蒸鍍用掩模板及其製造方法
2024-01-27 21:06:15
專利名稱：蒸鍍用掩模板及其製造方法
技術領域：
本發明涉及OLED顯示屏製造技術領域，特別涉及一種蒸鍍用掩模板及其製造方法。
背景技術：
有機電致發光器件，具有自發光、反應時間快、視角廣、成本低、製造工藝簡單、解析度佳及高亮度等多項優點，被認為是下一代的平面顯示器新興應用技術。在OLED(Organic Light-Emitting Diode,有機電致發光二極體)技術中，真空蒸鍍中的掩模板技術是一項非常重要和關鍵的技術，該技術的精度等級直接影響OLED產品的質量和製造成本。 傳統的蒸鍍用的掩模板是先在掩模板上加工出所需要的蒸鍍孔，再將該掩模板焊接到板框上。然而，在將掩模板焊接到板框上時，需要將掩模板拉平拉緊，而在掩模板上已經制好了蒸鍍孔，在拉平的過程中，蒸鍍孔會受到繃緊力而變形，使蒸鍍孔偏離原來的設計尺寸和形狀，造成形狀和尺寸誤差，而由於OLED顯示屏的製造工藝對蒸鍍孔的精度要求非常高，這種誤差顯然會對蒸鍍效果產生非常大的負面影響，直接降低蒸鍍效果，使生產出來的OLED顯示屏存在較大的缺陷。
發明內容
本發明的主要目的在於，針對上述現有技術中的不足，提供一種蒸鍍用掩模板及其製造方法，可以有效避免蒸鍍孔變形，提高掩模板的精度和穩定性。為實現上述發明目的，本發明採用以下技術方案。本發明提供一種蒸鍍用掩模板，包括板框和拉平固定於板框上的掩模板，所述掩模板上設置有多個規則排列的蒸鍍孔，所述多個蒸鍍孔位於掩模板的中央，所述蒸鍍孔的外圍設置有至少一排緩衝孔，每個所述緩衝孔與所述蒸鍍孔平行設置。優選地，所述掩模板橫向設置有N列蒸鍍孔，縱向設置有M行蒸鍍孔，每行蒸鍍孔的左右兩邊分別設置有一個所述緩衝孔，每列蒸鍍孔的上下兩邊亦分別設置有一個所述緩衝孔，形成一圈緩衝帶。優選地，每個所述蒸鍍孔內部設置有條形網格，所述蒸鍍孔外設置有一排或一列緩衝孔，每排緩衝孔為N個，每列緩衝孔為M個，並分別與所述網格平行設置。優選地，所述緩衝孔為矩形通孔或盲孔。優選地，所述掩模板由鎳鐵合金或銦瓦合金製成，厚度為30 100 μ m。優選地，所述板框由鎳鐵合金或銦瓦合金製成，厚度為14-50 mm，寬度為30-80mmD本發明還提供一種上述蒸鍍用掩模板的製造方法，該方法依次包括以下步驟 將所述掩模板裁成稍大於所述板框大小的尺寸，平放在所述板框上，將掩模板的四邊
拉平並貼緊在所述板框上；將所述掩模板焊接於所述板框上；
沿所述板框的外邊緣切除多餘的部分；
在所述掩模板的外圍開設至少一排緩衝孔；
在掩模板的中間開設所述蒸鍍孔，並使所述緩衝孔與蒸鍍孔平行設置。優選地，所述沿板框的外邊緣切除多餘的部分的步驟具體為
採用雷射工藝將所述多餘部分切除。 優選地，所述在蒸鍍孔的外圍開設至少一排緩衝孔的步驟具體包括
沿掩模板的橫向開設N列蒸鍍孔，沿縱向設置有M行蒸鍍孔，每行蒸鍍孔的左右兩邊分別開設一個所述緩衝孔，每列蒸鍍孔的上下兩邊亦分別開設一個所述緩衝孔，或者
每個所述蒸鍍孔內部設置有條形網格，在所述蒸鍍孔外設置有一排或一列緩衝孔，每排緩衝孔為N個，每列緩衝孔為M個，並分別與所述網格平行設置。優選地，所述在掩模板上位於板框內處開設所述蒸鍍孔的步驟具體為
採用雷射切割工藝或化學蝕刻工藝開設所述蒸鍍孔。本發明先將掩模板焊接於板框上，再在掩模板位於板框內處開設蒸鍍孔，並在蒸鍍孔旁設置緩衝孔，使得在蒸鍍用掩模板製造完成後，掩模板上的蒸鍍孔不會發生變形，在生產大尺寸的蒸鍍用掩模板時，效果更加明顯，因此可以有效地提高掩模板的精度和穩定性，顯著提升OLED顯示屏特別是大尺寸OLED顯示屏的製造精度，降低製造成本。
圖1是本發明實施例中蒸鍍用掩模板的結構示意圖一。圖2是本發明實施例中蒸鍍用掩模板的結構示意圖二。圖3是本發明實施例中蒸鍍用掩模板的製造方法的流程示意圖。本發明目的的實現、功能特點及優點將結合實施例，參照附圖做進一步說明。
