壓模、壓印方法及信息記錄媒體製造方法

2023-05-07 06:03:16 2

專利名稱：壓模、壓印方法及信息記錄媒體製造方法
技術領域：
本發明涉及在製造信息記錄媒體時使用的壓模(stamper)、在形成在基體材料表面的樹脂層上按壓壓模複印其凹凸形狀的壓印方法、以及利用在樹脂層上複印的凹凸圖案製造信息記錄媒體的信息記錄媒體製造方法。
背景技術：
在製造信息記錄媒體的工序中，作為在形成在基體材料表面的抗蝕劑層(樹脂層)上形成微細的凹凸圖案(抗蝕劑圖案)的方法，以往已知有光刻法。在這種光刻法中，形成在基體材料上的抗蝕劑層經過照射光線形成曝光圖案，而後對抗蝕劑層進行顯像處理，以此在基體材料上形成凹凸圖案。又，近年來，作為形成更加細微的圖案用的技術，研究出了取代光線，以電子束照射的方法描畫納米尺寸的圖案，形成凹凸圖案的電子束石板印刷術。但是，在這種電子束石板印刷術中，對抗蝕劑層進行圖案描畫需要較長的時間，因此存在著大批量生產有困難的問題。
作為解決這一存在問題的技術，美國專利5772905號說明書公開了這樣的方法，就是將形成納米尺寸的凹凸圖案的壓模按壓在基體材料上的樹脂層上，將壓模的凹凸形狀複印於樹脂層上，以此在基體材料上形成納米尺寸的凹凸圖案的納米壓印石板印刷術(形成納米尺寸的凹凸圖案的壓印方法以下也稱為「壓印方法」)。在這種壓印方法中，首先，如該說明書的圖1A所示，製造在其複印面上形成納米尺寸(例如最小寬度為25nm左右)的凹凸圖案的壓模(mold)10z(以下對美國專利5772905號說明書中公開的結構要素在其各標號上附加「z」表示)。具體地說，在覆蓋著形成在矽基板12z的表面上的氧化矽等薄膜(molding layer)14z形成的樹脂層上，用電子束石板印刷裝置描畫所希望的圖案之後，利用反應性蝕刻裝置將樹脂層作為掩模對薄膜14z進行蝕刻處理，以此在薄膜14z的厚度內形成具有多個凸部(features)16z的凹凸圖案。以此製造壓模10z。
接著，在例如矽制基體材料18z的表面上旋轉塗布PMMA(甲基丙烯酸甲酯)形成厚度為55nm左右的樹脂層(薄膜)20z。接著，將基體材料18z和樹脂層20z的疊層體以及壓模10z兩者加熱到200℃，然後如該說明書的圖1B所示，以13.1MPa(133.6千克力/cm2)的壓力將壓模10z的各凸部16z按壓在基體材料18z上的樹脂層20z上。接著，將按壓著壓模10z的狀態下的疊層體放置冷卻到室溫，然後從樹脂層20z上剝離壓模10z。藉助於此，如該說明書的圖1C所示，將壓模10z的凹凸圖案中的各凸部16z複印於樹脂層20z，形成多個凹部(regions)24z，在基體材料18z上(樹脂層20z)形成納米尺寸的凹凸圖案。
專利文獻1美國專利5772905號說明書但是，在已有的壓印方法中存在下述問題。也就是在這種壓印方法中，如該說明書的圖1A、1B所示，從凹凸圖案的凹部的底面到各凸部16z的突出端部的高度在全部區域均勻形成地，也就是說，各凸部16z的突出端部在全部區域實質上形成為一平面地形成的壓模10z按壓在樹脂層20z上，在基體材料18z上形成凹凸圖案。在這種情況下，在按照這種壓印方法製造的信息記錄媒體中，在以一定的角速度旋轉的狀態下從伺服圖案區域讀出跟蹤伺服控制用的伺服信號。為此，信息記錄媒體的伺服圖案區域被規定為其圓周方向(旋轉方向)的長度從內周部向外周部慢慢變長。又，伴隨將伺服圖案區域規定為越往外周部越長，構成伺服圖案區域內的各伺服圖案的各凸部和凹部也規定為其圓周方向(旋轉方向)的長度從內周部向外周部慢慢變長。因此，在製造這種信息記錄媒體用的壓模10z的伺服圖案形成區域上，形成沿著與信息記錄媒體的圓周方向對應的方向的長度(以下也稱為「圓周方向的長度」)從內周部向外周部慢慢變長地形成的凸部1 6z。但是，在已有的壓印方法中，由於在壓模10z的全部區域以實質上均勻的壓力將凹凸圖案按壓在樹脂層20z上，將例如其圓周方向的長度比內周部長的凸部16z的外周部充分壓入樹脂層20z是困難的。
具體地說，在例如信息記錄媒體的伺服圖案形成區域的引導(preamble)圖案區域上，形成沿著徑向連續形成而且在徑向上長的凸部和凹部。在這種情況下，引導圖案區域內的凸部和凹部形成為其其圓周方向的長度從內周部向外周部慢慢變長。為此，在製造信息記錄媒體用的壓模10z的引導圖案形成區域上，形成規定為沿著與信息記錄媒體的徑向對應的方向的長度(以下稱為「徑向的長度」)比較長，圓周方向的長度從內周部向外周部慢慢變長的凸部16z，作為例如形成上述凹部用的凸部。在這種情況下，如圖35所示，在各凸部16z的圓周方向的長度L11比較短的引導圖案形成區域的內部，在將各凸部16z壓入樹脂層20z時能夠使PMMA(形成樹脂層20z的樹脂材料)順利地向各凸部16z的周圍的凹部內移動，其結果是，能夠將各凸部16z充分壓入樹脂層20z將其壓入到深部。其結果是，在引導圖案形成區域的內周部，能夠將各凸部16z的突出端部與基體材料18z之間(凹部24z的底部)的殘渣的厚度T11足夠薄的凹凸圖案形成在基體材料18z上。
相比之下，如圖36所示，在各凸部16z的圓周方向的長度L12比較長的引導形成區域的外周部，將各凸部16z壓入時使PMMA向各凸部16z的周圍的凹部內順利移動是困難的，所以難於將各凸部16z壓入樹脂層20z到足夠深的地方。其結果是，在形成引導圖案形成區域的外周部，將各凸部16z的突出端部與基體材料18z之間的殘渣厚度T12做得足夠薄是困難的。又，例如信息記錄媒體中的伺服圖案中的單位同步(burst)區域由凸部構成的同步圖案形成用的凸部16z(同步圖案的單位同步區域之間的凹部形成用的凸部16z)被規定為與單位同步區域對應的凹部之間的圓周方向的長度從內周部向外周部慢慢變長。因此，在凸部16z的圓周方向的長度比較長的同步圖案形成區域的外周部，將各凸部16z壓入時使PMMA向各凸部16z的周圍的凹部內順利移動是困難的，所以難以將各凸部16z壓入樹脂層20z到足夠的深度。其結果是，在同步圖案形成區域的外周部，將各凸部16z的突出端部與基體材料18z之間的殘渣厚度做得足夠薄是困難的。
另一方面，在信息記錄媒體的地址圖案區域，形成沿徑向連續形成，在徑向較長，而且相同半徑位置上的圓周方向的長度不同的凸部以及凸部之間的凹部(例如凸部和凹部的圓周方向的長度為2位長的扇區地址圖案等)。因此，在製造信息記錄媒體用的壓模10z的地址圖案形成區域上，形成徑向長度比較長，相同半徑位置上的圓周方向的長度不同的多個凸部，作為例如形成上述各凹部用的凸部。還有，在本說明書中的所謂「2位長」是指相同半徑位置的地址圖案等中作為2位信號識別的圓周方向的長度。同樣，所謂「8位長」是指相同半徑位置的地址圖案等中作為8位信號識別的圓周方向的長度。又，信息記錄媒體中的伺服圖案中的單位同步區域由凹部構成的同步圖案形成用的壓模10z中，各凸部16z(同步圖案的單位同步區域形成用的各凸部16z)的圓周方向的長度被規定為，外周部的凸部16z比內周部的凸部16z慢慢變長。
在這種情況下，在例如圓周方向的長度為2位長的扇區地址圖案形成用的凸部16z形成的部位和與上述單位同步區域對應的各凸部16z中的內周部的凸部16z形成的部位，各凸部16z的圓周方向的長度比較短，因此將各凸部16z壓入樹脂層20z時，能夠使PMMA平滑地向各凸部16z的周圍的凹部內移動。因此能夠將各凸部16z充分壓入樹脂層20z到深部。其結果是，在圓周方向的長度為2位長的扇區地址圖案形成區域和同步圖案形成區域的內周部，能夠將各凸部16z的突出端部與基體材料18z之間(凹部24z的底部)的殘渣的厚度足夠薄的凹凸圖案形成在基體材料18z上。而在圓周方向的長度為8位長的扇區地址圖案形成用的凸部16z形成的部位和與上述單位同步區域對應的各凸部16z中的外周部的凸部16z形成的部位，各凸部16z的圓周方向的長度比較長，因此將各凸部16z壓入樹脂層20z時，難於使PMMA平滑地向各凸部16z的周圍的凹部內移動。因此難於將各凸部16z充分壓入樹脂層20z到深部。其結果是，在圓周方向的長度為8位長的扇區地址圖案形成區域和同步圖案形成區域的外周部，能夠將各凸部16z的突出端部與基體材料18z之間(凹部24z的底部)的殘渣的厚度做得足夠薄是困難的。
