聲波濾波器電路模型參數的提取方法及裝置與流程

2023-11-05 05:06:57

本發明涉及濾波器技術領域，特別是涉及聲波濾波器電路模型參數的提取方法、聲波濾波器電路模型參數的提取裝置、計算機可讀存儲介質和計算機設備。

背景技術：

基於微機電系統(mems，micro-electro-mechanicalsystem)工藝的聲波濾波器(如體聲波濾波器和聲表面波濾波器等)不但體積小，而且插損和功率容量等指標優，在小型化終端設備和系統設備中具有廣泛的前景。特別是移動通信不斷更新換代，系統設備和終端都為多頻、多模產品，為了消除系統間的幹擾，保證通信質量，這種小型化、性能優良的聲波濾波器模塊更是不可或缺。

仿真是聲波濾波器設計中的重要環節，一般分為電路仿真和場仿真，前者是對聲波濾波器的原始等效電路模型進行優化分析，使其特性滿足指標要求，從而為後者物理模型的建模提供依據，即依據電路模型建立真實的聲波濾波器的物理結構(物理模型)，通過多物理場(電場、磁場、聲波場等)仿真計算得到聲波濾波器的特性。

聲波濾波器設計過程中，重要的是從多物理場仿真結果中提取出對應的電路模型參數，因為這樣就可以與原始等效電路模型中相對應的元件值進行對比，找出之間的差異，依次進一步修改聲波濾波器相應結構，直至兩者接近，從而確定出聲波濾波器的最終結構尺寸。

通過仿真和測試知道，聲波濾波器所包含的諧振子在主模附近有很多次生模，它們對電路模型參數的提取有幹擾作用，增加了準確提出參數算法的困難，因此迄今為止傳統技術中還未提供一種有效的聲波濾波器電路模型參數提取方法。

技術實現要素：

基於此，針對傳統技術中缺乏有效提取聲波濾波器電路模型參數方法的問題，提供一種聲波濾波器電路模型參數的提取方法及裝置，從而能夠有效提取聲波濾波器的電路模型參數。

一種聲波濾波器電路模型參數的提取方法，包括步驟：

一種聲波濾波器電路模型參數的提取方法，其特徵在於，包括步驟：

對聲波濾波器的物理模型進行多物理場仿真，從多物理場仿真的結果中提取出各個諧振子的第一導納值，其中所述聲波濾波器包含若干個諧振子；

對設定的各個諧振子的電路模型參數的初值分別進行優化，根據優化後的各個諧振子的電路模型參數的參數值計算出各個諧振子的第二導納值；

將各個諧振子的第一導納值和第二導納值分別輸入預設的目標函數，獲得各個諧振子的目標函數值，其中所述目標函數值為第二導納值和第一導納值的差值；

若各個諧振子的目標函數值滿足預設的收斂條件，提取各個諧振子的與該目標函數值對應的電路模型參數的參數值，將提取的所有諧振子的電路模型參數的參數值作為所述聲波濾波器的電路模型參數的參數值。

上述聲波濾波器電路模型參數的提取方法，根據聲波濾波器物理模型的多物理場仿真結果和導納值的理論計算結果計算出目標函數值，根據目標函數值滿足收斂條件有效提取出聲波濾波器的電路模型參數，通過該方法提取的電路模型參數較為準確地擬合了聲波濾波器中每個諧振子的頻率特性，為聲波濾波器的結構優化提供了依據。

在一個實施例中，聲波濾波器電路模型參數的提取方法還包括步驟：若存在諧振子的目標函數值不滿足預設的收斂條件，對該諧振子的電路模型參數的參數值重新進行優化，並根據優化後的參數值重新獲得該諧振子的目標函數值。

在一個實施例中，所述目標函數為：

其中，f(ci0,cim,lim,rim)為目標函數值，ci0為第i個諧振子的靜態電容，cim為第i個諧振子的等效電容，lim為第i個諧振子的等效電感，rim為第i個諧振子的電阻，k為第k個頻率點，n為總的頻率點個數，為第i個諧振子的第二導納值的相位值，為第i個諧振子的第一導納值的相位值，ωk為第k個頻率點的角頻率，ai(ωk)為第i個諧振子的第二導納值的幅度，a′i(ωk)為第i個諧振子的第一導納值的幅度。

