一種平板顯示用玻璃基板蝕刻液的製作方法
2023-10-05 15:00:09 2
專利名稱：一種平板顯示用玻璃基板蝕刻液的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種玻璃基板蝕刻液，特別是一種平板顯示用玻璃基板蝕刻液。
背景技術：
在平板顯示領域中，包括等離子體顯示(PDP)、觸控螢幕(TP)、液晶顯示(LCD)及有機電致發光(OLED)等製備工藝過程中，為了進一步減輕顯示器件的重量，生產廠家越來越多的採用將玻璃基板進行減薄的方法。通常使用的減薄方法有兩種，一種是物理方法，用拋光粉進行拋光研磨，這種方法減薄時間長，且產品良率低；另一種方法為化學蝕刻法，這種方法減薄時間短，所使用的設備投入小，產品良率高，且減薄液的成分簡單，都是一些工業上常用的酸性物質，成本低廉。 目前，用化學方法進行減薄的生產廠家所採用的減薄液，基本都採用氫氟酸為主要成分，還有一些廠家再輔助加入其它強酸。當蝕刻液中含有氫氟酸時，會存在以下問題1)氫氟酸毒性大，容易揮發，尤其是在配置時需要採用較高溫度和濃度，不僅生產過程中危險性高，而且會對環境造成巨大汙染；2)蝕刻產生的副產物容易吸附在玻璃、設備和管道表面，造成產品表面處理效果差、管道阻塞等問題；3)生產過程中蝕刻速率不穩定，蝕刻液的利用率相對較低，由此還會造成廢液處理量大，處理成本也隨之增高。
發明內容
本發明的目的是提供一種平板顯示用玻璃基板蝕刻液。 本發明提供的平板玻璃蝕刻液，是由氟化氫吡啶鹽、強酸、水和乙二胺四乙酸組成；所述氟化氫吡啶鹽、強酸和乙二胺四乙酸佔所述平板玻璃蝕刻液總重的百分比分別為10-20%、30-70%和0. 5-5%，餘量為水。 上述蝕刻液中，所述氟化氫吡啶鹽的結構式為F _。
所述蝕刻液選自下述蝕刻液l' -26'中的任意一種 由10-20重量份的氟化氫吡啶鹽、30-50重量份的強酸、0. 5_5重量份的乙二胺四乙酸和25-59. 5重量份的水組成的蝕刻液1'; 由10-15重量份的氟化氫吡啶鹽、30-50重量份的強酸、0. 5_5重量份的乙二胺四乙酸和34. 5-59. 5重量份的水組成的蝕刻液2'; 由15-20重量份的氟化氫吡啶鹽、30-50重量份的強酸、0. 5_5重量份的乙二胺四乙酸和25-54. 5重量份的水組成的蝕刻液3'; 由10-20重量份的氟化氫吡啶鹽、30-40重量份的強酸、0. 5-5重量份的乙二胺四乙酸和25-59. 5重量份的水組成的蝕刻液4'; 由10-15重量份的氟化氫吡啶鹽、30-40重量份的強酸、0. 5_5重量份的乙二胺四乙酸和34. 5-59. 5重量份的水組成的蝕刻液5'; 由10重量份的氟化氫吡啶鹽、30重量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和59. 5重量份的水組成的蝕刻液6';
由10重量份的氟化氫吡啶鹽、40重 49.5重量份的水組成的蝕刻液7';
由10重量份的氟化氫吡啶鹽、50重 39. 5重量份的水組成的蝕刻液8';
由10重量份的氟化氫吡啶鹽、30重邐 量份的水組成的蝕刻液9';
由10重量份的氟化氫吡啶鹽、50重邐 量份的水組成的蝕刻液10';
由10重量份的氟化氫吡啶鹽、30重邐
量份的水組成的蝕刻液ll';
由10重量份的氟化氫吡啶鹽、50重邐 量份的水組成的蝕刻液12';
由15重量份的氟化氫吡啶鹽、30重 54. 5重量份的水組成的蝕刻液13';
由15重量份的氟化氫吡啶鹽、50重 34. 5重量份的水組成的蝕刻液14';
由15重量份的氟化氫吡啶鹽、30重邐 量份的水組成的蝕刻液15';
由20重量份的氟化氫吡啶鹽、30重 29. 5重量份的水組成的蝕刻液16';
由20重量份的氟化氫吡啶鹽、50重 29.5重量份的水組成的蝕刻液17';
