一種電控螺旋升降的拉晶爐的製作方法

2024-01-27 10:52:15

專利名稱：一種電控螺旋升降的拉晶爐的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種拉晶爐，應用於半導體製造領域。
背景技術：
拉晶爐是將半導體粉末冶煉成半導體晶棒的裝置，它具有爐體支架和卡盤，爐體放在爐體支架上，卡盤是固定半導體粉末的玻璃管的裝置，隨著對玻璃管中不同部位的粉末的冶煉，要升降卡盤以達到爐體對著玻璃管的不同部位。在現有技術中，升降卡盤使用的裝置是在爐體周圍有立柱式的汽缸，以升降汽缸達到卡盤升降的目的，這樣的裝置具有精度差、不易控制的缺點。
發明內容本實用新型的目的就是針對上述缺點，提供一種精度更高、容易控制、運行平穩的電控螺旋升降的拉晶爐。本實用新型的技術方案是這樣實現的一種電控螺旋升降的拉晶爐，包括爐體支架和卡盤，卡盤在爐體支架的上方，其特徵是在卡盤上固定有多個穿過爐體支架的第一螺旋杆，在爐體支架下方有電機連接的第二螺杆，所述的第二螺杆和第一螺杆螺紋連接。本實用新型的有益效果是這樣結構的拉晶爐具有精度更高、容易控制、運行平穩的優點。

圖1是本實用新型的結構示意圖。其中1、爐體支架 2、卡盤 3、第一螺旋杆 4、第二螺杆 5、電機。
具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型作進一步的描述。如圖1所示，一種電控螺旋升降的拉晶爐，包括爐體支架1和卡盤2，卡盤2在爐體支架1的上方，其特徵是在卡盤2上固定有多個穿過爐體支架的第一螺旋杆3，在爐體支架1下方有電機5連接的第二螺杆4，所述的第二螺杆4和第一螺杆3螺紋連接。電機旋轉，帶動第二螺杆旋轉，盡而帶動第一螺杆旋轉，達到升降卡盤的目的，具有本實用新型的目的。
權利要求1. 一種電控螺旋升降的拉晶爐，包括爐體支架和卡盤，卡盤在爐體支架的上方，其特徵是在卡盤上固定有多個穿過爐體支架的第一螺旋杆，在爐體支架下方有電機連接的第二螺杆，所述的第二螺杆和第一螺杆螺紋連接。
專利摘要本實用新型涉及一種拉晶爐，應用於半導體製造領域。一種電控螺旋升降的拉晶爐，包括爐體支架和卡盤，卡盤在爐體支架的上方，其特徵是在卡盤上固定有多個穿過爐體支架的第一螺旋杆，在爐體支架下方有電機連接的第二螺杆，所述的第二螺杆和第一螺杆螺紋連接，這樣結構的拉晶爐具有精度更高、容易控制、運行平穩的優點。
文檔編號C30B13/32GK202246986SQ20112028545
公開日2012年5月30日 申請日期2011年8月8日 優先權日2011年8月8日
發明者劉寶成 申請人:河南恆昌電子有限公司