根據上述設置的目標函數能夠得到理想結果，提高電路模型參數提取的準確性。

在一個實施例中，對聲波濾波器的物理模型進行多物理場仿真之前，還包括步驟：獲取聲波濾波器的等效電路模型，根據所述等效電路模型構建所述聲波濾波器的物理模型，其中所述等效電路模型中各個諧振子的模型為bvd電路模型。

在一個實施例中，所述電路模型參數包括靜態電容、等效電容、等效電感以及電阻；對設定的各個諧振子的電路模型參數的初值分別進行優化之前，還包括步驟：根據各個諧振子的bvd電路模型中靜態電容的值、等效電容的值、等效電感的值以及電阻的值，對應設置各個諧振子的靜態電容的初值、等效電容的初值、等效電感的初值以及電阻的初值。根據該種方式設置初始值，能夠得到理想結果，提高電路模型參數提取的準確性。

在一個實施例中，從多物理場仿真的結果中提取出各個諧振子的第一導納值包括步驟：從多物理場仿真的結果中提取出各個諧振子在通帶內的不同頻率點上的第一導納值。

在一個實施例中，通過數值優化算法對電路模型參數的初值和/或參數值進行優化。根據該種方式搜尋電路模型參數，提高了搜尋計算的收斂速度。

一種聲波濾波器電路模型參數的提取裝置，包括：

第一導納值獲得模塊，用於對聲波濾波器的物理模型進行多物理場仿真，從多物理場仿真的結果中提取出各個諧振子的第一導納值，其中所述聲波濾波器包含若干個諧振子；

第二導納值獲得模塊，用於對設定的各個諧振子的電路模型參數的初值分別進行優化，根據優化後的各個諧振子的電路模型參數的參數值計算出各個諧振子的第二導納值；

目標函數值獲得模塊，用於將各個諧振子的第一導納值和第二導納值分別輸入預設的目標函數，獲得各個諧振子的目標函數值，其中所述目標函數值為第二導納值和第一導納值的差值；

電路模型參數提取模塊，用於各個諧振子的目標函數值滿足預設的收斂條件時，提取各個諧振子的與該目標函數值對應的電路模型參數的參數值，將提取的所有諧振子的電路模型參數的參數值作為所述聲波濾波器的電路模型參數的參數值。

上述聲波濾波器電路模型參數的提取裝置，根據聲波濾波器物理模型的多物理場仿真結果和導納值的理論計算結果計算出目標函數值，根據目標函數值滿足收斂條件有效提取出聲波濾波器的電路模型參數，通過該裝置提取的電路模型參數較為準確地擬合了聲波濾波器中每個諧振子的頻率特性，為聲波濾波器的結構優化提供了依據。

一種計算機可讀存儲介質，其上存儲有電腦程式，其特徵在於，該程序被處理器執行時實現上述任意一項所述方法的步驟。該計算機可讀存儲介質，根據聲波濾波器物理模型的多物理場仿真結果和導納值的理論計算結果計算出目標函數值，根據目標函數值滿足收斂條件有效提取出聲波濾波器的電路模型參數，通過該方式提取的電路模型參數較為準確地擬合了聲波濾波器中每個諧振子的頻率特性，為聲波濾波器的結構優化提供了依據。

一種計算機設備，包括存儲器、處理器及存儲在存儲器上並可在處理器上運行的電腦程式，所述處理器執行所述程序時實現上述任意一項所述方法的步驟。該計算機設備，根據聲波濾波器物理模型的多物理場仿真結果和導納值的理論計算結果計算出目標函數值，根據目標函數值滿足收斂條件有效提取出聲波濾波器的電路模型參數，通過該方式提取的電路模型參數較為準確地擬合了聲波濾波器中每個諧振子的頻率特性，為聲波濾波器的結構優化提供了依據。

