一種具有定位功能的晶圓封裝承載設備的製作方法
2024-04-14 15:10:05
1.本實用新型屬於晶圓封裝技術領域,具體涉及一種具有定位功能的晶圓封裝承載設備。
背景技術:
2.晶圓封裝,即對加工完成的晶圓片經過一系列的工藝後裝殼的過程,在晶圓加工完成後,需要對晶圓片進行包裝後轉運至封裝廠內進行封裝,在轉運過程中,需要使用晶圓承載設備進行轉運,但是目前的晶圓封裝承載設備仍存在以下的問題:
3.1、目前晶圓在從fab工廠內加工完成後流出進行封裝的過程中,由於需要將晶圓運送至晶圓封裝工廠進行封裝,因此需要對晶圓通過承載設備進行承載搬運,但是目前的晶圓成長設備並不能進行定位,導致不能實時監控晶圓的位置,無法及時安排後續封裝等工藝的時間;
4.2、在轉運的過程中由於車輛的震動和顛簸,導致晶圓會在晶圓承載設備內部發生晃動,進而使得晶圓與晶圓封裝承載設備之間產生摩擦和碰撞,容易導致晶圓表面受到損傷,使得晶圓的報廢,增加生產的時間和成本。
技術實現要素:
5.為了解決背景技術中存在的問題,本實用新型提供了一種具有定位功能的晶圓封裝承載設備。
6.本實用新型提供的一種具有定位功能的晶圓封裝承載設備,包括承載箱、花籃和定位盒,其特徵在於:所述承載箱包括箱體和箱蓋,所述箱體的一側設置有充氣口,所述箱體的正面設置有第一標籤,所述第一標籤的下方設置有觀察窗,所述箱蓋的內側設置有多個頂板,所述花籃放置在箱體內部,所述花籃的底部設置有多個支撐腿,所述定位盒固定在花籃的底部,所述花籃的正面設置有第二標籤,所述花籃的兩側設置有固定板,所述花籃內部通過多個隔板分隔有多個放置槽,所述花籃的底部兩側設置有推桿,所述推桿的一端設置有彈簧,所述推桿位於放置槽內設置有固定夾板,所述放置槽的底部位於固定夾板與推桿的連接處設置有滑動槽。
7.所述定位盒內集成有處理器模塊、定位模塊、無線傳輸模塊、蜂鳴器和蓄電池。
8.所述箱體與箱蓋通過多個鉸鏈連接,所述箱體與箱蓋遠離多個鉸鏈的一側通過鎖扣扣合,所述箱蓋的為透明材質的塑料。
9.所述箱體內部設置有與花籃底部形狀相匹配的固定槽。
10.所述充氣口為單向閥。
11.所述觀察窗為透明材質的塑料,所述觀察窗與第二標籤的位置相對應。
12.所述多個頂板與固定板的位置相對應,所述多個頂板與固定板相抵。
13.所述推桿為矩形,所述彈簧位於花籃的外側,所述滑動槽位於放置槽底部遠離彈簧的一側,所述固定夾板與推桿固定連接。
14.本實用新型的有益效果:
15.1本實用新型通過承載箱和花籃的一一對應,使晶圓所在的位置更加的準確,並且通過在花籃的底部設置定位盒,能夠遠程查看承載箱和花籃的位置,並能通過蜂鳴器對所需的承載箱和花籃進行尋找;
16.2本實用新型通過在箱蓋上設置頂板,使花籃在扣合後能夠穩固的固定在箱體內部不會發生晃動,並且放置在多個放置槽內的晶圓通過固定夾板的固定,使晶圓在運輸時不會發生晃動,減少晶圓受到的損傷。
附圖說明
17.圖1為本實用新型一種具有定位功能的晶圓封裝承載設備的結構圖1。
18.圖2為本實用新型一種具有定位功能的晶圓封裝承載設備的結構圖2。
19.圖3為本實用新型一種具有定位功能的晶圓封裝承載設備的花籃底部結構圖。
20.圖4為本實用新型一種具有定位功能的晶圓封裝承載設備的花籃內部結構圖。
21.圖5為本實用新型一種具有定位功能的晶圓封裝承載設備的承載箱內部結構圖。
