高溫壓力變送器組件的製作方法
2024-01-28 01:49:15 2
專利名稱：高溫壓力變送器組件的製作方法
技術領域：
本發明涉及用於工業過程監視和控制系統中類型的過程控制變送器(或傳送器)。更具體地說，本發明涉及在高溫環境中測量過程變量的變送器。
背景技術：
過程監視與控制系統用於監視和控制工業過程的操作。工業過程用於製造諸如精製油、藥品、紙張、食品等的各種產品的生產中。在大型儀器中，為了在期望的參數範圍內操作，這些過程必須得到監視和控制。
「變送器」已成為用於描述連接到過程設備並用於傳感過程變量的設備的術語。示例過程變量包括壓力、溫度、流量和其它。通常，變送器位於遠程位置(即在「現場」)，並將傳感的過程變量送回到中央控制室。包括有線和無線通信的多種技術被用於發送過程變量。一種普通的有線通信技術使用稱作雙線過程控制迴路，其中單對線用於傳送信息以及為變送器供電。一種較好建立的信息傳送技術是經過程控制迴路將當前電流控制在4mA和20mA之間。在4-20mA範圍內的電流值能夠被映射為過程變量的對應值。
一種類型的變送器是壓力變送器。通常，壓力變送器是測量過程的流體壓力的任何類型的變送器(術語流體包括氣體和液體及其組合)。壓力變送器能夠被用於直接測量包括壓差、絕對壓力或表壓力的壓力。此外，使用已知技術，基於兩個位置間的過程流體的壓差，壓力變送器能夠被用於測量過程流體的流動。
典型地，壓力變送器包括經隔離系統連接(或耦合)到過程流體的壓力的壓力傳感器。該隔離系統例如可包括與過程流體物理接觸的隔離膜；和在隔離膜和壓力傳感器之間延伸的隔離填充流體。該填充流體優選地包括諸如油的實質上不能壓縮的流體。當過程流體對隔離膜施加壓力，所施加壓力的變化經隔離流體跨過隔離膜傳遞，併到達壓力傳感器。這種隔離系統防止了壓力傳感器的精密構件直接暴露於過程流體。
在一些過程環境中，過程流體會經受相當高的溫度。然而，典型的變送器具有250-300的最大工作溫度。即使在變送器能夠經受高溫的情況中，極端的溫度仍能夠導致壓力測量的誤差。在溫度超過壓力變送器的最大溫度的過程中，變送器本身的位置必須遠離過程流體，並使用長的毛細管連接到過程流體。毛線管能夠為許多英尺，並且在管中承載隔離流體。所述管的一端經隔離膜安裝到過程流體，並且管的另一端連接到壓力變送器。這種長毛細管和隔離膜通常稱作「遠程密封」。
遠程密封結構的引入增加了安裝的成本和複雜性，並降低了壓力測量的準確性。此外，附加的構件提供了另一可能的設備故障源。
發明內容
一種用於測量過程流體的壓力的壓力變送器組件包括隔離膜組件。所述隔離膜組件包括隔離膜，所述隔離膜構造為沿過程接口側連接(或耦合)到過程流體的，並且限定了與過程接口側相對的隔離腔。壓力傳感器被安裝到隔離膜組件，並與隔離膜組件物理間隔開。導管從隔離腔延伸到壓力傳感器。還能夠使用溫度補償。還提供一種方法。
圖1是顯示其中壓力傳感器與隔離膜組件間隔開以提供熱隔離的壓力變送器組件的視圖。
圖2是過程變送器偏置組件的橫截面視圖。
圖3是包括變送器偏置組件的壓力變送器組件的橫截面視圖。
圖4是壓力變送器組件的另一實施例的橫截面視圖。
圖5是根據另一實施例的壓力變送器組件的橫截面視圖。
圖6A和圖6B是顯示過程溫度對壓力變送器組件的構件的影響的曲線。圖6A針對現有技術結構，圖6B針對根據本發明的結構。
圖7是顯示用於補償壓力傳感器測量的溫度傳感器的位置的壓力變送器組件的橫截面視圖。
具體實施例方式
本發明針對用於測量過程流體的過程變量類型的工業變送器，其中過程流體和/或過程環境處於相對高溫。利用本發明，壓力傳感器和變送器電子設備與過程流體間隔開，以實現與過程流體的熱隔離(或熱絕緣)。然而，本發明的構造不需要在背景技術部分中討論的遠程密封技術。還能夠利用溫度補償。
