主動開關陣列基板及其製造方法與流程
2023-09-15 09:41:25 3
本發明涉及一種製造方式，特別是涉及一種主動開關陣列基板及其製造方法。
背景技術：
隨著科技進步，具有省電、無幅射、體積小、低耗電量、平面直角、高解析度、畫質穩定等多項優勢的液晶顯示器，尤其是現今各式信息產品如：手機、筆記本電腦、數字相機、PDA、液晶屏幕等產品越來越普及，亦使得液晶顯示器(LCD)的需求量大大提升。因此如何滿足日益要求高解析度的畫素設計，且具有高畫質、空間利用效率佳、低消耗功率、無輻射等優越特性的主動開關陣列液晶顯示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，TFT-LCD)已逐漸成為市場的主流。其中，主動開關陣列基板為組立液晶顯示器的重要構件之一。
而主動開關陣列基板有分為具有紅綠藍光阻層在對向基板中(RGB on CF)、在平面轉換型的液晶面板中具有紅綠藍光阻層在主動開關陣列基板(RGB on Array/In-Plane Switching，IPS Mode)及在垂直配向型的液晶面板中具有紅綠藍光阻層在主動開關陣列基板(RGB on Array/Vertical Alignment，VA Mode)。如此一來，如何提高解析度的畫素設計，其中有關主動開關陣列基板的畫素結構設計將扮演一個關鍵設計。傳統液晶顯示器製程中，紅綠藍光阻層是做在彩色濾光片玻璃端，但容易發生上下玻璃對組錯位而導致產生畫面不均勻的情形(MM，Movable Mura)。因此使用紅綠藍光阻層在主動開關陣列基板的製程可以改善顯示畫面不均勻的情形，且可以有效降低走線負載與提高開口率，而應用在曲面電視也非常容易凸顯其優點。
技術實現要素：
為了解決上述技術問題，本發明的目的在於，提供一種主動開關陣列基板及其製造方法，將可以減少顯示畫面不均勻、減少上下基板玻璃對位精度誤差及減少真空泡沫化。
本發明的目的及解決其技術問題是採用以下技術方案來實現的。依據本發明提出的一種主動開關陣列基板，包括：一第一基底，具有一外表面；多條閘極線，形成於所述第一基底上；一閘極覆蓋層，形成於所述第一基底上，並覆蓋該些閘極線；多條數據線，形成於所述閘極覆蓋層上；一第一保護層，形成於所述閘極覆蓋層上，並覆蓋該些數據線；一畫素電極層，形成於所述第一保護層上；多個光間隔物，形成於所述第一保護層上；一不透光矩陣層，其材料相同於該些光間隔物的材料，形成於所述第一保護層上；以及一彩色濾光層，形成於所述第一基底的外表面，並包括多個平行配置的光阻層。
本發明的另一目的一種主動開關陣列基板的製造方法，包括：提供一第一基底；將多條閘極線形成於所述第一基底上；將一閘極覆蓋層形成於所述第一基底上，並覆蓋該些閘極線；將多條數據線形成於所述閘極覆蓋層上；將一第一保護層形成於所述閘極覆蓋層上，並覆蓋該些數據線；將一畫素電極層形成於所述第一保護層上；同時將多個光間隔物及一不透光矩陣層形成於所述第一保護層上，且所述不透光矩陣層其材料相同於該些光間隔物的材料；以及依序形成多個平行配置的光阻層於所述第一基底的外表面，以完成一彩色濾光層。
本發明的又一目的一種液晶顯示面板，包括：一主動開關陣列基板，包括：一第一基底，具有一外表面，其中所述外表面具有一紅綠藍色的膠材；多條閘極線，形成於所述第一基底上；一閘極覆蓋層，形成於所述第一基底上，並覆蓋該些閘極線；多條數據線，形成於所述閘極覆蓋層上；一第一保護層，形成於所述閘極覆蓋層上，並覆蓋該些數據線；一畫素電極層，形成於所述第一保護層上；多個光間隔物，形成於所述第一保護層上；一不透光矩陣層，其材料相同於該些光間隔物的材料，形成於所述第一保護層上；以及一彩色濾光層，形成於所述第一基底的外表面，並包括多個平行配置的光阻層；一對向基板，包括：一第二基底；所述主動開關陣列基板與所述對向基板對向設置，其中該些光間隔物位於所述對向基板以及所述主動開關陣列基板之間，用以定義一液晶間隔空間；以及一透明電極層，設置在所述第二基底上；以及一液晶層於所述主動開關陣列基板以及所述對向基板之間，並填滿所述液晶間隔空間。