22.(1、承載箱;2、花籃;3、定位盒;4、箱體;5、箱蓋;6、充氣口;7、第一標籤;8、觀察窗;9、多個頂板;10、多個支撐腿;11、第二標籤;12、固定板;13、多個隔板;14、放置槽;15、推桿;16、彈簧;17、固定夾板;18、滑動槽;19、多個鉸鏈;20、鎖扣;21、固定槽)
具體實施方式
23.下面將結合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例。基於本實用新型中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬於本實用新型保護的範圍。
24.在實用新型的描述中,需要說明的是,除非另有明確的規定和限定,術語「安裝」、「設置有」、「連接」等,應做廣義理解,例如「連接」,可以是固定連接,也可以是可拆卸連接,或一體地連接;可以是機械連接,也可以是電連接;可以是直接相連,也可以通過中間媒介間接相連,可以是兩個元件內部的連通。對於本領域的普通技術人員而言,可以具體情況理解上述術語在本實用新型中的具體含義。
25.請參閱圖1-5,包括承載箱、花籃和定位盒,其特徵在於:承載箱包括箱體和箱蓋,箱體的一側設置有充氣口,箱體的正面設置有第一標籤,第一標籤的下方設置有觀察窗,箱蓋的內側設置有多個頂板,花籃放置在箱體內部,花籃的底部設置有多個支撐腿,定位盒固定在花籃的底部,花籃的正面設置有第二標籤,花籃的兩側設置有固定板,花籃內部通過多個隔板分隔有多個放置槽,花籃的底部兩側設置有推桿,推桿的一端設置有彈簧,推桿位於放置槽內設置有固定夾板,放置槽的底部位於固定夾板與推桿的連接處設置有滑動槽。
26.定位盒內集成有處理器模塊、定位模塊、無線傳輸模塊、蜂鳴器和蓄電池,均為現有技術。
27.箱體與箱蓋通過多個鉸鏈連接,箱體與箱蓋遠離多個鉸鏈的一側通過鎖扣扣合,箱蓋的為透明材質的塑料,能夠透過箱蓋觀察承載箱內部的情況。
28.箱體內部設置有與花籃底部形狀相匹配的固定槽,使花籃放置到內部時方便進行
固定。
29.充氣口為單向閥,防止內部填充氣體洩漏。
30.觀察窗為透明材質的塑料,觀察窗與第二標籤的位置相對應,方便對第一標籤和第二標籤進行對照。
31.多個頂板與固定板的位置相對應,多個頂板與固定板相抵。
32.推桿為矩形,彈簧位於花籃的外側,滑動槽位於放置槽底部遠離彈簧的一側,固定夾板與推桿固定連接。
33.為了方便理解本實用新型的上述技術方案,以下就本實用新型在實際過程中的工作原理或者操作方式進行詳細說明。
34.在使用時,推動推桿,使彈簧壓縮,進而帶動固定夾板沿著滑動槽向遠離彈簧的一側移動,之後將晶圓放置到放置槽內後,鬆開推桿,在彈簧的作用下,推桿復位,使固定夾板將晶圓與放置槽的側壁夾緊,使晶圓不會晃動;將花籃放置到箱體內,將箱蓋與箱體扣合,之後箱蓋下方的多個頂板與花籃兩側的固定板相抵,使花籃固定在承載箱內部,不會發生晃動;通過箱體上的第一標籤和觀察窗對照花籃上的第二標籤確定是否對應;通過充氣口向承載箱內部填充保護氣體對晶圓進行保護。
35.在尋找時,通過終端設備與定位盒的無線傳輸模塊無線連接,之後通過定位模塊即可進行定位,並通過蜂鳴器能夠提醒其所處的位置,定位盒內均為現有的普通定位裝置的集成,任何該技術領域的人員都能夠進行組裝,並無任何的創新。
36.以上對本實用新型及其實施方式進行了描述,這種描述沒有限制性,具體實施方式中所示的也只是本實用新型的實施方式之一,實際的結構並不局限於此。總而言之如果本領域的普通技術人員受其啟示,在不脫離本實用新型創造宗旨的情況下,不經創造性的設計出與該技術方案相似的結構方式及實施例,均應屬於本實用新型的保護範圍。