吸附墊的製作方法

2024-04-12 11:11:05 2

1.本發明涉及吸附玻璃板等板材的吸附墊。


背景技術：

2.在被用作液晶顯示器、等離子顯示器、有機el顯示器等平板顯示器、太陽能電池等的基板的玻璃板的製造工序中，有時包括將玻璃板一邊由吸附墊吸附一邊移動的工序。
3.作為吸附墊，通常是使墊主體的圓錐狀的裙部與玻璃板的表面接觸，並利用真空泵等吸引在墊主體與玻璃板之間形成的氣密空間內的氣體而吸附玻璃板的結構。
4.然而，若玻璃板變薄，則在利用吸附墊吸附了時，玻璃板向吸引方向彎曲而不當撓曲，可能成為產生損傷、破損的原因。
5.因此，例如，在專利文獻1的圖9中公開有在氣密空間內配置由能夠供負壓流體通過的多孔質體構成的平面狀的墊，並經由該墊來吸附工件。
6.現有技術文獻
7.專利文獻
8.專利文獻1：日本特開2012-110982號公報


技術實現要素：

9.發明要解決的課題
10.然而，在將專利文獻1的圖9的結構應用於玻璃板的吸附的情況下，墊主體的裙部隔著在墊的周緣部較薄地形成的唇部而與玻璃板接觸。即，墊主體的裙部不與玻璃板直接接觸，因此玻璃板的吸附力可能變得不充分。需要說明的是，在專利文獻1中，若通過衝壓來壓縮從而形成薄壁的唇部，則伴隨著衝壓而空穴被壓扁，因此唇部作為將流體的通過阻斷的密封部而發揮功能。在該情況下，伴隨著利用衝壓使唇部的剛性變高而柔軟性受損，因此在吸附時有可能對玻璃板造成損傷。
11.另外，在專利文獻1中公開有在將玻璃板的吸附解除時停止對氣密空間供給負壓，但存在使吸附墊與玻璃板分離需要時間這樣的問題。需要說明的是，也考慮供給對氣密空間內進行加壓的氣體，使吸附墊與玻璃板分離，但在這種情況下另外需要進行加壓的氣體的供給設備，因此可能產生設備複雜化等新的問題。
12.需要說明的是，以上那樣的問題在對玻璃板以外的板材使用吸附墊的情況下也可能同樣產生。
13.本發明的課題在於，在吸附墊的吸附執行時確保高吸附力的同時抑制板材的撓曲，並且在吸附墊的吸附解除時將板材迅速分離。
14.用於解決課題的方案
15.為了解決上述的課題而做出的本發明為一種吸附墊，其吸附板材，所述吸附墊的特徵在於，所述吸附墊具備：墊主體，其在與板材之間形成氣密空間；以及第一發泡構件，其配置於氣密空間內並與板材接觸，墊主體具備：排氣口，其用於將氣密空間內的氣體排出；
以及裙部，其在第一發泡構件的外緣部的外側與板材接觸，裙部能夠通過與板材的接觸而發生彈性變形，並且能夠在彈性變形的復原力的作用下從板材分離。
16.如此一來，能夠在利用第一發泡構件維持適度緩衝性的同時，可靠地抑制板材的撓曲。另外，裙部在第一發泡構件的外緣部的外側與板材接觸，因此能夠容易確保氣密空間內的氣密性，並提高吸附力。而且，若停止對氣密空間供給負壓，則裙部能夠在彈性變形的復原力的作用下從板材分離，因此能夠縮短直到將吸附墊與板材分離所需的時間。需要說明的是，由於利用裙部的彈性變形的復原力，因此也不另外需要供給對氣密空間內進行加壓的氣體的設備等。
17.在上述的結構中，優選的是，第一發泡構件的外緣部的厚度比第一發泡構件的外緣部的內側的中心部的厚度薄。
18.如此一來，裙部與板材在第一發泡構件的外緣部的外側更可靠地接觸，因此能夠防止吸附墊吸附板材的吸附錯誤。
