陰極靶修磨器的製作方法

2023-05-20 16:21:21

專利名稱：陰極靶修磨器的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種陰極靶修磨器，尤其是一種用於工業生產中的製備超硬薄膜的離子源裝置中的陰極靶修磨器。
2、工作效率低。由於傳統的修磨將該陰極靶卸下，然後進行修磨，這樣做會影響離子源裝置的正常工作，特別是在生產線上，會造成停工現象，工作效率低。
本實用新型的技術方案是本實用新型包括支架2、電機9和切削裝置5，切削裝置5包括銑刀12，該銑刀12通過刀柄11夾持在銑刀夾頭10上，其特殊之處在於所述電機9通過傳動裝置8與切削裝置5聯接，所述傳動裝置8與銑刀夾頭10間為磁性聯接；所述支架2上設有驅動裝置13，該驅動裝置13與銑刀夾頭10聯接；所述切削裝置5外側設有波紋管4。
上述波紋管4一端通過波紋管固定管14設置在支架2上，另一端通過波紋管移動板3與銑刀夾頭10聯接。
上述支架2包括驅動裝置支撐板7和切削裝置支撐板1，驅動裝置13設置在驅動裝置支撐板7上，切削裝置5設置在切削裝置支撐板1上。
上述驅動裝置13包括汽缸6，該汽缸6一端通過波紋管移動板3與銑刀夾頭10聯接，另一端設置在驅動裝置支撐板7上。
本實用新型具有以下優點1、操作簡單。本實用新型直接設置在電子源裝置中的鍍膜裝置上，其銑刀可直接伸到陰極靶靶面上進行切削修磨，不需將陰極靶卸下；並且本實用新型的切削裝置外側設有波紋管，其可保證切削裝置與鍍膜裝置間保持真空，即修磨過程直接在真空狀態下完成，不用重新抽真空，操作簡單。
2、工作效率高。本實用新型與鍍膜裝置連為一體，其銑刀可直接伸到陰極靶靶面上進行切削修磨，不需將陰極靶卸下，可以保證生產線工作的連續性，工作效率高。
當陰極靶面燒蝕後，由計算機發出指令，將陰極靶收回，同時將靶升到預定的位置，銑刀12在汽缸6的作用下伸到靶面上，銑刀12在電機9的驅動下旋轉，陰極靶也同時進行旋轉，對陰極靶面進行修磨，修磨完後，將銑刀12收回，陰極靶重新升回工作位置，繼續放電工作。
權利要求1.一種用於工業生產中的製備超硬薄膜的離子源裝置的陰極靶修磨器，包括支架(2)、電機(9)和切削裝置(5)，所述切削裝置(5)包括銑刀(12)，該銑刀(12)通過刀柄(11)夾持在銑刀夾頭(10)上，其特徵在於所述電機(9)通過傳動裝置(8)與切削裝置(5)聯接，所述傳動裝置(8)與銑刀夾頭(10)間為磁性聯接；所述支架(2)上設有驅動裝置(13)，該驅動裝置(13)與銑刀夾頭(10)聯接；所述切削裝置(5)外側設有波紋管(4)。
2.如權利要求1所述的陰極靶修磨器，其特徵在於所述波紋管(4)一端通過波紋管固定管(14)設置在支架(2)上，另一端通過波紋管移動板(3)與銑刀夾頭(10)聯接。
3.如權利要求2所述的陰極靶修磨器，其特徵在於所述支架(2)包括驅動裝置支撐板(7)和切削裝置支撐板(1)，所述驅動裝置(13)設置在驅動裝置支撐板(7)上，所述切削裝置(5)設置在切削裝置支撐板(1)上。
4.如權利要求3所述的陰極靶修磨器，其特徵在於所述驅動裝置(13)包括汽缸(6)，所述汽缸(6)一端通過波紋管移動板(3)與銑刀夾頭(10)聯接，另一端設置在驅動裝置支撐板(7)上。
專利摘要本實用新型涉及一種用於工業生產中的製備超硬薄膜的離子源裝置中的陰極靶修磨器。包括支架2、電機9和切削裝置5,所述切削裝置5包括銑刀12,該銑刀12通過刀柄11夾持在銑刀夾頭10上,電機9通過傳動裝置8與切削裝置5聯接,所述傳動裝置8與銑刀夾頭10間為磁性聯接;所述支架2上設有驅動裝置13,該驅動裝置13與銑刀夾頭10聯接;所述切削裝置5外側設有波紋管4。本實用新型操作簡單,工作效率高。
文檔編號H01J9/00GK2496129SQ0124704
公開日2002年6月19日 申請日期2001年9月14日 優先權日2001年9月14日
發明者趙玉清 申請人:陝西百納科技發展有限責任公司