在這種情況下，利用形成在基體材料18z上的凹凸圖案製造信息記錄媒體時，有必要利用蝕刻處理等方法從基體材料18z上去除凹凸圖案中的各凹部24z的底面的殘渣。因此，在利用已有的壓印方法在基體材料18z上形成凹凸圖案時，存在著例如圓周方向的長度長的凸部16z壓入的部位(在這一例子中是引導圖案、圓周方向的長度為2位長的扇區地址圖案、以及同步圖案的形成區域的外周部，和圓周方向的長度為8位的扇區地址圖案的形成區域的從內周部到外周部的全部區域等)的厚殘渣去除需要的時間長的問題。而且，如上所述，例如徑向的長度短的凸部16z壓入的部位(引導圖案、圓周方向的長度為2位長的扇區地址圖案、以及同步圖案的形成區域的內周部等)的殘渣的厚度，比圓周方向的長度長的凸部16z壓入的部位的殘渣的厚度薄得多。因此，在進行足夠時間的蝕刻處理以便能夠完全去除圓周方向的長度長的凸部16z壓入的部位的殘渣時，將在該部位的殘渣的去除完成之前，完成圓周方向的長度短的凸部16z壓入的部位的殘渣的去除。其結果是，在圓周方向的長度短的凸部16z壓入的部位(圓周方向的長度短的凹部24z)，在圓周方向的長度長的凸部16z壓入的部位(圓周方向的長度長的凹部24z)的殘渣完全去除之前繼續進行蝕刻，以浸蝕凹部24z的內側壁，擴大凹部24z的圓周方向的長度(開口長度)。因此，在已有的壓印方法中，在將凹凸圖案形成在基體材料18z上時，存在著在殘渣去除之後(蝕刻處理之後)的各凹部24z的長度(開口長度)難於形成所希望的大小的問題。
本發明是鑑於這樣的問題而作出的，其主要目的在於，提供能夠以高精度形成具有所希望的開口長度的凹部的凹凸圖案的壓模、壓印方法以及信息記錄媒體製造方法。

發明內容
為了實現上述目的，本發明的壓模，可製造至少伺服圖案以凹凸圖案形成的信息記錄媒體地形成壓模側凹凸圖案，在所述壓模側凹凸圖案中，形成沿著與所述信息記錄媒體的徑向對應的方向連續形成的第1凸部，所述第1凸部越是在與所述信息記錄媒體的沿著方向對應的方向的長度長的部位，從在表面與背面之間規定的基準面到突出端部的高度做得越高。還有，在本說明書中的「壓模的表面」意味著「壓模側凹凸圖案的凹部的底面」、即「壓模側凹凸圖案的形成面」。在這種情況下，壓模側凹凸圖案中的各凹部的底面不是同一平面時，將某一個凹部的底面(作為一個例子，例如各凹部的底面中的最接近壓模的背面的底面)作為本發明的「壓模的表面」。而且假設在本發明的「表面與背面之間」包含「壓模的表面」以及「壓模的背面」兩者。又，本說明書中的所謂「基準面」意味著從壓模表面到背面之間規定的任意面。而且，本發明中的「與圓周方向對應的方向的(凸部的)長度」意味著「一個凸部的相對的側壁面之間的沿著圓周方向的距離」。
又，本發明的壓模，可製造至少伺服圖案以凹凸圖案形成的信息記錄媒體地形成壓模側凹凸圖案，在所述壓模側凹凸圖案中，形成沿著與所述信息記錄媒體的徑向對應的方向連續形成的多個第1凸部，同時各該第1凸部形成為越是與所述信息記錄媒體的圓周方向對應的方向的同一半徑位置的長度長的所述第1凸部，從表面與背面之間規定的基準面到突出端部的高度越高。
還有，本發明的壓模，可製造至少伺服圖案以凹凸圖案形成的信息記錄媒體地形成壓模側凹凸圖案，道所述第1凸部形成為在與所述圓周方向對應的方向的長度比與所述數據道(track)圖案對應的區域內形成的各凸部中所述高度最高的第2凸部的與所述徑向對應的方向的長度長的部位，所述高度比該第2凸部做得高。還有，在本說明書中的「與徑向對應的方向的(凸部的)長度」意味著「一個凸部的相互對向的側壁面之間的沿徑向的距離」。
還有，本發明的壓模，可製造至少伺服圖案以凹凸圖案形成的信息記錄媒體地形成壓模側凹凸圖案，所述壓模側凹凸圖案由凹部構成與所述伺服圖案中的同步圖案的單位同步區域對應的部位，同時在該凹部周圍形成第3凸部，所述第3凸部，越是所述凹部之間的與所述圓周方向對應的方向的長度長的部位，在表面與背面之間規定的基準面到突出端部的高度做得越高。還有，在本說明書中的所謂「單位同步區域」是指信息記錄媒體中的沿圓周方向並排的實質上為平行四邊形或橢圓形(包括圓形)的多個凸部或多個凹部的區域中的各區域。
又，本發明的壓模，可製造至少伺服圖案以凹凸圖案形成的信息記錄媒體地形成壓模側凹凸圖案，所述壓模側凹凸圖案由第4凹部構成與所述伺服圖案中的同步圖案的單位同步區域對應的部位，所述各第4凸部，越是與所述圓周方向對應的方向的長度長的該第4凸部，在表面與背面之間規定的基準面到突出端部的高度做得越高。
又，本發明的壓印方法，對在基體材料的表面上塗布樹脂材料形成的樹脂層，依序執行按壓上述任一壓模的所述壓模側凹凸圖案的壓模按壓處理以及從所述樹脂層上剝離所述壓模的壓模剝離處理，將所述壓模側凹凸圖案的凹凸形狀複印於所述樹脂層上。
又，本發明的信息記錄媒體製造方法，利用上述壓印方法，用在所述樹脂層上複印的凹凸圖案製造信息記錄媒體。
採用本發明的壓模、以及使用該壓模的壓印方法，則通過形成第1凸部而且使得越是圓周方向的長度長的部位從基準面到突出端部的高度越高，壓印時在壓模的全部區域以均勻的壓力將壓模按壓在樹脂層上時，能夠將不容易壓入樹脂層的各第1凸部的外周部等壓入樹脂層到足夠的深度。因此，能夠在其內周部到外周部的全部區域將壓模的伺服圖案形成區域內的各第1凸部以相同的程度充分壓入樹脂層，其結果是，能夠使基體材料上的殘渣的厚度在整個伺服圖案形成區域內均勻化。因此能夠使得去除殘渣所需要的時間在伺服圖案形成區域內的全部區域實質上相同，所以能夠避免在伺服圖案形成區域的內周部複印在樹脂層上的凹凸圖案的各凹部的側壁面被浸蝕，各凹部形成為不想要的大開口寬度的事態發生。藉助於此，能夠在從伺服圖案形成區域的內周部到外周部的全部區域以高精度形成具有所希望的開口寬度的凹部的凹凸圖案。
又，採用本發明的壓模、以及使用該壓模的壓印方法，則各第1凸部形成為越是在同一半徑位置的圓周方向的長度長的第1凸部，從基準面到突出端部的高度越高，藉助於此，在壓印時在壓模的全部區域以均勻的按壓力將壓模按壓在樹脂層上之際，圓周方向的長度長，因沿著圓周方向的長度長而不容易壓入樹脂層的各第1凸部能夠充分壓入樹脂層，壓入到與圓周方向的長度短的各凸部達到的相同程度的深度。因此能夠將壓模的伺服圖案形成區域內的各凸部以相同的程度、充分地壓入樹脂層，其結果是，能夠使基體材料上的殘渣的厚度在伺服圖案的形成區域內實現均勻化。因此，能夠使殘渣去除需要的時間在伺服圖案的形成區域內的全部區域實質上相同，因此能夠避免在例如伺服圖案形成區域的樹脂層上複印的凹凸圖案的各凹部中的圓周方向的長度(開口長度)短的凹部的側壁面被浸蝕，各凹部形成為不想要的大開口寬度的事態發生。藉助於此，能夠伺服圖案形成區域的全部區域以高精度形成具有所希望的開口寬度的凹部的凹凸圖案。
還有，採用本發明的壓模、以及使用該壓模的壓印方法，則通過將所述第1凸部形成為在與數據道圖案對應的區域內形成的各凸部中高度最高的第2凸部的圓周方向的長度比徑向的長度長的部位，高度比第2凸部做得高，藉助於此，在壓印時在壓模的全部區域(各數據道圖案的形成區域和各伺服圖案的形成區域)以均勻的按壓力將壓模按壓在樹脂層上之際，對於在像例如引導圖案形成用的凸部和扇區地址圖案形成用的凸部那樣，外周部的圓周方向的長度比數據道圖案形成用的第2凸部的徑向長度長的各第1凸部、以及像扇區地址圖案形成用的凸部中的圓周方向的長度長的凸部那樣，圓周方向的長度比數據道圖案形成用的第2凸部的徑向的長度長的第1凸部，能夠以與數據道圖案形成用的第2凸部相同的程度壓入樹脂層到足夠的深度。因此能夠使數據道圖案的形成區域內的殘渣的厚度與伺服圖案的形成區域內的殘渣的厚度實現實質上均勻化。因此，能夠使殘渣去除需要的時間在全部區域實質上相同，因此能夠避免在樹脂層上複印的凹凸圖案的各凹部的側壁面被浸蝕，各凹部形成為不想要的大開口寬度的事態發生。藉助於此，能夠在數據道圖案區域以及伺服圖案區域這兩個區域以高精度形成具有所希望的開口寬度的凹部的凹凸圖案。
又，採用本發明的壓模、以及使用該壓模的壓印方法，則通過將所述第3凸部形成為越是與單位同步圖案對應的凹部之間的圓周方向的長度長的部位，從基準面到突出端部的高度做得越高，在壓印時在壓模的全部區域以均勻的按壓力將壓模按壓在樹脂層上之際，能夠將難於壓入樹脂層的第3凸部的外周部等充分壓入樹脂層的深處。因此能夠將壓模的同步圖案形成區域內的第3凸部在其內周部到外周部的全部區域以相同的程度、充分地壓入樹脂層，其結果是，能夠使基體材料上的殘渣的厚度在同步圖案的形成區域內實現均勻化。因此，能夠使殘渣去除需要的時間在同步圖案的形成區域的全部區域實質上相同，因此能夠避免在同步圖案形成區域的樹脂層上複印的凹凸圖案的各凹部中的側壁面被浸蝕，各凹部形成為不想要的大開口寬度的事態發生。藉助於此，能夠在與同步圖案區域對應的區域的內周部到外周部的全部區域以高精度形成具有所希望的開口寬度的凹部的凹凸圖案。