19.在上述的結構中，優選的是，第一發泡構件的外緣部從內側趨向外側而逐漸變薄。
20.如此一來，在吸附時順暢地產生裙部的彈性變形，因此能夠減少伴隨著與裙部的接觸的板材變形。另外，裙部的彈性變形的復原也順暢地產生，因此容易將吸附了的板材分離。
21.在上述的結構中，優選的是，第一發泡構件具有從排氣口朝向板材在厚度方向上貫通的排氣孔。
22.如此一來，通過排氣孔而對板材直接作用負壓，因此與經由第一發泡構件作用負壓的情況相比，板材的吸附力提高。
23.在上述的結構中，優選的是，排氣口的內壁由第二發泡構件構成。
24.如此一來，第一發泡構件的排氣孔的周邊不是被墊主體支承，而是被第二發泡構件支承。因此，在板材中的位於排氣孔的周邊的部分，能夠緩和局部變形，能夠抑制板材損傷或者破損。另外，能夠將排氣口的開口面積減小與第二發泡構件的厚度相當的量，因此也能夠抑制板材的局部變形的產生自身。
25.在上述的結構中，優選的是，排氣口的內徑為30mm以下。
26.如此一來，排氣口的開口面積充分地變小，因此能夠抑制板材在與排氣口對應的位置局部變形的情況，能夠進一步減少板材損傷或者破損的情況。
27.在上述的結構中，優選的是，板材為玻璃板。
28.發明效果
29.根據本發明，能夠在吸附墊的吸附執行時確保高吸附力的同時抑制板材的撓曲。另外，能夠在吸附墊的吸附解除時將板材迅速分離。
附圖說明
30.圖1是示出本發明的一實施方式的吸附墊的剖視圖。
31.圖2是示出利用本發明的一實施方式的吸附墊吸附了玻璃板的狀態的剖視圖。
32.圖3是圖2的x區域的放大圖，且示出玻璃板的吸附時的狀態。
33.圖4是圖2的x區域的放大圖，且示出玻璃板的分離時的狀態。
具體實施方式
34.以下，基於附圖對本發明的實施方式進行說明。需要說明的是，以下，例示具備本發明的一實施方式的吸附墊的吸附裝置。
35.如圖1～圖4所示，本實施方式的吸附裝置1具備吸附墊2以及真空泵3。需要說明的是，在本實施方式中，對吸附對象的板材為玻璃板g的情況進行說明。
36.吸附墊2具備：墊主體4，其在與玻璃板g之間形成氣密空間s；以及第一發泡構件5，其配置於氣密空間s內並與玻璃板g接觸。
37.墊主體4具備：排氣口6，其用於將氣密空間s內的氣體(例如空氣)排出；以及裙部7，其在第一發泡構件5的徑向的外側與玻璃板g接觸。墊主體4由不使氣密空間s內的氣體通過的橡膠等彈性體構成。
38.在排氣口6經由配管8而連接有真空泵3。通過該真空泵3的吸引動作，將氣密空間s內的氣體從排氣口6排氣，並對氣密空間s作用負壓。
39.排氣口6的內徑d優選為30mm以下，更優選為25mm以下，最優選為20mm以下。如此一來，排氣口6充分小，因此能夠抑制在與排氣口6對應的部分玻璃板g向吸引方向局部變形。另一方面，若排氣口6的內徑d過小，則有可能在後述的吸附工序中氣密空間s內的氣體的排出所需的時間以及在分離工序中使氣密空間s的氣壓上升到一定程度所需的時間變長，響應性降低。因此，排氣口6的內徑d優選為10mm以上。
40.裙部7能夠通過與玻璃板g的接觸而發生彈性變形(參照圖2以及圖3)，並且能夠在彈性變形的復原力的作用下從玻璃板g分離(參照圖4)。在本實施方式中，裙部7呈圓錐狀，並從內側趨向外側而厚度逐漸變薄。裙部7的薄壁的前端部7a成為與玻璃板g接觸的接觸部。