本發明的再一目的一種液晶顯示設備，包括背光模塊，還包括所述的液晶顯示面板。
本發明解決其技術問題還可採用以下技術措施進一步實現。
在本發明的一實施例中，所述彩色濾光層材料為一紅綠藍色膠材。
在本發明的一實施例中，所述光間隔物外形為一上窄下寬的凸起外形。
在本發明的一實施例中，所述製造方法，所述形成多個平行配置的光阻層的步驟包括：通過噴墨工藝，噴塗所述紅綠藍色膠材；藉由一紫外光固化所述紅綠藍色膠材；形成所述光阻層於所述第一基底的外表面。
在本發明的一實施例中，所述製造方法，所述同時將多個光間隔物及一不透光矩陣層形成於所述第一保護層上，且所述不透光矩陣層其材料相同於該些光間隔物的材料的步驟包括：在所述第一保護層上形成一遮光材料層，以覆蓋所述第一保護層；在所述遮光材料層上設置一光罩，所述光罩具有一透光區、一非透光區以及一半透光區；以及進行一曝光製造以及一顯影製造，以圖案化所述遮光材料層，而形成該些光間隔物及所述不透光矩陣層。
在本發明的一實施例中，所述製造方法，該些光間隔物是通過相同的光罩而形成至少兩種段差。
在本發明的一實施例中，所述製造方法，所述光罩為半色調光罩。
本發明的有益效果是，將可以減少顯示畫面不均勻、減少上下基板玻璃對位精度誤差及減少真空泡沫化。
附圖說明
圖1a是範例性的具有紅綠藍光阻層及不透光矩陣層在對向基板中橫截面示意圖。
圖1b是範例性的具有紅綠藍光阻層在主動開關陣列基板中橫截面示意圖。
圖1c是另一範例性的具有紅綠藍光阻層在主動開關陣列基板中橫截面示意圖。
圖2a是顯示依據本發明的方法，應用於液晶顯示面板中外圍區域的主動開關陣列基板中橫截面示意圖。
圖2b是顯示依據本發明的方法，應用於液晶顯示面板中顯示區域的主動開關陣列基板中橫截面示意圖。
圖2c是顯示依據本發明的方法，應用於液晶顯示面板中另一外圍區域的主動開關陣列基板中橫截面示意圖。
圖2d是顯示依據本發明的方法，應用於液晶顯示面板中的主動開關陣列基板中橫截面示意圖。
圖3a是範例性液晶顯示器中的彩色濾光片基板玻璃面的示意圖。
圖3b是顯示依據本發明的方法，應用於液晶顯示器中的主動開關陣列基板背面具有不透光矩陣層及紅綠藍色膠材示意圖。
圖3c是使用噴墨方式及紫外線照射方式使紅綠藍色膠材貼附於主動開關陣列基板背面示意圖。
具體實施方式
以下各實施例的說明是參考附加的圖式，用以例示本發明可用以實施的特定實施例。本發明所提到的方向用語，例如「上」、「下」、「前」、「後」、「左」、「右」、「內」、「外」、「側面」等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語是用以說明及理解本發明，而非用以限制本發明。
附圖和說明被認為在本質上是示出性的，而不是限制性的。在圖中，結構相似的單元是以相同標號表示。另外，為了理解和便於描述，附圖中示出的每個組件的尺寸和厚度是任意示出的，但是本發明不限於此。
在附圖中，為了清晰起見，誇大了層、膜、面板、區域等的厚度。在附圖中，為了理解和便於描述，誇大了一些層和區域的厚度。將理解的是，當例如層、膜、區域或基底的組件被稱作「在」另一組件「上」時，所述組件可以直接在所述另一組件上，或者也可以存在中間組件。
另外，在說明書中，除非明確地描述為相反的，否則詞語「包括」將被理解為意指包括所述組件，但是不排除任何其它組件。此外，在說明書中，「在......上」意指位於目標組件上方或者下方，而不意指必須位於基於重力方向的頂部上。
為更進一步闡述本發明為達成預定發明目的所採取的技術手段及功效，以下結合附圖及較佳實施例，對依據本發明提出的一種主動開關陣列基板及其製造方法其具體實施方式、結構、特徵及其功效，詳細說明如後。
本發明的液晶顯示面板可包括主動開關陣列(Thin Film Transistor，TFT)基板、彩色濾光層(Color Filter，CF)基板與形成於兩基板之間的液晶層。
在一實施例中，本發明的液晶顯示面板可為曲面型顯示面板。
在一實施例中，本發明的主動開關陣列(TFT)及彩色濾光層(CF)可形成於同一基板上。