在諸如製藥、生物技術、食品和飲料技術等的加工工業中使用的電子工業壓力變送器通常具有特殊要求。例如，它們經常需要測量極高溫度的過程液體的壓力。在兩個「批次」的處理之間出現的清潔過程期間，它們經常需要經受極高溫度。所述清潔過程被稱作″現場(或原地)清潔″(CIP)和/或″現場(或原地)消毒″(SIP)。這些過程將過程接口暴露於超過200℃的溫度。此外，期望地，壓力測量變送器不僅經歷清潔過程，而且還要在清潔過程期間和之後提供最小的誤差。這使得下一「批次」儘快地開始。如果在清潔過程期間存在誤差，則期望測量設備快速返回其校正參數，且不會在清潔處理後的輸出中存在偏差。
傳統的工業壓力變送器能夠標稱地經受最高約85℃的溫度和在最高約85℃的溫度運行。然而，超過這個溫度，例如由於電子構件的過熱，會出現設備的實質誤差和/或完全故障。如在背景部分中討論的，遠程密封(輔助填充系統，也稱作化學密封)能夠用於滿足高溫處理環境的需要。這些密封通常能夠經受超過200℃的溫度。然而，這種構造具有許多缺點。例如，實質的測量誤差會與增加的過程溫度相關，差不多1-5％。此外，所述構造可能導致較差的溫度瞬時特性，即大的誤差和慢恢復。在從高溫清潔返回到基線工作溫度時，這種構造也引入了漂移和不可重複誤差。它們也不能精確測量清潔處理期間的壓力。
本發明的工業壓力變送器提供了在高溫過程中和在經歷諸如在箱清潔(CIP和SIP)期間經受的間歇高溫的過程中的改進性能。所述構造很適合如在生物技術、藥品、食品和飲料處理中使用的衛生方式的壓力測量。這種改進包括增高的高過程溫度能力和可靠性；減小的高過程溫度下測量期間的誤差；減小的從高溫返回到正常操作時的誤差；和提高的從CIP和SIP期間引起的瞬時溫度的返回速度。
圖1是說明根據本發明的壓力變送器組件106的工業過程裝置100的簡圖。過程裝置100包括其中容納過程流體104的容器102。所述變送器組件106包括將變送器(變送器模塊)108安裝到容器102的變送器偏置(offset)組件110。雖然變送器偏置組件110顯示作為分離的構件，它可以是與變送器108成一體的構件。偏置組件110包括隔離膜組件120；導管(毛細管)122；和變送器支撐件124。所述隔離膜組件120包括隔離膜128，隔離膜128具有過程界面側，所述過程界面側面對和接觸過程流體104。隔離腔129被確定在隔離膜128後，並與隔離膜128的過程界面側相對。所述毛細管122連接到隔離腔129，並且隔離腔129和毛細管122填充有隔離填充流體。這種隔離填充流體是諸如油的實質上不可壓縮的液體。與隔離膜組件120相反的毛細管122的端部連接到壓力傳感器130。所述壓力傳感器提供了到變送器電路132的輸出。所述變送器電路132顯示為連接到雙線過程控制迴路134。利用電連接138，所述壓力傳感器130被電連接到變送器電子設備(或電子儀器)132。在一個具體實施例中，電連接138包括柔性電路。
所述隔離膜組件120能夠是任何構造，並且圖1中的膜僅提供用於說明目的。類似地，導管122、變送器108、壓力傳感器130和變送器電子設備132能夠是任何期望的構造。所述導管122無需如圖1中所示是直的或管狀，並且在可選構造中可以使用任何數目的導管。
所述變送器支撐件124以間隔開的方位將變送器108物理地安裝到隔離膜組件122。能夠使用任何期望的變送器支撐件或構造。一個示例支撐件124是完全包圍導管122以使導管122免受過程環境影響的支撐件。另一示例變送器支撐件分開容器102和變送器108之間的空間以產生阻礙，從而減小或反射輻射。由偏置組件110提供的過程容器102和變送器108之間的間隔提供了它們之間的熱隔離(熱絕緣)。熱隔離能夠使用具有良好絕緣屬性的材料、通過使用空氣間隙或通過其它技術實現。過程容器102和變送器108之間的分離距離能夠基於用於特定裝置的期望量的熱隔離選擇。具有特殊熱過程溫度的裝置或者對於包括對極端溫度特別敏感的電子設備或其它構件的裝置可以使用增加的間隔。不同於在現有技術中使用的遠程密封構造，本發明的壓力變送器組件106使用用於將壓力變送器安裝到過程容器的傳統技術，提供了能夠被安裝到過程容器102的整體組件。