由10重量份的氟化氫吡啶鹽、20重量份的硫酸、10重量份的磷酸、0. 5重量份的乙 二胺四乙酸和59. 5重量份的水組成的蝕刻液18'; 由10重量份的氟化氫吡啶鹽、20重量份的硫酸、20重量份的磷酸、0. 5重量份的乙 二胺四乙酸和49. 5重量份的水組成的蝕刻液19'; 由10重量份的氟化氫吡啶鹽、20重量份的硫酸、30重量份的磷酸、0. 5重量份的乙 二胺四乙酸和39. 5重量份的水組成的蝕刻液20'; 由10重量份的氟化氫吡啶鹽、20重量份的硫酸、10重量份的磷酸、5重量份的乙二 胺四乙酸和55重量份的水組成的蝕刻液21'; 由10重量份的氟化氫吡啶鹽、20重量份的硫酸、30重量份的磷酸、5重量份的乙二 胺四乙酸和35重量份的水組成的蝕刻液22'; 由10重量份的氟化氫吡啶鹽、40重量份的硫酸、10重量份的磷酸、5重量份的乙二 胺四乙酸和35重量份的水組成的蝕刻液23'; 由15重量份的氟化氫吡啶鹽、20重量份的硫酸、10重量份的磷酸、5重量份的乙二 胺四乙酸和50重量份的水組成的蝕刻液24'; 由20重量份的氟化氫吡啶鹽、20重量份的硫酸、10重量份的磷酸、5重量份的乙二 胺四乙酸和45重量份的水組成的蝕刻液25';
量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和 量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和 i份的硫酸、2重量份的乙二胺四乙酸和58重 i份的硫酸、2重量份的乙二胺四乙酸和38重 i份的硫酸、5重量份的乙二胺四乙酸和55重 i份的硫酸、5重量份的乙二胺四乙酸和35重 量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和 量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和 i份的硫酸、5重量份的乙二胺四乙酸和50重 量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和 量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和
7
由20重量份的氟化氫吡啶鹽、20重量份的硫酸、30重量份的磷酸、5重量份的乙二 胺四乙酸和25重量份的水組成的蝕刻液26'。 所述強酸選自硫酸和磷酸中的至少一種；所述強酸為硫酸和磷酸的混合物時，每 100份所述蝕刻液中，硫酸和磷酸的混合物選自下述混合物a_混合物f中的任意一種
由20重量份的硫酸和10重量份的磷酸組成的混合物a
由30重量份的硫酸和20重量份的磷酸組成的混合物b
由40重量份的硫酸和30重量份的磷酸組成的混合物c
由20-30重量份的硫酸和10-20重量份的磷酸組成的混合物d ;
由20-40重量份的硫酸和10-30重量份的磷酸組成的混合物e ;
由30-40重量份的硫酸和20-30重量份的磷酸組成的混合物f 。
本發明提供的製備上述平板玻璃蝕刻液的方法，是將氟化氫吡啶鹽、強酸、水和乙 二胺四乙酸在20 3(TC混勻，得到所述平板玻璃蝕刻液； 所述氟化氫吡啶鹽、強酸和乙二胺四乙酸佔所述平板玻璃蝕刻液總重的百分比分
別為10-20%、30-70 %和0. 5-5%，餘量為水。 該方法中，所述氟化氫吡啶鹽的結構式為<^^^ f _ 。 所述蝕刻液中各組分的重量份選自下述組分1' _組分26'中的任意一種
組分1' :10-20重量份的氟化氫吡啶鹽、30-50重量份的強酸、0. 5_5重量份的乙 二胺四乙酸和25-59. 5重量份的水； 組分2' :10-15重量份的氟化氫吡啶鹽、30-50重量份的強酸、0. 5_5重量份的乙 二胺四乙酸和34. 5-59. 5重量份的水； 組分3' :15-20重量份的氟化氫吡啶鹽、30-50重量份的強酸、0. 5_5重量份的乙 二胺四乙酸和25-54. 5重量份的水； 組分4' :10-20重量份的氟化氫吡啶鹽、30-40重量份的強酸、0. 5_5重量份的乙 二胺四乙酸和25-59. 5重量份的水； 組分5' :10-15重量份的氟化氫吡啶鹽、30-40重量份的強酸、0. 5_5重量份的乙 二胺四乙酸和34. 5-59. 5重量份的水；
組分6' :10重量份的氟化氫吡啶鹽、30重〗 酸和59. 5重量份的水；
份的氟化氫吡啶鹽、40重』 組分7' :10重: 酸和49. 5重量份的水；
