一種晶圓轉運輸送平臺的製作方法

2024-04-15 11:40:05

1.本實用新型提供一種晶圓轉運輸送平臺，屬於中轉輸送技術領域。


背景技術：

2.晶圓片是指先將二氧化矽經過純化,融解,蒸餾之後,製成矽晶棒,晶圓廠再拿這些矽晶棒研磨,拋光和切片成為晶圓片，晶圓片可以用來加工製作成各種電路元件結構，而成為有特定電性功能之ic產品。晶圓片在生產線上需要經過數百條工序。因此，在兩處工序相交的地方，常常需要將晶圓片的位置進行轉移。目前，在生產中，將晶圓片從一處工序轉移到另一處工序中時，為了避免損壞，大多採用人工戴上專門的防磨損手套，一片一片轉移。該種方法雖然可以部分避免晶圓片的破損，但是耗費人力，且耗時較長。在使用時為了方便移動更換使用位置，其底部往往設置有用於方便移動的萬向輪，當時由於萬向輪本身的承重能力有限，設備在長時間使用容易對其造成損壞，且其與地面接觸面積較小，使用過程中穩定性不足，生產線由於設備承重設備過重、設備運行或其他原因會產生震動，設備的穩定性。針對這些問題本實用新型進行了改善。


技術實現要素：

3.本實用新型提供的一種晶圓轉運輸送平臺，結構簡單，並且可以解決使用過程中穩定性不足且沒有減震機構工作效率低的問題。
4.本實用新型為了解決上述問題，所提出的技術方案為：一種晶圓轉運輸送平臺，包括設備主體、減震機構、隱形移動組件，所述減震機構用於減震，所述隱形移動組件用於移動，所述設備主體包括傳動帶、置於放置臺正下方設置有底座，所述減震機構包括固定設置在放置臺底部兩側第一基座、設置在第一基座之間的第一滑杆以及安裝在底座上的多個第二基座，所述第一滑杆上滑動套設有若干第一滑塊，所述相鄰的第一滑塊之間以及靠近第一基座的第一滑塊與第一基座之間均通過第一彈簧相連，所述第一滑塊底部鉸接有支撐杆，所述支撐杆遠離第一滑塊的一端鉸接在底座上，所述底座下端內部設置有凹槽，所述凹槽內設置有隱形移動組件，所述隱形移動組件包括設置在凹槽內部的螺紋杆、設置在螺紋杆下方的萬向輪。
5.所述第二基座與支撐杆位置相對應，所述相鄰第二基座相對的側面固定連接有第二滑杆，所述第二滑杆上滑動套設有第二滑塊。
6.所述第二基座與第二滑塊之間通過第二彈簧相連接，所述第二滑塊上部鉸接有側撐杆，所述側撐杆遠離第二滑塊的一端與支撐杆轉動連接。
7.所述側撐杆設置在支撐杆傾斜的一側，所述側撐杆、支撐杆以及底座之間形成銳角三角形結構。
8.所述螺紋杆兩端分別螺紋連接有螺紋套，所述螺紋套下端通過連接件分別鉸接有連接杆，所述萬向輪上端固定連接有固定板，所述連接杆的另一端通過連接件鉸接在固定板上方。
9.所述凹槽一側且位於底座內設置有電機，所述電機的輸出端固定連接在螺紋杆上。
10.所述凹槽內壁兩側設置有滑槽，所述固定板兩端固定連接有滑塊，所述滑塊滑動連接在滑槽內。
11.本實用新型的有益效果：本實用新型結構簡單，通過隱形移動組件的設置，解決了使用過程中穩定性不足的問題；通過減震機構的設置，解決了沒有減震機構工作效率低的問題。
附圖說明
12.圖1為本實用新型一種晶圓轉運輸送平臺的結構示意圖。
13.圖2為本實用新型一種晶圓轉運輸送平臺局部a的結構示意圖。
14.(1、傳動帶；2、放置臺；3、第一基座；4、第一滑杆；5、第二基座；6、第一滑塊；7、第一彈簧；8、支撐杆；9、凹槽；10、螺紋杆；11、萬向輪；12、第二滑杆；13、第二滑塊；14、第二彈簧；15、側撐杆；16、螺紋套；17、連接杆；18、固定板；19、電機；20、滑塊)
具體實施方式
15.下面結合附圖對本實用新型進一步說明。
16.根據圖1所示：本實用新型提供了一種晶圓轉運輸送平臺：包括設備主體、減震機構、隱形移動組件，所述設備主體包括傳動帶1、置於放置臺2正下方設置有底座，所述減震機構包括固定設置在放置臺2底部兩側第一基座3、設置在第一基座3之間的第一滑杆4以及安裝在底座上的多個第二基座5，所述第一滑杆4上滑動套設有若干第一滑塊6，所述相鄰的第一滑塊6之間以及靠近第一基座3的第一滑塊6與第一基座3之間均通過第一彈簧7相連，所述第一滑塊6底部鉸接有支撐杆8，所述支撐杆8遠離第一滑塊6的一端鉸接在底座上，所述底座下端內部設置有凹槽9，所述凹槽9內設置有隱形移動組件，所述隱形移動組件包括設置在凹槽9內部的螺紋杆10、設置在螺紋杆10下方的萬向輪11；所述第二基座5與支撐杆8位置相對應，所述相鄰第二基座5相對的側面固定連接有第二滑杆12，所述第二滑杆12上滑動套設有第二滑塊13；所述第二基座5與第二滑塊13之間通過第二彈簧14相連接，所述第二滑塊13上部鉸接有側撐杆15，所述側撐杆15遠離第二滑塊13的一端與支撐杆8轉動連接；所述側撐杆15設置在支撐杆8傾斜的一側，所述側撐杆15、支撐杆8以及底座之間形成銳角三角形結構；所述螺紋杆10兩端分別螺紋連接有螺紋套16，所述螺紋套16下端通過連接件分別鉸接有連接杆17，所述萬向輪11上端固定連接有固定板18，所述連接杆17的另一端通過連接件鉸接在固定板18上方；所述凹槽9一側且位於底座內設置有電機19，所述電機19的輸出端固定連接在螺紋杆10上；所述凹槽9內壁兩側設置有滑槽，所述固定板18兩端固定連接有滑塊20，所述滑塊20滑動連接在滑槽內。
17.本實用新型的原理
18.綜上所述：需要移動時，啟動電機-帶動螺紋杆-帶動螺紋套-帶動連接杆打開將萬向輪出凹槽即可移動，當設備主體發生震動時支撐杆帶動第一滑塊沿第一滑杆移動擠壓第一彈簧，從而將震動力進行水平傳遞，通過第一彈簧的設置，對該水平震動力加以緩衝且實現減震，當支撐杆帶動第一滑塊沿第一滑杆滑動時，可通過側撐杆帶動第二滑塊沿第二滑
杆滑動，利用第二彈簧進行輔助減震，上述所涉及的彈簧均配合有現有技術減振器進行減震。本實用新型結構簡單，並且可以解決使用過程中穩定性不足且沒有減震機構工作效率低的問題。
19.以上對本實用新型及其實施方式進行了描述，這種描述沒有限制性，附圖中所示的也只是本實用新型的實施方式之一，實際的結構並不局限於此。總而言之如果本領域的普通技術人員受其啟示，在不脫離本實用新型創造宗旨的情況下，不經創造性的設計出與該技術方案相似的結構方式及實施例，均應屬於本實用新型的保護範圍。