圖2是根據另一示例實施例的過程變送器偏置(offset)組件150的橫截面視圖。過程變送器偏置150包括具有形成腔157的隔離膜154的隔離膜組件152。壓力導管156從腔157延伸到壓力傳感器模塊158。在圖2的構造中，通氣壓力導管170也從傳感器模塊158延伸到通氣埠172和隔離膜組件152。填充流體導管176設置用於將填充流體填充入導管156。變送器支撐件160圍繞導管156和170，並支撐壓力傳感器模塊158。在圖2的構造中，變送器支撐件160具有管狀形狀，然而，可以使用任何形狀。所述管160可以由任何適合的材料形成。在一個具體實施例中，所述管160由相對薄的高溫塑料壁形成。使用灌封混合物180，所述壓力傳感器模塊158被安裝在支撐件160中。空氣間隙182提供了隔離膜組件152和壓力傳感器模塊158之間的熱隔離。電連接190連接到未在圖2中示出的變送器電子設備。所述電連接190例如能夠包括柔性電路。所述壓力傳感器模塊158可包括溫度傳感器(在下面詳細描述)，用於補償壓力傳感器測量值。灌封材料180提供了用於模塊158的支撐結構，並可用於滿足固有的安全要求。所述空氣間隙182可填充有任何期望的材料，並且例如可構成實質上的真空。
圖3是根據另一示例實施例的壓力傳感器變送器組件200的橫截面視圖。在圖3的實施例中，壓力變送器202經偏置組件204連接到隔離膜組件206。在這種構造中，偏置組件204包括沿焊縫208被焊接到隔離膜組件206的不鏽鋼外殼207。在所示實施例中，外殼207具有管狀形狀，並提供了變送器支撐件。
變送器202包括變送器外殼210和蓋212。在圖3的構造中，所述外殼210與管狀不鏽鋼外殼207連續。變送器電子設備220經柔性電路222連接到壓力傳感器234。壓力傳感器234經填充流體導管236連接到隔離膜組件206。所述變送器電子設備220經饋通228連接到接線板230。現場布線引入線232被設置在外殼210中，用於連接到接線板230。
圖4是根據另一示例實施例的壓力變送器組件300的橫截面視圖。壓力變送器組件300包括壓力變送器302，所述壓力變送器302被連接到包括隔離膜組件306的偏置組件304。偏置組件304包括在焊縫310處連接到隔離膜組件306的變送器支撐件308。支撐件308沿焊縫312連接到變送器主體320。承載在變送器主體320內的變送器電路322經柔性電纜324連接到壓力傳感器332。壓力傳感器332經填充流體導管334連接到隔離膜組件306。電路322經柔性電纜328連接到連接頭326。連接頭326能夠為兩線過程控制迴路或其它數據接口提供連接。
圖5是根據另一示例實施例的變送器組件350的橫截面視圖。變送器350包括具有連接到隔離膜組件356的整體變送器偏置支撐件354的變送器外殼352。壓力變送器的壓力傳感器358包括壓力埠360。導管370從壓力埠360延伸到隔離膜組件356。可選的溫度傳感器372被顯示安裝在壓力傳感器358上。變送器電子電路374電連接到壓力傳感器358，並能夠經現場布線埠376連接到現場布線(圖5中未示出)。整體變送器偏置支撐件354的內部提供了能夠填充氣體、真空或絕緣材料的隔離或絕緣體積，以提供期望的熱隔離。示例絕緣材料包括RTV(室溫硫化)、泡沫或其它材料。這種構造能夠可以對超過200℃的溫度的過程流體操作，同時將壓力傳感器358和變送器電子設備374保持在冷得多的溫度，例如85℃以下的溫度。