組分8' :10重: 酸和39. 5重量份的水；
組分9' :10重:
和58重量份的水； 組分10' :10重
和38重量份的水；
組分ll' :10重 和55重量份的水； 組分12' :10重
:份的氟化氫吡啶鹽、50重』
:份的氟化氫吡啶鹽、30重』
t份的氟化氫吡啶鹽、50重j
t份的氟化氫吡啶鹽、30重j
t份的氟化氫吡啶鹽、50重j 8
t份的硫酸、0. 5重 t份的硫酸、0. 5重 t份的硫酸、0. 5重
:份的硫酸、2重
t份的硫酸、2重 t份的硫酸、5重 t份的硫酸、5重
份的乙二胺四乙 份的乙二胺四乙 份的乙二胺四乙 份的乙二胺四乙酸 份的乙二胺四乙酸 份的乙二胺四乙酸 份的乙二胺四乙酸和35重量份的水； 組分13' :15重量份的氟化氫吡啶鹽、30重量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙 酸和54. 5重量份的水； 組分14' :15重量份的氟化氫吡啶鹽、50重量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙 酸和34. 5重量份的水； 組分15' :15重量份的氟化氫吡啶鹽、30重量份的硫酸、5重量份的乙二胺四乙酸 和50重量份的水； 組分16' :20重量份的氟化氫吡啶鹽、30重量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙 酸和29. 5重量份的水； 組分17' :20重量份的氟化氫吡啶鹽、50重量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙 酸和29. 5重量份的水； 組分18' :10重量份的氟化氫吡啶鹽、20 量份的乙二胺四乙酸和59. 5重量份的水；
組分19' :10重量份的氟化氫吡啶鹽、20 量份的乙二胺四乙酸和49. 5重量份的水；
組分20' :10重量份的氟化氫吡啶鹽、20 量份的乙二胺四乙酸和39. 5重量份的水；
組分21' :10重量份的氟化氫吡啶鹽、20 份的乙二胺四乙酸和55重量份的水；
組分22' :10重量份的氟化氫吡啶鹽、20 份的乙二胺四乙酸和35重量份的水；
組分23' :10重量份的氟化氫吡啶鹽、40 份的乙二胺四乙酸和35重量份的水；
組分24' :15重量份的氟化氫吡啶鹽、20 份的乙二胺四乙酸和50重量份的水；
組分25' :20重量份的氟化氫吡啶鹽、20 份的乙二胺四乙酸和45重量份的水；
組分26' :20重量份的氟化氫吡啶鹽、20 份的乙二胺四乙酸和25重量份的水。
所述強酸選自硫酸和磷酸中的至少一種；所述強酸為硫酸和磷酸的混合物時，每 100份所述蝕刻液中，硫酸和磷酸的混合物選自下述混合物a-混合物f中的任意一種
由20重量份的硫酸和10重量份的磷酸組成的混合物a ;
由30重量份的硫酸和20重量份的磷酸組成的混合物b ;
由40重量份的硫酸和30重量份的磷酸組成的混合物c ;
由20-30重量份的硫酸和10-20重量份的磷酸組成的混合物d ;
由20-40重量份的硫酸和10-30重量份的磷酸組成的混合物e ;
由30-40重量份的硫酸和20-30重量份的磷酸組成的混合物f 。
另外，該平板玻璃蝕刻液在製備平板玻璃減薄用蝕刻液中的應用，也屬於本發明 的保護範圍。
重量份的硫酸、10重量份的磷酸、0. 5重 重量份的硫酸、20重量份的磷酸、0. 5重 重量份的硫酸、30重量份的磷酸、0. 5重 重量份的硫酸、10重量份的磷酸、5重量 重量份的硫酸、30重量份的磷酸、5重量 重量份的硫酸、10重量份的磷酸、5重量 重量份的硫酸、10重量份的磷酸、5重量 重量份的硫酸、10重量份的磷酸、5重量 重量份的硫酸、30重量份的磷酸、5重量