具體實施例方式以下將結合附圖及具體實施例詳細說明本發明的技術方案，以便更清楚、直觀地理解本發明的發明實質。圖1是本發明實施例中蒸鍍用掩模板的結構示意圖一；圖2是本發明實施例中蒸鍍用掩模板的結構示意圖二。參照圖1所示，本實施例提供一種蒸鍍用掩模板，包括板框I和拉平固定於板框上的掩模板2，掩模板2上設置有規則排列的多個蒸鍍孔3，該多個蒸鍍孔3位於掩模板2的中央，並位於板框I內部。在蒸鍍孔3的外圍設置有一圈緩衝孔4，用於緩衝掩模板2的繃緊力給蒸鍍孔3帶來的張力，從而保護蒸鍍孔3不變形。本實施例的掩模板2在橫向設置有N列蒸鍍孔3，在縱向設置有M行蒸鍍孔3，每行蒸鍍孔3的左右兩邊分別設置有一個緩衝孔4，每列蒸鍍孔3的上下兩邊亦分別設置有一個緩衝孔4，使每個緩衝孔4均與蒸鍍孔3平行。參照圖2所示，若每個蒸鍍孔3的內部設置有條形網格31，則只需在蒸鍍孔3外設置有一排或一列緩衝孔，且該排或該列緩衝孔4與上述網格31平行設置。其中，每排緩衝孔4為N個，每列緩衝孔4為M個，使每排蒸鍍孔3分別對應一個緩衝孔4，每列蒸鍍孔3也分別對應一個緩衝孔4，並且各自對齊，由於來自掩模板2的與網格31平行的方向的張力施加在網格31上，不會使蒸鍍孔3變形，無需設置緩衝孔4，而來自掩模板2的張力則完全由緩衝孔4吸收。為了更均勻地分散上述張力，本實施例的緩衝孔4設置為寬度較小的矩形通孔或盲孔。使蒸鍍孔3所受到的張力儘可能小，以保證其形狀和尺寸不會發生改變。本實施例的掩模板2由鎳鐵合金或銦瓦合金製成，厚度為30 100 μ m,板框I由鎳鐵合金或銦瓦合金製成，厚度為14-50 _，寬度為30-80 _。需要說明的是，本發明所說的板框I的寬度不是指板框I的外框的寬度，也非內框的寬度，而是指板框I的外框與內框之間的用於固定掩模板2的那部分的寬度。採用上述結構的掩模板2，可以使蒸鍍孔3的實際尺寸與最初的設計尺寸基本一致，不會因受到掩模板2的張力而發生變化，特別是當掩模板2為大尺寸時，蒸鍍孔3的精 度保持效果更加顯著，從而可以生產出高質量的OLED顯示屏。圖3是本發明實施例中蒸鍍用掩模板的製造方法的流程示意圖。參照圖3所示，本實施例提供一種加工上述蒸鍍用掩模板的製造方法，該方法主要包括以下步驟
S1:將掩模板裁成稍大於板框大小的尺寸，平放在板框上，將掩模板的四邊拉平並貼緊在板框上；
52:將掩模板焊接於板框上；
53:沿板框的外邊緣切除多餘的部分；
54:在掩模板的外圍開設至少一排緩衝孔；
55:在掩模板的中間開設蒸鍍孔，並使緩衝孔與蒸鍍孔平行設置。其中，在步驟S3中，沿板框的外邊緣切除多餘的部分的步驟具體為採用雷射工藝將多餘部分切除。因為雷射切割技術的切割精度較高，而且無需複雜的裝夾工藝，恰可用於切除多餘部分。在步驟S4中，在掩模板的外圍，位於板框內部的位置上開設至少一排緩衝孔，緩衝孔的數量對應於預設的蒸鍍孔的數量，即若蒸鍍孔為M行、N列，則沿橫向開設N個緩衝孔，沿縱向開設M個緩衝孔，或者，若每個蒸鍍孔內部設置有條形網格，在蒸鍍孔外設置有至少一排或至少一列緩衝孔，每排緩衝孔為N個，每列緩衝孔為M個，並分別與上述網格平行設置。這些緩衝孔構成一個緩衝帶，設置在蒸鍍孔外圍，可均勻地分散掩模板的張力，避免蒸鍍孔因受力變形而產生誤差。在步驟S5中，在上述矩形緩衝帶內開設蒸鍍孔，並使蒸鍍孔與緩衝孔對應平行，橫向設置的緩衝孔與橫排(M行)的蒸鍍孔平行，縱向設置的緩衝孔與縱列(N列)的蒸鍍孔平行。本實施例採用雷射切割工藝或化學蝕刻工藝來加工蒸鍍孔，因為雷射切割工藝和化學蝕刻工藝無需複雜的裝夾工序，也不會對掩模板造成損傷，因此，採用雷射切割工藝和化學蝕刻工藝來開設蒸鍍孔能滿足實際工藝需求，而且也能將蒸鍍孔加工成喇叭狀，滿足OLED顯示屏的蒸鍍需求。採用本方法可以使掩模板上的蒸鍍孔的形狀和尺寸保持原有的設計精度，避免了傳統的先加工蒸鍍孔，再將掩模板焊接於板框上的製造工藝中會使蒸鍍孔變形的現象，從而可以加工出大尺寸、高質量的OLED顯示屏。
