極薄水晶片測定分類裝置的製作方法
2023-05-06 14:08:21
專利名稱：極薄水晶片測定分類裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種將極小且極薄的水晶片進行檢查，分類等的過程，使用移送用的搬運裝置的極薄水晶片測定分類裝置。特別是涉及一種在檢查水晶片的過程中，將不損傷水晶片的狀態下，能夠安全且穩定地供給搬送水晶片的極薄水晶片測定分類裝置。
背景技術：
在檢查水晶片用的測定分類裝置中，在水平配置的水晶片搬送部裡，從零件進給裝置接受水晶片，從檢查站進行檢查，按照檢查結果進行分類。
請參閱圖8所示，為使用現有的選取放置裝置，從零件進給裝置拾起水晶片的狀況。零件進給裝置是由球狀進給器與直進進給器所構成。在球狀進給器的排出端配置直接進給器的直接進給滑槽。在直接進給滑槽的排出端設有止動板(圖中未示出)。用選取放置裝置撿起送到末端的水晶片。選取放置裝置的臂杆65設有支持吸嘴63。吸嘴63通過吸取用空氣管64而連接於真空源。
直接進給器滑槽61的表面成為水晶片1的滑動面，安裝有邊緣板62以便調整邊緣的突出量調整成為1片水晶片的厚度。直接進給器滑槽61對水平面傾斜15-20度左右，以便留下所重疊的水晶片中最下段的水晶片而使上側的水晶片自然落下而構成。另外，設有導承板66以便導承水晶片1沿著邊緣板62而前進。
為了吸取水晶片1而下降選取放置裝置，在下降的位置用吸嘴63吸取水晶片1。
然而，因為吸嘴63的下端面與水晶片1並非平行，所以吸嘴63不能吸取水晶片1的中心而會發生保持位置偏差現象。以選取放置裝置吸取搬送該狀態的水晶片而要放進搬送部的凹處時，有時會發生水晶片1的損傷。或者會發生未進入凹處而散亂在周圍的情形。
又，球狀進給器雖然圖中未示出，但其水晶片滑動面60(圖8中以虛線表示)是與水平面呈傾斜30-45度左右。
直接進給器滑槽61的傾斜角在15-20度左右，其是考慮前述的選取放置動作而設定為小於前述球狀進給器的角度。因此，在球狀進給器與直接進給器滑槽的連接處可能會阻礙供給水晶片的穩定性。
發明內容
最近，廣泛的使用與現有的水晶片相比較，極薄且小型的水晶片，為了要得到較高的振蕩頻率，其厚度只有10數微米，為適應小型的機器，其面積為例如1mm×2mm，所謂極薄的水晶片的需要日益增加，要處理該水晶片是非常困難的。
本發明的目的在於提供一種極薄水晶片測定分類裝置，克服測定分類裝置存在的問題，而不會在供給及輸送時損傷極薄水晶片，經常能夠安全且穩定地供給搬送的水晶片測定分類裝置。
本發明所要解決的主要技術問題在於，克服現有的測定分類裝置存在的缺陷，而提供一種新型結構的極薄水晶片測定分類裝置，將從零件進給裝置揀取的極薄水晶片，用旋轉搬送部搬送的過程中，進行特性的測定，根據前述測定的結果予以分類。
本發明解決其技術問題還可以採用以下技術措施來進一步實現。
前述極薄水晶片測定分類裝置的零件進給裝置是由水平配置的球狀進給器與前述球狀進給器的零件滑動面的傾斜角，及直接進給器滑槽的零件滑動面的傾斜角是傾斜成相同的角度的零件進給裝置所組成。
前述極薄水晶片測定分類裝置的旋轉搬送部是將前述旋轉中心軸傾斜而配置，以軸為中心而旋轉的吸嘴的下端面能夠與前述直接進給器滑槽的零件滑動面成平行而構成。