又，採用本發明的壓模、以及使用該壓模的壓印方法，則通過形成與各單位同步區域對應的第4凸部，並且越是圓周方向的長度長的第4凸部從基準面到突出端部的高度做得越高，在壓印時在壓模的全部區域以均勻的按壓力將壓模按壓在樹脂層上之際，能夠將沿圓周方向的長度長因而難於壓入樹脂層的第4凸部充分壓入樹脂層的深處。因此能夠在同步圖案形成區域內的內周部到外周部的全部區域以相同的程度將各第4凸部充分地壓入樹脂層，其結果是，能夠使基體材料上的殘渣的厚度在同步圖案的形成區域內實現均勻化。因此，能夠使殘渣去除需要的時間在同步圖案的形成區域的全部區域實質上相同，因此能夠避免在同步圖案形成區域的樹脂層上複印的凹凸圖案的各凹部中的側壁面被浸蝕，各凹部形成為不想要的大開口寬度的事態發生。藉助於此，能夠在與同步圖案區域對應的區域的內周部到外周部的全部區域以高精度形成具有所希望的開口寬度的凹部的凹凸圖案。
又，採用本發明的信息記錄媒體製造方法，則通過利用上述壓印方法複印在樹脂層上的凹凸圖案製造信息記錄媒體，能夠用在與例如伺服圖案區域對應的區域的內周部到外周部的全部區域形成具有所希望的開口寬度的凹部的高精度的凹凸圖案，在伺服圖案區域形成伺服圖案。因此能夠在伺服圖案區域內以高精度形成伺服圖案。從而能夠製造出為了能夠可靠地取得伺服信號，能夠使磁頭正確跟蹤所希望的道，同時能夠對數據記錄道進行正確的數據記錄，而且能夠從數據記錄道正確讀取記錄的數據的信息記錄媒體。


圖1是表示壓印裝置100的結構的方框圖。
圖2是信息記錄媒體1的平面圖。
圖3是信息記錄媒體1的剖視圖。
圖4是中間體10的剖視圖。
圖5是壓模20的剖視圖。
圖6是壓模20的數據道圖案形成區域Ats以及伺服圖案形成區域Ass的平面圖。
圖7是壓模20的數據道圖案形成區域Ats的平面圖。
圖8是壓模20的伺服圖案形成區域Ass內的引導圖案形成區域Aps的平面圖。
圖9是壓模20的伺服圖案形成區域Ass內的扇區地址圖案形成區域Asas的平面圖。
圖10是壓模20的伺服圖案形成區域Ass內的同步圖案形成區域Abs的平面圖。
圖11是各凹部35b的底面為同一平面的壓模20的沿著圓周方向的剖視圖。
圖12是各凹部35b的底面不為同一平面的壓模20的沿著圓周方向的剖視圖。
圖13是壓模20的引導圖案形成區域Aps的內周部和外周部的沿著圓周方向的剖視圖。
圖14是壓模20的前扇區地址圖案形成區域Asas的沿著圓周方向的剖視圖。
圖15是壓模20的同步圖案形成區域Abs的內周部和外周部的沿著圓周方向的剖視圖。
圖16是壓模20的各凸部35a的長度與從基準面X到突出端部的高度的關係圖。
圖17是在壓模20的製造工序中在表面上形成鎳層26的狀態下的碟片狀基體材料25的沿著圓周方向的剖視圖。
圖18是對形成在鎳層26上的抗蝕劑層27照射電子束形成曝光圖案31(形成潛像27a)的狀態下碟片狀基體材料25的沿著圓周方向的剖視圖。
圖19是對圖18所示的狀態下的抗蝕劑層27進行顯像處理，在鎳層26上形成凹凸圖案32的狀態下的碟片狀基體材料25的沿著圓周方向的剖視圖。
圖20是以圖19所示的狀態下的抗蝕劑層27(凹凸圖案32)為掩模對鎳層26進行蝕刻處理，以此形成掩模圖案33的狀態下的碟片狀基體材料25的沿著圓周方向的剖視圖。
圖21是通過用掩模圖案33進行蝕刻處理以形成凹凸圖案34的狀態下的碟片狀基體材料25的沿著圓周方向的剖視圖。
圖22是覆蓋著圖21所示的凹凸圖案34形成電極膜21的狀態下的碟片狀基體材料25的沿著圓周方向的剖視圖。
圖23是覆蓋著圖22所示的電極膜21形成鎳層22的狀態下的碟片狀基體材料25的沿著圓周方向的剖視圖。
圖24是將壓模20按壓在中間體10的樹脂層14上的狀態的剖視圖。
圖25是圖24的狀態下的各凸部35a2a的內周側的按壓部位附近的剖視圖。
圖26是圖24的狀態下的各凸部35a2a的外周側的按壓部位附近的剖視圖。
圖27是圖24的狀態下的各凸部35a2b的按壓部位附近的剖視圖。
圖28是圖24的狀態下的各凸部35a2c的按壓部位附近的剖視圖。
圖29是從圖24所示的狀態下的中間體10上剝離壓模20，形成凹凸圖案36的狀態的剖視圖。
圖30是利用圖29所示的凹凸圖案36蝕刻金屬層13，以此形成凹凸圖案37的狀態的剖視圖。
圖31是壓模20A的伺服圖案形成區域Ass內的同步圖案形成區域Abs的平面圖。
圖32是壓模20A的各凸部35a的長度與從基準面X到突出底部的高度的關係圖。
圖33是壓模20B的伺服圖案形成區域Ass內的同步圖案形成區域Abs的平面圖。
圖34是壓模20C的伺服圖案形成區域Ass內的同步圖案形成區域Abs的平面圖。
圖35是已有的壓模10z中的長度L11較短的凸部16z被壓入樹脂層20z的狀態下的剖視圖。
圖36是已有的壓模10z中的長度L12較長的凸部16z被壓入樹脂層20z的狀態下的剖視圖。
標號說明1 信息記錄媒體5、5t、5s、35、35s、35t、36、37 凹凸圖案5a、35a、35a1、35a2a～35a2c、35a3 凸部5b、35b、35b1、35b2a～35b2c、35b3、36b凹部10中間體11碟片狀基體材料
12 磁性層13 金屬層14 樹脂層20、20A～20C 壓模21 電極膜22 鎳層23 附著力減小膜100 壓印裝置110 壓機120 控制部Aas 地址圖案形成區域Abs 同步圖案形成區域Aps 引導圖案形成區域As 伺服圖案區域Asas 扇區地址圖案形成區域Ass 伺服圖案形成區域At 數據道圖案區域Ats 數據道圖案形成區域H1、H2i、H2o、H2b、H2c、H3i、H3o 高度L1～L6 長度T2i、T2o、T2b、T2c 厚度X基準面具體實施方式
下面，參照附圖對本發明的壓模、壓印方法以及信息記錄媒體製造方法的最佳形態進行說明。
首先，參照附圖對利用本發明的壓模製造信息記錄媒體的壓印裝置100的結構進行說明。
圖1所示的壓印裝置100具備壓機110和控制部120，形成能夠按照本發明的壓印方法製造圖2、3所示的信息記錄媒體時將壓模20(參照圖5)按壓在中間體10(參照圖4)上，形成凹凸圖案36(參照圖29)的結構。在這種情況下，信息記錄媒體1是磁碟讀道型的磁記錄媒體，如圖2所示，被規定為在各數據道圖案區域At之間設置伺服圖案區域As，數據道圖案區域At與伺服圖案區域As在信息記錄媒體1的旋轉方向(圓周方向箭頭R的方向)上交替並排。而且如圖3所示，在數據道圖案區域At，以規定的排列間距相互分開的同心圓狀的大量數據記錄用道以及防護帶部構成的數據道圖案由具有許多凸部5a以及許多凹部5b的凹凸圖案5(凹凸圖案5t)形成，在伺服圖案區域As，跟蹤伺服控制用的各種伺服圖案利用具有許多凸部5a以及許多凹部5b的凹凸圖案5(凹凸圖案5s)形成。還有，在該圖以及圖5中，為了便於理解本發明，各凸部和各凹部的長度用與實際不同的長度表示。而且在本發明中，將在旋轉方向上由並排的兩個數據道圖案區域At夾著的區域(一個數據道圖案區域At中的相對旋轉方向下遊側的端部起到另一數據道圖案區域At中的相對旋轉方向上遊側的端部為止的區域)作為伺服圖案區域As。
又，如圖4所示，中間體10是在用例如氧化鋁、矽、玻璃或陶瓷等形成為圓板狀的碟片狀基體材料11上依序迭層磁性層12、金屬層13以及樹脂層14構成的。在這種情況下，實際上在碟片狀基體材料11與磁性層12之間存在著軟磁性層和取向層等各種功能層，但是為了便於理解本發明，對於這些部分的說明和圖示省略。還有，在這一例子中，由碟片狀基體材料11、磁性層12、以及金屬層13構成本發明中的基體材料。又，對於形成樹脂層14的樹脂材料，由於如下所述在剝離壓模20時形成的凹凸圖案36的凹凸形狀良好，因此最好是採用例如聚苯乙烯系樹脂、異丁烯樹脂(PMMA)、聚苯乙烯、苯酚系樹脂、以及熱塑性酚醛樹脂等。在這種情況下，在中間體10中，例如利用熱塑性酚醛樹脂形成樹脂層14，使其厚度在40nm以上100nm以下範圍內(例如為70nm)。