技術特徵：
1.一種晶圓轉運輸送平臺，其特徵在於：包括設備主體、減震機構、隱形移動組件，所述設備主體包括傳動帶(1)、置於放置臺(2)正下方設置有底座，所述減震機構包括固定設置在放置臺(2)底部兩側第一基座(3)、設置在第一基座(3)之間的第一滑杆(4)以及安裝在底座上的多個第二基座(5)，所述第一滑杆(4)上滑動套設有若干第一滑塊(6)，所述相鄰的第一滑塊(6)之間以及靠近第一基座(3)的第一滑塊(6)與第一基座(3)之間均通過第一彈簧(7)相連，所述第一滑塊(6)底部鉸接有支撐杆(8)，所述支撐杆(8)遠離第一滑塊(6)的一端鉸接在底座上，所述底座下端內部設置有凹槽(9)，所述凹槽(9)內設置有移動組件，所述隱形移動組件包括設置在凹槽(9)內部的螺紋杆(10)、設置在螺紋杆(10)下方的萬向輪(11)。2.根據權利要求1所述的一種晶圓轉運輸送平臺，其特徵在於：所述第二基座(5)與支撐杆(8)位置相對應，所述相鄰第二基座(5)相對的側面固定連接有第二滑杆(12)，所述第二滑杆(12)上滑動套設有第二滑塊(13)。3.根據權利要求1所述的一種晶圓轉運輸送平臺，其特徵在於：所述第二基座(5)與第二滑塊(13)之間通過第二彈簧(14)相連接，所述第二滑塊(13)上部鉸接有側撐杆(15)，所述側撐杆(15)遠離第二滑塊(13)的一端與支撐杆(8)轉動連接。4.根據權利要求3所述的一種晶圓轉運輸送平臺，其特徵在於：所述側撐杆(15)設置在支撐杆(8)傾斜的一側，所述側撐杆(15)、支撐杆(8)以及底座之間形成銳角三角形結構。5.根據權利要求1所述的一種晶圓轉運輸送平臺，其特徵在於：所述螺紋杆(10)兩端分別螺紋連接有螺紋套(16)，所述螺紋套(16)下端通過連接件分別鉸接有連接杆(17)，所述萬向輪(11)上端固定連接有固定板(18)，所述連接杆(17)的另一端通過連接件鉸接在固定板(18)上方。6.根據權利要求1所述的一種晶圓轉運輸送平臺，其特徵在於：所述凹槽(9)一側且位於底座內設置有電機(19)，所述電機(19)的輸出端固定連接在螺紋杆(10)上。7.根據權利要求5所述的一種晶圓轉運輸送平臺，其特徵在於：所述凹槽(9)內壁兩側設置有滑槽，所述固定板(18)兩端固定連接有滑塊(20)，所述滑塊(20)滑動連接在滑槽內。

技術總結
本實用新型提供一種晶圓轉運輸送平臺，屬於中轉輸送技術領域；包括設備主體、減震機構、隱形隱形移動組件，設備主體包括傳動帶、置於放置臺正下方設置有底座，減震機構包括固定設置在放置臺底部兩側第一基座、設置在第一基座之間的第一滑杆以及安裝在底座上的多個第二基座，第一滑杆上滑動套設有若干第一滑塊，相鄰的第一滑塊之間以及靠近第一基座的第一滑塊與第一基座之間均通過第一彈簧相連，第一滑塊底部鉸接有支撐杆，底座下端內部設置有凹槽，凹槽內設置有隱形移動組件，隱形移動組件包括設置在凹槽內部的螺紋杆、設置在螺紋杆下方的萬向輪。解決了使用過程中穩定性不足且沒有減震機構工作效率低的問題。有減震機構工作效率低的問題。有減震機構工作效率低的問題。


技術研發人員：王蜀豫
受保護的技術使用者：晶通（高郵）集成電路有限公司
技術研發日：2022.04.29
技術公布日：2023/3/28