前述極薄水晶片測定分類裝置的旋轉搬送部是在圓周上以等間隔配置數個吸嘴，具備有該間隔的分割及旋轉機構，以及在上升位置與下降位置間移動的上下移動機構，使各吸嘴在下降位置撿取的極薄水晶片的定位機構。
前述極薄水晶片測定分類裝置的直接進給滑槽的水晶片的滑動面設定成與前述球狀進給器的水晶片滑動面的傾斜角呈30-45度相同的角度。
本發明與現有技術相比具有明顯的優點和有益效果。由以上技術方案可知，本發明供給極薄水晶片的球狀進給器的極薄水晶片的滑動面的傾斜角，與直接進給器滑槽的極薄水晶片的滑動面的傾斜角呈相同的角度，因此，可消除極薄水晶片的溫度供給，在球狀進給器與直接進給器滑槽的接頭處受到阻礙的現象。
本裝置的旋轉搬送部是對水平面傾斜成與直接進給器滑槽的極薄水晶片的滑動面的傾斜角同樣角度，籍以使吸嘴能夠垂直地吸引極薄水晶片的中心，因此儘量能使吸嘴接近極薄水晶片而吸引，能夠實行穩定的撿取水晶片的作業。
再者，使用本發明的裝置時，以吸嘴吸住極薄水晶片的狀態下，決定極薄水晶片的位置，可實行無接觸的特性的測定。因此，從零件進給裝置撿取極薄水晶片之後，一直到極薄水晶片放進分類收容箱為止，均未分離極薄水晶片，因此絕無在搬送途中損傷極薄水晶片或使水晶片散亂在周圍的現象，能夠安全且穩定地搬送。
綜上所述，本發明極薄水晶片測定分類裝置，其在技術發展空間有限的領域中，不論在結構上或功能上皆有較大的改進，且在技術上有較大的進步，並產生了好用及實用的效果，而確實具有增進的功效，從而更加適於實用，誠為一新穎、進步、實用的新設計。
本發明的具體實施方式
由以下實施例及其附圖詳細給出。
圖1是本發明的極薄水晶片測定分類裝置的主要部件的側視圖。
圖2是圖1中X-X方向所視的平面圖。
圖3是圖1中的直接進給器與旋轉搬送部的吸嘴的位置關係放大圖。
圖4是圖2中所示8支吸嘴用的臂杆當中設置在B位置的極薄水晶片定位用的側視圖。
圖5是圖4所示的定位用裝置的俯視圖。
圖6是圖2中所示8支吸嘴用的臂杆當中設置在C位置的，實行水晶片特性測定用的測定裝置的側視圖。
圖7是圖6所示的測定裝置來實行極薄水晶片的特性測定狀況的示意圖。
圖8是現有的撿取放置方式，從零件進給裝置撿取水晶片的結構狀況示意圖。
圖中編號的說明1、水晶片 2、61、直接進給滑槽3、62、邊緣板 4、直接進給器5、球狀進給器 6、63、吸嘴7、吸住軸 8、吸住用臂杆9、64、吸住用空氣管 10、底板11、輸出軸12、分度處理裝置13、14、22、23、定時滑輪 15、24、同步皮帶16、25、馬達 20、分類收容箱21、分類平臺 30、定位用爪
31、4、爪氣動夾頭裝置 32、44、56、塊壯體40、彈簧探針 41、探針支持器42、52、連接線43、氣動滑道平臺50、下電極元件51、絕緣套53、電極保持器54、滑動裝置55、測微計頭 60、球狀進給器的水晶片的滑動面63、吸嘴 65、臂杆66、導承板具體實施方式
以下結合附圖及較佳實施例，對依據本發明提出的極薄水晶片測定分類裝置，其具體實施方式
、結構、特徵及其功效，詳細說明如後。
圖1是將各機構裝配成一體的極薄水晶片測定分類裝置的主要部分的側視圖，圖2是將本發明的極薄水晶片測定分類裝置的主要部，從圖1中X-X箭號方向所示的平面圖。圖3是顯示圖1的直接進給器4與旋轉搬送部的吸嘴6的位置關係予以放大而顯示的圖。該實施例裝置的處理對象的水晶片是其厚度在10數微米，面積為例如1mm×2mm的小型且極薄水晶片。
