026]所述調製光照射到濾光片3上後，形成窄帶可調製光譜，照射到光聲池4 ；
[0027]所述數據收集分析處理模塊6，包括:與微音器5 —一對應連接的鎖相放大器61，與各個鎖相放大器61分別連接的數據採集電路62，以及與所述數據採集電路62連接的數據定量分析子模塊63。
[0028]所述鎖相放大器61用於放大微音器5輸出的電信號；
[0029]所述數據採集電路62用於綜合採集各個鎖相放大器61輸出的放大後的電信號；
[0030]所述數據定量分析子模塊63用於對各個放大後的電信號進行綜合處理，並完成硫醯氟殘留濃度的定量分析，以此來完成硫醯氟濃度的檢測。
[0031]本發明設置有多個微音器5,能降低單個微音器5在轉換出電信號時引起的誤差，且多個微音器5均布在光聲池4的環形側壁上，能減少由於微音器5測量位置引起的誤差。
[0032]以上所述僅是本發明的優選實施方式，應當指出，對於本【技術領域】的普通技術人員來說，在不脫離本發明技術原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本發明的保護範圍。
【權利要求】
1.用於檢測硫醯氟氣體殘留濃度的光聲光譜檢測裝置，其特徵在於，包括:光源，斬波器，波數860、中心波長為11.6微米的窄帶濾光片，非諧振圓柱體結構的光聲池，多個微音器，數據收集分析處理模塊，以及紅外溼度傳感器； 所述光源連接斬波器，並與濾光片一起設置在光聲池一側； 所述紅外溼度傳感器設置連接在光聲池的另一側； 所述多個微音器均布在光聲池的環形側壁上；所述微音器米用振動敏感度小於〈ldB的娃微微音器，娃微微音器內置有用來檢測聲壓的娃薄膜； 所述光源發出光發射到斬波器，通過斬波器切光，形成調製光； 所述調製光照射到濾光片上後，形成窄帶可調製光譜，照射到光聲池； 所述數據收集分析處理模塊，包括:與微音器一一對應連接的鎖相放大器，與各個鎖相放大器分別連接的數據採集電路，以及與所述數據採集電路連接的數據定量分析子模塊。
2.根據權利要求1所述的用於檢測硫醯氟氣體殘留濃度的光聲光譜檢測裝置，其特徵在於，所述光源採用非幹涉熱輻射源，工作溫度為850攝氏度。
【文檔編號】G01N21/01GK103954578SQ201410200573
【公開日】2014年7月30日 申請日期:2014年5月14日 優先權日:2014年5月14日
【發明者】陳默, 李茂
申請人:江蘇舒茨測控設備有限公司