薄膜探針測試裝置的製作方法
2023-10-20 06:45:27
專利名稱：薄膜探針測試裝置的製作方法
技術領域：
本發明是有關於一種測試裝置，且特別是有關於一種薄膜探針測試裝置。
背景技術：
在集成電路(Integrated Circuits5IC)的製作過程中，於其製程的不同階段皆會進行產品的測試步驟，並同時利用精密的分析儀器在整個製程中進行有關於質量管理的各項檢驗，藉以確保製程合格率及晶片質量能夠達到最佳水平，並檢測集成電路在製造過程中所發生的瑕疵。然後，找出造成產品產生瑕疵的原因，以進一步地確保產品質量符合標準，達到提升製程合格率的目的。因此，在集成電路的製造過程中，測試實為提升集成電路組件的合格率，並建立有效數據以供工程分析使用的重要步驟。舉例而言，在液晶顯示面板中，隨著液晶顯示面板的顯示質量的提升，液晶顯示面板內像素間的間距會越來越小。在對液晶顯示面板進行點燈測試時，是在安裝完驅動電路以及面板接合之後，以點燈測試機臺對此液晶顯示面板進行測試，以確保產品妥善。然而， 由於高顯示度的液晶顯示面板其終端電極相當密集，使用傳統的探針測試進行點測試時會遇到相當大的困難，亦無法單獨測試各原色的子像素。因此，多是採用薄膜探針卡來進行此種高密度電極的測試。然而，以現有的薄膜探針卡而言，若是其中的一個探針凸塊(bump)磨損或是脫落，將會導致整片薄膜探針卡無法繼續使用，造成測試效率低落與成本的負擔。
發明內容
因此本發明的目的就是在提供一種薄膜探針測試裝置，用以解決過去因單一探針凸塊損毀便導致整塊薄膜探針卡無法繼續使用的情形。依照本發明的一個方面，提出一種薄膜探針測試裝置，包含一薄膜探針卡，薄膜探針卡包含一可撓性基材，其具有第一表面與第二表面，第一表面上設置有多個導電條，導電條上設置有一探針單元。探針單元包含多個探針凸塊，每一導電條上的探針凸塊等間距排列，可撓性基材上具有一預定裁切線，從每一導電條的該相鄰的兩探針凸塊之間穿過。優選地，導電條上的探針凸塊可以為平行排列或是交錯排列。優選地，薄膜探針測試裝置更包含一測試基臺，測試基臺包含一基臺本體與設置於基臺本體上的一彈性凸條。在本發明一實施例中，可撓性基材可具有兩圓孔，測試基臺具有複數多個螺絲孔， 螺絲孔之間的之間距與探針凸塊之間的間距相同，兩圓孔選擇性地鎖合於螺絲孔之其中二者。在本發明另一實施例中或者，可撓性基材可具有複數多個長圓孔，測試基臺上具有複數多個螺絲孔與複數多個定位柱，對應於長圓孔配置。優選地，基臺本體上可更具有一凹陷部。依據本發明的另一方面，提出了一種薄膜探針測試裝置的使用方法，該方法包括 固定一薄膜探針卡於一測試基臺上，薄膜探針卡具有多排探針凸塊，其中一排的探針凸塊對齊測試基臺上的一彈性凸條。優選地，薄膜探針測試裝置的使用方法更包含沿一預定裁切線裁切薄膜探針卡， 以切除其中一排的探針凸塊。採用本發明的薄膜探針測試裝置，其薄膜探針卡上具有多排探針凸塊，當其中一排探針凸塊磨損或是脫落之後，可以裁切掉該排探針凸塊，使用其他排探針凸塊繼續進行薄膜探針測試，有效提升測試效率與降低成本。
讀者在參照附圖閱讀了本發明的具體實施方式
以後，將會更清楚地了解本發明的各個方面。其中，
圖1繪示本發明的薄膜探針測試裝置一實施例的立體視圖。 圖2繪示圖1中的薄膜探針卡100的局部剖面圖。 圖3繪示本發明的薄膜探針測試裝置另一實施例的爆炸圖。 圖4繪示圖3的薄膜探針測試裝置1於測試階段的示意5為本發明的薄膜探針測試裝置進行薄膜探針測試時的剖面放大圖。 圖6繪示本發明的薄膜探針測試裝置另一實施例的立體視圖。 圖7繪示本發明的薄膜探針測試裝置又一實施例的爆炸圖。 圖8繪示本發明的薄膜探針測試裝置再一實施例的爆炸圖。主要組件符號說明