另一方面，如圖5所示，壓模(mold)20由電極膜21以及鎳層22迭層形成為厚度為300微米左右的圓板狀，其背面(該圖中的上表面)形成為平坦面，同時在中間體10的樹脂層14上形成凹凸圖案36用的凹凸圖案35(本發明的壓模側凹凸圖案的一個例子)形成在其表面(凹凸圖案35的各凸部35b的底面該圖中的下面)。又，在壓模20上，為了如下所述防止從樹脂層14上剝離時樹脂材料的附著，對電極膜21的表面(凹凸圖案35的表面)實施塗布例如含氟材料的處理以形成附著力減小膜23。還有，形成附著力減小膜23的材料不限於含氟材料這樣的塗布材料，可以採用能夠減小與樹脂層14的附著力的各種材料。在這種情況下，這種壓模20的凹凸圖案35與信息記錄媒體1的凹凸圖案5(凹凸圖案5t、5s)的各凹部5b對應，形成各凸部35a，同時對應於凹凸圖案5的各凸部5a形成各凹部35b。
具體地說，如圖6所示，在壓模20上，對應於信息記錄媒體1的數據道圖案區域At以及伺服圖案區域，規定在信息記錄媒體1的數據道圖案區域At上形成用於形成凹凸圖案5t(數據道圖案)用的凹凸圖案35t被形成的數據道圖案形成區域Ats與在信息記錄媒體1的伺服圖案區域As上形成用於形成凹凸圖案5s(伺服圖案)的凹凸圖案35s被形成的伺服圖案形成區域Ass。還有，在該圖和下面參考的圖7～10、31、33、34中，以斜劃線圖示出凸部35a的形成部位。又，在伺服圖案形成區域Ass內，規定了形成引導圖案用的凹凸圖案35s被形成的引導圖案形成區域Aps、形成地址圖案用的凹凸圖案35s被形成的地址圖案形成區域Aas、以及形成同步圖案用的凹凸圖案35s被形成的同步圖案形成區域Abs。還有，在地址圖案形成區域Aas內，規定了形成扇區地址圖案用的凹凸圖案35s被形成的扇區地址圖案形成區域Asas，在同步圖案形成區域Abs內，規定了與信息記錄媒體1的同步圖案中的各信號區域對應的區域Ab1s～Ab4s四個區域。還有，在地址圖案形成區域Aas內，規定了扇區地址圖案形成區域Asas以外的各種地址圖案的形成區域，但是為了易於理解本發明，在以下的說明中省略對扇區地址圖案形成區域Asas以外的形成區域的說明和圖示。
在這種情況下，形成在數據道圖案形成區域Ats的各凸部35a和形成在伺服圖案形成區域Ass的各凸部35a，根據信息記錄媒體1的數據道圖案和伺服圖案的形狀，規定與信息記錄媒體1的徑向對應的方向(以下將在壓模20中與信息記錄媒體1的徑向對應的方向稱為「徑向」)上的長度(以下稱為「徑向長度」)以及與信息記錄媒體1的圓周方向(旋轉方向)對應的方向(以下將在壓模20中與信息記錄媒體1的圓周方向對應的方向稱為「圓周方向」)上的長度(以下稱為「圓周方向的長度」)。具體地說，如圖7所示，形成在數據道圖案形成區域Ats的各凸部35a1，是形成信息記錄媒體1的數據道圖案的各防護帶部(各道間的凹部)用的凸部，沿著與信息記錄媒體1的圓周方向(旋轉方向該圖所示的箭頭R的方向)對應的方向連續形成，形成為圓周方向的長帶狀。該凸部35a1是本發明的第2凸部的一個例子，其圓周方向的長度對應於信息記錄媒體1的數據道圖案區域At的圓周方向的長度規定。又如圖16所示，凸部35a1(該圖中的「數據道圖案用的凸部」)在信息記錄媒體1的與內周部Ai對應的區域到與外周部Ao對應的區域的全部區域中，其徑向的長度(圖7所示的長度L1)形成為例如100nm。還有，圖7所示的凹部35b1是用於形成信息記錄媒體1的數據記錄道用的凸部5a的凹部，例如其徑向的長度規定形成為與凸部35a1的徑向的長度L1實質上相等。
又，如圖8所示，伺服圖案形成區域Ass的引導圖案形成區域Aps上形成的凸部35a2a，是信息記錄媒體1的引導圖案用的凹部5b形成用的凸部，沿著與信息記錄媒體1的徑向對應的方向連續形成，在徑向上形成為長帶狀。該凸部35a2a是作為本發明的第1凸部的一個例子，其徑向的長度對應於信息記錄媒體1的內周部Ai到外周部Ao的長度規定。又如該圖和圖16所示，凸部35a2a(圖16中的「引導圖案用的凸部「2位長」」)，其圓周方向的長度被規定為從內周部向外周部慢慢變長，在與信息記錄媒體1的內周部Ai(例如與中心的距離為5.0mm的位置)對應的區域，其圓周方向的長度(圖8所示的長度L2i)形成為例如56nm，同時在與信息記錄媒體1的外周部Ao(例如與中心的距離為13.0mm的位置)對應的區域，其圓周方向的長度(圖8所示的長度L2o)形成為例如147nm。還有，圖8所示的凹部35b2a是信息記錄媒體1的引導圖案用的凸部5a形成用的凹部，規定形成為例如其圓周方向的長度實質上等於同一半徑位置上的凸部35a2a的圓周方向的長度。
又，如圖9所示，在伺服圖案形成區域Ass中的地址圖案形成區域Aas內的扇區地址圖案形成區域Asas上形成的凸部35a2b、35a2c，是信息記錄媒體1的扇區地址圖案用的凹部5b形成用的凸部，與上述引導圖案用的凹部形成用的凸部35a2a一樣，沿著與信息記錄媒體1的徑向對於的方向連續形成，形成為徑向上的長帶狀。在這種情況下，凸部35a2b、35a2c是本發明的第1凸部的另一個例子，其徑向的長度對應於信息記錄媒體1的內周部Ai到外周部Ao的長度規定，同時其圓周方向上的長度規定為從內周部向外周部慢慢變長。具體地說，如該圖和圖16所示，圓周方向的長度為2位長的凸部35a2b在與信息記錄媒體1的內周部Ai對應的區域中，其圓周方向的長度L2b形成為例如56nm，同時在與信息記錄媒體1的外周部Ao對應的區域，其圓周方向的長度L2b形成為例如147nm。另一方面，圓周方向的長度為8位長的凸部35a2c在與信息記錄媒體1的內周部Ai對應的區域中，其圓周方向的長度L2c形成為例如226nm，同時在與信息記錄媒體1的外周部Ao對應的區域，其圓周方向的長度L2c形成為例如587nm。還有，形成在扇區地址圖案形成區域的Asas的凹部35b2b、3 5b2c是信息記錄媒體1的扇區地址圖案用的凸部5a形成用的凹部，作為一個例子，其圓周方向的長度與扇區地址圖案形成用的凸部35a2b、35a2c的圓周方向的長度一樣，被規定為2位長和8位長等長度。
又，如圖10所示，在伺服圖案形成區域Abs(作為一個例子，例如區域Ab1s)上形成的凸部35a3，是本發明的第3凸部的一個例子，構成能夠形成信息記錄媒體1的同步圖案的凹部5b的結構。在這種情況下，在該壓模20的同步圖案形成區域Abs，例如，可製造具有各單位同步區域由凸部構成的同步圖案的信息記錄媒體1地，在與各單位同步區域對應的部位上形成平面上看來為平行四邊形形狀的多個凹部35b3。又，凸部35a3包圍著例如各區域Ab1s～Ab4s內的多個凹部35b3，在同步圖案形成區域Abs上作為一個凸部35a3形成。而且如圖16所示，凸部35a3(該圖中的「同步圖案用的凸部」)被規定為，在各區域Ab1s～Ab4s內在圓周方向上相鄰的兩個凹部35b3之間的圓周方向的長度從內周部向外周部慢慢變長。具體地說，在與信息記錄媒體1的內周部Ai對應的區域中，其圓周方向上的長度(圖10所示的長度L3i)形成為56nm，同時在與信息記錄媒體1的外周部Ao對應的區域中，其圓周方向上的長度(圖10所示的長度L3o)形成為147nm。還有，各凹部35b3的圓周方向上的長度規定為實質上等於例如同一半徑位置上的凸部35a3的兩個凹部35b3之間的圓周方向上的長度。
而且，如圖11所示，該壓模20，其構成凹凸圖案35的各凸部35a之間的各凹部35b的底面形成為與壓模20的凹凸圖案形成面(本發明的表面)實質上為一平面。還有，在本說明書中，以各凹部35b的底面(即凹凸圖案形成面)為本發明的基準面(基準面X)進行以下說明。在這種情況下，本發明的基準面不限於與凹部35b的底面一致的位置(包含底面的位置)的基準面X，可以形成在壓模的背面到凹凸圖案形成面之間(即壓模的厚度的範圍內)的任意位置。又如圖12所示，利用該製造方法，各凹部35b的底面也有不形成為一平面的情況，在該情況下，也可以將包含各凹部35b中的任一凹部35b(在這一例子中是形成在凸部35a1的兩側的兩個凹部35b)的底面的平面作為基準面X。還有，如圖11所示，在該凹凸圖案35中，各凸部35a根據其徑向的長度以及圓周方向的長度規定並形成從基準面X到突出端部的高度。
具體地說，如圖16所示，徑向長度L1在從內周部到外周部的全部區域為100nm的數據道圖案形成用的凸部35a1，從基準面X到突出端部的高度(圖11、12所示的高度H1即凸部35a1的突出長度)形成為從內周部到外周部的全部區域為85nm。又，內周部的圓周方向的長度L2i為56nm，外周部的圓周方向的長度L2o為147nm的引導圖案形成用的凸部35a2，從基準面X到突出端部的高度(即凸部35a2的突出長度)從內周部向外周部慢慢變高地形成。在這種情況下，如圖13、16所示，該凸部35a2形成為內周部的高度H2i為80nm，外周部的高度H2o為88nm。這樣，在該壓模20中，對於沿著徑向連續形成的凸部35a2a，在其圓周方向的長度比形成在數據道圖案形成區域Ats的凸部35a1的徑向的長度L1大的部位，從基準面X到突出端部的高度形成為比凸部35a1高。