圖1a為範例性的具有紅綠藍光阻層及不透光矩陣層在對向基板中橫截面示意圖。請參照圖1a，一種具有紅綠藍光阻層及不透光矩陣層在對向基板的液晶面板，包括：一對向基板20，包括：一第二基底200；一彩色濾光層212，設置在所述第二基底200上，並包括多個平行配置的光阻層(紅色光阻、綠色光阻、藍色光阻)；一不透光矩陣層210，設置在所述第二基底200上；一透明電極層214，設置在所述彩色濾光層212上；以及多個光間隔物216、218，設置在所述透明電極層214上；一主動開關陣列基板10，包括：一第一基底100；所述主動開關陣列基板10與所述對向基板20對向設置，其中該些光間隔物216、218位於所述對向基板20以及所述主動開關陣列基板10之間，用以定義一液晶間隔空間；多條閘極線106，形成於所述第一基底100上；一閘極覆蓋層110，形成於所述第一基底100上，並覆蓋該些閘極線106；多條數據線108，形成於所述閘極覆蓋層110上，其中該些數據線108與該些閘極線106定義出多個畫素區；一第一保護層112，形成於所述閘極覆蓋層110上，並覆蓋該些數據線108；一畫素電極層114，形成於所述第一保護層112上；以及一液晶層(圖未示)於所述對向基板20以及所述主動開關陣列基板10之間，並填滿所述液晶間隔空間。
圖1b為範例性的具有紅綠藍光阻層在主動開關陣列基板中橫截面示意圖。請參照圖1b，一種在平面轉換型的液晶面板中具有紅綠藍光阻層在主動開關陣列基板，包括：一主動開關陣列基板11，包括：一第一基底100；多條閘極線106，形成於所述第一基底100上；一閘極覆蓋層110，形成於所述第一基底100上，並覆蓋該些閘極線106；多條數據線108，形成於所述閘極覆蓋層110上，其中該些數據線108與該些閘極線106定義出多個畫素區；一第一保護層112，形成於所述閘極覆蓋層110上，並覆蓋該些數據線108；一彩色濾光層212，形成於所述第一保護層112上，並包括多個平行配置的光阻層(紅色光阻、綠色光阻、藍色光阻)；一第二保護層113，形成於所述彩色濾光層212上，並覆蓋所述第一保護層112；一畫素電極層114，形成於所述第二保護層113上；一對向基板21，包括：一第二基底200；一不透光矩陣層210，設置在所述第二基底200上；一透明電極層214，設置在所述第二基底200上，並覆蓋該些不透光矩陣層210；以及多個光間隔物217、219，設置在所述透明電極層214上；所述主動開關陣列基板11與所述對向基板21對向設置，其中該些光間隔物217、219位於所述對向基板21以及所述主動開關陣列基板11之間，用以定義一液晶間隔空間；以及一液晶層(圖未示)於所述對向基板21以及所述主動開關陣列基板11之間，並填滿所述液晶間隔空間。
圖1c為另一範例性的具有紅綠藍光阻層在主動開關陣列基板中橫截面示意圖。請參照圖1c，一種在垂直配向型的液晶面板中具有紅綠藍光阻層在主動開關陣列基板，包括：一主動開關陣列基板12，包括：一第一基底100；多條閘極線106，形成於所述第一基底100上；一閘極覆蓋層110，形成於所述第一基底100上，並覆蓋該些閘極線106；多條數據線108，形成於所述閘極覆蓋層110上，其中該些數據線108與該些閘極線106定義出多個畫素區；一第一保護層112，形成於所述閘極覆蓋層110上，並覆蓋該些數據線108；一彩色濾光層212，形成於所述第一保護層112上，並包括多個平行配置的光阻層(紅色光阻、綠色光阻、藍色光阻)；一第二保護層113，形成於所述彩色濾光層212上，並覆蓋所述第一保護層112；一畫素電極層114，形成於所述第二保護層113上；多個光間隔物213、215，形成於所述第二保護層113上，並與所述第二保護層113連接在一起；一對向基板22，包括：一第二基底200；一不透光矩陣層210，設置在所述第二基底200上；以及一透明電極層214，設置在所述第二基底200上，並覆蓋該些不透光矩陣層210；所述主動開關陣列基板12與所述對向基板22對向設置，其中該些光間隔物213、215位於所述對向基板22以及所述主動開關陣列基板12之間，用以定義一液晶間隔空間；以及一液晶層(圖未示)於所述對向基板22以及所述主動開關陣列基板12之間，並填滿所述液晶間隔空間。