1 薄膜探針測試裝置10 可撓性基材
11 固定孔
12 定位孔
13 第一表面
14 第二表面
15 預定裁切線
20 探針單元
21 導電條
22 探針凸塊
100薄膜探針卡
200電子裝置
201待測電極
300測試基臺
301基臺本體
302螺絲
303基座
304彈性凸條
305定位柱
306螺絲孔
308螺絲
400測試基臺
401基臺本體
402延伸部
403彈性凸條
404定位柱
405螺絲孔
406螺絲
407凹陷部
具體實施例方式以下將以圖式及詳細敘述清楚說明本發明的精神，任何本領域的普通技術人員在了解本發明的較佳實施例後，當可由本發明所教示的技術，加以改變及修飾，其並不脫離本發明的精神與範圍。參照圖1，其繪示本發明的薄膜探針測試裝置一實施例的立體視圖。薄膜探針裝置 1包含有薄膜探針卡100，薄膜探針卡100包含有可撓性基材10，其具有相對的第一表面13 與第二表面14。第一表面13上設置有多個導電條21，導電條21上設置有一探針單元20。 探針單元20包含多個探針凸塊22。每一個導電條21上分布有多個探針凸塊22。每一導電條21上的探針凸塊22呈等間距排列，即每一導電條21上相鄰兩探針凸塊22的間距相寸。可撓性基材10上具有至少一預定裁切線15，預定裁切線15從每一個導電條21上的相鄰的兩探針凸塊22之間穿過。探針凸塊22被預定裁切線15分隔成多排。本實施例中，每一個導電條21上具有兩個探針凸塊22，在預定裁切線15—側的為其中一排探針凸塊 22，預定裁切線15另一側的為另一排探針凸塊22。換言之，薄膜探針卡100上具有多排探針凸塊22，成排的探針凸塊22之間以預定裁切線15分隔。本實施例中多個導電條21上的探針凸塊22為平行排列。薄膜探針卡100上具有多排探針凸塊22。當進行薄膜探針測試時，一次僅使用一排探針凸塊22 ( 一般是最外側一排的探針凸塊22)。若是該排探針凸塊22中有任何一個出現磨損或是脫落的情形，則可以沿著預定裁切線15裁切可撓性基材10，將出現磨損或是脫落的該排探針凸塊22切除，即可繼續使用下一排探針凸塊22繼續進行測試。參照圖2，其繪示圖1中的薄膜探針卡100的局部剖面圖。可撓性基材10具有相對的第一表面13與第二表面14。第一表面13上埋設有導電條21，導電條21上設置有一探針單元20。探針單元20包含多個探針凸塊22。每一個導電條21上分布有多個探針凸塊22，探針凸塊22凸出於導電條21。參照圖3，其繪示本發明的薄膜探針測試裝置另一實施例的爆炸圖。由於在進行測試時，僅需要單排的探針凸塊22接觸待測物，其餘的探針凸塊22較佳地為懸空不與待測物接觸，因此，薄膜探針測試裝置1除前述的薄膜探針卡100之外，還包含有測試基臺300，使得未使用的探針凸塊22可以懸空。薄膜探針卡100上具有多排探針凸塊22。測試基臺300包含有基臺本體301以及設置於基臺本體301上的彈性凸條304。彈性凸條304為突出於基座303上，基座303再透過螺絲302與基臺本體301鎖合，使得彈性凸條304凸出於基臺本體301上。彈性凸條 304的材料較佳地為橡膠或是具有彈性的塑料。在進行薄膜探針測試時，薄膜探針卡100需要固定於測試基臺300上。薄膜探針卡100上具有固定孔11與定位孔12。測試基臺300上具有設置於基臺本體301的螺絲孔 306以及凸設於基臺本體301上的定位柱305。螺絲孔306與定位柱305分別對應於固定孔 11與定位孔12配置。螺絲308可以穿過固定孔11鎖合於基臺本體301上的螺絲孔306， 定位孔12可以卡合於定位柱305，以將薄膜探針卡100固定在測試基臺300上。