而且，內周部的圓周方向上的長度為56nm，外周部的圓周方向上的長度為147nm的扇區地址圖案用的(2位長)的凸部35a2b，其從基準面X到突出端部的高度(圖14所示的高度H2b即凸部35a2b的突出長度)形成為從內周部向外周部慢慢變高。在這種情況下，如圖16所示，凸部35a2b的高度H2b被規定為在內周部為80nm，在外周部為88nm。同樣，內周部的圓周方向上的長度為226nm，外周部的圓周方向上的長度為587nm的扇區地址圖案用的8位長)的凸部35a2c，形成為從基準面X到突出端部的高度(圖14所示的高度H2c即凸部35a2c的突出長度)從內周部向外周部慢慢變高。在這種情況下，如圖16所示，凸部35a2c的高度H2c被規定為在內周部為90nm，在外周部為98nm。這樣，在該壓模20中，對於例如扇區地址圖案形成區域Asas上形成的各凸部35a，如圖14所示，同一半徑位置上的圓周方向上的長度L2c長的凸部35a2c的高度H2c形成為比同一半徑位置上的圓周方向上的長度L2b短的凸部35a2b的高度H2b高。
又，在圓周方向上相鄰的兩個凹部35b3(與單位同步區域對應的凹部35b)之間的內周部的長度L3i在為56nm，在外周部的長度L3o為147nm的同步圖案形成用的凸部35a3中，從兩個凸部35b3之間的基準面X到突出端部為止的高度(即凸部35a3的兩個凹部35b3之間的突出長度)形成為外周部那樣的高度。在這種情況下，如圖15、16所示，該凸部35a3形成為在內周部的凹部35b3之間的高度H3i為92nm，外周部的凹部35b3之間的高度H3o為101nm。這樣，在該壓模20中，對於包圍多個凹部35b3沿著徑向和圓周方向兩個方向連續形成的凸部35a3，在其全部區域形成為從基準面X到突出端部的高度比凸部35a1的高度H1高。同時，在圓周方向上相鄰的凹部35b3之間的高度形成為從內周部向外周部慢慢變高。還有，對於上述各區域內形成的各凸部35a的高度中最大的高度與最小的高度之差，為了在下述向樹脂層14按壓時各凸部35a能夠可靠地壓入，最好是所述差最大也在50nm以下。
另一方面，如圖1所示，壓機110具備扁平烤盤111、112、以及上下移動機構113。扁平烤盤111、112在控制部120的控制下對中間體10以及壓模20進行加熱處理。又如圖24所示，扁平烤盤111形成為能夠支持使樹脂層14的形成面向上的狀態下的中間體10的結構，扁平烤盤112形成為能夠支持使凹凸圖案35的形成面向下的狀態下的壓模20的結構。上下移動機構113通過使扁平烤盤112向扁平烤盤111支持的中間體10移動(下降)，將扁平烤盤112支持的壓模20按壓在中間體10的樹脂層14上。又，上下移動機構113使扁平烤盤112離開扁平烤盤111(使扁平烤盤112上升)，以此使按壓在樹脂層14上的壓模20從樹脂層14上剝離。控制部120控制扁平烤盤111、112，對中間體10和壓模20兩者進行加熱，同時控制上下移動機構113，將壓模20按壓在中間體10上(執行本發明的壓模按壓處理)，還從中間體10上剝離按壓在中間體10上的壓模20(執行本發明的壓模剝離處理)。
下面，參照附圖對壓模20的製造方法進行說明。
首先，如圖17所示，表明經過研磨的平坦的碟片狀的矽基體材料25上蒸鍍處理形成鎳，形成的鎳層26厚度為10nm左右。還有，製造壓模20時使用的基體材料不限定於矽制的基體材料，可以採用剝離基體材料和陶瓷基體材料等各種基體材料。接著如圖18所示，旋轉塗布形成的鎳層26上的抗蝕劑(例如日本ゼオン株式會社製造的ZEP520A)，以此在鎳層26的表面上形成厚度為100nm左右的抗蝕劑層27。還有，形成抗蝕劑層27用的抗蝕劑不限於上述抗蝕劑，可以使用任意抗蝕劑材料。接著使用電子束石板印刷裝置對抗蝕劑層27照射電子束，描畫所希望的曝光圖案31(在這個例子中是與壓模20的各凸部35a對應的圖案)。接著對該狀態下的抗蝕劑層27進行顯像處理，以此使潛像27a的部位消失。藉助於此，如圖19所示，在鎳層26上形成凹凸圖案32。接著以凹凸圖案32(抗蝕劑層27)作為掩模使用，對鎳層26進行蝕刻處理，以此如圖20所示在碟片狀基體材料上25上形成由鎳層26構成的掩模圖案33。
接著，將碟片狀基體材料25上的鎳層26(掩模圖案33)作為掩模使用，通過利用例如CF4與O2的混合氣體進行的反應性離子蝕刻處理，如圖21所示，對碟片狀基體材料25進行蝕刻形成多個凹部34a，形成凹凸圖案34。這時，通過適當調整CF4與O2的混合比(流量比)、處理裝置內的壓力、賦予的能量、以及處理時間等，與從掩模圖案33露出的部位的徑向或圓周方向的長度較短的部位(開口寬度狹窄的部位例如後來形成壓模20的各凸部35a2a、35a3的內周部和各凸部35a1以及凸部35a2b等的部位)上形成的凹部34a相比，從掩模圖案33露出的部位的徑向或圓周方向的長度較長的部位(開口寬度寬的部位例如後來形成壓模20的凸部35a2a、35a3的外周部和凸部35a2c等的部位)上形成的凹部34a被蝕刻得更深。具體地說，例如以蝕刻氣體CF4與O2的流量比為35∶15(CF435sccm、O215sccm的流量)，將處理室內的壓力規定為0.3Pa，而且微波功率規定為RF1kW、碟片狀基體材料25上施加的偏置功率規定為RF50W，執行25秒的蝕刻處理。其結果如該圖所示，形成與開口寬度狹窄(徑向或圓周方向的長度短)的凹部34a相比，開口寬度大(徑向或圓周方向的長度長)的凹部34a更深的凹凸圖案34。
接著，將該狀態下的碟片狀基體材料25浸入例如高錳酸鉀溶液中，以此對凹凸圖案34的表面(碟片狀基體材料25上的鎳層26的表面)進行氧化處理。以此完成母盤(未圖示)。接著，如圖22所示，在沿著母盤中的凹凸圖案34的凹凸形狀，形成電鑄用的電極膜21之後，將該電極膜21作為電極使用進行電鑄處理，如圖23所示，以此在電極膜21上形成鎳層22。接著，將電極膜21以及鎳層22的疊層體(後來成為壓模20的部位)從碟片狀基體材料25和鎳層26的疊層體上剝離。這時由於凹凸圖案34的表面經過酸處理，電極膜21以及鎳層22的疊層體容易剝離。藉助於此，將母盤的凹凸圖案34複印於電極膜21以及鎳層22上形成凹凸圖案35(參照圖11)。其後，對鎳層22的背面側進行研磨，對其整形使其平坦，同時對電極膜21的表面進行塗布氟系材料的塗布處理，形成附著力減小膜23，藉助於此，如圖11所示，完成形成具有其徑向長度和圓周方向的長度與從基準面X到突出端部的高度不同的多個凸部35a的凹凸圖案35的壓模20。
接著，參照附圖對按照本發明的壓印方法用上述壓模20在中間體10上形成凹凸圖案的工序進行說明。
首先，將中間體10和壓模20設定在壓機110上。具體地說，使樹脂層14的形成面向上，將中間體10安裝於扁平烤盤111上，同時使凹凸圖案35的形成面向下，將壓模20安裝於扁平烤盤112上。接著，控制部120對扁平烤盤111、112進行控制，加熱中間體10和壓模20兩者。這時扁平烤盤111、112進行加熱，將中間體10和壓模20兩者加熱到比形成樹脂層14的熱塑性酚醛樹脂的玻化溫度(在這一例子中約為70℃)高100℃左右的170℃左右。藉助於此，使樹脂層14軟化，形成容易變形的狀態。在這種情況下，最好是加熱到相對於樹脂材料的玻化溫度高70℃以上120℃以下的高溫。加熱到高100℃以上更為理想。藉助於此，如下所述容易將壓模20按壓在樹脂層14上。
接著，控制部120控制上下移動機構113使扁平烤盤112向扁平烤盤111下降，藉助於此，如圖24所示，在扁平烤盤111上的中間體10的樹脂層14上按壓壓模20的凹凸圖案35(本發明的壓模按壓處理)。還有，該圖和後面參考的圖25、26中，為了使本發明易於理解，對凹凸圖案35的各凸部35a的長度和凹部35b的開口寬度以與實際情況不同的長度和開口寬度表示。這時，上下移動機構113按照控制部120的控制，例如，以在整個壓模20的全部區域施加34kN的負載的狀態維持5分鐘。又，扁平烤盤111、112按照控制部120的控制，在藉助於上下移動機構113將壓模20按壓於中間體10上的期間，繼續進行加熱處理以使中間體10與壓模20的溫度不降低。在該熱處理時，最好是將溫度維持於170℃±1℃的範圍內(例如維持溫度變化在±0.2℃的溫度範圍內)。如圖25～圖28所示，以此將壓模20的凹凸圖案35複印在樹脂層14上以形成具有多個凹部36b的凹凸圖案36。