圖6A是顯示過程溫度對具有典型的現有技術構造的壓力變送器的多種構件的影響的曲線；圖6B是顯示對根據本發明的一個示例實施例的變送器組件的溫度影響的曲線。圖6A顯示了作為上限的一定百分比的零位偏移的過程溫度和多種構件的測量溫度的曲線。所述曲線顯示了當壓力變送器暴露於一定範圍的過程溫度時的多種構件的溫度。連接器溫度的曲線顯示了當它最接近過程時最陡的增加。然而，當過程流體在200℃時，緊鄰壓力傳感器的PRT溫度傳感器也實質上升到120℃。甚至變送器電子電路顯示增加到超過80℃。隨著過程溫度的增加，這些溫度變化的影響能夠在壓力變送器的零讀數上看到。作為對比，如圖6B所示，當過程溫度增加到200℃，壓力傳感器溫度僅到達約65℃。圖6B中的其它線顯示了過程變送器的其它區域的溫度，包括外殼的內部頂部區域、內部空氣(間隙)區域、內部底部和頸部。也顯示了隨著溫度的增加作為量程的一定百分比的零位偏移。
如上所述，在本發明的另一方面中，溫度傳感器能夠與溫度隔離一起用於提供溫度補償。圖7是顯示變送器350中的溫度傳感器的示例位置的圖5所示壓力變送器的橫截面視圖。溫度傳感器380位於隔離膜組件中；溫度傳感器382沿變送器支撐件結構定位；溫度傳感器384位置鄰近壓力傳感器；和溫度傳感器386被安裝在變送器電子設備上。這些溫度傳感器380-386被連接到變送器350中的電路，並用於給變送器提供的壓力相關輸出的提供溫度補償。每個溫度傳感器380-386能夠用於補償不同溫度對壓力輸出的影響。雖然顯示了4個不同的溫度傳感器，在本發明中，在期望的位置處可以使用任何數目的溫度傳感器。溫度傳感器能夠被用於動態補償與其連接的相關子系統。特殊的補償特徵能夠通過壓力變送器系統的法定標準的(imperial)測試或模擬(molding)和邏輯確定，並能夠用於減小瞬時誤差。所述溫度傳感器能夠被放置在變送器內的位置以提供與由於傳感器附近的構件的溫度變化導致的相關量的誤差成比例的補償。
本發明提供了一種用於將壓力變送器與高溫過程連接隔離的技術。整體壓力變送器組件包括與隔離膜組件成間隔開構造的壓力變送器。這種構造使電路和壓力傳感器在更低的溫度操作，同時過程連接可在230℃或更高的溫度。所述模塊結構使本發明可在很寬的範圍應用中應用，並允許使用簡單和低成本組件技術，同時使發明的要求最低。所述熱隔離可以通過改變支撐結構中使用的材料和/或加長支撐結構得以增加。溫度傳感器能夠用於補償根據已知技術測量的過程變量。然而，除了在壓力傳感器附近放置用於補償的溫度傳感器，在一個示例實施例中，溫度傳感器被放置在隔離膜組件附近。所述壓力傳感器能夠被用於測量標準、絕對和差分壓力。溫度傳感器能夠被設置在用於溫度補償的電子電路板上。利用用於補償溫度變化的熱導性材料，所述溫度傳感器能夠被熱連接到壓力傳感器。
雖然本發明是參考優選實施進行描述的，但本領域中的普通技術人員將會意識到在不離開本發明的精神和範圍的情況下，可以做一些形式與細節的變動。能夠使用任意類型的隔離膜組件，並且本發明並不局限於這裡特別列出的那些隔離膜組件。類似地，可以使用其它壓力變送器構造。所述隔離填充流體可以是任何類型的構造或形狀。根據需要可以使用任意類型的壓力傳感器、隔離膜或變送器電子設備。本發明使用的壓力變送器組件中使用的壓力變送器組件能夠具有一種構造，並且不排它地，典型地將包括變送器電子設備和/或壓力傳感器。在一個實施例中，隔離膜與壓力傳感器之間的間隙超過約1.3英寸。在另一示例實施例中，從隔離膜到壓力傳感器測量的熱導性小於約1W/mK(瓦/米*開氏溫度)。所述變送器支撐結構能夠由被安裝到變送器組件模塊和/或隔離膜組件的分離構件形成，或它能夠是與壓力變送器模塊和/或隔離膜組件一體形成的構件。根據所需，所述壓力傳感器能夠位於變送器模塊內、變送器支撐件內或在其它位置。