附圖說明

圖1為一實施例的聲波濾波器電路模型參數的提取方法的流程示意圖；

圖2為體聲波諧振子bvd等效電路的示意圖；

圖3為四單元梯形結構體聲波濾波器的示意圖；

圖4為四單元梯形結構體聲波濾波器多物理場仿真與提取出的電路模型計算的頻率響應曲線；

圖5為一實施例的聲波濾波器電路模型參數的提取裝置的結構示意圖；

圖6為一實施例的計算機設備的結構示意圖。

具體實施方式

為更進一步闡述本發明所採取的技術手段及取得的效果，下面結合附圖及較佳實施例，對本發明的技術方案，進行清楚和完整的描述。

如圖1所示，在一個實施例中，提供了一種聲波濾波器電路模型參數的提取方法，包括步驟：

s110、對聲波濾波器的物理模型進行多物理場仿真，從多物理場仿真的結果中提取出各個諧振子的第一導納值，其中所述聲波濾波器包含若干個諧振子；

s120、對設定的各個諧振子的電路模型參數的初值分別進行優化，根據優化後的各個諧振子的電路模型參數的參數值計算出各個諧振子的第二導納值；

s130、將各個諧振子的第一導納值和第二導納值分別輸入預設的目標函數，獲得各個諧振子的目標函數值，其中所述目標函數值為第二導納值和第一導納值的差值；

s140、若各個諧振子的目標函數值滿足預設的收斂條件，提取各個諧振子的與該目標函數值對應的電路模型參數的參數值，將提取的所有諧振子的電路模型參數的參數值作為所述聲波濾波器的電路模型參數的參數值。

聲波濾波器包括體聲波(baw，bulkacousticwave)濾波器和聲表面波(saw，surfaceacousticwave)濾波器等。聲波濾波器的物理模型反映了聲波濾波器真實的物理結構。在一個實施例中，對聲波濾波器的物理模型進行多物理場仿真之前，還可以包括步驟：獲取聲波濾波器的等效電路模型，根據所述等效電路模型構建所述聲波濾波器的物理模型，其中所述等效電路模型中各個諧振子的模型為bvd(butterworth-vandyke，巴特沃斯-範戴克)電路模型。

等效電路模型是實際電路抽象而成，它近似地反映實際電路的電氣特性。由於聲波濾波器包括多個諧振子，所以聲波濾波器的等效電路模型的基本單元為每個諧振子的bvd電路模型。以體聲波諧振子的bvd電路模型為例，如圖2所示，它包括由電極形成的靜態電容c0、與機械振動相關聯的等效電容cm、與機械振動相關聯的等效電感lm和與損耗相關的電阻rm。四單元體聲波濾波器的拓撲結構如圖3所示，其中，諧振子1和諧振子4串聯連接，諧振子2和諧振子3並聯連接。

依據聲波濾波器的等效電路模型建立真實的聲波濾波器物理結構(物理模型)，然後通過多物理場(電場、磁場、聲波場等)仿真計算得到聲波濾波器的特性，其中物理模型的構建和多物理場仿真均可以採用現有技術中已有的方式實現。從多物理場仿真的結果中可以提取出各個諧振子在各個頻率點上的導納值，比如第i個諧振子對應的導納為y′i(ω)，這裡ω代表角頻率，表明導納yi′是頻率的函數。

bvd等效電路模型中，每個諧振子有兩個諧振頻率：串聯諧振頻率fs和並聯諧振頻率fp。在聲波濾波器結構中，在串聯通路中的諧振子(如圖3中諧振子1、4)的串聯諧振頻率位於聲波濾波器通帶內，並聯諧振頻率位於通帶外；而並聯諧振子(如圖3中諧振子2、3)的兩個諧振頻率與之恰恰相反，即其串聯頻率位於通帶外，並聯頻率位於通帶內。所以，在一個實施例中，從多物理場仿真的結果中提取出各個諧振子的第一導納值包括步驟：從多物理場仿真的結果中提取出各個諧振子在通帶內的不同頻率點上的第一導納值。在進行多物理場仿真時，只在包含通帶的一段連續頻譜內取點計算其導納值，即通過多物理場仿真結果提取出各個諧振子在通帶內不同頻率點ω1,…ωk,…,ωn,上的導納值y′i(ωk)。