如圖1所示，零件進給裝置是由球狀進給器5及直接進給器4所組成。直接進給器4如圖3所示，設有安裝直接進給滑槽2，在球狀進給器5的水晶片的排出端，設有配置直接進給滑槽2。直接進給滑槽2的表面成為水晶片的滑動面，對直接進給滑槽2設有安裝邊緣板3，以便當直接進給器滑槽2的表面成為水晶片的滑動面時，將該邊緣的突出量調整成相當於一枚水晶片的厚度籍以只允許一枚水晶片滑動。再者，直接進給滑槽2是呈傾斜狀，直接進給器滑槽2的水晶片的滑動面與球狀進給器5的水晶片滑動面相對水平面呈30-45度的傾斜角的角度。
如圖3所示，位於直接進給滑槽2前端的水晶片1是安裝在旋轉搬送部的吸嘴6下降端，藉由吸引而被撿取。吸嘴6是安裝在吸住軸7上，而吸住軸7是通過吸住用空氣管9連接於圖中未示的真空源上。
旋轉搬送部相對水平面傾斜與直接進給器滑槽2的水晶片1的滑動面的傾斜角相同的角度，使吸嘴6能夠垂直地吸引水晶片1的中心。
如圖1及圖2所示，旋轉搬送部是等分割地配置8支吸住用的臂杆8。各吸住用臂杆8的前端的同一圓周上設有安裝吸住軸7，在該吸住軸7的前端設有安裝吸嘴6。各吸住軸7是以吸住用空氣管9連接於圖中未示的個別獨立的真空源，以預定的程序實行吸引及不吸引。
分度處理裝置12具有間隔分割功能及上下動作功能，使輸出軸11旋轉及上下運動。以等間隔分割為8份，而配置的8支吸住用臂杆8的基部的中心固定於前述輸出軸11上。如圖1所示，分度處理裝置12的輸入軸12A設有定時滑輪13。同步皮帶15將安裝在馬達16的輸出軸的定時滑輪14與前述定時滑輪13連結在一起，馬達16的輸出軸16A旋轉驅動分度處理裝置12，8支吸住用臂杆8是通過上述輸出軸11按時針方向旋轉。
各臂杆是在角度方向的停止位置內，如圖2所述的A位置撿取來自零件進給裝置的水晶片，在B位置進行水晶片的定位，在C位置進行水晶片的特性測定，在下一位置將水晶片放下而收容於分類收容箱20內。分類收容箱20是由複數個搭載於分類平臺21，籍由繞掛於安裝在分類平臺21的旋轉軸的定時滑輪22及安裝於馬達25的輸出軸的定時滑輪23的同步皮帶24組成，馬達25驅動分類收容箱20。根據水晶片的特性測定結果來決定把水晶片應放進複數個分類收容箱20中的那一個箱內。決定要收容的分類收容箱20是以馬達25驅動至要放進收容該水晶片的吸嘴的位置。
前述的旋轉搬送部，實行定位的裝置，實行特性測定的裝置及分類收容部是設置在本裝置的底板10上。圖4是圖2中所示8支吸住用臂杆8當中設在B位置的極薄水晶片定位用的定位裝置的側視圖。圖5是圖4所述定位裝置的俯視圖。圖6是圖2中所示8支吸嘴用臂杆8當中設置在C的位置，實行水晶片特性測定用的測定裝置側視圖。
如圖4所示，水晶片1的定位裝置是籍由塊狀體32設有4爪氣動夾頭裝置31安裝於底板10上。4爪氣動夾頭裝置31的4個爪分別設有安裝定位用的爪30。以各定位用的爪30在打開的狀態下，吸嘴6以吸住水晶片1的狀態，下降至設有定位爪30的高度位置。在該下降的位置，操作4爪氣動夾頭裝置31，關閉各定位用爪30以修整水晶片1的位置，使吸嘴6位於水晶片1中心位置。完成該修整位置之後，打開各定位用爪30，上升吸嘴6吸住用臂杆8移動至下一特性測定裝置。