41.第一發泡構件5具備相對薄壁的外緣部9以及相對厚壁的中心部10。
42.外緣部9從內側趨向外側而厚度逐漸變薄。中心部10為呈大致恆定的厚度的板狀體。外緣部9的玻璃板g側的面以及中心部10的玻璃板g側的面成為與玻璃板g抵接的抵接面5a。
43.在本實施方式中，在中心部10設置有從排氣口6朝向玻璃板g沿厚度方向貫通的排氣孔11。需要說明的是，在第一發泡構件5具有通氣性的情況下，排氣孔11也可以省略，但從提高吸附力的觀點出發，優選為設置排氣孔11。需要說明的是，排氣孔11的內徑在本實施方式中與排氣口6的內徑相同，但既可以比排氣口6的內徑大，也可以比排氣口6的內徑小。
44.第一發泡構件5固定於墊主體4的內壁。需要說明的是，第一發泡構件5的固定方法沒有特別限定，但例如利用粘接劑固定於墊主體4的內壁。
45.在墊主體4中的裙部7的前端部7a的內壁未固定第一發泡構件5。即，在從玻璃板g側觀察的情況下，裙部7的前端部7a向第一發泡構件5的徑向的外側伸出。裙部7的前端部7a的徑向的伸出寬度w優選為2mm～10mm。
46.在墊主體4的中心設置有沿厚度方向貫通的貫通孔12，在該貫通孔12的內壁配置有圓筒狀的第二發泡構件13。即，圓筒狀的第二發泡構件13的內孔作為排氣口6而發揮功能。若如此配置第二發泡構件13，則容易與玻璃板g的厚度相應地調整排氣口6的內徑。另外，第一發泡構件5的排氣孔11的周邊不是被墊主體4支承，而是被容易變形的第二發泡構件13支承。因此，在玻璃板g中的位於排氣孔11的周邊的部分，能夠緩和局部變形，能夠抑制
玻璃板g損傷或者破損。
47.第二發泡構件13以被壓縮了的狀態插入貫通孔12的內部，並利用其復原力而固定於貫通孔12的內壁。即，第二發泡構件13未粘接固定於貫通孔12的內壁。第二發泡構件13的插入深度被第一發泡構件5限制。第二發泡構件13的固定方法沒有特別限定，例如也可以利用粘接劑固定於排氣口6的周壁。需要說明的是，第二發泡構件13也可以省略。
48.作為第一發泡構件5以及第二發泡構件13，是具有獨立氣泡結構或者連續氣泡結構的多孔質彈性體，例如能夠使用聚氨酯海綿。需要說明的是，第一發泡構件5以及第二發泡構件13可以設為發泡倍率等不同的不同材質，在這種情況下可以將第一發泡構件5設為高密度(高硬度)並將第二發泡構件13設為低密度(低硬度)。當然，第一發泡構件5以及第二發泡構件13也可以是相同材質。
49.接下來，對利用具備上述的結構的吸附裝置1吸附玻璃板g的吸附工序以及將玻璃板g分離的分離工序分別進行說明。
50.如圖1所示，在吸附工序中，使吸附墊2的裙部7的前端部7a與玻璃板g的表面接觸。在該狀態下，通過真空泵3的吸引動作，對吸附墊2的氣密空間s內的氣體進行真空吸引。當氣密空間s的氣壓降低時，如圖2所示，在伴隨著氣密空間s的容積的減少的同時墊主體4的裙部7強力地壓接於玻璃板g的表面ga，裙部7發生彈性變形。伴隨於此，氣密空間s內的第一發泡構件5的抵接面5a也強力地壓接於玻璃板g的表面ga，第一發泡構件5發生壓縮變形。此時，如在圖3中放大所示，裙部7的前端部7a與玻璃板g的表面ga接觸，並以仿照玻璃板g的表面ga而翹曲的方式變形。由此，玻璃板g被負壓可靠地吸附於吸附墊2。
