一種太陽能電池表面處理方法
2023-10-24 01:01:02 2
專利名稱：一種太陽能電池表面處理方法
技術領域：
本發明屬於電子材料技術領域，具體涉及一種太陽能電池表面處理方法。
背景技術：
據世界能源組織(IEA)、歐洲聯合研究中心、歐洲光伏工業協會預測，2020年世界光伏發電將佔總電力的1 %，到2040年光伏發電將佔全球發電量的20 %，按此推算未來數十年，全球光伏產業的增長率將高達5% -30%。可以預言，在21世紀中葉，太陽能光伏發電成為人類的基礎能源之一，在世界能源構成中佔有一定的地位。根據Solarbuzz最新年度太陽能市場報告QOllMarketbuzz)，2010年全球太陽能市場安裝量達到18. 2GW，相較於2009年成長139 %，太陽能產業全球營收達到820億美元， 其中晶矽太陽能電池由於其成本低、工藝簡單、效率高等優點佔據了主要份額，達到總產值的90%，有巨大的市場。由於氮化矽膜具有良好的絕緣性、緻密性、穩定性和對雜誌離子的掩蔽能力，在工業上氮化矽被廣泛地作為晶矽太陽能電池的減反膜，顯著地提高了電池的轉化效率。在矽片表面沉積氮化之前，需要對矽片表面進行使用HF清洗，這種溼法清洗雖然清洗掉了矽片表面的汙染物和副產物，但溼法清洗容易在表面留下雜質，無法徹底清潔矽片表面，使得在進行氮化矽膜沉積時容易造成膜層缺陷，降低矽片效率，造成經濟損失。
發明內容
本發明的目的是提供一種在矽片表面處理方法，在沉積氮化矽膜層前，對矽片表面進行處理的方法。使用本發明進行處理，能夠比較完全地處理掉矽片表面汙染物，增加矽片表面能和浸潤性，且不產生副產物，能夠使得在沉積氮化矽膜層時，得到更加均勻、完整的減反層。本發明的具體技術方案如下一種太陽能電池表面處理方法，包括以下基本步驟1)將兩個放電電極分別與電源連接，在一個放電電極內側端面上設置介質；2)在兩個放電電極之間、所述介質的一個側面設置進氣口，施加流量為2-10L/ min的氣體；3)將電源功率逐漸升至10-55w ；4)等待氣體產生輝光放電後，將矽片正面朝上放入另一個放電電極內側端面上， 在氣體產生輝光放電環境下放置20s-5min後取出，S卩完成太陽能電池表面處理。所述介質為玻璃材料。所述氣體為Ar和&以任意比例混合的混合氣體。所述兩個放電電極間隙為l_3mm ；所述放電電極面積為150-300cm2。通過上述常壓等離子技術清潔表面去除了表面上的有機汙染物，如殘留物、抗氧化劑、碳渣和其它有機化合物，還不會產生副產物。矽片表面被等離子體處理會，其浸潤性得到提高，表面活性增強，能夠在PECVD沉積減反膜時在基地上得到均勻、完整的膜層。本發明無需將產生等離子的腔室抽成真空，常壓即可完成，節約成本的同時可以實現規模化生產，簡單易行，成本低廉。
圖1是本發明太陽能電池表面處理方法所採用的裝置結構示意圖。圖中1放電電極；2介質；3進氣口 ；4矽片；5電源。
具體實施例方式本發明公開了一種太陽能電池表面處理方法，以下結合附圖及具體實施實例進一步說明本發明的製備過程實施例1一種太陽能電池表面處理方法，包括以下基本步驟1)將兩個相互間隙為Imm的放電電極1分別與電源5連接，在一個放電電極1內側端面上設置介質2，所述介質為玻璃材料；2)在兩個放電電極1之間、介質2的一個側面設置進氣口 3，施加流量為2L/MIN 的Ar和&以質量比為1 3比例混合的混合氣體；3)將電源功率逐漸升至50w ；4)等待氣體產生輝光放電後，將矽片4正面朝上放入另一個放電電極1內側端面上，在氣體產生輝光放電環境下放置anin後取出，即完成太陽能電池表面處理。圖1中放電電極1的面積為150cm2。進過本方法處理的矽片，其表面殘餘雜質得到分解，無副產物殘留，同時表面浸潤性提高，附著性也增強。使得矽片上能夠沉積到均勻、完整的減反膜。實施例2一種太陽能電池表面處理方法，包括以下基本步驟1)將兩個相互間隙為3mm的放電電極1分別與電源5連接，在一個放電電極1內側端面上設置介質2，所述介質為玻璃材料；2)在兩個放電電極1之間、介質2的一個側面設置進氣口 3，施加流量為10L/MIN 的Ar和O2以質量比為2 1比例混合的混合氣體；3)將電源功率逐漸升至IOw ；4)等待氣體產生輝光放電後，將矽片4正面朝上放入另一個放電電極1內側端面上，在氣體產生輝光放電環境下放置20s後取出，即完成太陽能電池表面處理。圖1中放電電極1的面積為300cm2。進過本方法處理的矽片，其表面殘餘雜質得到分解，無副產物殘留，同時表面浸潤性提高，附著性也增強。使得矽片上能夠沉積到均勻、完整的減反膜。
權利要求
1.一種太陽能電池表面處理方法，其特徵在於，包括以下基本步驟1)將兩個放電電極(1)分別與電源( 連接，在一個放電電極(1)內側端面上設置介質⑵；2)在兩個放電電極(1)之間、所述介質O)的一個側面設置進氣口(3)，施加流量為 2-10L/min 的氣體；3)將電源功率逐漸升至10-55w；4)等待氣體產生輝光放電後，將矽片(4)正面朝上放入另一個放電電極(1)內側端面上，在氣體產生輝光放電環境下放置20s-5min後取出，即完成太陽能電池表面處理。
2.根據權利要求1所述的一種太陽能電池表面處理方法，其特徵在於，所述介質為玻璃材料。
3.根據權利要求1所述的一種太陽能電池表面處理方法，其特徵在於，所述氣體為Ar 和A以任意比例混合的混合氣體。
4.根據權利要求1所述的一種太陽能電池表面處理方法，其特徵在於，所述兩個放電電極(1)間隙為1-3_;所述放電電極面積為150-300cm2。
全文摘要
本發明公開了一種太陽能電池表面處理方法，包括以下基本步驟1)將兩個放電電極分別與電源連接，在一個放電電極內側端面上設置介質；2)在兩個放電電極之間、介質的一側設置進氣口，施加流量為2-10L/min的氣體；3)將電源功率逐漸升至10-55W；4)等待氣體產生輝光放電後，將矽片正面朝上放入另一個放電電極內側端面上，放置20s-5min後取出，即完成太陽能電池表面處理。本發明無需將產生等離子的腔室抽成真空，常壓即可完成，節約成本的同時可以實現規模化生產，簡單易行，成本低廉。
文檔編號H01L31/18GK102263165SQ20111020123
公開日2011年11月30日 申請日期2011年7月19日 優先權日2011年7月19日
發明者李馳 申請人:彩虹集團公司