本發明提供的平板玻璃減薄用蝕刻液，採用氟化氫吡啶鹽、強酸和水作為基本成 分，並加入金屬鰲合劑乙二胺四乙酸(Ethylene Diamine Tetraacetic Acid，簡稱EDTA)。 由於氟化氫吡啶鹽具有不易揮發、毒性小的特點；EDTA的特點是能夠與蝕刻時產生的金屬 離子形成螯合物，更加容易被水溶解，該蝕刻液是一種安全、穩定、高效的蝕刻液，能夠很好 的解決蝕刻過程中產生的難溶性副產物問題，同時也提高了蝕刻速率和蝕刻效果。該蝕刻 液適用於TFT玻璃基板的減薄，以及液晶顯示(LCD)(具體包括扭曲向列型(TN)、超扭曲向 列型(STN)和彩色超扭曲向列型(CSTN))、觸控螢幕(TP)、有機電致發光(0LED)及等離子體 (PDP)顯示用玻璃基板的減薄。
具體實施例方式
下面結合具體實施例對本發明作進一步說明，但本發明並不限於以下實施例。
本發明將厚度為0. 8mm的薄膜電晶體(TFT)玻璃基板減薄為厚度為0. 5mm的過程 如下 將300mm寬和300mm長尺寸的TFT玻璃基板用清洗液清洗完畢後，豎立放入蝕刻 籃子中，然後完全浸泡在盛有本發明蝕刻液的帶有控溫裝置的容器中，將溫度保持在25 3(TC，經過30分鐘的蝕刻，取出玻璃，用去離子水衝洗，再用特製的清洗液衝洗後，最後用
去離子水衝洗並烘乾，測量玻璃的厚度，要求玻璃厚度非均勻性小於1 % 。
實施例1、 蝕刻液包括以下重量百分比的組成成分氟化氫吡啶鹽10%、硫酸30%、 EDTAO. 5%、純水59. 5% 。將上述比例的各種物質在室溫下攪拌均勻得到本發明提供的蝕刻 液。 在25 3(TC下，蝕刻速率為2. 5微米/分鐘，蝕刻後玻璃基板的厚度非均勻性小 於1 % ，裝有蝕刻液的容器中有少量白色絮狀物質產生，容易除去。
實施例2、 蝕刻液包括以下重量百分比的組成成分氟化氫吡啶鹽10%、硫酸40%、 EDTAO. 5%、純水49. 5% 。將上述比例的各種物質在室溫下攪拌均勻得到本發明提供的蝕刻 液。 在25 3(TC下，蝕刻速率為4微米/分鐘，蝕刻後玻璃基板的厚度非均勻性小於 1 % ，裝有蝕刻液的容器中有少量白色絮狀物質產生，容易除去。
實施例3、 蝕刻液包括以下重量百分比的組成成分氟化氫吡啶鹽10%、硫酸50%、 EDTAO. 5%、純水39. 5% 。將上述比例的各種物質在室溫下攪拌均勻得到本發明提供的蝕刻 液。 在25 3(TC下，蝕刻速率為8微米/分鐘，蝕刻後玻璃基板的厚度非均勻性小於 1 % ，裝有蝕刻液的容器中有少量白色絮狀物質產生，容易除去。
實施例4、 蝕刻液包括以下重量百分比的組成成分氟化氫吡啶鹽10%、硫酸30%、 EDTA2X、純水58%。將上述比例的各種物質在室溫下攪拌均勻得到本發明提供的蝕刻液。
在25 3(TC下，蝕刻速率為3. 5微米/分鐘，蝕刻後玻璃基板的厚度非均勻性小於1 % ，裝有蝕刻液的容器中有微量白色絮狀物質產生，容易除去。
實施例5、 蝕刻液包括以下重量百分比的組成成分氟化氫吡啶鹽10%、硫酸50%、 EDTA2X、純水38%。將上述比例的各種物質在室溫下攪拌均勻得到本發明提供的蝕刻液。
在25 3(TC下，蝕刻速率為10微米/分鐘，蝕刻後玻璃基板的厚度非均勻性小於 1 % ，裝有蝕刻液的容器中有微量白色絮狀物質產生，容易除去。
實施例6、 蝕刻液包括以下重量百分比的組成成分氟化氫吡啶鹽10%、硫酸30%、 EDTA5X、純水55%。將上述比例的各種物質在室溫下攪拌均勻得到本發明提供的蝕刻液。
在25 3(TC下，蝕刻速率為5微米/分鐘，蝕刻後玻璃基板的厚度非均勻性小於 1 % ，裝有蝕刻液的容器中有微量白色絮狀物質產生，容易除去。
實施例7、 蝕刻液包括以下重量百分比的組成成分氟化氫吡啶鹽10%、硫酸50%、 EDTA5X、純水35%。將上述比例的各種物質在室溫下攪拌均勻得到本發明提供的蝕刻液。
在25 3(TC下，蝕刻速率為10微米/分鐘，蝕刻後玻璃基板的厚度非均勻性小於 1 % ，裝有蝕刻液的容器中基本沒有微量白色絮狀物質產生。
實施例8、 蝕刻液包括以下重量百分比的組成成分氟化氫吡啶鹽15%、硫酸30%、 EDTAO. 5%、純水54. 5% 。將上述比例的各種物質在室溫下攪拌均勻得到本發明提供的蝕刻 液。 在25 3(TC下，蝕刻速率為3微米/分鐘，蝕刻後玻璃基板的厚度非均勻性小於 1 % ，裝有蝕刻液的容器中有少量白色絮狀物質產生，容易除去。