權利要求書(按照條約第19條的修改)1.一種用於測量過程流體的壓力的壓力變送器組件，包括隔離膜組件，所述隔離膜組件包括隔離膜，所述隔離膜構造為沿過程接口側連接到過程流體並且限定了與過程接口側相對的隔離腔；壓力傳感器，所述壓力傳感器被連接到隔離膜組件，並與所述隔離膜組件物理間隔開，以提供與隔離膜組件附近的過程流體的熱隔離；從由隔離膜限定的隔離腔延伸到壓力傳感器的導管，所述導管構造為輸送隔離填充流體，從而將施加到所述隔離膜的壓力傳送到所述壓力傳感器；和將變送器模塊連接到隔離膜組件的變送器支撐件。
2.根據權利要求1所述的壓力變送器組件，其中所述變送器支撐件具有相對低的熱傳導率。
3.根據權利要求1所述的壓力變送器組件，其中所述變送器支撐件包括由相對薄的壁形成的支撐件。
4.根據權利要求1所述的壓力變送器組件，其中所述變送器支撐件是管狀的。
5.根據權利要求1所述的壓力變送器組件，其中所述變送器支撐件包括塑料。
6.根據權利要求1所述的壓力變送器組件，其中利用灌封混合物變送器模塊連接到變送器支撐件。
7.根據權利要求1所述的壓力變送器組件，其中所述隔離膜組件和壓力變送器模塊之間的間隔包括空氣間隙。
8.根據權利要求1所述的壓力變送器組件，其中所述隔離膜組件包括通氣埠。
9.根據權利要求8所述的壓力變送器組件，包括在壓力變送器模塊和通氣埠之間延伸的通氣壓力管。
10.根據權利要求1所述的壓力變送器組件，包括傳感器模塊，所述傳感器模塊包括壓力埠。
11.根據權利要求10所述的壓力變送器組件，包括壓力變送器模塊，所述壓力變送器模塊具有連接到傳感器模塊中的電路的電連接。
12.根據權利要求11所述的壓力變送器組件，其中所述壓力變送器模塊包括通過電連接電連接到傳感器模塊中的電路的輸出電子設備。
13.根據權利要求11所述的壓力變送器組件，其中所述電連接包括柔性電路。
14.根據權利要求1所述的壓力變送器組件，包括用於補償由於溫度變化導致的壓力測量變化的溫度傳感器。
15.根據權利要求1所述的壓力變送器組件，包括用於補償由於溫度變化導致的壓力測量變化的多個溫度傳感器。
16.根據權利要求1所述的壓力變送器組件，包括熱傳導性材料，所述熱傳導性材料將壓力傳感器熱連接到承載在壓力變送器中的電子電路板上的熱傳感器。
17.根據權利要求1所述的壓力變送器組件，其中所述隔離膜與壓力傳感器之間的間隙大於約1.3英寸。
18.根據權利要求1所述的壓力變送器組件，其中從隔離膜到壓力傳感器測量的熱導性小於約1W/m°K。
19.一種製造用於連接到高溫過程流體的壓力變送器的方法，包括提供隔離膜組件，所述隔離膜組件包括隔離膜，所述隔離膜構造為沿過程接口側連接到過程流體並且限定了與過程接口側相對的隔離腔；提供壓力傳感器；在與隔離膜組件物理間隔開的位置處將壓力傳感器加接到隔離膜組件，以提供與隔離膜組件附近的過程流體的熱隔離；和利用導管將由隔離膜限定的隔離腔連接到壓力傳感器，所述導管被構造為輸送隔離填充流體，從而將施加到隔離膜的壓力傳送到壓力傳感器。
20.根據權利要求19所述的方法，其中所述變送器支撐件具有相對低的熱傳導率。
21.根據權利要求19所述的方法，包括利用灌封混合物填充變送器支撐件。
22.根據權利要求19所述的方法，其中所述隔離膜組件包括通氣埠，並且所述方法包括將壓力變送器模塊連接到通氣埠。
23.根據權利要求19所述的方法，包括提供用於補償由於溫度變化導致的壓力測量變化的溫度傳感器。
24.根據權利要求23所述的方法，包括提供用於提供溫度補償的多個溫度傳感器。
權利要求