在一個實施例中，所述電路模型參數包括靜態電容ci0、等效電容cim、等效電感lim以及電阻rim等。預先設置各個諧振子的電路模型參數的初值，然後對各個初值進行優化，獲得優化後的參數值，並採用導納值計算方法對優化後的參數值進行計算，獲得理論計算出的導納值。

以bvd電路模型為例，理論上第i個諧振子的導納為：

其中，yi(ω)為第i個諧振子的導納；ω為角頻率；是虛數單位；ci0為第i個諧振子的靜態電容；lim為第i個諧振子的等效電感；cim為第i個諧振子的等效電容；rim為第i個諧振子的電阻。

導納yi(ω)的幅度和相位分別為：

幅度：

相位：

提取電路模型參數ci0、cim、lim和rim的數學問題為求解多變量的非線性函數yi(ω)，使其在各個頻率點的值與依據多物理仿真結果yi′(ωk)之間的差值滿足預設的收斂條件，預設的收斂條件可以為獲得的目標函數值為極小值，例如通過設置一個極小閾值，若目標函數值小於這個極小閾值，就找到目標函數的極小值。以目標函數值為極小值為例，求解目標函數值極小值的過程為：根據設置的電路模型參數的初始值，搜尋目標值最小時電路模型參數的最終值，即給定ci0、cim、lim和rim合理的初值，找到ci0、cim、lim和rim的最終值，使目標函數值最小。

如果一個諧振子的目標函數值滿足收斂條件，則根據該滿足收斂條件的目標函數值可以提取該諧振子的理論計算出來的導納值(第二導納值)所對應的電路模型參數的參數值，提取的電路模型參數的參數值即為通過多物理場仿真結果提取的該諧振子的電路模型參數值，每一個諧振子都按此方法提取電路模型參數，就可以得到聲波濾波器中所有諧振子的電路模型參數。

在一個實施例中，聲波濾波器電路模型參數的提取方法還包括步驟：若存在諧振子的目標函數值不滿足預設的收斂條件，對該諧振子的電路模型參數的參數值重新進行優化，並根據優化後的參數值重新獲得該諧振子的目標函數值。如果一個諧振子的目標函數值不滿足收斂條件，則繼續進行參數值的搜尋，然後根據搜尋到的參數值重新計算第二導納值，根據重新計算的第二導納值和該諧振子的第一導納值重新計算出目標函數值，依次循環，直至該諧振子的目標函數值滿足收斂條件，該滿足收斂條件的目標函數值所對應參數值即為該諧振子的電路模型參數值。

是否能夠得到理想結果以及提高搜尋計算的收斂速度與三方面因素有關，第一、賦予電路模型參數(ci0、cim、lim和rim)的初值；第二、初值和參數值的優化方法；第三、目標函數形式。針對三方面因素，本發明分別提供了相應的優選方案，下面進行詳細介紹。

關於電路模型參數(ci0、cim、lim和rim)的初值：在設計各個諧振子的bvd電路模型時會為各個元件賦予相應的元件值，例如為每個諧振子的靜態電容、等效電容、等效電感以及電阻等電路模型參數設置相應的元件值，因此，為了得到理想結果以及提高搜尋計算的收斂速度，在一個實施例中，對設定的各個諧振子的電路模型參數的初值分別進行優化之前，還包括步驟：根據各個諧振子的bvd電路模型中靜態電容的值、等效電容的值、等效電感的值以及電阻的值，對應設置各個諧振子的靜態電容的初值、等效電容的初值、等效電感的初值以及電阻的初值。即採用bvd電路模型中相應元件值作為ci0、cim、lim和rim的初值。

對於初值和參數值的優化方法：為了得到理想結果以及提高搜尋計算的收斂速度，在一個實施例中，可以通過現有的數值優化算法對電路模型參數的初值和/或參數值進行優化，例如數值優化算法為共軛梯度優化算法等。

對於目標函數：由於導納值yi(ωk)是複數，裡面含有幅度ai(ωk)和相位兩種參數，不能簡單地把理論計算導納值與多物理場仿真導納值相減作為目標函數，需要創建一個在實數域取值的目標函數作為優化算法判斷的依據，在實數域取值是目標函數的值都為實數。

