一種新型大氣壓射流冷等離子發生器的製作方法
2024-02-20 00:31:15 1
專利名稱：一種新型大氣壓射流冷等離子發生器的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及等離子體處理裝置領域，具體涉及一種新型大氣壓射流冷等離子
體發生器領域。
背景技術：
大氣壓介質阻擋放電產生的等離子體在材料表面改性、滅菌、等離子體清洗等方面有著廣泛的應用，但由於介質阻擋放電電極空隙的間距一般只有幾個毫米，因此被處理的物體形狀受到了限制，從而限制了大氣壓介質阻擋放電的應用。而採用介質阻擋放電產生射流冷等離子體主要是在裝置的噴嘴口處形成較長的射流冷等離子體，這樣被處理的物體可以放置在噴嘴口處即可被等離子體處理，物體形狀不再受電極間距的限制。然而，目前大多數射流冷等離子體介質阻擋放電的裝置，大多採用圓柱形內電極和相近長度同軸的管狀外電極組成，兩電極間用石英或陶瓷管隔開，內電極與射頻功率耦合或接高壓電源高壓端，外電極接地。儘管這種裝置噴嘴口位置能夠產生射流冷等離子體，但是很大部分的等離子體的放電是在兩電極之間產生，而一般情況下這是我們不需要的，並且由於電極間的放電而產生的較高溫度，導致一般需要採取冷卻措施，不便於手持可攜式操作。
實用新型內容本實用新型要解決的技術問題是提供一種新型大氣壓射流冷等離子體發生器，能夠避免或減少電極間的放電，從而降低電源功率在電極間的損耗，降低裝置運行溫度，提高裝置運行的穩定性和便攜性。 為解決上述問題，本實用新型的技術方案如下 —種新型大氣壓射流冷等離子發生器，包括有絕緣管，其特徵在於所述絕緣管前端放置有環形片狀金屬電極，並被絕緣套包覆著，所述絕緣管的尾部開有一進氣孔，所述的絕緣管內橫穿有內金屬電極，所述的內金屬電極一端穿過所述絕緣管的末端，所述的內金屬電極另一端伸展到所述絕緣管的前端，並在所述的絕緣管前端出口處形成射流等離子體區，所述的內金屬電極位於絕緣管中心。
所述的新型大氣壓射流冷等離子發生器，其特徵在於當所述的新型大氣壓射流
冷等離子發生器為雙介質放電時，所述的內金屬電極外壁還包覆有一層絕緣管套。
所述的新型大氣壓射流冷等離子發生器，其特徵在於所述的內金屬電極為圓柱形。
所述的新型大氣壓射流冷等離子發生器，其特徵在於當所述的新型大氣壓射流
冷等離子發生器為雙介質放電時，所述的內金屬電極外壁還包覆有一層絕緣管套。
所述的新型大氣壓射流冷等離子發生器，其特徵在於所述的內金屬電極為圓柱形。
本實用新型的有益效果 本實用新型可以在不減少等離子體射流大小的前提下，減少了放電區域，降低了工作溫度，便於手持便攜操作，結構簡單，且運行可靠。
圖1為本實用新型(單介質阻擋放電)結構示意圖。[0013] 圖2為本實用新型(雙介質阻擋放電)結構示意圖。
具體實施方式參見圖1、2，一種新型大氣壓射流冷等離子發生器，包括有絕緣管l，其特徵在於絕緣管1前端的外側包括絕緣套2，絕緣套2內放置有有環形片狀外金屬電極3，絕緣管1的尾部開一進氣孔4，圓柱形內金屬電極5向內貫穿於絕緣管1並延伸到絕緣管1的前端，並在絕緣管1前端出口處形成射流等離子體區6，圓柱形內金屬電極5位於絕緣管中心位置。[0015] 當新型大氣壓射流冷等離子發生器為雙介質放電時，圓柱形內金屬電極5外壁還包覆有一層絕緣管套7。 內金屬電極5放置在絕緣管1內，一端在絕緣管1前端的射流等離子體區6，另一端接高壓電源高壓端(或地)，外金屬電極3放置在絕緣管1前端，並被絕緣套2包覆著，兩電極之間的間距包括絕緣管的厚度和間隙在幾個毫米範圍，可根據實際需要作相應的調整，當從絕緣管1的尾部進氣口 4通入等離子體工作氣體(如He、Ar、CF4、^、空氣等)，同時接通高頻高壓電源(典型工作電壓為幾kv到20kv之間，頻率20k 100kHz)，射流等離子體區6形成射流等離子體。
權利要求一種新型大氣壓射流冷等離子發生器，包括有絕緣管，其特徵在於所述絕緣管前端放置有環形片狀金屬電極，並被絕緣套包覆著，所述絕緣管的尾部開有一進氣孔，所述的絕緣管內橫穿有內金屬電極，所述的內金屬電極一端穿過所述絕緣管的末端，所述的內金屬電極另一端伸展到所述絕緣管的前端，並在所述的絕緣管前端出口處形成射流等離子體區，所述的內金屬電極位於絕緣管中心。
2. 根據權利要求1所述的新型大氣壓射流冷等離子發生器，其特徵在於當所述的新 型大氣壓射流冷等離子發生器為雙介質放電時，所述的內金屬電極外壁還包覆有一層絕緣 管套。
3. 根據權利要求1所述的新型大氣壓射流冷等離子發生器，其特徵在於所述的內金 屬電極為圓柱形。
專利摘要本實用新型公開了一種新型大氣壓射流冷等離子發生器，包括有絕緣管，其特徵在於所述絕緣管前端的外側包括有環形翻折，所述環形翻折的內放置有環形片狀外金屬電極，所述絕緣管的末端呈彎折狀，形成進氣口，所述的絕緣管內橫穿有內金屬電極，所述的內金屬電極一端穿過所述的絕緣管的彎折端，所述的內金屬電極另一端伸展到所述絕緣管的前端，並在所述的絕緣管前端出口處形成射流等離子體區，所述的內金屬電極位於絕緣管中心。本實用新型可以在不減少等離子體射流大小的前提下，減少了放電區域，降低了工作溫度，便於手持便攜操作，結構簡單，且運行可靠。
文檔編號H05H1/26GK201528464SQ20092018765
公開日2010年7月14日 申請日期2009年9月18日 優先權日2009年9月18日
發明者倪國華, 蘭彥, 程誠 申請人:中國科學院等離子體物理研究所