拋光頭組件的製作方法
2023-12-12 07:08:07
專利名稱：拋光頭組件的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及化學機械拋光領域，特別涉及一種方便搬運的拋光頭組件。
背景技術：
在集成電路的製造過程中，隨著特徵尺寸的縮小和金屬互連層數的增加，對晶圓表面平整度的要求也越來越高，化學機械拋光是目前最有效的全局平坦化技術。化學機械拋光是將晶圓由旋轉的拋光頭夾持，並將其以一定壓力壓在旋轉的拋光墊上，由磨粒和化學溶液組成的拋光液在晶圓和拋光墊之間流動，晶圓表面在化學和機械的共同作用下實現平坦化。在現有的拋光設備中，拋光頭需要經常維護，以更換耗材等，然而由於拋光頭較重，且其形狀決定了在維護時，手很難用上力，搬運起來有較大的危險性。
實用新型內容本實用新型旨在至少解決上述技術問題之一。為此，本實用新型的一個目的在於提出一種具有結構簡單，搬運方便的拋光頭組件。根據本實用新型實施例的拋光頭組件，包括拋光頭、連接部和搬運件所述拋光頭具有第一圓盤體和設在所述第一圓盤體的上表面上的第二圓盤體，其中所述第二圓盤體的直徑小於所述第一圓盤體的直徑；所述連接部設在所述第二圓盤體的上表面上；所述搬運件可拆卸地與所述連接部相連。根據本實用新型實施例的拋光頭組件，在需要對拋光頭進行搬運時，可以安裝搬運件對拋光頭搬運，拋光組件具有結構簡單，搬運方便的優點。另外，根據本實用新型上述實施例的拋光組件還可以具有如下附加的技術特徵所述連接部為設在所述第二圓盤體上表面上的螺孔，所述搬運件通過螺釘與所述螺孔相連。所述搬運件上設有分別與所述螺孔對應的通孔，所述螺釘穿過所述通孔配合到所述螺孔內。所述螺孔和所述通孔均為兩個且分別一一對應。所述兩個螺孔以所述第二圓盤體的中心沿徑向對稱。所述第一圓盤體與所述第二圓盤體同軸心。所述搬運件為杆狀。所述搬運件為圓管。所述搬運件的長度大於所述第一圓盤體的直徑。所述搬運件的長度大於所述第二圓盤體的直徑且小於第一圓盤體的直徑。本實用新型的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實用新型的實踐了解到。
本實用新型的上述和/或附加的方面和優點從結合下面附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中圖1是根據本實用新型實施例的設置有連接部的拋光頭得結構示意圖；圖2是根據本實用新型實施例的搬運件的結構示意圖；和圖3是根據本實用新型實施例的拋光組件的結構示意圖。
具體實施方式
下面詳細描述本實用新型的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用於解釋本實用新型，而不能理解為對本實用新型的限制。在本實用新型的描述中，需要理解的是，術語「中心」、「縱向」、「橫向」、「上」、「下」、 「前」、「後」、「左」、「右」、「豎直」、「水平」、「頂」、「底」 「內」、「外」等指示的方位或位置關係為
基於附圖所示的方位或位置關係，僅是為了便於描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。此外，術語「第一」、「第二」僅用於描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。在本實用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規定和限定，術語「安裝」、「相連」、「連接」應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內部的連通。對於本領域的普通技術人員而言，可以具體情況理解上述術語在本實用新型中的具體含義。下面參考附圖描述根據本實用新型實施例的拋光頭組件。如圖1-3所示，根據本實用新型實施例的拋光組件可以包括拋光頭1、連接部2和搬運件3。具體地，拋光頭1可以具有第一圓盤體11和設在第一圓盤體11的上表面上的第二圓盤體12，其中第二圓盤體12的直徑小於第一圓盤體11的直徑。連接部2設在第二圓盤體12的上表面上。搬運件3可拆卸地與連接部2相連。需要說明的是，搬運件3可以在需要搬運拋光頭1時，將搬運件3與拋光頭1連接。由此，在拋光頭1工作時，搬運件3對拋光頭1無影響。在需要搬運拋光頭1時，使拋光頭1的搬運更加方便。