在一個實施例中，所述目標函數為：

其中，f(ci0,cim,lim,rim)為目標函數值，ci0為第i個諧振子的靜態電容，cim為第i個諧振子的等效電容，lim為第i個諧振子的等效電感，rim為第i個諧振子的電阻，k為第k個頻率點，n為總的頻率點個數，為第i個諧振子的第二導納值的相位值，為第i個諧振子的第一導納值的相位值，ωk為第k個頻率點的角頻率，ai(ωk)為第i個諧振子的第二導納值的幅度，a′i(ωk)為第i個諧振子的第一導納值的幅度，tan(·)是正切三角函數，lg(·)是以10為底的對數函數。

式(4)表示目標函數是在相應頻率點導納相位角正切值相減後取平方、幅度以10為底的對數值相減後取平方，兩者相加後關於n個頻率點求和。需要說明的是，本發明並不限制於式(4)所表示的目標函數，在式(4)上的等同變形，例如修改對數底數或者增加係數等，都在本發明的保護範圍之內。

另外，在對ci0、cim、lim和rim取值搜尋過程中，限定其範圍有利於縮短計算時間，加快收斂速度。

如圖4所示，是圖3表示的四單元體聲波濾波器直接多物理仿真得到的聲波濾波器的頻率響應，以及通過電路參數提取後用相應的電路模型得到的頻率響應曲線，從圖4可以看出，兩者高度吻合。

基於同一發明構思，本發明還提供一種聲波濾波器電路模型參數的提取裝置，下面結合附圖對本發明提取裝置的具體實施方式做詳細介紹。

如圖5所示，一種聲波濾波器電路模型參數的提取裝置，包括：

第一導納值獲得模塊110，用於對聲波濾波器的物理模型進行多物理場仿真，從多物理場仿真的結果中提取出各個諧振子的第一導納值，其中所述聲波濾波器包含若干個諧振子；

第二導納值獲得模塊120，用於對設定的各個諧振子的電路模型參數的初值分別進行優化，根據優化後的各個諧振子的電路模型參數的參數值計算出各個諧振子的第二導納值；

目標函數值獲得模塊130，用於將各個諧振子的第一導納值和第二導納值分別輸入預設的目標函數，獲得各個諧振子的目標函數值，其中所述目標函數值為第二導納值和第一導納值的差值；

電路模型參數提取模塊140，用於各個諧振子的目標函數值滿足預設的收斂條件時，提取各個諧振子的與該目標函數值對應的電路模型參數的參數值，將提取的所有諧振子的電路模型參數的參數值作為所述聲波濾波器的電路模型參數的參數值。

在一個實施例中，若存在諧振子的目標函數值不滿足預設的收斂條件，第二導納值獲得模塊120對該諧振子的電路模型參數的參數值重新進行優化，目標函數值獲得模塊130根據優化後的參數值重新獲得該諧振子的目標函數值。

在一個實施例中，所述目標函數為：

其中，f(ci0,cim,lim,rim)為目標函數值，ci0為第i個諧振子的靜態電容，cim為第i個諧振子的等效電容，lim為第i個諧振子的等效電感，rim為第i個諧振子的電阻，k為第k個頻率點，n為總的頻率點個數，為第i個諧振子的第二導納值的相位值，為第i個諧振子的第一導納值的相位值，ωk為第k個頻率點的角頻率，ai(ωk)為第i個諧振子的第二導納值的幅度，a′i(ωk)為第i個諧振子的第一導納值的幅度。

在一個實施例中，第一導納值獲得模塊110對聲波濾波器的物理模型進行多物理場仿真之前，還用於獲取聲波濾波器的等效電路模型，根據所述等效電路模型構建所述聲波濾波器的物理模型，其中所述等效電路模型中各個諧振子的模型為bvd電路模型。

在一個實施例中，所述電路模型參數包括靜態電容、等效電容、等效電感以及電阻；第二導納值獲得模塊120對設定的各個諧振子的電路模型參數的初值分別進行優化之前，還用於根據各個諧振子的bvd電路模型中靜態電容的值、等效電容的值、等效電感的值以及電阻的值，對應設置各個諧振子的靜態電容的初值、等效電容的初值、等效電感的初值以及電阻的初值。

