基於液壓驅動方式的掃描電鏡下原位拉伸/壓縮測試平臺的製作方法

2023-12-11 17:50:37 2

專利名稱：基於液壓驅動方式的掃描電鏡下原位拉伸/壓縮測試平臺的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及機電領域，特別涉及一種基於液壓驅動方式的掃描電鏡下原位拉伸/壓縮測試平臺。其可藉助液壓驅動方式實現在掃描電子顯微鏡(SEM)的真空腔體內的原位拉伸/壓縮測試，並與X射線衍射儀、原子力顯微鏡(AFM)、拉曼光譜儀及光學顯微鏡等具有開放式成像環境的儀器具有良好的結構兼容性，在測試材料自身的力學性能基礎上，可開展在上述儀器的動態監測下對應應カ或應變水平下材料的裂紋萌生、擴展、變形及破壞機制的深入研究，為掲示材料在微米尺度下的力學服役行為和變形損傷機制提供了測試手段。
技術背景材料的力學性能指的是各種不同工作情況(負載、扭矩、速度、溫度等)下，從開始受載荷作用直至失效破壞的全過程中所呈現出的力學特性，如彈性、塑性、強度、剛度、硬度、衝擊韌性、延伸性、持久極限和蠕變等，通過力學測試得到的重要力學參數有彈性模量、屈服極限、抗拉強度、伸長率、硬度、衝擊韌性、疲勞極限、蠕變斷裂強度及應カ鬆弛等。拉伸模式下的材料力學性能測試是最直接、最有效的用於彈性模量、屈服極限、伸長率等力學參數測定的有效手段。液壓技術應用廣泛，它作為エ業自動化的ー種重要的基礎技術，已經與傳感技木、信息技術、微電子技術緊密結合，形成並發展成為包括傳動、檢測、在線控制的綜合自動化技木。液壓傳動相對於氣壓傳動及機械傳動方式具有明顯的優點，具體表現為(1)在同等的體積下，液壓裝置能產生出更大的驅動カ；在同等功率下，液壓裝置體積較小，功率密度大，結構緊湊，傳動環節較少；(2)液壓裝置傳動平穩，由於其重量輕、慣性小，因此響應速度較快，易於實現快速啟動、制動和頻繁換向；(3)液壓裝置易於實現過載保護，液壓缸和液壓馬達都能長期在堵轉狀態下工作而不發生過熱；(4)液壓傳動易於實現自動化，對液壓油壓力、流量或流動方向均易於調控；(5)液壓系統設計、製造和使用維護方便，液壓元件屬於機械エ業基礎件，以實現了標準化、系列化和通用化；(6)液壓裝置能在較大範圍內實現無級調速，亦可在運動過程中進行調速。同時，在材料的力學測試過程中，結合電子顯微鏡、X射線衍射儀、拉曼光譜儀、原子力顯微鏡和或光學顯微鏡等成像儀器對材料發生的微觀變形、損傷直至失效破壞的過程進行全程動態監測，可對材料的微觀力學行為和變形損傷機制進行深入研究，並從中發現更為新穎的現象和規律，因受掃描電子顯微鏡等成像儀器的腔體空間限制，現有研究中的原位力學測試主要針對微構件，因尺寸效應的存在，用微構件所表現出的力學性能表徵宏觀材料缺乏一定的可信性，即就較大尺寸試件所開展的有關測試將更有利於研究材料及其製品服役狀態下的真實力學行為與變形損傷機制，進一歩，目前掃描電鏡下的原位拉伸カ學測試，主要藉助商業化的扭轉試驗機進行的原位拉伸測試，針對微尺度構件均基於微機電系統及聚焦離子束等エ藝方法，且研究對象均為低維材料，如碳納米管、納米線及薄膜材料等，缺少對宏觀尺寸(薄膜材料或三維試件)的跨尺度原位力學測試，針對特徵尺寸釐米級以上的材料，大多使用步進電機結合大減速比減速器的方式進行傳動，往往在特定空間尺寸內實現的載荷量程不大，因此被測試件多局限於具有較寬尺寸薄膜材料，也難以深入研究載荷變化對三維宏觀材料力學行為和變形、損傷機制的影響規律。如上所述，利用液壓驅動方式研製的拉伸/壓縮模式下的材料性能測試平臺能在相對小體積空間下實現較大載荷，且能夠實現無級調速並無過多傳動環節，如能實現與掃描電子顯微鏡等成像儀器的兼容，就可在微觀尺度下研究載荷作用下宏觀材料的上述性能。因此，設計一種輸出載荷大、體積小巧、結構緊湊，測試精度高，能夠利用電子顯微鏡等成像系統在線監測，且針對特徵尺寸釐米級以上宏觀試件進行拉伸/壓縮模式下的材料力學性能測試平臺已十分必要。