1.一種用於測量過程流體的壓力的壓力變送器組件，包括隔離膜組件，所述隔離膜組件包括隔離膜，所述隔離膜構造為沿過程接口側連接到過程流體並且限定了與過程接口側相對的隔離腔；壓力傳感器，所述壓力傳感器被連接到隔離膜組件，並與所述隔離膜組件物理間隔開，以提供與隔離膜組件附近的過程流體的熱隔離；和從由隔離膜限定的隔離腔延伸到壓力傳感器的導管，所述導管構造為輸送隔離填充流體，從而將施加到所述隔離膜的壓力傳送到所述壓力傳感器。
2.根據權利要求1所述的設備，包括將變送器模塊連接到隔離膜組件的變送器支撐件。
3.根據權利要求2所述的設備，其中所述變送器支撐件具有相對低的熱傳導率。
4.根據權利要求2所述的設備，其中所述變送器支撐件包括由相對薄的壁形成的支撐件。
5.根據權利要求2所述的設備，其中所述變送器支撐件是管狀的。
6.根據權利要求2所述的設備，其中所述變送器支撐件包括塑料。
7.根據權利要求2所述的設備，其中變送器模塊利用灌封混合物連接到變送器支撐件。
8.根據權利要求2所述的設備，其中隔離膜組件與壓力變送器模塊之間的間隔包括空氣間隙。
9.根據權利要求1所述的設備，其中所述隔離膜組件包括通氣埠。
10.根據權利要求9所述的設備，包括在壓力變送器模塊和通氣埠之間延伸的通氣壓力管。
11.根據權利要求1所述的設備，包括傳感器模塊，所述傳感器模塊包括壓力埠。
12.根據權利要求11所述的設備，包括具有連接到傳感器模塊中的電路的電連接的壓力變送器模塊。
13.根據權利要求12所述的設備，其中所述壓力變送器模塊包括通過所述電連接電連接到傳感器模塊中的電路的輸出電子設備。
14.根據權利要求12所述的設備，其中所述電連接包括柔性電路。
15.根據權利要求1所述的設備，包括用於補償由於溫度變化導致的壓力測量變化的溫度傳感器。
16.根據權利要求1所述的設備，包括用於補償由於溫度變化導致的壓力測量變化的多個溫度傳感器。
17.根據權利要求1所述的設備，包括熱傳導性材料，所述熱傳導性材料將壓力傳感器熱連接到承載在壓力變送器中的電子電路板上的熱傳感器。
18.根據權利要求1所述的設備，其中所述隔離膜與壓力傳感器之間的間隙大於約1.3英寸。
19.根據權利要求1所述的設備，其中從隔離膜到壓力傳感器的熱導性小於約1W/m°K。
20.一種製造用於連接到高溫過程流體的壓力變送器的方法，包括提供隔離膜組件，所述隔離膜組件包括隔離膜，所述隔離膜構造為沿過程接口側連接到過程流體並且限定了與過程接口側相對的隔離腔；提供壓力傳感器；在與隔離膜組件物理間隔開的位置處將壓力傳感器加接到隔離膜組件，以提供與隔離膜組件附近的過程流體的熱隔離；和利用導管將由隔離膜限定的隔離腔連接到壓力傳感器，所述導管被構造為輸送隔離填充流體，從而將施加到隔離膜的壓力傳送到壓力傳感器。
21.根據權利要求20所述的方法，其中所述加接包括提供連接到隔離膜組件的變送器支撐件。
22.根據權利要求21所述的方法，其中所述變送器支撐件具有相對低的熱傳導率。
23.根據權利要求21所述的方法，包括用灌封混合物填充變送器支撐件。
24.根據權利要求20所述的方法，其中所述隔離膜組件包括通氣埠，並且所述方法包括將壓力變送器模塊連接到通氣埠。
25.根據權利要求20所述的方法，包括提供用於補償由於溫度變化導致的壓力測量變化的溫度傳感器。
26.根據權利要求25所述的方法，包括提供用於提供溫度補償的多個溫度傳感器。
全文摘要
用於測量過程流體(104)的壓力的壓力變送器組件(106)包括隔離膜組件(120)。壓力傳感器(130)與隔離膜組件(120)間隔開以提供熱隔離。導管(122)從隔離膜組件(120)延伸到壓力傳感器(130)，並被構造以輸送隔離填充流體。
文檔編號G01L19/06GK1997880SQ200580017485
公開日2007年7月11日 申請日期2005年6月15日 優先權日2004年6月25日
發明者戴維·安德魯·布羅德, 凱麗·M·奧瑟, 乍德·邁克·麥奎爾, 弗雷德·查爾斯·席德勒 申請人:羅斯蒙德公司