水晶片1的特性測定裝置如圖6所示，在底板10上籍由塊狀體44安裝有氣動滑道平臺43。在氣動滑道平臺43的上面，安裝有測定用的彈簧探針40的探針保持器41。探針保持器41是以電性絕緣材料構成。測定用的彈簧探針40及圖中未示的特性測定用的計測器是以連接線42連結。再者，底板10上藉由塊狀體56安裝滑動裝置54及測微計頭55。滑動裝置54設有安裝電極保持器53。將測定用的下電極元件50埋設在以電性絕緣材構成的絕緣套51並粘接，將該絕緣套51埋設在電極保持件53然後粘接。測定用的下電極元件50是以連接線52連接於前述的計測器。吸住水晶片1的8個吸嘴6均是為測定用的上電極，而安裝有吸嘴6的8支吸住軸7均是以電性絕緣材料所構成。
圖7是用上述的特性測定裝置進行水晶片1的特性測定狀況的示意圖。吸嘴6是以吸住水晶片的狀態下降。用測微計頭55預先調整，使在下降端的水晶片1與下電極元件50的間隙成20-30微米。此時啟動氣動滑道平臺43，使彈簧探針40與上電極的吸嘴6接觸。於是，水晶片1則以吸住的狀態及無接觸的狀態下可實行特性測定。
以上所述，僅是本發明的較佳實施例而已，並非對本發明作任何形式上的限制，凡是依據本發明的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬於本發明技術方案的範圍內。
權利要求
1.一種極薄水晶片測定分類裝置，從零件進給裝置撿取的極薄水晶片，用旋轉搬送部搬送的過程中，實行特性的測定，根據前述測定的結果予以分類的水晶片測定分類裝置，其特徵在於上述零件進給裝置是由水平配置的球狀進給器與上述球狀進給器的零件滑動面的傾斜角，及直接進給器滑槽的零件滑動面的傾斜角是傾斜成相同的角度；上述旋轉搬送部是將上述旋轉中心軸傾斜而配置，籍以以軸為中心而旋轉的吸嘴的下端面能夠與上述直接進給器滑槽的零件滑動面成平行而構成。
2.根據權利要求1所述的極薄水晶片測定分類裝置，其特徵在於所述旋轉搬送部是在圓周上以等間隔配置數個吸嘴，具備有該間隔的分割及旋轉機構，以及在上升位置與下降位置間移動的上下移動機構，使各吸嘴在其下降位置撿取極薄水晶片所構成。
3.根據權利要求2所述的極薄水晶片測定分類裝置，其特徵在於具備有所撿取的極薄水晶片的定位機構。
4.根據權利要求1、2、3中任意一權利要求所述的極薄水晶片測定分類裝置，其特徵在於所述直接進給滑槽的水晶片的滑動面設定成與前述球狀進給器的水晶片滑動面的傾斜角為30度-45度相同的角度。
全文摘要
一種極薄水晶片測定分類裝置，從零件進給裝置撿取的極薄水晶片，用旋轉搬送部搬送的過程中，實行特性的測定，根據前述測定的結果予以分類的水晶片測定分類裝置，其中上述零件進給裝置是由水平配置的球狀進給器與上述球狀進給器的零件滑動面的傾斜角，及直接進給器滑槽的零件滑動面的傾斜角是傾斜成相同的角度；上述旋轉搬送部是將上述旋轉中心軸傾斜而配置，籍以以軸為中心而旋轉的吸嘴的下端面能夠與上述直接進給器滑槽的零件滑動面成平行而構成。本發明的目的在於提供一種極薄水晶片測定分類裝置，克服測定分類裝置存在的問題，而不會在供給及輸送時損傷極薄水晶片，經常能夠安全且穩定地供給搬送的水晶片測定分類裝置。
文檔編號G01R31/00GK1399129SQ0113694
公開日2003年2月26日 申請日期2001年12月25日 優先權日2001年7月25日
發明者巖本和生 申請人:慧萌高新科技有限公司