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矽片烘乾箱的製作方法

2023-06-25 01:49:36 1

矽片烘乾箱的製作方法
【專利摘要】一種矽片烘乾箱,包括箱體、紅外線燈、回流管道和管道風機,在所述箱體內的左側、右側及上側分別設置所述紅外線燈;所述回流管道的一端與箱體頂端貫通連接,另一端與箱體底端貫通連接,所述管道風機貫通連接在所述回流管道中;所述箱體上設置有門體。本發明通過紅外線燈對矽片進行烘烤,不採用電熱絲,維修方便,而且紅外燈的數量根據需求投入,使用方便;通過在箱體上設置回流管道,使箱內氣體循環,提高了矽片烘烤效率。
【專利說明】
【技術領域】
[0001] 本發明涉及一種矽片烘乾箱。 矽片烘乾箱

【背景技術】
[0002] 在矽片製作工藝中,傳統的矽片烘烤都採用專用烤箱,但烤箱成本高,結構複雜, 維修困難,如果發生損壞,需要返廠維修,不僅維修成本高,而且對生產造成影響,而且,烤 箱內的氣體也不能循環流動,矽片烘烤時間長。


【發明內容】

[0003] 為了克服上述現有技術存在的缺點,本發明的目的在於提供一種結構簡單,維修 方便,烤箱內氣體可循環流動的矽片烘乾箱。
[0004] 為了解決上述問題,本發明採用以下技術方案:一種矽片烘乾箱,其特徵在於,包 括箱體、紅外線燈、回流管道和管道風機,在所述箱體內的左側、右側及上側分別設置所述 紅外線燈;所述回流管道的一端與箱體頂端貫通連接,另一端與箱體底端貫通連接,所述管 道風機貫通連接在所述回流管道中;所述箱體上設置有門體。
[0005] 進一步的,在所述箱體內的底部設置有氣流分散盒,所述氣流分散盒的上端設置 有若干通孔,所述回流管道的下端與氣流分散盒貫通連接。
[0006] 優選的,若干所述紅外線燈並聯,每一所述紅外線燈對應一個開關按鈕。
[0007] 進一步的,在所述箱體上設置有耐高溫溫度計。
[0008] 本發明的有益效果是:它通過紅外線燈對矽片進行烘烤,不採用電熱絲,維修方 便,而且紅外燈的數量根據需求投入,使用方便;通過在箱體上設置回流管道,使箱內氣體 循環,提1? 了娃片供烤效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0009] 下面結合附圖和實施例對本發明做進一步的說明: 圖1為本發明的整體結構示意圖; 圖2為本發明氣流分散盒的剖視圖。
[0010] 圖中,1箱體、11門體、12耐高溫溫度計、2紅外線燈、3回流管道、4管道風機、5氣 流分散盒、51通孔。

【具體實施方式】
[0011] 如圖1和圖2所示,本發明的具體實施例包括箱體1、紅外線燈2、回流管道3、管道 風機4和氣流分散盒5。
[0012] 在所述箱體1內的左側、右側及上側分別設置所述紅外線燈2,本實施例中在每一 側設置四個紅外線燈,紅外線燈的功率可以根據箱體的大小選擇。所述回流管道3的一端 與箱體1頂端貫通連接,另一端與箱體1底端貫通連接,所述管道風機4貫通連接在所述回 流管道3中。所述箱體1上設置有門體11。所述箱體1、回流管道3和氣流分散盒5均採 用不鏽鋼材質,在箱體1和回流管道3的外側還可以設置金屬網,防止燙傷。
[0013] 為了使回流的氣體從箱體1底部充分擴散,在所述箱體1內的底部設置有氣流分 散盒5,所述氣流分散盒5的上端設置有若干通孔51,所述回流管道3的下端與氣流分散盒 5貫通連接。
[0014] 優選的,若干所述紅外線燈2採用並聯形式,每一所述紅外線燈2對應一個開關按 鈕,當然也可以兩個紅外線燈用一個開關按鈕。
[0015] 為了防止工作人員忘記烘烤時間,對矽片過度烘烤,本方案中還可以加入定時裝 置,可對所述紅外線燈的工作時間進行定時,簡單的,採用時間繼電器即可實現該功能,當 然也可以採用數字式定時裝置。
[0016] 為了能直觀的觀察到箱體1內的溫度,在所述箱體1上設置有耐高溫溫度計12。
[0017] 使用時,根據需要及放入矽片的多少,選擇開啟幾個紅外線燈2,管道風機4的電 源開關也獨立設置,用戶可根據需要決定是否開啟管道風機。
[0018] 以上所述只是本發明的優選實施方式,對於本【技術領域】的普通技術人員來說,在 不脫離本發明原理的前提下,還可以做出若干改進和潤飾,這些改進和潤飾也被視為本發 明的保護範圍。
【權利要求】
1. 一種矽片烘乾箱,其特徵在於,包括箱體、紅外線燈、回流管道和管道風機,在所述箱 體內的左側、右側及上側分別設置所述紅外線燈;所述回流管道的一端與箱體頂端貫通連 接,另一端與箱體底端貫通連接,所述管道風機貫通連接在所述回流管道中;所述箱體上設 置有門體。
2. 根據權利要求1所述的矽片烘乾箱,其特徵在於,在所述箱體內的底部設置有氣流 分散盒,所述氣流分散盒的上端設置有若干通孔,所述回流管道的下端與氣流分散盒貫通 連接。
3. 根據權利要求1或2所述的矽片烘乾箱,其特徵在於,若干所述紅外線燈並聯,每一 所述紅外線燈對應一個開關按鈕。
4. 根據權利要求1或2所述的矽片烘乾箱,其特徵在於,其特徵在於,在所述箱體上設 置有耐高溫溫度計。
【文檔編號】F26B21/02GK104101185SQ201410350741
【公開日】2014年10月15日 申請日期:2014年7月23日 優先權日:2014年7月23日
【發明者】彭雷 申請人:濟南晶博電子有限公司

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