實施例9、 蝕刻液包括以下重量百分比的組成成分氟化氫吡啶鹽15%、硫酸50%、 EDTAO. 5%、純水34. 5% 。將上述比例的各種物質在室溫下攪拌均勻得到本發明提供的蝕刻 液。 實施例10、 蝕刻液包括以下重量百分比的組成成分氟化氫吡啶鹽15%、硫酸30%、 EDTA5X、純水50%。將上述比例的各種物質在室溫下攪拌均勻得到本發明提供的蝕刻液。
在25 3(TC下，蝕刻速率為3. 5微米/分鐘，蝕刻後玻璃基板的厚度非均勻性小 於1 % ，裝有蝕刻液的容器中有微量白色絮狀物質產生，容易除去。
實施例ll、 蝕刻液包括以下重量百分比的組成成分氟化氫吡啶鹽20 % 、硫酸30 % 、 EDTAO. 5%、純水29. 5% 。將上述比例的各種物質在室溫下攪拌均勻得到本發明提供的蝕刻 液。 在25 3(TC下，蝕刻速率為8微米/分鐘，蝕刻後玻璃基板的厚度非均勻性小於 1 % ，裝有蝕刻液的容器中有微量白色絮狀物質產生，容易除去。
實施例12、 蝕刻液包括以下重量百分比的組成成分氟化氫吡啶鹽20 % 、硫酸50 % 、EDTAO. 5%、純水29. 5% 。將上述比例的各種物質在室溫下攪拌均勻得到本發明提供的蝕刻液。 在25 3(TC下，蝕刻速率為12微米/分鐘，蝕刻後玻璃基板的厚度非均勻性小於1 % ，裝有蝕刻液的容器中無白色絮狀物質產生。
實施例13、 蝕刻液包括以下重量百分比的組成成分氟化氫吡啶鹽10%、硫酸20%、磷酸10%，EDTA0. 5%、純水59. 5% 。將上述比例的各種物質在室溫下攪拌均勻得到本發明提供的蝕刻液。 在25 3(TC下，蝕刻速率為2微米/分鐘，蝕刻後玻璃基板的厚度非均勻性小於1 % ，裝有蝕刻液的容器中有少量白色絮狀物質產生，容易除去。
實施例14、 蝕刻液包括以下重量百分比的組成成分氟化氫吡啶鹽10%、硫酸20%、磷酸20%，EDTA0. 5%、純水49. 5% 。將上述比例的各種物質在室溫下攪拌均勻得到本發明提供的蝕刻液。 在25 3(TC下，蝕刻速率為5微米/分鐘，蝕刻後玻璃基板的厚度非均勻性小於1 % ，裝有蝕刻液的容器中有少量白色絮狀物質產生，容易除去。
實施例15、 蝕刻液包括以下重量百分比的組成成分氟化氫吡啶鹽10%、硫酸20%、磷酸30%，EDTA0. 5%、純水39. 5% 。將上述比例的各種物質在室溫下攪拌均勻得到本發明提供的蝕刻液。 在25 3(TC下，蝕刻速率為9微米/分鐘，蝕刻後玻璃基板的厚度非均勻性小於1 % ，裝有蝕刻液的容器中有少量白色絮狀物質產生，容易除去。
實施例16、 蝕刻液包括以下重量百分比的組成成分氟化氫吡啶鹽10%、硫酸20%、磷酸10 % ， EDTA5 % 、純水55 % 。將上述比例的各種物質在室溫下攪拌均勻得到本發明提供的蝕刻液。 在25 3(TC下，蝕刻速率為2. 5微米/分鐘，蝕刻後玻璃基板的厚度非均勻性小於1 % ，裝有蝕刻液的容器中有微量白色絮狀物質產生，容易除去。
實施例17、 蝕刻液包括以下重量百分比的組成成分氟化氫吡啶鹽10%、硫酸20%、磷酸30 % ， EDTA5 % 、純水35 % 。將上述比例的各種物質在室溫下攪拌均勻得到本發明提供的蝕刻液。 在25 3(TC下，蝕刻速率為10微米/分鐘，蝕刻後玻璃基板的厚度非均勻性小於1 % ，裝有蝕刻液的容器中無白色絮狀物質產生。
實施例18、 蝕刻液包括以下重量百分比的組成成分氟化氫吡啶鹽10%、硫酸40%、磷酸10 % ， EDTA5 % 、純水35 % 。將上述比例的各種物質在室溫下攪拌均勻得到本發明提供的蝕刻液。 在25 3(TC下，蝕刻速率為11微米/分鐘，蝕刻後玻璃基板的厚度非均勻性小於1 % ，裝有蝕刻液的容器中無白色絮狀物質產生。
實施例19、 蝕刻液包括以下重量百分比的組成成分氟化氫吡啶鹽15%、硫酸20%、磷酸10 % ， EDTA5 % 、純水50 % 。將上述比例的各種物質在室溫下攪拌均勻得到本發明提供的蝕刻液。 在25 3(TC下，蝕刻速率為5微米/分鐘，蝕刻後玻璃基板的厚度非均勻性小於1 % ，裝有蝕刻液的容器中有微量白色絮狀物質產生，容易除去。