圖2a為顯示依據本發明的方法，應用於液晶顯示面板中外圍區域的主動開關陣列基板中橫截面示意圖、圖2b為顯示依據本發明的方法，應用於液晶顯示面板中顯示區域的主動開關陣列基板中橫截面示意圖、圖2c為顯示依據本發明的方法，應用於液晶顯示面板中另一外圍區域的主動開關陣列基板中橫截面示意圖及圖2d為顯示依據本發明的方法，應用於液晶顯示面板中的主動開關陣列基板中橫截面示意圖。請參照圖2a、圖2b、圖2c及圖2d，在本發明一實施例中，一主動開關陣列基板13，包括：一第一基底100，具有一外表面；多條閘極線106，形成於所述第一基底100上；一閘極覆蓋層110，形成於所述第一基底100上，並覆蓋該些閘極線106；多條數據線108，形成於所述閘極覆蓋層110上，其中該些數據線108與該些閘極線106定義出多個畫素區；一第一保護層112，形成於所述閘極覆蓋層110上，並覆蓋該些數據線108；一畫素電極層114，形成於所述第一保護層112上；多個光間隔物232、234，形成於所述第一保護層112上；一不透光矩陣層115，其材料相同於該些光間隔物232、234的材料，形成於所述第一保護層112上；以及一彩色濾光層212，形成於所述第一基底100的外表面，並包括多個平行配置的光阻層(例如紅色光阻、綠色光阻、藍色光阻)。
在一實施例中，所述彩色濾光層212材料例如為一紅綠藍色膠材。在一些實施例中，彩色濾光層212材料可包括例如白色及/或黃色膠材。
在一實施例中，所述光間隔物232、234外形為一上窄下寬的凸起外形。
在一實施例中，所述第一基底100外表面的紅綠藍色膠材藉由紫外光照射固化，以形成所述彩色濾色層212，貼附在所述主動開關陣列基板13玻璃背面。
在一實施例中，所述主動開關陣列基板13的外圍區域，包括一纖維材質層220於所述主動開關陣列基板13以及所述對向基板23之間。
在一實施例中，所述主動開關陣列基板13的外圍區域，更包括：多個假光間隔物236，形成於所述畫素電極層114上及一不透光矩陣層115，其材料相同於該些假光間隔物236的材料，形成於所述畫素電極層114上。
在一實施例中，所述主動開關陣列基板13的外圍區域，更包括：一第二保護層113，形成於所述第一保護層112上。
請參照圖2a、圖2b、圖2c及圖2d，在本發明一實施例中，一種液晶顯示面板，包括：一主動開關陣列基板13，包括：一第一基底100，具有一外表面；多條閘極線106，形成於所述第一基底100上；一閘極覆蓋層110，形成於所述第一基底100上，並覆蓋該些閘極線106；多條數據線108，形成於所述閘極覆蓋層110上，其中該些數據線108與該些閘極線106定義出多個畫素區；一第一保護層112，形成於所述閘極覆蓋層110上，並覆蓋該些數據線108；一畫素電極層114，形成於所述第一保護層112上；多個光間隔物232、234，形成於所述第一保護層112上；一不透光矩陣層115，其材料相同於該些光間隔物232、234的材料，形成於所述第一保護層112上；以及一彩色濾光層212，形成於所述第一基底100的外表面，並包括多個平行配置的光阻層(例如紅色光阻、綠色光阻、藍色光阻)；一對向基板23，包括：一第二基底200；所述主動開關陣列基板13與所述對向基板23對向設置，其中該些光間隔物232、234位於所述對向基板23以及所述主動開關陣列基板13之間，用以定義一液晶間隔空間；以及一透明電極層214，設置在所述第二基底200上；以及一液晶層於所述主動開關陣列基板13以及所述對向基板23之間，並填滿所述液晶間隔空間。
在一實施例中，所述彩色濾光層212材料例如為一紅綠藍色膠材，在一些實施例中，彩色濾光層212材料可包括例如白色及/或黃色膠材。
在一實施例中，所述光間隔物232、234外形為一上窄下寬的凸起外形。
在一實施例中，所述第一基底100外表面的紅綠藍色膠材藉由紫外光照射固化，以形成所述彩色濾色層212，貼附在所述主動開關陣列基板13玻璃背面。
在一實施例中，所述主動開關陣列基板13的外圍區域，包括一纖維材質層220於所述主動開關陣列基板13以及所述對向基板23之間。
