多種氣體檢漏分析儀的製作方法
2023-10-06 05:17:59
專利名稱：多種氣體檢漏分析儀的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種分析儀器設備，具體涉及一種多種氣體檢漏分析儀。
背景技術：
ZQA-402高性能殘餘氣體分析儀器，它採用鼠籠式離子源及先進的玻璃一體化雙曲面四極杆作為分析器，用戶可根據需要選擇法拉第筒或電子倍增器作為接收器。數據處理系統採用PC機作主機，可輸出全譜圖、棒圖、時間譜及分壓強譜圖、數據列表等。一臺殘氣分析儀裝入真空系統中，可以一機多用，既可作殘氣分析儀，又可作本系統的檢漏儀，可以使用多種氣體作示漏氣體。
但該分析儀器僅能安裝在真空系統中，對當前真空系統進行檢漏和分析，而不能進行室外氣體檢漏和分析。
實用新型內容本實用新型的目的是提供多種氣體檢漏分析儀，它是一種新型多功能分析測量儀器，集成檢漏儀與氣體分析儀於一體。
本實用新型的技術內容如下一種多種氣體檢漏分析儀，包括有四極質譜室和電子控制箱，其特徵在於質譜室的殼體安裝有有離子泵、進樣閥門和抽真空閥門，離子泵和進樣閥門、抽真空閥門均與質譜室聯通，抽真空閥門連接有法蘭接頭，所述的法蘭接頭還連接有由分子泵、機械泵、電磁閥、真空計組成的真空檢漏系統。
所述的進樣閥門和質譜室之間通過毛細管聯通，進樣閥門端頭連接有進樣器。
本實用新型就是在ZQA-402高性能殘餘氣體分析儀器的基礎上，在四極質譜室連接了真空系統、小型高真空離子泵和進樣毛細管，本實用新型的分析系統集成了小型高真空離子泵，無需另外的真空泵組維持，通過自帶的電池組，即可進行室外氣體檢漏和分析；相對於檢漏儀典型產品--氦質譜檢漏儀而言，本實用新型採用了四極質譜技術，可檢測多種物質(如氟裡昂、SF6、CO、甲烷等)，從而可以利用多種氣體示蹤進行檢漏，打破了氦質譜檢漏儀監測單一氣體的局限性。
本實用新型質量分析系統由四極質譜組成，可對真空設備進行檢漏和殘餘氣體分析，可以進行正壓、負壓或常壓檢漏，可以利用多種示蹤氣體進行檢漏，質量分析系統可測量質量數範圍為1amu到300amu。
當進行室外工作時，分析系統與真空系統分離，通過離子泵維持分析系統真空，整個分析系統由自帶電池組供電。
為了提高檢測範圍和靈敏度，採樣器中可帶GC系統。
本實用新型內容有兩個創新點一、為了克服現有多種氣體分析儀僅能對真空系統中的殘餘氣體進行分析，本實用新型提供一種多種氣體檢漏分析儀，其分析範圍寬，通過採樣器和自帶的高真空離子泵，無需另外的真空泵組維持，通過自帶的電池組，即可進行室內外氣體分析。
二、為了克服傳統檢漏儀功能單一，如氦質譜檢漏儀只能用氦氣進行示蹤檢漏，滷素檢漏儀僅對滷素(如製冷行業的氟裡昂洩露檢測)，本實用新型採用了四極質譜技術，可以檢測全部常用氣體，包括各種冷媒、惰性氣體、SF6、CO、甲烷等)，從而可以利用多種氣體示蹤進行檢漏，打破了氦質譜檢漏儀監測單一氣體的局限性。
本實用新型有益效果1、使用了離子泵技術，無需另外的真空泵組維持即可獨立運行，極大地提高了使用靈活性，可在野外進行分析檢漏。
2、採用了四極質譜技術，可檢測多種物質(如氟裡昂、SF6、CO、甲烷等)，從而可以利用多種氣體示蹤進行檢漏，打破了氦質譜檢漏儀監測單一氣體的局限性。
3、採樣器中可帶GC系統，極大地提高檢測範圍和靈敏度。
以下結合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。
圖1為本實用新型結構示意圖。
圖2為本實用新型功能示意圖。
圖中標號1、分子泵，2、分子泵出氣口，3、微漏閥，4、檢漏閥 5、機械泵，6、真空法蘭接頭，7、離子源，8、四極杆，9、預抽閥，10、標漏閥，5 11、標準漏孔，12、放氣閥，13、真空計，14、檢漏口，15、進樣閥，16、採樣器，17、進樣毛細管，18、離子泵，19、離子接受放大器，20、四極質譜室，21、真空閥門。