實施例20、 蝕刻液包括以下重量百分比的組成成分氟化氫吡啶鹽20%、硫酸20%、磷酸10 % ， EDTA5 % 、純水45 % 。將上述比例的各種物質在室溫下攪拌均勻得到本發明提供的蝕刻液。 在25 3(TC下，蝕刻速率為9微米/分鐘，蝕刻後玻璃基板的厚度非均勻性小於1 % ，裝有蝕刻液的容器中有無白色絮狀物質產生。
實施例21、 蝕刻液包括以下重量百分比的組成成分氟化氫吡啶鹽20%、硫酸20%、磷酸30 % ， EDTA5 % 、純水25 % 。將上述比例的各種物質在室溫下攪拌均勻得到本發明提供的蝕刻液。 在25 3(TC下，蝕刻速率為14微米/分鐘，蝕刻後玻璃基板的厚度非均勻性小於1 % ，裝有蝕刻液的容器中無白色絮狀物質產生。 以上實施例是以TFT玻璃基板作為玻璃基板而進行應用的減薄蝕刻液，除此之外，該玻璃基板還包括液晶顯示(LCD)(具體包括扭曲向列型(TN)、超扭曲向列型(STN)和彩色超扭曲向列型(CSTN))、觸控螢幕(TP)、有機電致發光(OLED)及等離子體(PDP)顯示用玻璃基板。
權利要求
一種平板玻璃蝕刻液，是由氟化氫吡啶鹽、強酸、水和乙二胺四乙酸組成；所述氟化氫吡啶鹽、強酸和乙二胺四乙酸佔所述平板玻璃蝕刻液總重的百分比分別為10-20％、30-70％和0.5-5％，餘量為水。
2. 根據權利要求1所述的蝕刻液，其特徵在於所述氟化氫吡啶鹽的結構式為0*h+',。
3. 根據權利要求1或2所述的蝕刻液，其特徵在於所述蝕刻液選自下述蝕刻液1' _26'中的任意一種由10-20重量份的氟化氫吡啶鹽、30-50重量份的強酸、0. 5-5重量份的乙二胺四乙酸和25-59. 5重量份的水組成的蝕刻液1';由10-15重量份的氟化氫吡啶鹽、30-50重量份的強酸、0. 5-5重量份的乙二胺四乙酸和34. 5-59. 5重量份的水組成的蝕刻液2';由15-20重量份的氟化氫吡啶鹽、30-50重量份的強酸、0. 5-5重量份的乙二胺四乙酸和25-54. 5重量份的水組成的蝕刻液3';由10-20重量份的氟化氫吡啶鹽、30-40重量份的強酸、0. 5-5重量份的乙二胺四乙酸和25-59. 5重量份的水組成的蝕刻液4';由10-15重量份的氟化氫吡啶鹽、30-40重量份的強酸、0. 5-5重量份的乙二胺四乙酸和34. 5-59. 5重量份的水組成的蝕刻液5';由10重量份的氟化氫吡啶鹽、30重量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和59. 5重量份的水組成的蝕刻液6';由10重量份的氟化氫吡啶鹽、40重量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和49. 5重量份的水組成的蝕刻液7';由10重量份的氟化氫吡啶鹽、50重量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和39. 5重量份的水組成的蝕刻液8';由10重量份的氟化氫吡啶鹽、30重量份的硫酸、2重量份的乙二胺四乙酸和58重量份的水組成的蝕刻液9';由10重量份的氟化氫吡啶鹽、50重量份的硫酸、2重量份的乙二胺四乙酸和38重量份的水組成的蝕刻液10';由10重量份的氟化氫吡啶鹽、30重量份的硫酸、5重量份的乙二胺四乙酸和55重量份的水組成的蝕刻液ll';由10重量份的氟化氫吡啶鹽、50重量份的硫酸、5重量份的乙二胺四乙酸和35重量份的水組成的蝕刻液12';由15重量份的氟化氫吡啶鹽、30重量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和54. 5重量份的水組成的蝕刻液13';由15重量份的氟化氫吡啶鹽、50重量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和34. 5重量份的水組成的蝕刻液14';由15重量份的氟化氫吡啶鹽、30重量份的硫酸、5重量份的乙二胺四乙酸和50重量份的水組成的蝕刻液15';由20重量份的氟化氫吡啶鹽、30重量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和29. 