在一實施例中，所述主動開關陣列基板13的外圍區域，更包括：多個假光間隔物236，形成於所述畫素電極層114上及一不透光矩陣層115，其材料相同於該些假光間隔物236的材料，形成於所述畫素電極層114上。
在一實施例中，所述主動開關陣列基板13的外圍區域，更包括：一第二保護層113，形成於所述第一保護層112上。
請參照圖2a、圖2b、圖2c及圖2d，在本發明一實施例中，一種液晶顯示設備，包括背光模塊，還包括：一主動開關陣列基板13，包括：一第一基底100，具有一外表面；多條閘極線106，形成於所述第一基底100上；一閘極覆蓋層110，形成於所述第一基底100上，並覆蓋該些閘極線106；多條數據線108，形成於所述閘極覆蓋層110上，其中該些數據線108與該些閘極線106定義出多個畫素區；一第一保護層112，形成於所述閘極覆蓋層110上，並覆蓋該些數據線108；一畫素電極層114，形成於所述第一保護層112上；多個光間隔物232、234，形成於所述第一保護層112上；一不透光矩陣層115，其材料相同於該些光間隔物232、234的材料，形成於所述第一保護層112上；以及一彩色濾光層212，形成於所述第一基底100的外表面，並包括多個平行配置的光阻層(例如紅色光阻、綠色光阻、藍色光阻)；一對向基板23，包括：一第二基底200；所述主動開關陣列基板13與所述對向基板23對向設置，其中該些光間隔物232、234位於所述對向基板23以及所述主動開關陣列基板13之間，用以定義一液晶間隔空間；以及一透明電極層214，設置在所述第二基底200上；以及一液晶層於所述主動開關陣列基板13以及所述對向基板23之間，並填滿所述液晶間隔空間。
在一實施例中，所述彩色濾光層212材料例如為一紅綠藍色膠材，在一些實施例中，彩色濾光層212材料可包括例如白色及/或黃色膠材。
在一實施例中，所述光間隔物232、234外形為一上窄下寬的凸起外形。
在一實施例中，所述第一基底100外表面的紅綠藍色膠材藉由紫外光照射固化，以形成所述彩色濾色層212，貼附在所述主動開關陣列基板13玻璃背面。
在一實施例中，所述主動開關陣列基板13的外圍區域，包括一纖維材質層220於所述主動開關陣列基板13以及所述對向基板23之間。
在一實施例中，所述主動開關陣列基板13的外圍區域，更包括：多個假光間隔物236，形成於所述畫素電極層114上及一不透光矩陣層115，其材料相同於該些假光間隔物236的材料，形成於所述畫素電極層114上。
在一實施例中，所述主動開關陣列基板13的外圍區域，更包括：一第二保護層113，形成於所述第一保護層112上。
請參照圖2a、圖2b、圖2c及圖2d，在本發明一實施例中，一種主動開關陣列基板13的製造方法，包括：提供一第一基底100；將多條閘極線106形成於所述第一基底100上；將一閘極覆蓋層110形成於所述第一基底100上，並覆蓋該些閘極線106；將多條數據線108形成於所述閘極覆蓋層110上，其中該些數據線108與該些閘極線106定義出多個畫素區；將一第一保護層112形成於所述閘極覆蓋層110上，並覆蓋該些數據線108；將一畫素電極層114形成於所述第一保護層112上；同時將多個光間隔物232、234及一不透光矩陣層115形成於所述第一保護層112上，且所述不透光矩陣層115其材料相同於該些光間隔物232、234的材料；以及依序形成多個平行配置的光阻層(例如紅色光阻、綠色光阻、藍色光阻)於所述第一基底100的外表面，以完成一彩色濾光層212。
在本發明的一實施例中，所述彩色濾光層212材料例如為一紅綠藍色膠材，在一些實施例中，彩色濾光層212材料可包括例如白色及/或黃色膠材。
在本發明的一實施例中，所述形成多個平行配置的光阻層(紅色光阻、綠色光阻、藍色光阻)的步驟包括：通過噴墨工藝，噴塗所述紅綠藍色膠材；藉由一紫外光固化所述紅綠藍色膠材；形成所述光阻層(紅色光阻、綠色光阻、藍色光阻)於所述第一基底的外表面。