如前所述，由於薄膜探針卡100可在需要時沿預定裁切線15裁切掉最前排的探針凸塊22，因此，固定孔11與定位孔12較佳地為長圓孔，以提供薄膜探針卡100裁切前後定位所需的空間，使得薄膜探針卡100可以往前移動，以便下一排的探針凸塊22可以位於彈性凸條304上。同時參照圖4與圖5，圖4繪示圖3的薄膜探針測試裝置1於測試階段的示意圖， 圖5為進行薄膜探針測試時的剖面放大圖。電子裝置200例如是液晶顯示面板上具有待測電極201。薄膜探針卡100固定於測試基臺300上，此時，其中一排的探針凸塊22位於彈性凸條304上。彈性凸條304為朝著電子裝置200的方向凸起，而薄膜探針卡100上未被彈性凸條304頂住的探針凸塊22則是相對地懸空於電子裝置200上，以避免與待測電極201 接觸。彈性凸條304除了用以頂高使用中的探針凸塊22之外，由於彈性凸條304具彈性，因此可以緩衝探針凸塊22抵壓於待測電極201上的力道，防止過大的抵壓力道導致探針凸塊22損毀，延長探針凸塊22的使用壽命。參照圖6，其繪示本發明的薄膜探針測試裝置另一實施例的立體視圖。薄膜探針測試裝置1包含有薄膜探針卡100，薄膜探針卡100包含有可撓性基材10，其具有相對的第一表面13與第二表面14。第一表面13上設置有多個導電條21，導電條21上設置有一探針單元20。探針單元20包含多個探針凸塊22。每一個導電條21上分布有多個探針凸塊22。 每一導電條21上的探針凸塊22呈等間距排列，即每一導電條21上相鄰兩探針凸塊22的間距相等。本實施例中多個導電條21上的探針凸塊22為因應液晶顯示面板上的待測電極的布局而呈交錯排列。可撓性基材10上具有至少一預定裁切線15，預定裁切線15從每一個導電條21上的相鄰的兩探針凸塊22之間穿過。探針凸塊22被預定裁切線15分隔成多排。本實施例中，每一個導電條21上具有兩個探針凸塊22，在預定裁切線15—側的為其中一排探針凸塊 22，預定裁切線15另一側的為另一排探針凸塊22。換言之，薄膜探針卡100上具有多排交錯排列的探針凸塊22，成排的探針凸塊22之間以預定裁切線15分隔。參照圖7，其繪示本發明的薄膜探針測試裝置又一實施例的爆炸圖。彈性凸條304 可以透過灌注製程等一體成形於基座303上，基座303再利用螺絲302鎖固在基臺本體301 上。薄膜探針卡100包含設置於可撓性基材10上的兩固定孔11，本實施例中固定孔11為圓孔。測試基臺300上則包含有多個螺絲孔306。其中螺絲孔306的數量大於固定孔11的數量，螺絲孔306的數量等於探針凸塊22的排數。前後兩個螺絲孔306之間的間距與前後兩排的探針凸塊22之間的間距相同。
由於薄膜探針卡100在需要時會切除最前排的探針凸塊22與部分可撓性基材10， 螺絲308為穿過固定孔11並選擇性地鎖合於螺絲孔306之其中二者。更具體地說，當部分的薄膜探針卡100被切除後，薄膜探針卡100可以向前移動，使探針凸塊22對齊測試基臺 300上的彈性凸條304，螺絲308穿過固定孔11後與前排的螺絲孔306鎖合，以將薄膜探針卡100固定在測試基臺300上。參照圖8，其繪示本發明的薄膜探針測試裝置再一實施例的爆炸圖。薄膜探針測試裝置1包含有薄膜探針卡100與測試基臺400。薄膜探針卡100包含有設置於可撓性基材 10上的多排探針凸塊22。可撓性基材10上具有固定孔11與定位孔12。預定裁切線15則是穿過探針凸塊22。測試基臺400包含有基臺本體401以及延伸自基臺本體401的延伸部402。彈性凸條403為形成在延伸部402上。測試基臺400包含有對應於固定孔11設置的螺絲孔405 以及對應於定位孔12設置的定位柱404。螺絲406穿過固定孔11與螺絲孔405鎖合，定位孔12與定位柱404卡合，以將薄膜探針卡100固定在測試基臺400上。