5重量份的水組成的蝕刻液16';由20重量份的氟化氫吡啶鹽、50重量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和29. 5重量份的水組成的蝕刻液17';由10重量份的氟化氫吡啶鹽、20重量份的硫酸、10重四乙酸和59. 5重量份的水組成的蝕刻液18';由10重量份的氟化氫吡啶鹽、20重量份的硫酸、20重四乙酸和49. 5重量份的水組成的蝕刻液19';由10重量份的氟化氫吡啶鹽、20重量份的硫酸、30重四乙酸和39. 5重量份的水組成的蝕刻液20';由10重量份的氟化氫吡啶鹽、20重量份的硫酸、10重乙酸和55重量份的水組成的蝕刻液21';由10重量份的氟化氫吡啶鹽、20重量份的硫酸、30重乙酸和35重量份的水組成的蝕刻液22';由10重量份的氟化氫吡啶鹽、40重量份的硫酸、10重乙酸和35重量份的水組成的蝕刻液23';由15重量份的氟化氫吡啶鹽、20重量份的硫酸、10重乙酸和50重量份的水組成的蝕刻液24';由20重量份的氟化氫吡啶鹽、20重量份的硫酸、10重乙酸和45重量份的水組成的蝕刻液25';由20重量份的氟化氫吡啶鹽、20重量份的硫酸、30重乙酸和25重量份的水組成的蝕刻液26'。
4. 根據權利要求l-3任一所述的蝕刻液，其特徵在於所述強酸選自硫酸和磷酸中的至少一種；所述強酸為硫酸和磷酸的混合物時，每100份所述蝕刻液中，硫酸和磷酸的混合物選自下述混合物a-混合物f中的任意一種由20重量份的硫酸和10重量份的磷酸組成的混合物a ;由30重量份的硫酸和20重量份的磷酸組成的混合物b ;由40重量份的硫酸和30重量份的磷酸組成的混合物c ;由20-30重量份的硫酸和10-20重量份的磷酸組成的混合物d ;由20-40重量份的硫酸和10-30重量份的磷酸組成的混合物e ;由30-40重量份的硫酸和20-30重量份的磷酸組成的混合物f 。
5. 根據權利要求l-4任一所述的蝕刻液，其特徵在於所述平板玻璃蝕刻液是按照權利要求6-9任一所述方法製備而得。
6. —種製備權利要求1-5任一所述平板玻璃蝕刻液的方法，是將氟化氫吡啶鹽、強酸、水和乙二胺四乙酸在20 3(TC混勻，得到所述平板玻璃蝕刻液；所述氟化氫吡啶鹽、強酸和乙二胺四乙酸佔所述平板玻璃蝕刻液總重的百分比分別為10-20%、30-70%和0. 5-5%，餘量為水。
7. 根據權利要求6所述的方法，其特徵在於所述氟化氫吡啶鹽的結構式為^>,
8. 根據權利要求6或7所述的方法，其特徵在於所述蝕刻液中各組分的重量份選自 量份的磷酸、0. 5重量份的乙二胺量份的磷酸、0. 5重量份的乙二胺量份的磷酸、0. 5重量份的乙二胺量份的磷酸、5重量份的乙二胺四量份的磷酸、5重量份的乙二胺四量份的磷酸、5重量份的乙二胺四量份的磷酸、5重量份的乙二胺四量份的磷酸、5重量份的乙二胺四量份的磷酸、5重量份的乙二胺四下述組分l' _組分26'中的任意一種組分1' :10-20重量份的氟化氫吡啶鹽、30四乙酸和25-59. 5重量份的水；組分2' :10-15重量份的氟化氫吡啶鹽、30四乙酸和34. 5-59. 5重量份的水;組分3' :15-20重量份的氟化氫吡啶鹽、30四乙酸和25-54. 5重量份的水；組分4' :10-20重量份的氟化氫吡啶鹽、30四乙酸和25-59. 5重量份的水；組分5' :10-15重量份的氟化氫吡啶鹽、30四乙酸和34. 5-59. 5重量份的水;組分6' :10重量份的氟化氫吡啶鹽、30重j`59. 5重量份的水；組分7' :10重量份的氟化氫吡啶鹽、40重j`49. 5重量份的水；組分8' :10重量份的氟化氫吡啶鹽、50重j`39. 5重量份的水；組分9' :10重量份的氟化氫吡啶鹽、30重i重量份的水；組分10' :10重』重量份的水；組分ll' :10重』重量份的水；組分12' :10重』重量份的水；組分13' :15重]`54. 5重量份的水；組分14' :15重]`34. 5重量份的水；組分15' :15重』重量份的水；組分16' :20重]`29. 5重量份的水；組分17' :20重]`29. 