在一個實施例中，第一導納值獲得模塊110從多物理場仿真的結果中提取出各個諧振子在通帶內的不同頻率點上的第一導納值。

在一個實施例中，第二導納值獲得模塊120通過數值優化算法對電路模型參數的初值和/或參數值進行優化。

在一個實施例中，提供了一種計算機可讀存儲介質，其上存儲有電腦程式，該電腦程式被處理器執行時實現以下步驟：

對聲波濾波器的物理模型進行多物理場仿真，從多物理場仿真的結果中提取出各個諧振子的第一導納值，其中所述聲波濾波器包含若干個諧振子；

對設定的各個諧振子的電路模型參數的初值分別進行優化，根據優化後的各個諧振子的電路模型參數的參數值計算出各個諧振子的第二導納值；

將各個諧振子的第一導納值和第二導納值分別輸入預設的目標函數，獲得各個諧振子的目標函數值，其中所述目標函數值為第二導納值和第一導納值的差值；

若各個諧振子的目標函數值滿足預設的收斂條件，提取各個諧振子的與該目標函數值對應的電路模型參數的參數值，將提取的所有諧振子的電路模型參數的參數值作為所述聲波濾波器的電路模型參數的參數值。

在一個實施例中，該電腦程式被處理器執行時還實現以下步驟：若存在諧振子的目標函數值不滿足預設的收斂條件，對該諧振子的電路模型參數的參數值重新進行優化，並根據優化後的參數值重新獲得該諧振子的目標函數值。

在一個實施例中，所述目標函數為：

其中，f(ci0,cim,lim,rim)為目標函數值，ci0為第i個諧振子的靜態電容，cim為第i個諧振子的等效電容，lim為第i個諧振子的等效電感，rim為第i個諧振子的電阻，k為第k個頻率點，n為總的頻率點個數，為第i個諧振子的第二導納值的相位值，為第i個諧振子的第一導納值的相位值，ωk為第k個頻率點的角頻率，ai(ωk)為第i個諧振子的第二導納值的幅度，a′i(ωk)為第i個諧振子的第一導納值的幅度。

在一個實施例中，該電腦程式被處理器執行時還實現以下步驟：對聲波濾波器的物理模型進行多物理場仿真之前，還包括步驟：獲取聲波濾波器的等效電路模型，根據所述等效電路模型構建所述聲波濾波器的物理模型，其中所述等效電路模型中各個諧振子的模型為bvd電路模型。

在一個實施例中，所述電路模型參數包括靜態電容、等效電容、等效電感以及電阻；該電腦程式被處理器執行時還實現以下步驟：對設定的各個諧振子的電路模型參數的初值分別進行優化之前，還包括步驟：根據各個諧振子的bvd電路模型中靜態電容的值、等效電容的值、等效電感的值以及電阻的值，對應設置各個諧振子的靜態電容的初值、等效電容的初值、等效電感的初值以及電阻的初值。

在一個實施例中，該電腦程式被處理器執行時還實現以下步驟：從多物理場仿真的結果中提取出各個諧振子的第一導納值包括步驟：從多物理場仿真的結果中提取出各個諧振子在通帶內的不同頻率點上的第一導納值。

在一個實施例中，該電腦程式被處理器執行時還實現以下步驟：通過數值優化算法對電路模型參數的初值和/或參數值進行優化。

上述計算機可讀存儲介質的其它技術特徵與上述聲波濾波器電路模型參數的提取方法的技術特徵相同，在此不予贅述。

如圖6所示，在一個實施例中，提供了一種計算機設備，包括存儲器、處理器及存儲在存儲器上並可在處理器上運行的電腦程式，所述處理器執行所述程序時實現以下步驟：

對聲波濾波器的物理模型進行多物理場仿真，從多物理場仿真的結果中提取出各個諧振子的第一導納值，其中所述聲波濾波器包含若干個諧振子；

對設定的各個諧振子的電路模型參數的初值分別進行優化，根據優化後的各個諧振子的電路模型參數的參數值計算出各個諧振子的第二導納值；

將各個諧振子的第一導納值和第二導納值分別輸入預設的目標函數，獲得各個諧振子的目標函數值，其中所述目標函數值為第二導納值和第一導納值的差值；

若各個諧振子的目標函數值滿足預設的收斂條件，提取各個諧振子的與該目標函數值對應的電路模型參數的參數值，將提取的所有諧振子的電路模型參數的參數值作為所述聲波濾波器的電路模型參數的參數值。