當薄膜探針卡100固定在測試基臺400上時，其中一排的探針凸塊22 ( —般是但不限於最外側的探針凸塊2 對齊測試基臺400上的彈性凸條403。固定孔11與定位孔 12較佳地為長圓孔，以提供裁切其中一排的探針凸塊22後薄膜探針卡100定位位移的緩衝空間。為了避免薄膜探針卡100上的導電條21與待測電路之間產生不必要的接觸，或是在一些情況下，導電條21的位置可能會接觸到待測物上的電路接點而短路，測試基臺400 上可更具有凹陷部407，以在必要時容置部分的薄膜探針卡100，用以解決前述不希望出現的情形。由上述本發明較佳實施例可知，應用本發明具有下列優點。薄膜探針卡上具有多排探針凸塊，當其中一排探針凸塊磨損或是脫落之後，可以裁切掉該排探針凸塊，使用其他排探針凸塊繼續進行薄膜探針測試，有效提升測試效率與降低成本。雖然本發明已以一較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明的精神和範圍內，當可作各種更動與潤飾，因此本發明的保護範圍當視後附的權利要求所界定者為準。
權利要求
1.一種薄膜探針測試裝置，包含一薄膜探針卡，該薄膜探針卡包含一可撓性基材，其具有第一表面與第二表面，該第一表面上設置有多個導電條，該導電條上設置有一探針單元， 其特徵在於該探針單元包含多個探針凸塊，每一導電條上的探針凸塊等間距排列，該可撓性基材上具有一預定裁切線，從每一導電條的該相鄰的兩探針凸塊之間穿過。
2.如權利要求1所述的薄膜探針測試裝置，其特徵在於，該導電條上的該探針凸塊平行排列。
3.如權利要求1所述的薄膜探針測試裝置，其特徵在於，該導電條上的該探針凸塊交錯排列。
4.如權利要求1所述的薄膜探針測試裝置，其特徵在於，該薄膜探針測試裝置更包含一測試基臺，該測試基臺包含一基臺本體與設置於該基臺本體上的一彈性凸條。
5.如權利要求4所述的薄膜探針測試裝置，其特徵在於，該可撓性基材具有兩圓孔，該測試基臺具有多個螺絲孔，所述螺絲孔之間的間距與該探針凸塊之間的間距相同，該兩圓孔選擇性地鎖合於所述螺絲孔之其中二者。
6.如權利要求4所述的薄膜探針測試裝置，其特徵在於，該可撓性基材具有多個長圓孔，該測試基臺上具有多個螺絲孔與多個定位柱，對應於該長圓孔配置。
7.如權利要求4所述的薄膜探針測試裝置，其特徵在於，該基臺本體上具有一凹陷部。
8.一種薄膜探針測試裝置的使用方法，其特徵在於，該方法包括固定一薄膜探針卡於一測試基臺上，該薄膜探針卡具有多排探針凸塊，其中一排的該探針凸塊對齊該測試基臺上的一彈性凸條。
9.如權利要求8所述的薄膜探針測試裝置的使用方法，其特徵在於，該方法還包括沿一預定裁切線裁切該薄膜探針卡，以切除其中一排的該探針凸塊。
全文摘要
本發明提供了一種薄膜探針測試裝置，包含一薄膜探針卡，薄膜探針卡包含一可撓性基材，其具有第一表面與第二表面，該第一表面上設置有多個導電條，該導電條上設置有一探針單元，其中，該探針單元包含多個探針凸塊，每一導電條上的探針凸塊等間距排列，該可撓性基材上具有一預定裁切線，從每一導電條的該相鄰的兩探針凸塊之間穿過。採用本發明的薄膜探針測試裝置，其薄膜探針卡上具有多排探針凸塊，當其中一排探針凸塊磨損或是脫落之後，可以裁切掉該排探針凸塊，使用其他排探針凸塊繼續進行薄膜探針測試，有效提升測試效率與降低成本。
文檔編號G01R1/073GK102243384SQ20111019214
公開日2011年11月16日 申請日期2011年7月5日 優先權日2011年7月5日
發明者王健, 矯遠君, 胡瓊 申請人:友達光電(蘇州)有限公司, 友達光電股份有限公司