綜上所述，本發明先將掩模板焊接於板框上，再在掩模板位於板框內處開設蒸鍍孔，並在蒸鍍孔旁設置緩衝孔，使得在蒸鍍用掩模板製造完成後，掩模板上的蒸鍍孔不會發生變形，在生產大尺寸的蒸鍍用掩模板時，效果更加明顯，因此可以有效地提高掩模板的精度，顯著提升OLED顯示屏特別是大尺寸OLED顯示屏的製造精度，降低製造成本。
以上所述僅為本發明的優選實施例，並非因此限制其專利範圍，凡是利用本發明說明書及附圖內容所作的等效結構或等效流程變換，直接或間接運用在其他相關的技術領域，均同理包括在本發明的專利保護範圍內。
權利要求
1.一種蒸鍍用掩模板，包括板框和拉平固定於板框上的掩模板，所述掩模板上設置有規則排列的多個蒸鍍孔，其特徵在於所述多個蒸鍍孔位於掩模板的中央，所述蒸鍍孔的外圍設置有至少一排緩衝孔，每個所述緩衝孔與所述蒸鍍孔平行設置。
2.如權利要求1所述的蒸鍍用掩模板，其特徵在於所述掩模板橫向設置有N列蒸鍍孔，縱向設置有M行蒸鍍孔，每行蒸鍍孔的左右兩邊分別設置有一個排所述緩衝孔，每列蒸鍍孔的上下兩邊亦分別設置有一個所述緩衝孔，形成一圈緩衝帶。
3.如權利要求2所述的蒸鍍用掩模板，其特徵在於每個所述蒸鍍孔內部設置有條形網格，所述蒸鍍孔外設置有一排或一列緩衝孔，每排緩衝孔為N個，每列緩衝孔為M個，並分別與所述網格平行設置。
4.如權利要求1所述的蒸鍍用掩模板，其特徵在於所述緩衝孔為矩形通孔或盲孔。
5.如權利要求1所述的蒸鍍用掩模板，其特徵在於所述掩模板由鎳鐵合金或銦瓦合金製成，厚度為30 100 μ m。
6.如權利要求5所述的蒸鍍用掩模板，其特徵在於所述板框由鎳鐵合金或銦瓦合金製成，厚度為14-50 mm,寬度為30-80 mm。
7.—種權利要求1所述蒸鍍用掩模板的製造方法，其特徵在於，依次包括以下步驟將所述掩模板裁成稍大於所述板框大小的尺寸，平放在所述板框上，將掩模板的四邊拉平並貼緊在所述板框上；將所述掩模板焊接於所述板框上；沿所述板框的外邊緣切除多餘的部分；在所述掩模板的外圍開設至少一排緩衝孔；在掩模板的中間開設所述蒸鍍孔，並使所述緩衝孔與蒸鍍孔平行設置。
8.如權利要求7所述的製造方法，其特徵在於，所述沿板框的外邊緣切除多餘的部分的步驟具體為採用雷射工藝將所述多餘部分切除。
9.如權利要求7所述的製造方法，其特徵在於，所述在蒸鍍孔的外圍開設至少一排緩衝孔的步驟具體包括沿掩模板的橫向開設N列蒸鍍孔，沿縱向設置有M行蒸鍍孔，每行蒸鍍孔的左右兩邊分別開設一個所述緩衝孔，每列蒸鍍孔的上下兩邊亦分別開設一個所述緩衝孔，或者每個所述蒸鍍孔內部設置有條形網格，在所述蒸鍍孔外設置有一排或一列緩衝孔，每排緩衝孔為N個，每列緩衝孔為M個，並分別與所述網格平行設置。
10.如權利要求7所述的製造方法，其特徵在於，所述在掩模板上位於板框內處開設所述蒸鍍孔的步驟具體為採用雷射切割工藝或化學蝕刻工藝開設所述蒸鍍孔。
全文摘要
本發明涉及一種蒸鍍用掩模板及其製造方法，包括板框和拉平固定於板框上的掩模板，掩模板上設置有規則排列的多個蒸鍍孔，所述多個蒸鍍孔位於掩模板的中央，所述蒸鍍孔的外圍設置有至少一排緩衝孔，緩衝孔與所述蒸鍍孔平行設置。本發明可使得在蒸鍍用掩模板製造完成後，掩模板上的蒸鍍孔不會發生變形，在生產大尺寸的蒸鍍用掩模板時，效果更加明顯，因此可以有效地提高掩模板的精度，顯著提升OLED顯示屏特別是大尺寸OLED顯示屏的製造精度，降低製造成本。
文檔編號C23C14/04GK103014618SQ20121056966
公開日2013年4月3日 申請日期2012年12月25日 優先權日2012年12月25日
發明者唐軍 申請人:唐軍, 錢超