發明內容本實用新型的目的在於提供一種基於液壓驅動方式的掃描電鏡下原位拉伸/壓 縮測試平臺，解決了現有技術存在的上述問題。其與Zeiss EVO 18掃描電子顯微鏡具有良好的結構兼容性、真空兼容性和電磁兼容性，同時，亦可安裝於其他具有類似腔體結構和成像條件的掃描電子顯微鏡中，此外，測試平臺與拉曼光譜儀、X射線衍射儀、原子力顯微鏡及光學顯微鏡等具有開放式載物及成像條件的儀器均具有結構兼容性，可結合上述儀器對材料的裂紋萌生、擴展及變形、斷裂機制的深入研究，結合液壓伺服閥的精密流量控制，可實現超低速率下的拉伸測試。同時測試平臺可實現對載荷、位移信號的同步精密採集，並可自動擬合出材料在載荷作用下的應カ應變曲線，進而對彈性模量、屈服極限、斷裂極限、伸長率等力學參數的準確評價。本實用新型的上述目的通過以下技術方案實現基於液壓驅動方式的掃描電鏡下原位拉伸/壓縮測試平臺，包括液壓驅動単元、載荷/位移信號檢測及控制單元以及夾持及支撐單元；所述液壓驅動單元由液壓缸11、油箱26、濾油器27、電機28、液壓泵29、溢流閥30、節流閥31及電液伺服閥32組成，其中，所述液壓缸11的輸出端活塞杆23通過活塞杆連接螺釘13分別於夾具體支撐架I I及力傳感器支撐架8剛性連接，進油管路25與出油管路20分別與電液伺服閥32的輸出端連接，液壓驅動力由電機28帶動液壓泵29將油箱26中的液壓油經濾油器27運送至電液伺服閥32的輸入端，溢流閥30及節流閥31分別置於在此液壓迴路中；同時，通過電液伺服閥32的精密流量控制，使液壓缸11軸端的活塞杆23輸出不同速率的單軸異嚮往復運動；所述載荷/位移信號檢測及控制單元由位移傳感器3及拉壓カ傳感器7組成，其中，所述位移傳感器3的基體部分通過位移傳感器緊固螺釘33的壓緊方式與夾具體支撐架II 5連接，位移傳感器3的前端弾性探頭通過探頭連接螺釘14與夾具體支撐架I I剛性連接，即位移傳感器3實際檢測到的變形量為用於夾持試件10的夾具體支撐架I、II 1、5之間的相對變形；所述拉壓力傳感器7的軸端外螺紋分別與夾具體支撐架II 5及力傳感器支撐架8剛性連接，並與試件10同軸、共面安裝；同時，位移傳感器3與拉壓カ傳感器7可分別為電液伺服閥32的精密流量反饋控制提供模擬量或數字量反饋源；所述的夾持及支撐單元由光槓I、11 2、12、夾具體支撐架I、11 1、5、基座9直線軸承4、壓板17、活塞杆緊固螺釘13、力傳感器支撐架8及試件10組成，其中，所述光槓I 2通過直線軸承4分別與夾具體支撐架I、II 1、5套接，所述光槓II 12通過直線軸承分別與夾具體支撐架I I及力傳感器支撐架8套接，所述光槓I、II 2、12的軸端部分安裝於基座9及光槓壓板15之間，並通過光槓緊固螺釘6壓緊。本實用新型所述的夾具體支撐架I、II 1、5及壓板17與試件10的接觸面均帶有滾花狀的陣列結構，用於提高夾持的可靠性及穩定性。本實用新型所述的液壓缸11的缸桶21兩端分別連接端蓋18，並通過端蓋密封圈19與活塞杆23套接；在活塞22與缸桶21間設置活塞密封圈24 ;活塞杆23分別與夾具體支撐架I I及カ傳感支撐架8剛性連接，通過電液伺服閥32的精密流量控制，實現液壓缸11的兩組活塞杆23的精密單軸異向同速運動，結合掃描電子顯微鏡等成像儀器的原位觀測，在進行拉伸或壓縮測試過程中，可確保被測試件10的擬定觀測點始終處於成像視野區域的中央。利用此液壓驅動方式，可實現超過5000N的輸出載荷，亦可實現在20mm以上範圍內的無級調速功能。 本實用新型所述的光槓I、II 2、12通過四組直線軸承4分別與夾具體支撐架I、II 1、5及力傳感器支撐架8套接，在拉伸/壓縮測試過程中夾具體支撐架I、11 1、5及カ傳感器支撐架8分別通過直線軸承4導向，從而確保試件10及拉壓カ傳感器7處於單軸拉伸/壓縮狀態，亦可確保位移傳感器3所檢測的位移為試件10在單軸拉壓載荷作用下的軸向