在這種情況下，使用於該壓印裝置100的壓模20，如上所述，凹凸圖案35形成為越是形成在伺服圖案形成區域Ass上的各凸部35a的圓周方向的長度長的部位，從基準面X到突出端部的高度越高，而且越是同一半徑位置上的圓周方向上的長度長的凸部35a，從基準面X到突出端部的高度做得越高。因此，在壓模20的全部區域施加均勻壓力地進行按壓時，在各凸部35a，圓周方向的長度長的部位(例如信息記錄媒體1的與外周側對應的部位在這一例子中是凸部35a2a、35a3的外周部等)、以及其圓周方向上的長度長的凸部35a(在這一例子中是凸部35a2c等)被壓入樹脂層14到比較深的地方。
而且，使用於該壓印裝置100的壓模20，如下所述形成伺服圖案形成區域Ass內的各凸部35a2，即在與圓周方向對應的方向的長度比數據道圖案形成區域Ats內形成的凸部35a1的徑向的長度L1長的部位，從基準面X到突出端部的高度做得比凸部35a1的高度H1高。因而，在壓模20的全部區域施加均勻的按壓力進行按壓時，伺服圖案形成區域Ass內的各凸部35a2中圓周方向上的長度比凸部35a1的徑向長度L1大的部位(在這一例子中是凸部35a2a、35a2b的外周部等)和其圓周方向上的長度比凸部35a1的徑向的長度L1大的凸部35a2(在這一例子中是凸部35a2c等)，也能夠與凸部35a1等一樣壓入樹脂層14的深處。又，同步圖案形成用的凸部35a3，形成為在圓周方向上相鄰的兩個凹部35b3之間的基準面X到突出端部的高度從內周部向外周部慢慢越來越增高(越是兩個凹部35b3之間的長度長的部位越高)，而且形成為在全部區域比凸部35a1的高度H1高。因而，在壓模20的全部區域上均勻施加按壓力按壓時，即使是對於相對於凹部35b3面積比大因而難於壓入樹脂層14的凸部35a3，也能夠與上述凸部35a1、35a2同樣壓入樹脂層14到深處。其結果是，在數據道圖案形成區域Ats和伺服圖案形成區域Ass的全部區域中，徑向長度和圓周方向的長度不同的各凸部35a能夠均勻壓入樹脂層14。
具體地說，如圖25所示，在例如其圓周方向的長度L2i為56nm的凸部35a2a(引導圖案用的凸部35a)的內周部，被壓入各凸部35a2a的部位的樹脂層14向壓模20的凹部35b2a平滑移動，結果，各凸部35a2a被壓入中間體10的樹脂層14直到足夠深的地方。因此，各凸部35a2a的內周部壓入的部位的殘渣(各凹部36b2a的底面與金屬層13的表面之間的樹脂層14)的厚度T2i為28nm±3nm左右。另一方面，如圖26所示，在其圓周方向的長度L2o為147nm的凸部35a2a的外周部，凸部35a2a的外周部側的從基準面X到突出端部的高度H2o比凸部35a2a的內周部側的高度H2i(參照圖25)高8nm左右，為88nm，因此比內周部更難於壓入樹脂層14的外周部的寬度大的部位能夠壓入樹脂層14到足夠的深度。因此，壓入凸部35a2a的外周部的部位的殘渣(各凹部36b2a的底面與金屬層13的表面之間的樹脂層14)的厚度T2o為29nm±3nm左右。
又，如圖27所示，在例如其圓周方向的長度L2b在內周部為56nm的凸部35a2b(2位長的扇區地址圖案用的凸部35a)的形成部位，被壓入各凸部35a2b的部位的樹脂層14向壓模20的凹部35b2b平滑移動，結果，各凸部35a2b被壓入中間體10的樹脂層14直到足夠深的地方。因此，各凸部35a2b壓入的部位的內周部的殘渣(各凹部36b2b的底面與金屬層13的表面之間的樹脂層14)的厚度T2b為28nm±3nm左右。另一方面，如圖28所示，在其圓周方向的長度L2c在內周部為226nm的凸部35a2c(8位長的扇區地址圖案用的凸部35a)的形成部位，凸部35a2c的內周部的從基準面X到突出端部的高度H2c比凸部35a2b的內周部的高度H2b(參照圖27)高10nm左右，為90nm，因此比凸部35a2b更難於壓入樹脂層14的寬度大的凸部35a2c能夠壓入樹脂層14到足夠的深度。因此，壓入凸部35a2c的部位的殘渣(各凹部36b2c的底面與金屬層13的表面之間的樹脂層14)的厚度T2c在例如內周側為29nm±3nm左右。
在這種情況下，在該壓模20中，對於其圓周方向的長度在內周部為226nm，在外周部為587nm的扇區地址圖案用(8位長)的凸部35a2c，也與引導圖案形成用的凸部35a2a一樣，形成為從基準面X到突出端部的高度從內周部向外周部慢慢變高，其高度在內周部為90nm，在外周部為98nm。因此，對於該凸部35a2c，難於壓入樹脂層14的外周部(比內周部寬度大的部位)也能夠充分壓入樹脂層14。而且，對於其圓周方向的長度在內周部為56nm，在外周部為147nm的扇區地址圖案用(2位長)的凸部35a2b，也與引導圖案形成用的凸部35a2a一樣，從基準面X到突出端部的高度形成為從內周部向外周部慢慢變高，其高度在內周部為80nm，在外周部為88nm。因此，對於該凸部35a2b，不容易壓入樹脂層14的外周部(比內周部寬度大的部位)也能夠充分壓入樹脂層14。
而且，對於沿著圓周方向並排的兩個凹部35b3之間的圓周方向的長度在內周部為56nm，在外周部為147nm的同步圖案形成用的凸部35a3，也形成為從兩個凹部35b3之間的基準面X到突出端部的高度從內周部向外周部慢慢變高，其高度在內周部為92nm，在外周部為101nm。因此，對於該凸部35a3，在從內周部到外周部的全部區域，都能夠充分壓入樹脂層14。而且，在該壓模20中，在伺服圖案形成區域的Ass內的引導圖案和扇區地址圖案形成用的各凸部35a2的圓周方向的長度比數據道圖案形成區域Ats內的凸部35a1的徑向的長度長的部位，各部位35a2形成為從基準面X到突出端部的高度比凸部35a1的高度高。而且對於同步圖案形成用的凸部35a3，在圓周方向相鄰的兩個凹部35b3之間的從基準面X到突出端部的高度形成為從內周部向外周部慢慢變高，而且在其全部區域形成為比凸部35a1的高度H1高。因此，數據道圖案形成區域Ats內的各凸部35a以及伺服圖案形成區域Ass內的各凸部35a能夠充分壓入樹脂層14，而且只達到相同的壓入程度。其結果是，壓入徑向和圓周方向的長度不同的各種凸部35a的部位的殘渣的厚度在各數據道圖案形成區域Ats以及各伺服圖案形成區域Ass的全部區域實質上相同。
接著，控制部120控制扁平烤盤111、112一邊繼續進行加熱處理(維持170℃±1℃的溫度範圍)，一邊如圖29所示，控制上下移動機構使扁平烤盤112上升，以此從中間體10(樹脂層14)上剝離壓模20(本發明的壓模剝離處理)。藉助於此，將壓模20上的凹凸圖案35的凹凸形狀複印在中間體10的樹脂層14上，以此在金屬層13上形成凹凸圖案36。通過如上所述的操作完成壓印處理。
下面，參照附圖對按照本發明的信息記錄媒體製造方法製造信息記錄媒體1的工序進行說明。
首先，利用氧等離子體處理去除樹脂層14中的凹凸圖案36的凹部底面上殘存的樹脂材料(殘渣)。這時，金屬層13上的殘渣的厚度在25nm以上32nm以下的範圍內，在全部區域具有實質上相同的厚度，因此在去除殘渣時能夠避免發生使凹部形成不想要的大開口寬度的情況(凹部側壁面受到較嚴重侵蝕的情況)。接著，將凹凸圖案36(凸部)作為掩模使用，利用金屬蝕刻用的氣體進行蝕刻處理。這時如圖30所示，將凹凸圖案36的凹部的底面部分的金屬層13去除，在磁性層12上形成金屬材料構成的凹凸圖案37。接著，將凹凸圖案37(殘存的金屬層13)作為掩模使用，使用磁性體用的氣體進行蝕刻處理。以此去除從凹凸圖案37露出的部位的磁性層12。
接著，通過利用金屬蝕刻用的氣體進行蝕刻處理，去除在磁性層12上殘留的金屬層13。藉助於此，如圖3所示，形成與複印掩模20的凹凸形狀的凹凸圖案36的各凹部對應的槽形成在磁性層12上的凹凸圖案5(凹凸圖案5t、5s)。接著進行表面拋光處理。在這一表面拋光處理中，首先，在槽中充填例如二氧化矽之後(未圖示)，利用離子束蝕刻方法使表面平坦化。接著，在平坦化之後的表面用例如DLC(Diamond Like Carbon類金剛石碳)形成保護膜，最後塗布潤滑劑。以此完成信息記錄媒體1。在這種情況下，該信息記錄媒體1利用如下所述形成的凹凸圖案37製造，所述凹凸圖案37是用具有形成為其開口寬度為所希望的寬度的凹部的凹凸圖案36形成的，因此利用該凹凸圖案36、37形成的凹凸圖案5(數據記錄用的道和伺服圖案等)的各凹部5b也形成所希望的寬度。其結果是，能夠避免在信息記錄媒體1中發生記錄錯誤和重放錯誤。