5重量份的水；組分18' :10重量份的氟化氫吡啶鹽、20重的乙二胺四乙酸和59. 5重量份的水；組分19' :10重量份的氟化氫吡啶鹽、20重的乙二胺四乙酸和49. 5重量份的水；-50重量份的強酸、0. 5-5重量份的乙二胺-50重量份的強酸、0. 5-5重量份的乙二胺-50重量份的強酸、0. 5-5重量份的乙二胺-40重量份的強酸、0. 5-5重量份的乙二胺-40重量份的強酸、0. 5-5重量份的乙二胺量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和l:份的硫酸、2重量份的乙二胺四乙酸和58份的氟化氫吡啶鹽、50重量份的硫酸、2重量份的乙二胺四乙酸和38份的氟化氫吡啶鹽、30重量份的硫酸、5重量份的乙二胺四乙酸和55份的氟化氫吡啶鹽、50重量份的硫酸、5重量份的乙二胺四乙酸和35:份的氟化氫吡啶鹽、30重量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和:份的氟化氫吡啶鹽、50重量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和份的氟化氫吡啶鹽、30重量份的硫酸、5重量份的乙二胺四乙酸和50:份的氟化氫吡啶鹽、30重量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和:份的氟化氫吡啶鹽、50重量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和量份的硫酸、10重量份的磷酸、0. 5重量份t份的硫酸、20重量份的磷酸、0. 5重量份組分20' :10重量份的氟化氫吡啶鹽的乙二胺四乙酸和39. 5重量份的水；組分21' :10重量份的氟化氫吡啶鹽乙二胺四乙酸和55重量份的水；組分22' :10重量份的氟化氫吡啶鹽乙二胺四乙酸和35重量份的水；組分23' :10重量份的氟化氫吡啶鹽乙二胺四乙酸和35重量份的水；組分24' :15重量份的氟化氫吡啶鹽乙二胺四乙酸和50重量份的水；組分25' :20重量份的氟化氫吡啶鹽乙二胺四乙酸和45重量份的水；組分26' :20重量份的氟化氫吡啶鹽乙二胺四乙酸和25重量份的水。
9. 根據權利要求6-8任一所述的方法，其特徵在於所述強酸選自硫酸和磷酸中的至少一種；所述強酸為硫酸和磷酸的混合物時，每100份所述蝕刻液中，硫酸和磷酸的混合物選自下述混合物a-混合物f中的任意一種由20重量份的硫酸和10重量份的磷酸組成的混合物a ;由30重量份的硫酸和20重量份的磷酸組成的混合物b ;由40重量份的硫酸和30重量份的磷酸組成的混合物c ;由20-30重量份的硫酸和10-20重量份的磷酸組成的混合物d ;由20-40重量份的硫酸和10-30重量份的磷酸組成的混合物e ;由30-40重量份的硫酸和20-30重量份的磷酸組成的混合物f 。
10. 權利要求l-5任一所述平板玻璃蝕刻液在製備平板玻璃減薄用蝕刻液中的應用。、20重量份的硫酸、30重量份的磷酸、0. 5重量份、20重量份的硫酸、10重量份的磷酸、5重量份的、20重量份的硫酸、30重量份的磷酸、5重量份的、40重量份的硫酸、10重量份的磷酸、5重量份的、20重量份的硫酸、10重量份的磷酸、5重量份的、20重量份的硫酸、10重量份的磷酸、5重量份的、20重量份的硫酸、30重量份的磷酸、5重量份的
全文摘要
本發明公開了一種平板顯示用玻璃基板蝕刻液。該蝕刻液由氟化氫吡啶鹽、強酸、水和乙二胺四乙酸組成。各組分佔蝕刻液總重的百分比分別為氟化氫吡啶鹽10-20％；強酸30-70％；乙二胺四乙酸0.5-5％；餘量為水。該蝕刻液是一種安全、穩定、高效的蝕刻液，能夠很好的解決蝕刻過程中產生的難溶性副產物問題，同時也提高了蝕刻速率和蝕刻效果。該蝕刻液適用於TFT等玻璃基板的減薄。
文檔編號C03C15/00GK101774767SQ201010109119
公開日2010年7月14日 申請日期2010年2月8日 優先權日2010年2月8日
發明者馮衛文 申請人:綿陽艾薩斯電子材料有限公司