變形量。本實用新型所述的基座9及光槓壓板15與光槓I、II 2、12的接觸面均設置半圓形凹槽，以便光槓I、II 2、12及測試平臺主體部分可整體安裝於基座9上，並通過光槓緊固螺釘6進行壓紫。本實用新型所述的測試平臺主體尺寸為145mmX38mmX 104mm,與Zeiss EVO 18型掃描電子顯微鏡具有良好的結構兼容性、真空兼容性及電磁兼容性，亦可安裝於X射線衍射儀、拉曼光譜儀、光學顯微鏡及原子力顯微鏡的載物平臺上，亦可與上述具有開放式成像環境的儀器具有結構兼容性。本實用新型的有益效果在於與現有技術相比，本實用新型通過電液伺服閥控制帶有雙活塞杆的液壓缸來實現單軸異向的拉伸/壓縮運動，同時，本實用新型體積小巧，結構緊湊，輸出載荷大，可實現超過5000N的加載能力及20mm以上的拉伸/壓縮行程，可實現無級變速的應變速率，與Zeiss EVO 18型掃描電子顯微鏡兼容使用，應用範圍廣泛，亦可安裝於其他具有類似腔體結構和成像條件的掃描電子顯微鏡中，此外，測試平臺與拉曼光譜儀、X射線衍射儀、原子力顯微鏡及光學顯微鏡等具有開放式載物及成像條件的儀器均具有結構兼容性，可結合上述儀器對材料的裂紋萌生、擴展及變形、斷裂機制的深入研究。可在Zeiss EVO 18型掃描電子顯微鏡下對材料的裂紋萌生、擴展及變形、斷裂機制的深入研究，結合液壓伺服控制系統的精密流量控制，可實現超低速率下的拉伸/壓縮測試。同時測試平臺可實現對載荷、位移信號的同步精密採集，並可自動擬合出材料在載荷作用下的應カ應變曲線，進而對彈性模量、屈服極限、斷裂極限、伸長率等力學參數進行準確評價。相比現有研究中基於微機電系統及聚焦離子束等エ藝方法所進行測試的納米管、線等微構件，以及利用步進電機結合較大減速比針對具有宏觀寬度的薄膜材料所進行的力學測試，本實用新型所針對的測試對象為特徵尺寸釐米級以上宏觀試件，因其避免尺寸效應的問題，因此測試結果更具有可靠性和可信性。同吋，並通過載荷/位移信號的同步檢測，結合相關算法，亦可自動擬合生成載荷作用下的應力-應變 曲線。綜上所述，本實用新型對豐富原位力學測試內容和促進材料力學性能測試技術及裝備具有重要的理論意義和良好的應用開發前途。

此處所說明的附圖用來提供對本實用新型的進ー步理解，構成本申請的一部分，本實用新型的示意性實例及其說明用於解釋本實用新型，並不構成對本實用新型的不當限定。圖I為本實用新型的整體外觀結構示意圖；圖2為本實用新型的俯視示意圖；圖3為本實用新型的主視示意圖；圖4為本實用新型的液壓缸的剖視結構示意圖；圖5為本實用新型的液壓缸的整體外觀結構示意圖；圖6為本實用新型的液壓控制系統的迴路結構示意圖。圖中1.夾具體支撐架I、2.光槓I、3.位移傳感器、4.直線軸承、5.夾具體支撐架II、6.光槓緊固螺釘、7.拉壓カ傳感器、8.カ傳感器支撐架、9.基座、10.試件、11.液壓缸、12.光槓II、13.活塞杆連接螺釘、14.探頭連接螺釘、15.光槓壓板、16.壓板緊固螺釘、17.壓板、18.端蓋、19.端蓋密封圏、20.出油管路、21.缸桶、22.活塞、23.活塞杆、24.活塞密封圏、25.進油管路、26.油箱、27.濾油器、28.電機、29.液壓泵、30.溢流閥、31.節流閥、32.電液伺服閥、33.位移傳感器緊固螺釘。