這樣採用這種壓模20以及使用該壓模20的壓印方法，則通過形成本發明的第1凸部(伺服圖案形成區域Ass內的各凸部35a2a～35a2c)，而且越是圓周方向的長度長的部位從基準面X到突出端部的高度形成得越高，在壓印時在壓模20的全部區域以均勻的壓力將壓模20按壓於樹脂層14時，能夠將難於壓入樹脂層的各第1凸部的外周部等壓入樹脂層14到足夠深的深度。因此，在伺服圖案形成區域Ass內的各第1凸部能夠在從內周部到外周部的全部區域以相同的程度、充分地壓入樹脂層14，其結果是，能夠使得金屬層13上的殘渣的厚度在與中間體10的伺服圖案形成區域對應的區域內均勻化。因此，能夠在與伺服圖案區域對應的全部區域內使得去除殘渣所需要的時間實質上相同，所以在與伺服圖案區域對應的區域內複印在樹脂層14上的凹凸圖案36的各凹部36b中的圓周方向的長度短的各凹部36b的側壁面受到浸蝕，各凹部36b形成為不想要的較大開口寬度的情況可以得到避免。這樣，能夠在與伺服圖案區域對應的區域的全部區域以高精度形成具有所希望的開口寬度的凹部的凹凸圖案36。
又，採用這種壓模20以及使用該壓模20的壓印方法，則通過形成本發明的第1凸部(伺服圖案形成區域Ass內的各凸部35a2a～35a2c)，而且使得越是同一半徑位置上的圓周方向的長度長的凸部35a2從基準面X到突出端部的高度形成得越高，這樣，在壓印時在壓模20的全部區域以均勻的壓力將壓模20按壓於樹脂層14時，能夠將圓周方向的長度長，難於壓入樹脂層14的各第1凸部(例如凸部35a2c)充分壓入樹脂層14，而且能夠壓入到與圓周方向的長度短的第1凸部(例如凸部35a2b)相同程度的深度。因此，伺服圖案形成區域Ass內的各第1凸部能夠以相同的程度、充分地壓入樹脂層14，其結果是，能夠使得金屬層13上的殘渣的厚度在與中間體10的伺服圖案形成區域對應的區域內均勻化。因此，能夠在與伺服圖案區域對應的區域內的全部區域使得去除殘渣所需要的時間實質上相同，所以在與伺服圖案區域對應的區域內複印在樹脂層14上的凹凸圖案36的各凹部36b中的圓周方向的長度短的各凹部36b的側壁面受到浸蝕，各凹部36b形成為不想要的較大開口寬度的情況可以得到避免。這樣，能夠在與伺服圖案區域對應的區域的全部區域以高精度形成具有所希望的開口寬度的凹部的凹凸圖案36。
而且，採用這種壓模20以及使用壓模20的壓印方法，則通過在伺服圖案形成區域Ass內形成各凸部35a2，而且使得在圓周方向的長度比數據道圖案形成區域內形成的本發明的第2凸部(各凸部35a1)的徑向長度L1長的部位其高度比凸部35a1的高度H1高，在壓印時在壓模20的全部區域(各數據道圖案形成區域Ats以及各伺服圖案形成區域Ass)以均勻的壓力將壓模20按壓於樹脂層14時，對於例如像引導圖案形成用的凸部35a2a以及扇區地址圖案形成用的凸部35a2b那樣，外周部的圓周方向的長度比數據道圖案形成用的凸部35a1的徑向的長度L1長的各凸部35a2、和像扇區地址圖案形成用的凸部35a2c那樣，圓周方向的長度L2c比數據道圖案形成用的凸部35a1的徑向的長度L1長的各凸部35a2，能夠以與數據道圖案形成用的凸部35a1相同的程度壓入樹脂層14到足夠的深度。因此，能夠使數據道圖案形成區域內的殘渣與伺服圖案形成區域Ass內的殘渣的厚度實質上均等。因此，能夠使去除殘渣所需要的時間在全部區域實質上相同，所以複印在樹脂層14上的凹凸圖案36的各凹部36b的側壁面受到浸蝕，各凹部36b形成為不想要的較大開口寬度的情況可以得到避免。這樣，能夠在數據道圖案區域與伺服圖案區域這兩個區域以高精度形成具有所希望的開口寬度的凹部的凹凸圖案36。
又，採用這種壓模20以及使用壓模20的壓印方法，則通過在同步圖案形成區域Abs內形成本發明的第3凸部(凸部35a3)，而且使得越是與單位同步區域對應的凹部35b3之間的圓周方向的長度長的部位從基準面X到突出端部的高度越高，這樣，在壓印時在壓模20的全部區域以均勻的壓力將壓模20按壓於樹脂層14時，能夠將難於壓入樹脂層14的各凸部35a3的外周部充分壓入樹脂層14深處。因此，在同步圖案形成區域Abs內將凸部35a3在其內周部到外周部的全部區域以相同的程度壓入樹脂層14，而且能夠充分壓入，其結果是，能夠使金屬層13上的殘渣的厚度在與中間體10的同步圖案區域對應的區域內均勻化。因此，能夠在與同步圖案區域對應的區域內的全部區域使得去除殘渣所需要的時間實質上相同，所以在與同步圖案區域對應的區域的內周部，複印在樹脂層14上的凹凸圖案36的各凹部36b的側壁面受到浸蝕，各凹部36b形成為不想要的較大開口寬度的情況可以得到避免。這樣，能夠與同步圖案區域對應的區域的內周部到外周部的全部區域以高精度形成具有所希望的開口寬度的凹部的凹凸圖案36。
又，採用利用這種壓模20製造信息記錄媒體1的方法，則通過利用以上述壓印方法在樹脂層14上複印的凹凸圖案36製造信息記錄媒體1，能夠在例如與伺服圖案區域對應的區域的內周部到外周部的全部區域，用形成具有所希望的開口寬度的凹部的高精度的凹凸圖案36，在伺服圖案區域As上形成伺服圖案。藉助於此，能夠在伺服圖案區域As內以高精度形成伺服圖案。因此能夠可靠地取得伺服信號，所以能夠使磁頭正確跟蹤所希望的道，同時能夠製造可在數據記錄道上徑向正確的數據記錄，並且能夠從數據記錄道正確讀取記錄數據的信息記錄媒體。
還有，本發明不限於上述結構和方法。雖然對例如將同步圖案形成區域Abs內的凸部35a3在從內周部到外周部的全部區域做得比數據道圖案形成區域Ats內的凸部35a1高的例子進行了說明，但是在例如其內周部，在圓周方向上並排的兩個凹部35b3之間的圓周方向的長度(凸部35a3的圓周方向的長度)比在上述壓模20中規定的長度短時，可以將該部位形成為比凸部35a1低。又，上面對具有與信息記錄媒體1的單位同步區域對應的部位用凹部35b3構成的凹凸圖案35的壓模20進行說明，但是也可以如圖31所示的壓模20A那樣，用凹部構成與信息記錄媒體(未圖示)的單位同步區域對應的部位，形成本發明的壓模側凹凸圖案。還有，對於形成在同步圖案形成區域Abs以外的各區域的各凹凸圖案35，由於與上面所述的壓模20的各凹凸圖案35相同，其說明和圖示省略。
在這種情況下，在該壓模20的同步圖案形成區域Abs上，作為一個例子，可製造具有由凹部構成各單位同步區域的同步圖案的信息記錄媒體地，在與各單位同步區域對應的部位形成俯視為平行四邊形形狀的多個凸部35a(各凸部35a4i以及各凸部35a4o)。又，形成在同步圖案形成區域Abs(例如區域Ab1s)的各凸部35a，是本發明的第4凸部的一個例子，被規定為各凸部35a的圓周方向的長度從內周部向外周部慢慢變長。具體地說，如圖32(該圖中的「同步圖案用的凸部」)所示，在與信息記錄媒體的內周部對應的區域，其圓周方向的長度(圖31所示的凸部35a4i的長度L4i)形成為56nm，同時在與信息記錄媒體的外周部對應的區域，其圓周方向的長度(圖31所示的凸部35a4o)形成為147nm。還有，同步圖案形成區域Abs內的各凹部35b(凹部35b4i、35b4o)的圓周方向的長度被規定為例如，與同步圖案形成區域Abs內的同一半徑位置的凸部35a的長度實質上相等。
又，在該壓模20A的同步圖案形成區域Abs上形成的各凸部35a，形成為越是其圓周方向的長度長的凸部35a，從基準面X到突出端部的高度形成得越高。具體地說，如圖32所示，圓周方向的長度L4i為56nm的凸部35a4i(同步圖案形成區域Abs的內周部的凸部35a)，從基準面X到突出端部的高度(即凸部35a4i的突出長度)形成為70nm。又，圓周方向的長度L4o為147nm的凸部35a4o(同步圖案形成區域Abs的外周部的凸部35a)，從基準面X到突出端部的高度(即凸部35a4o的突出長度)形成為82nm。這樣，在該壓模20A中，形成凹凸圖案35，並且在同步圖案形成區域Abs內，越是其圓周方向的長度長的凸部35a，從基準面X到突出端部的高度形成得越高。這樣，在壓印處理時不容易壓入樹脂層14的外周側部的各凸部35a4o也能夠以與上述內周部側的各凸部35a4i一樣的程度壓入樹脂層14到足夠的深度。