根據本實用新型實施例的拋光頭組件，在需要對拋光頭1進行搬運時，可以安裝搬運件3對拋光頭1搬運，整個拋光組件具有結構簡單，搬運方便的優點。如圖1-3所示，根據本實用新型的一些實施例，連接部2可以為設在第二圓盤體12 上表面上的螺孔，螺孔的個數為至少一個，搬運件3通過螺釘4與螺孔相連。由此，搬運件3 通過螺釘4與螺孔相連，方便搬運件3與第二圓盤體12的安裝和拆卸，操作起來更加方便、 快捷。如圖2所示，進一步地，搬運件3上可以設有分別與螺孔對應的通孔5，螺釘4穿過通孔5配合到螺孔內。由此，可以方便螺釘4的安裝和拆卸，即保證了搬運件3與拋光頭1連接的穩定性，又實現了快速拆裝的目的。優選地，螺孔和通孔5可以均為兩個且分別一一對應。由此，既可以使搬運件3與拋光頭1具有穩定的連接，同時拆裝起來也比較方便。優選地，兩個螺孔可以以第二圓盤體12的中心沿徑向對稱。由此，在對拋光頭1 進行搬運的時候，可以使搬運件3受力更加均勻。如圖1所示，根據本實用新型的一個實施例，第一圓盤體11可以與第二圓盤體12 同軸心。由此，在拋光頭1使用起來比較方便。如圖2-3所示，根據本實用新型的一個實施例，搬運件3可以為杆狀。由此，可以方便搬運者進行把持，搬運起來非常安全、可靠。進一步地，搬運件3為圓管。由此，可以節省製造搬運件3的材料，減輕重量。如圖3所示，根據本實用新型的一些示例，搬運件3的長度大於第一圓盤體11的直徑。由此，搬運件3的兩端均有一部分延伸至拋光頭上端的外部，這樣就形成了一個方便用手把持的部分，搬運起來更加安全、可靠。可選地，搬運件3的長度大於第二圓盤體12的直徑且小於第一圓盤體11的直徑。 由此，搬運件3的兩端均有一部分延伸至第二圓盤體12的上端的外部，這樣就形成了一個方便用手把持的部分，搬運起來更加安全、可靠。在本說明書的描述中，參考術語「一個實施例」、「一些實施例」、「示例」、「具體示例」、或「一些示例」等的描述意指結合該實施例或示例描述的具體特徵、結構、材料或者特點包含於本實用新型的至少一個實施例或示例中。在本說明書中，對上述術語的示意性表述不一定指的是相同的實施例或示例。而且，描述的具體特徵、結構、材料或者特點可以在任何的一個或多個實施例或示例中以合適的方式結合。儘管已經示出和描述了本實用新型的實施例，本領域的普通技術人員可以理解 在不脫離本實用新型的原理和宗旨的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型，本實用新型的範圍由權利要求及其等同物限定。
權利要求1.一種拋光頭組件，其特徵在於，包括拋光頭，所述拋光頭具有第一圓盤體和設在所述第一圓盤體的上表面上的第二圓盤體，其中所述第二圓盤體的直徑小於所述第一圓盤體的直徑；和連接部，所述連接部設在所述第二圓盤體的上表面上；和搬運件，所述搬運件可拆卸地與所述連接部相連。
2.根據權利要求1所述的拋光頭組件，其特徵在於，所述連接部為設在所述第二圓盤體上表面上的螺孔，所述搬運件通過螺釘與所述螺孔相連。
3.根據權利要求2所述的拋光頭組件，其特徵在於，所述搬運件上設有分別與所述螺孔對應的通孔，所述螺釘穿過所述通孔配合到所述螺孔內。
4.根據權利要求3所述的拋光頭組件，其特徵在於，所述螺孔和所述通孔均為兩個且分別一一對應。
5.根據權利要求4所述的拋光頭組件，其特徵在於，所述兩個螺孔以所述第二圓盤體的中心沿徑向對稱。
6.根據權利要求1所述的拋光頭組件，其特徵在於，所述第一圓盤體與所述第二圓盤體同軸心。
7.根據權利要求1-6中任一項所述的拋光頭組件，其特徵在於，所述搬運件為杆狀。
8.根據權利要求7所述的拋光頭組件，其特徵在於，所述搬運件為圓管。
9.根據權利要求7所述的拋光頭組件，其特徵在於，所述搬運件的長度大於所述第一圓盤體的直徑。
10.根據權利要求7所述的拋光頭組件，其特徵在於，所述搬運件的長度大於所述第二圓盤體的直徑且小於第一圓盤體的直徑。
專利摘要本實用新型提供一種拋光頭組件，包括拋光頭、連接部和搬運件；拋光頭具有第一圓盤體和設在第一圓盤體的上表面上的第二圓盤體，其中第二圓盤體的直徑小於第一圓盤體的直徑；連接部設在第二圓盤體的上表面上；搬運件可拆卸地與連接部相連。根據本實用新型實施例的拋光頭組件，在需要對拋光頭進行搬運時，可以安裝搬運件對拋光頭搬運，拋光組件具有結構簡單，搬運方便的優點。
文檔編號B24B29/00GK202174483SQ201120233169
公開日2012年3月28日 申請日期2011年7月4日 優先權日2011年7月4日
發明者何永勇, 王同慶, 路新春 申請人:清華大學