具體實施方式
以下結合附圖進ー步說明本實用新型的詳細內容及其具體實施方式
。參見圖I至圖6，本實用新型的基於液壓驅動方式的掃描電鏡下原位拉伸/壓縮測試平臺，包括液壓驅動単元、載荷/位移信號檢測及控制單元以及夾持及支撐單元；所述液壓驅動單元由液壓缸11、油箱26、濾油器27、電機28、液壓泵29、溢流閥30、節流閥31及電液伺服閥32組成，其中，所述液壓缸11的輸出端活塞杆23通過活塞杆連接螺釘13分別於夾具體支撐架I I及力傳感器支撐架8剛性連接，進油管路25與出油管路20分別與電液伺服閥32的輸出端連接，液壓驅動力由電機28帶動液壓泵29將油箱26中的液壓油經濾油器27運送至電液伺服閥32的輸入端，溢流閥30及節流閥31分別置於在此液壓迴路中洞時，通過電液伺服閥32的精密流量控制，使液壓缸11軸端的活塞杆23輸出不同速率的單軸異嚮往復運動；所述載荷/位移信號檢測及控制單元由位移傳感器3及拉壓カ傳感器7組成，其中，所述位移傳感器3的基體部分通過位移傳感器緊固螺釘33的壓緊方式與夾具體支撐架II 5連接，位移傳感器3的前端弾性探頭通過探頭連接螺釘14與夾具體支撐架I I剛性連接，即位移傳感器3實際檢測到的變形量為用於夾持試件10的夾具體支撐架I、II 1、5之間的相對變形；所述拉壓力傳感器7的軸端外螺紋分別與夾具體支撐架II 5及力傳感器支撐架8剛性連接，並與試件10同軸、共面安裝；同時，位移傳感器3與拉壓カ傳感器7可分別為電液伺服閥32的精密流量反饋控制提供模擬量或數字量反饋源；所述的夾持及支撐單元由光槓I、11 2、12、夾具體支撐架I、11 1、5、基座9直線軸承4、壓板17、活塞杆緊固螺釘13、力傳感器支撐架8及試件10組成，其中，所述光槓I 2通過直線軸承4分別與夾具體支撐架I、II 1、5套接，所述光槓II 12通過直線軸承分別與夾具體支撐架I I及力傳感器支撐架8套接，所述光槓I、II 2、12的軸端部分安裝於基座9及光槓壓板15之間，並通過光槓緊固螺釘6壓緊。本實用新型所述的夾具體支撐架I、II 1、5及壓板17與試件10的接觸面均帶有滾花狀的陣列結構，用於提高夾持的可靠性及穩定性。參見圖4及圖5，本實用新型所述的液壓缸11的缸桶21兩端分別連接端蓋18，並 通過端蓋密封圈19與活塞杆23套接；在活塞22與缸桶21間設置活塞密封圈24 ;活塞杆23分別與夾具體支撐架I I及カ傳感支撐架8剛性連接，通過電液伺服閥32的精密流量控制，實現液壓缸11的兩組活塞杆23的精密單軸異向同速運動，結合掃描電子顯微鏡等成像儀器的原位觀測，在進行拉伸或壓縮測試過程中，可確保被測試件10的擬定觀測點始終處於成像視野區域的中央。利用此液壓驅動方式，可實現超過5000N的輸出載荷，亦可實現在20mm以上範圍內的無級調速功能。本實用新型所述的光槓I、II 2、12通過四組直線軸承4分別與夾具體支撐架I、II 1、5及力傳感器支撐架8套接，在拉伸/壓縮測試過程中夾具體支撐架I、11 1、5及カ傳感器支撐架8分別通過直線軸承4導向，從而確保試件10及拉壓カ傳感器7處於單軸拉伸/壓縮狀態，亦可確保位移傳感器3所檢測的位移為試件10在單軸拉壓載荷作用下的軸向