具體實施方式
參見圖1，本實用新型是在ZQA-402高性能殘餘氣體分析儀器的基礎上，在四極質譜系統上增加高真空離子泵和採樣系統。具體結構見圖1分子泵1，機械泵5和檢漏閥4組成真空系統，機械泵8通過管路和電磁閥與分子泵1連接，分子泵1通過抽氣口通過真空法蘭接頭6與質譜室連接。檢漏口14通過微漏閥3連接到分子泵的進氣口，構成微漏氣流通路(亦即正向檢漏)；機械泵5通過預抽閥9對連接在檢漏口14的工件抽真空，由真空計13測量檢漏口14的壓力，當檢漏口14的壓力達到設定值時，大漏閥4打開，構成大漏氣流通路。標漏閥10和標準漏孔11用來對系統進行校準。示漏氣體通過真空法蘭接頭6進入四極質譜室20進行分離。
四極質譜室20由離子源7、四極杆8和接收器19組成，離子泵18用來維持和提高四極質譜室20的真空度，進樣閥15、採樣器16和進樣毛細管17組成分析器的進樣部分，用來對待測氣體進行採樣或分離。
工作原理首先啟動機械泵5，打開檢漏閥4同時啟動分子泵1，分子泵1啟動正常後，四極質譜室20內離子源7加電，同時檢測質譜室高真空，若真空度不夠，則自動保護燈絲，等待幾分鐘，直到高真空符合要求，則提示準備好，等待檢漏。
檢漏時關斷大漏閥4，打開檢漏閥9，通過檢漏口14對工件抽真空，同時由真空計13測量檢漏口14的真空值，當真空值達到設定值時，打開檢漏閥4來進行大漏檢測。當真空度比較好時，說明系統密封性好，這時打開微漏閥3進行微漏檢測或分析；當要定標時，打開標漏閥10，則由標準漏孔11的漏率來定標。檢漏時示蹤氣體由分子泵1逆擴散(大漏時)或由微漏閥3直接擴散(正向檢漏)到質譜室進行電離，電離後進入四極杆8產生的交變電場進行分離，根據示蹤氣體的不同，可選擇不同的分離電壓，從而可以實現多種氣體檢漏。檢漏結束放氣時，電磁閥12打開，空氣進入，從而可以拿走工件。
當需要進行氣體分析時，通過連續改變掃描電壓，從而分析進入質譜室內的氣體成分。
當工作環境中沒有220V交流電時，如野外工作時，可先對質譜系統抽真空，然後通過真空法蘭接頭6將四極質譜室20與真空泵組分離，通過內置的電池組提供工作電源。具體工作如下首先通過真空泵組對四極質譜室20抽真空，當真空度達到設定值時，關閉真空閥門21，通過真空法蘭接頭6將四極質譜室20拆下，用離子泵18維持質譜室20內真空，用內置的電池組供電，這樣整個分析系統就可以獨立出去，拿到野外等環境進行氣體分析，具有極大的靈活性和適應性。特殊的微進樣裝置，使其可以在常壓(大氣壓)下工作。
權利要求1.一種多種氣體檢漏分析儀，包括有四極質譜室和電子控制箱，其特徵在於質譜室的殼體安裝有有離子泵、進樣閥門和抽真空閥門，離子泵和進樣閥門、抽真空閥門均與質譜室聯通，抽真空閥門連接有法蘭接頭，所述的法蘭接頭還連接有由分子泵、機械泵、電磁閥、真空計組成的真空檢漏系統。
2.根據權利要求1所述的分析儀，其特徵在於所述的進樣閥門和質譜室之間通過毛細管聯通，進樣閥門端頭連接有進樣器。
專利摘要本實用新型公開了一種多種氣體檢漏分析儀，包括四極質譜室和電子控制箱，質譜室的殼體安裝有離子泵、進樣閥門和抽真空閥門，離子泵和進樣閥門、抽真空閥門均與質譜室聯通，抽真空閥門連接有法蘭接頭，所述的法蘭接頭還連接有由分子泵、機械泵、電磁閥、真空計組成的真空檢漏系統。本實用新型採用了四極質譜技術，可以檢測全部常用氣體，包括各種冷媒、惰性氣體、SF6、CO、甲烷等，從而可以利用多種氣體示蹤進行檢漏，打破了氦質譜檢漏儀監測單一氣體的局限性。
文檔編號G01M3/00GK2828780SQ20052007382
公開日2006年10月18日 申請日期2005年7月19日 優先權日2005年7月19日
發明者黃文平 申請人:黃文平