51.在該狀態下，在玻璃板g的表面ga壓接有具有適度緩衝性的第一發泡構件5，因此抑制玻璃板g向吸引方向的彎曲。因而，不易在玻璃板g產生由不當彎曲帶來的撓曲，能夠抑制玻璃板g的損傷、破損。另外，裙部7在第一發泡構件5的外緣部9的徑向的外側與玻璃板g直接接觸，因此能夠容易確保氣密空間s內的氣密性，並提高吸附力。
52.在分離工序中，停止真空泵3的吸引動作，將氣密空間s大氣開放。伴隨於此，當氣密空間s的氣壓上升到一定程度時，如在圖4中放大所示，裙部7的前端部7a在彈性變形的復原力的作用下要恢復成原來的形狀。在該裙部7的前端部7a的復原變形的作用下玻璃板g被向從吸附墊2分離的方向按壓。其結果是，玻璃板g從吸附墊2迅速分離。由此，能夠縮短直到將吸附墊與玻璃板分離為止所需的時間。另外，由於利用裙部7的彈性變形的復原力，因此還具有也不另外需要供給對氣密空間s內進行加壓的氣體的設備等這樣的優點。
53.在吸附工序中以仿照玻璃板g的表面ga而翹曲的方式變形的薄壁的前端部7a優選為將厚度設為例如2～10mm。另外，薄壁的前端部7a優選為將徑向的寬度設為例如2mm以上，更優選為設為伸出寬度w以上，進一步優選為設為(w+5)mm以上。其上限優選為設為例如(w-+-15)mm以下。
54.如前述那樣，在吸附工序中，利用具有適度緩衝性的第一發泡構件5來抑制玻璃板g向吸引方向的彎曲。因此，玻璃板g優選為具有撓性。玻璃板g的厚度越薄則抑制該玻璃板g的彎曲的效果越顯著，因此玻璃板g的厚度優選為0.5mm以下，更優選為0.4mm以下，進一步優選為0.3mm以下。其下限優選為0.05mm以上。
55.以上，說明了本發明的實施方式，但當然本發明並不限定於該方式，能夠在本發明的範圍內採取各種方式。
56.吸附墊2例如用於在玻璃板g的製造工序(主要是加工工序)中使玻璃板g移動時。具體而言，用於使玻璃板g在切斷成規定尺寸之後移動時、從玻璃板g的搬運路徑上抽出檢查用的玻璃板時、將玻璃板g裝載於捆包用託盤時、將玻璃板g從捆包用託盤卸下時等。另外，吸附墊2既可以將縱姿態(例如鉛垂姿態)的玻璃板g吸附、分離，也可以將橫姿態(例如水平姿態)的玻璃板g吸附、分離。
57.在上述的實施方式中，對在從吸附墊2分離玻璃板g時利用裙部7的彈性變形的復原力的情況進行了說明，但也可以在分離時同時採用裙部7的彈性變形的復原力與氣體向氣密空間s內的供給。
58.在上述的實施方式中，對板材為玻璃板g的情況進行了說明，但板材並不限定於此。例如對於金屬板、矽板(矽晶片)、樹脂板、玻璃板與樹脂板的層疊體等板材也能夠應用本發明。在得到對玻璃板g的彎曲進行抑制的效果的觀點中，優選為板材具有撓性。
59.附圖標記說明
[0060]1ꢀꢀꢀ
吸附裝置
[0061]2ꢀꢀꢀ
吸附墊
[0062]3ꢀꢀꢀ
真空泵
[0063]4ꢀꢀꢀ
墊主體
[0064]5ꢀꢀꢀ
第一發泡構件
[0065]
5a
ꢀꢀꢀ
抵接面
[0066]6ꢀꢀꢀ
排氣口
[0067]7ꢀꢀꢀ
裙部
[0068]
7a
ꢀꢀꢀ
前端部
[0069]8ꢀꢀꢀ
配管
[0070]9ꢀꢀꢀ
外緣部
[0071]
10
ꢀꢀꢀ
中心部
[0072]
11
ꢀꢀꢀ
排氣孔
[0073]
12
ꢀꢀꢀ
貫通孔
[0074]
13
ꢀꢀꢀ
第二發泡構件
[0075]gꢀꢀꢀ
玻璃板
[0076]
ga
ꢀꢀꢀ
表面
[0077]sꢀꢀꢀ
氣密空間。