變形量。本實用新型所述的基座9及光槓壓板15與光槓I、II 2、12的接觸面均設置半圓形凹槽，以便光槓I、II 2、12及測試平臺主體部分可整體安裝於基座9上，並通過光槓緊固螺釘6進行壓紫。本實用新型所述的測試平臺主體尺寸為145_X38_X 104mm,與Zeiss EVO 18型掃描電子顯微鏡具有良好的結構兼容性、真空兼容性及電磁兼容性，亦可安裝於X射線衍射儀、拉曼光譜儀、光學顯微鏡及原子力顯微鏡的載物平臺上，亦可與上述具有開放式成像環境的儀器具有結構兼容性。參見圖I至圖5，本實用新型所涉及的基於液壓驅動方式的掃描電鏡下原位拉伸/壓縮測試平臺，該裝置主體部分的整體尺寸為145mmX38mmX 104mm，是根據Zeiss EVO 18掃描電鏡的真空腔體尺寸和成像條件所設計的，同時可與主流成像儀器的兼容使用，即可安裝於各種主流掃描電子顯微鏡和其他成像儀器的腔體內或載物臺上。測試裝置中具體的元器件和具體型號為電液伺服閥32的型號為M0G072、拉壓カ傳感器7的型號為UNIPULSE5000N、位移傳感器3的型號為WYM-I型。拉伸/壓縮測試過程中，位移傳感器3及拉壓カ傳感器7用於對載荷/位移信號的同步精密檢測，兩路傳感器分別具有的5000N及20mm的量程，經過細分處理之後，兩路信號能夠達到的測試解析度分別為IN及I y m，載荷/位移模擬或數位訊號可為電液伺服閥32的精密流量閉環控制提供反饋源，被測試件10的長度範圍為8-40mm,最大寬度可達6mm。本實用新型在具體的測試過程前，需要對被測試件10通過線切割等加工方式試製出特定形狀，必要時可在被測試件10的最小截面處預製出缺ロ以形成應カ集中區，便於對材料裂紋萌生及擴展的原位觀測，同時被測試件需要做單拋處理，或通過化學腐蝕等處理方式得到特定的金相，然後將被測試件安裝於夾具體支撐架I、II 1、5帶有滾化狀結構的表面處，並通過壓板17及壓板緊固螺釘16進行壓緊以完成夾持動作，在夾持過程中，試件10的夾持部分寬度與壓板緊固螺釘16的兩條內母線的距離一致，以此保證試件10的同軸定位。具體測試過程中，由電機28帶動液壓泵29旋轉，液壓泵29從油箱26經過濾油器27吸油，液壓油通過節流閥31進入電液伺服閥32中，並通過精密流量控制經進油管25進入液壓缸的無杆腔內，進而推動兩組活塞杆25實現同軸異向的同步直線運動，同時，測試過程中試件10所受的精密拉伸カ由拉壓カ傳感器7進行檢測；同時試件的拉伸變形量由位移傳感器3同步拾取，兩路信號通過模數轉換並進行必要的信號調理後送入計算機。在測試的整個過程中，被測試件10在載荷作用下材料的變形損傷情況由高放大倍率的掃描電子顯微鏡成像系統進行動態監測，並可同時記錄圖像，結合上位機調試軟體亦可實時獲取表徵材料力學性能的載荷-變形曲線、應力-應變曲線、弾性模量、屈服極限、伸長率等重要力學參數。以上所述僅為本實用新型的優選實例而已，並不用於限制本實用新型，對於本領域的技術人員來說，本實用新型可以有各種更改和變化。凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護範圍之內。
權利要求1.一種基於液壓驅動方式的掃描電鏡下原位拉伸/壓縮測試平臺，其特徵在幹包括液壓驅動単元、載荷/位移信號檢測及控制單元以及夾持及支撐單元；所述液壓驅動單元由液壓缸(11)、油箱(26)、濾油器(27)、電機(28)、液壓泵(29)、溢流閥(30)、節流閥(31)及電液伺服閥(32)組成，其中，所述液壓缸(11)的輸出端活塞杆(23)通過活塞杆連接螺釘(13)分別於夾具體支撐架I (I)及力傳感器支撐架(8)剛性連接，進油管路(25)與出油管路(20)分別與電液伺服閥(32)的輸出端連接，液壓驅動力由電機(28)帶動液壓泵(29)將油箱(26)中的液壓油經濾油器(27)運送至電液伺服閥(32)的輸入端，溢流閥(30)及節流閥(31)分別置於在此液壓迴路中；同時，通過電液伺服閥(32)的精密流量控制，使液壓缸(11)軸端的活塞杆(23)輸出不同速率的單軸異嚮往復運動； 