在一實施例中，所述製造方法，所述同時將多個光間隔物232、234及一不透光矩陣層115形成於所述第一保護層112上，且所述不透光矩陣層115其材料相同於該些光間隔物232、234的材料的步驟包括：在所述第一保護層112上形成一遮光材料層，以覆蓋所述第一保護層112；在所述遮光材料層上設置一光罩，所述光罩具有一透光區、一非透光區以及一半透光區；以及進行一曝光製造以及一顯影製造，以圖案化所述遮光材料層，而形成該些光間隔物232、234及所述不透光矩陣層115。
在一實施例中，所述製造方法，該些光間隔物232、234是通過相同的光罩而形成至少兩種段差。
在一實施例中，所述製造方法，所述光罩為半色調光罩。
圖3a是範例性液晶顯示器中的彩色濾光片基板玻璃面的示意圖。請參照圖3a，一種液晶顯示器300，包括：一黑色光阻材質310、一彩色濾光片基板玻璃312、一機座314、一支撐架316。所述支撐架316連接所述機座314，且所述黑色光阻材質310貼附於所述彩色濾光片基板玻璃312的邊緣端303。
在一實施例中，所述彩色濾光片基板玻璃312面朝上。
圖3b是顯示依據本發明的方法，應用於液晶顯示器中的主動開關陣列基板背面具有不透光矩陣層及紅綠藍色膠材示意圖。請參照圖2a、圖2b、圖2c、圖2d及圖3b，在本發明一實施例中，一種無邊框液晶顯示器301，包括：一紅綠藍色膠材311、一黑色膠材(不透光矩陣層)313、一主動開關陣列基板13玻璃315、一機座314、一支撐架316。所述支撐架316連接所述機座314，所述黑色膠材(不透光矩陣層)313貼附於所述主動開關陣列基板13玻璃315的邊緣端303(邊框電路)，所述紅綠藍色膠材311貼附於所述主動開關陣列基板13玻璃315的背面307，且所述主動開關陣列基板13玻璃315的顯示區域具有一彩色濾光層212。
在一實施例中，所述主動開關陣列基板13玻璃315面朝上。
在一實施例中，所述對向基板(彩色濾光片基板)23玻璃面朝向背光模塊。
圖3c是使用噴墨方式及紫外線照射方式使紅綠藍色膠材貼附於主動開關陣列基板背面示意圖。請參照圖2a、圖2b、圖2c、圖2d、圖3b及圖3c，在本發明一實施例中，一種噴墨設備400，包括：一紅綠藍色膠材的分配單元403、一紫外光線照射發光單元405、一紫外線光束410及一紅綠藍色膠材407。所述紅綠藍色膠材的分配單元403將所述紅綠藍色膠材407，以噴墨工藝，塗上於所述主動開關陣列基板13玻璃315的背面307，且以所述紫外光線照射發光單元405所發出的紫外線光束410給予所述紅綠藍色膠材407固化於彩色濾光層212上或所述主動開關陣列基板13玻璃315的背面307上。
多灰階光罩，可分為灰色光罩(Gray-tone mask)和半色調光罩(Half tone mask)2種。灰色光罩是製作出曝光機解析度以下的微縫，再藉由此微縫部位遮住一部份的光源，以達成半曝光的效果。另一方面，半色調光罩是利用「半透過」的膜，來進行半曝光。因為以上兩種方式皆是在1次的曝光過程後即可呈現出「曝光部分」「半曝光部分」及「未曝光部分」的3種的曝光層次，故在顯影后能夠形成2種厚度的光阻(藉由利用這樣的光阻厚度差異、便可以較一般少的片數下將圖形轉寫至面板基板上，並達成面板生產効率的提升)。若為半色調光罩則光罩成本會略高於一般光罩。
本發明的有益效果是，將可以減少顯示畫面不均勻、減少上下基板玻璃對位精度誤差及減少真空泡沫化。
「在一些實施例中」及「在各種實施例中」等用語被重複地使用。所述用語通常不是指相同的實施例；但它亦可以是指相同的實施例。「包含」、「具有」及「包括」等用詞是同義詞，除非其前後文意顯示出其它意思。
以上所述，僅是本發明的較佳實施例而已，並非對本發明作任何形式上的限制，雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然而並非用以限定本發明，任何熟悉本專業的技術人員，在不脫離本發明技術方案範圍內，當可利用上述揭示的技術內容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本發明技術方案的內容，依據本發明的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬於本發明技術方案的範圍內。