在一個實施例中，所述處理器執行所述程序時還實現以下步驟：若存在諧振子的目標函數值不滿足預設的收斂條件，對該諧振子的電路模型參數的參數值重新進行優化，並根據優化後的參數值重新獲得該諧振子的目標函數值。

在一個實施例中，所述目標函數為：

其中，f(ci0,cim,lim,rim)為目標函數值，ci0為第i個諧振子的靜態電容，cim為第i個諧振子的等效電容，lim為第i個諧振子的等效電感，rim為第i個諧振子的電阻，k為第k個頻率點，n為總的頻率點個數，為第i個諧振子的第二導納值的相位值，為第i個諧振子的第一導納值的相位值，ωk為第k個頻率點的角頻率，ai(ωk)為第i個諧振子的第二導納值的幅度，a′i(ωk)為第i個諧振子的第一導納值的幅度。

在一個實施例中，所述處理器執行所述程序時還實現以下步驟：對聲波濾波器的物理模型進行多物理場仿真之前，還包括步驟：獲取聲波濾波器的等效電路模型，根據所述等效電路模型構建所述聲波濾波器的物理模型，其中所述等效電路模型中各個諧振子的模型為bvd電路模型。

在一個實施例中，所述電路模型參數包括靜態電容、等效電容、等效電感以及電阻；所述處理器執行所述程序時還實現以下步驟：對設定的各個諧振子的電路模型參數的初值分別進行優化之前，還包括步驟：根據各個諧振子的bvd電路模型中靜態電容的值、等效電容的值、等效電感的值以及電阻的值，對應設置各個諧振子的靜態電容的初值、等效電容的初值、等效電感的初值以及電阻的初值。

在一個實施例中，所述處理器執行所述程序時還實現以下步驟：從多物理場仿真的結果中提取出各個諧振子的第一導納值包括步驟：從多物理場仿真的結果中提取出各個諧振子在通帶內的不同頻率點上的第一導納值。

在一個實施例中，所述處理器執行所述程序時還實現以下步驟：通過數值優化算法對電路模型參數的初值和/或參數值進行優化。

上述計算機設備的其它技術特徵與上述聲波濾波器電路模型參數的提取方法的技術特徵相同，在此不予贅述。

聲波濾波器電路模型參數的提取在聲波濾波器設計中至關重要，因為通過得到結果就可以判斷聲波濾波器哪些參數需要調整，以及調整幅度大小，降低聲波濾波器設計難度。本發明通過對多物理場仿真結果進行曲線擬合、數值優化求極小值，高效、準確提取出聲波濾波器各個諧振子對應的電容、等效電感和電阻等電路模型參數，對相應的聲波濾波器結構進行分析優化，縮短產品仿真設計時間。實際應用中，提取的電路模型參數得到聲波濾波器電路模型的頻率響應與多物理場仿真結果高度吻合，說明這種方法準確有效。另外，本發明非常適合於用現有的商用數學軟體編程，程序簡單高效。

本領域普通技術人員可以理解實現上述實施例方法中的全部或部分流程，是可以通過電腦程式來指令相關的硬體來完成，所述的程序可存儲於一計算機可讀取存儲介質中，該程序在執行時，可包括如上述各方法的實施例的流程。其中，所述的存儲介質可為磁碟、光碟、只讀存儲記憶體(read-onlymemory，rom)或隨機存儲記憶體(randomaccessmemory，ram)等。

以上所述實施例的各技術特徵可以進行任意的組合，為使描述簡潔，未對上述實施例中的各個技術特徵所有可能的組合都進行描述，然而，只要這些技術特徵的組合不存在矛盾，都應當認為是本說明書記載的範圍。

以上所述實施例僅表達了本發明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但並不能因此而理解為對發明專利範圍的限制。應當指出的是，對於本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬於本發明的保護範圍。因此，本發明專利的保護範圍應以所附權利要求為準。