所述載荷/位移信號檢測及控制單元由位移傳感器(3)及拉壓カ傳感器(7)組成，其中，所述位移傳感器(3)的基體部分通過位移傳感器緊固螺釘(33)與夾具體支撐架II (5)連接，位移傳感器(3)的前端弾性探頭通過探頭連接螺釘(14)與夾具體支撐架I (I)剛性連接，即位移傳感器(3)實際檢測到的變形量為用於夾持試件(10)的夾具體支撐架I、II(1、5)之間的相對變形；所述拉壓力傳感器(7)的軸端外螺紋分別與夾具體支撐架II (5)及力傳感器支撐架(8)剛性連接，並與試件(10)同軸、共面安裝；同時，位移傳感器(3)與拉壓力傳感器(7)可分別為電液伺服閥(32)的精密流量反饋控制提供模擬量或數字量反饋源； 所述的夾持及支撐單元由光槓I、II (2、12)、夾具體支撐架I、II (1、5)、基座(9)直線軸承(4)、壓板(17)、活塞杆緊固螺釘(13)、力傳感器支撐架(8)及試件(10)組成，其中，所述光槓1(2)通過直線軸承(4)分別與夾具體支撐架I、II (I、5)套接，所述光槓II (12)通過直線軸承分別與夾具體支撐架I (I)及力傳感器支撐架(8)套接，所述光槓I、11(2、12)的軸端部分安裝於基座(9)及光槓壓板(15)之間，並通過光槓緊固螺釘(6)壓緊。
2.根據權利要求I所述的基於液壓驅動方式的掃描電鏡下原位拉伸/壓縮測試平臺，其特徵在於所述的夾具體支撐架I、II (1、5)及壓板(17)與試件(10)的接觸面均帶有滾花狀的陣列結構。
3.根據權利要求I所述的基於液壓驅動方式的掃描電鏡下原位拉伸/壓縮測試平臺，其特徵在於所述的液壓缸(11)的缸桶(21)兩端分別連接端蓋(18)，並通過端蓋密封圈(19)與活塞杆(23)套接；在活塞(22)與缸桶(21)間設置活塞密封圈(24);活塞杆(23)分別與夾具體支撐架I (I)及カ傳感支撐架(8)剛性連接，通過電液伺服閥(32)的精密流量控制，實現液壓缸(11)的兩組活塞杆(23)的精密單軸異向同速運動。
4.根據權利要求I所述的基於液壓驅動方式的掃描電鏡下原位拉伸/壓縮測試平臺，其特徵在於所述的光槓I、II (2,12)通過四組直線軸承(4)分別與夾具體支撐架I、II(1、5)及力傳感器支撐架(8)套接，夾具體支撐架I、II (1、5)及力傳感器支撐架(8)分別通過直線軸承(4)導向。
5.根據權利要求I所述的基於液壓驅動方式的掃描電鏡下原位拉伸/壓縮測試平臺，其特徵在於所述的基座(9)及光槓壓板(15)與光槓I、II (2、12)的接觸面均設置半圓形凹槽。
6.根據權利要求I至5中任意一項所述的基於液壓驅動方式的掃描電鏡下原位拉伸/壓縮測試平臺，其特徵在於所述的測試平臺主體尺寸為145mmX38mmX 104mm。
專利摘要本實用新型涉及一種基於液壓驅動方式的掃描電鏡下原位拉伸/壓縮測試平臺，屬於機電領域。包括由液壓缸、油箱、濾油器、電機、液壓泵、溢流閥、節流閥及電液伺服閥組成的液壓驅動單元；由位移傳感器及拉壓力傳感器組成的載荷/位移信號檢測及控制單元；由光槓、夾具體支撐架、基座直線軸承、壓板、力傳感器支撐架及試件組成的夾持及支撐單元。優點在於體積小巧、結構緊湊、輸出載荷大，可實現無級變速加載，與光學顯微鏡、拉曼光譜儀及X射線衍射儀等具有開放式空間結構的顯微成像系統均具有良好的結構兼容性，亦可結合上述儀器，開展對特徵尺寸釐米級試件在拉伸/壓縮載荷作用下的微觀力學行為和變形損傷機制進行深入研究。
文檔編號G01N3/02GK202403967SQ20112051383
公開日2012年8月29日 申請日期2011年12月12日 優先權日2011年12月12日
發明者萬順光, 李秦超, 王開廳, 胡曉利, 趙宏偉, 馬志超, 黃虎 申請人:吉林大學