由於這樣形成與單位同步區域對應的各凸部35a，使得越是圓周方向的長度長的凸部35a(第4凸部)高度越高，在壓印時在壓模20A的全部區域以均勻的壓力將壓模20A按壓於樹脂層14時，能夠將難於壓入樹脂層14的外周側的各凸部35a4o等充分壓入樹脂層14的深處。因此，在同步圖案形成區域Abs內從內周部的凸部35a4i到外周部的凸部35a4o能夠以相同的程度壓入樹脂層14，其結果是，能夠使金屬層13上的殘渣的厚度在與中間體10的同步圖案區域對應的區域內均勻化。因此，能夠在與同步圖案區域對應的區域內的全部區域使得去除殘渣所需要的時間實質上相同，所以在與同步圖案區域對應的區域的內周部複印在樹脂層14上的凹凸圖案36的各凹部36b的側壁面受到浸蝕，各凹部36b形成為不想要的較大開口寬度的情況可以得到避免。這樣，能夠在與同步圖案區域對應的區域的內周部到外周部的全部區域以高精度形成具有所希望的開口寬度的凹部的凹凸圖案36。
又，上面對平行四邊形形狀的單位同步區域具有在圓周方向上並排的同步圖案的壓模20、20A進行了說明，但是對於橢圓形或圓形的單位同步區域能夠形成在圓周方向並排的同步圖案的壓模，也可以使用本發明。而且，如例如圖33所示的壓模20B那樣，也可以採用由將沿著圓周方向形成為鋸齒形的多個凸部35a(多個凹部35b)在徑向上排列的凹凸圖案35形成同步圖案的結構。這種壓模20B的同步圖案形成區域Abs上形成的凸部35a，是本發明的第1凸部的一個例子，該圖所示的箭頭B的部位沿著徑向連續地形成。因此，該凸部35a形成為從箭頭B的部位的內周部側越向外周部側(該圖中的下側)圓周方向的長度越是慢慢地變長。具體地說，在該圖中，例如外周部的圓周方向的長度L5ao比內周部的圓周方向的長度L5ai做得長。因此，對於同步圖案形成區域Abs內形成的各凸部35a，最好是形成為沿著徑向連續形成的部位(上述箭頭B的部位)上從內周部向外周部其高度慢慢變高。
又，該同步圖案形成區域Abs內的凸部35a形成為在外周部形成的凸部35a比在內周部形成的凸部35a其圓周方向的長度慢慢變長。具體地說，在該圖中，例如外周側的凸部35a的圓周方向的長度L5bi比內周部的凸部35a的圓周方向的長度L5ai做得長。因此，對於同步圖案形成區域Abs內形成的各凸部35a，最好是形成為透明20B的外周部的凸部35a的對應部位的高度比內周部的凸部35a的高度高。這樣，在進行壓印處理時，能夠在同步圖案形成區域Abs的全部區域以相同的程度將該壓模20B的同步圖案用的各凸部35a壓入樹脂層14。而且如該圖所示，在本發明的所謂「沿著徑向連續形成」的狀態，不僅包含沿著與圓周方向(該圖所示的箭頭R的方向)垂直的方向連續形成的狀態，而且還包含沿著與徑向形成銳角交叉的方向連續形成的狀態。
而且也可以像圖34所示的壓模20C那樣，採用將平行四邊形形狀的多個凸部35a(多個凹部35b)配置為核對圖案狀的凹凸圖案35a以形成同步圖案的結構。在這種情況下，在壓模20C的同步圖案形成區域Abs中，同步圖案用的各凸部35a的圓周方向的長度L6形成為從同步圖案形成區域Abs的內周部向外周部慢慢變長(外周部的凸部35a比內周部的凸部35a其圓周方向的長度L6較長)。因此，最好是越是該長度L6長的凸部35a，從基準面X到突出端部的高度越高。這樣，在壓印處理時，圓周方向的長度L6長，不容易壓入樹脂層14的凸部35a(外周部的凸部35a)也能夠以與圓周方向的長的L6短的凸部35a(內周部的凸部35a)相同的程度，壓入樹脂層14到足夠的深度。
又，上述壓模20的製造方法中，覆蓋著將鎳層26(掩模圖案33)作為掩模使用，對碟片狀基體材料25進行蝕刻形成的凹凸圖案34，形成電極膜21和鎳層22，製造掩模20，但是本發明的壓模製造方法不限於此，例如也可以如下所述製造，即在碟片狀基體材料25上形成抗蝕劑層27，同時在該抗蝕劑層27上形成深度不同的凹部，形成凹凸圖案(未圖示)，覆蓋著該凹凸圖案形成電極膜21和鎳層22，以此製造壓模20。而且，也可以將上述壓模20的凹凸形狀複印在壓模形成材料上製造出壓模，以其作為主壓模使用，將該主壓模的凹凸形狀複印在其他壓模形成材料上，藉助於此，即通過將上述壓模20的凹凸形狀複印偶數次，也能夠製造本發明的壓模。
又，利用上述壓模裝置100進行的壓印方法(信息記錄媒體1的製造方法)中，在從壓模20對中間體10按壓的壓印處理開始前到壓模20剝離處理完成的期間，持續對中間體10和壓模20兩者進行加熱處理，但是本發明不限於此，例如也可以採用在將壓模20在某種程度上充分壓入中間體10之後，結束對中間體10和壓模20進行的加熱處理，其後剝離壓模20的工序。還可以在壓模20剝離之前將壓模20和中間體10兩者的溫度降低到樹脂層14的玻化溫度以下的溫度。又可以採用其玻化溫度比常溫(例如25℃)低的樹脂材料，形成本發明中的樹脂層，在壓模按壓處理到壓模剝離處理的期間不進行加熱處理和冷卻處理就將凹凸圖案形成在樹脂層上的方法。還可以採用如下所述的方法，即採用紫外線固化型樹脂和電子束固化型樹脂等作為本發明的樹脂材料形成樹脂層，在壓模按壓處理之後照射紫外線或電子束使樹脂層固化(或半硬化)，然後進行壓模剝離處理，以此在樹脂層上形成凹凸圖案的方法。
又，利用本發明的壓印方法形成的凹凸圖案的用途不限於碟片讀取道型的信息記錄媒體的製造，而可以使用於具有道狀圖案以外的圖案的圖案媒體的製造和數據道圖案區域用連續磁性層構成的磁記錄媒體的製造。而且可以使用於磁記錄媒體以外的各種信息記錄媒體(例如光記錄媒體和光磁記錄媒體)的製造。
權利要求
1.一種壓模，其特徵在於，可製造至少伺服圖案以凹凸圖案形成的信息記錄媒體地形成壓模側凹凸圖案，在所述壓模側凹凸圖案中，形成沿著與所述信息記錄媒體的徑向對應的方向連續形成的第1凸部，所述第1凸部形成為越是與所述信息記錄媒體的圓周方向對應的方向的長度長的部位，從表面與背面之間規定的基準面到突出端部的高度越高。
2.一種壓模，其特徵在於，可製造至少伺服圖案以凹凸圖案形成的信息記錄媒體地形成壓模側凹凸圖案，在所述壓模側凹凸圖案中，形成沿著與所述信息記錄媒體的徑向對應的方向連續形成的多個第1凸部，同時該各第1凸部形成為越是與所述信息記錄媒體的圓周方向對應的方向的同一半徑位置的長度長的所述第1凸部，從表面與背面之間規定的基準面到突出端部的高度越高。
3.根據權利要求1或2所述的壓模，其特徵在於，可製造至少伺服圖案以凹凸圖案形成的信息記錄媒體地形成壓模側凹凸圖案，所述第1凸部形成為在與所述圓周方向對應的方向的長度比與所述數據道圖案對應的區域內形成的各凸部中所述高度最高的第2凸部中的與所述徑向對應的方向的長度長的部位，所述高度比該第2凸部做得高。
4.一種壓模，其特徵在於，可製造至少伺服圖案以凹凸圖案形成的信息記錄媒體地形成壓模側凹凸圖案，所述壓模側凹凸圖案由凹部構成與所述伺服圖案中的同步圖案的單位同步區域對應的部位，同時在該凹部周圍形成第3凸部，所述第3凸部，越是所述凹部之間的與所述圓周方向對應的方向的長度長的部位，在表面與背面之間規定的基準面到突出端部的高度做得越高。
5.一種壓模，其特徵在於，可製造至少伺服圖案以凹凸圖案形成的信息記錄媒體地形成壓模側凹凸圖案，所述壓模側凹凸圖案由第4凹部構成與所述伺服圖案中的同步圖案的單位同步區域對應的部位，所述各第4凸部，越是與所述圓周方向對應的方向的長度長的該第4凸部，在表面與背面之間規定的基準面到突出端部的高度做得越高。
6.一種壓印方法，其特徵在於，對在基體材料的表面上塗布樹脂材料形成的樹脂層，依序執行按壓權利要求1至5中的任一項所述的壓模中的所述壓模側凹凸圖案的壓模按壓處理、以及從所述樹脂層上剝離所述壓模的壓模剝離處理，將所述壓模側凹凸圖案的凹凸形狀複印在所述樹脂層上。
7.一種信息記錄媒體製造方法，其特徵在於，利用權利要求6所述的壓印方法，用在所述樹脂層上複印的凹凸圖案製造信息記錄媒體。
全文摘要
提供一種以高精度形成具有所希望的開口長度的凹部的凹凸圖案的壓模。可製造至少伺服圖案以凹凸圖案形成的信息記錄媒體地形成凹凸圖案(35)，在凹凸圖案(35)中，形成沿著與信息記錄媒體的徑向對應的方向連續形成的凸部(35a2a)，凸部(35a2a)形成為越是與信息記錄媒體的圓周方向對應的箭頭R的方向的長度較長的部位，從表面與背面之間規定的基準面(X)到突出端部的高度越高。
文檔編號B29C59/02GK1970267SQ20061012854
公開日2007年5月30日 申請日期2006年8月30日 優先權日2005年11月25日
發明者服部一博, 島川和也 申請人:Tdk股份有限公司