一種四氟化碳的純化系統的製作方法

2023-12-05 10:13:11 1

本發明涉及氣體純化領域，尤其涉及一種四氟化碳的純化系統。

背景技術：

四氟化碳是目前微電子工業中重要的等離子體蝕刻氣體，廣泛用於矽、二氧化矽、氮化矽、磷矽玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、雷射技術、低溫製冷、氣體絕緣、洩漏檢測劑、印刷電路生產中的去汙劑、潤滑劑及制動液等方面也有大量應用。四氟化碳合成方法很多，包括氫氟化碳與氟氣、氯氟化碳在催化劑存在下與氟化氫以及氟氣與碳源直接接觸反應製備四氟化碳等。其中，目前成熟工藝採用氫氟化碳、氯氟化碳做碳源製備四氟化碳，原材料價格昂貴，易發生爆炸，且合成產物中有不易去除的雜質；氟碳直接接觸反應法製備四氟化碳，該方法經過不斷的發展與完善，已能夠製備出四氟化碳。

但是，現有的四氟化碳純化系統的純化效果不高，除塵效果並不理想，不利於四氟化碳的製備。

技術實現要素：

本發明的目的在於提出一種四氟化碳的純化系統，除塵效果好，四氟化碳的純化效果理想。

為達此目的，本發明採用以下技術方案：

一種四氟化碳的純化系統，包括氟氣源、反應裝置、水洗塔、鹼洗塔和精餾塔；

所述反應裝置包括第二除塵器；

所述第二除塵器包括集塵管、第二排汙管和第四進氣管；

所述第四進氣管豎向設置，其底部位於所述集塵管內，其頂部貫穿於所述集塵管的頂部；

所述第四進氣管的底部設有氣體分布器，位於所述氣體分布器的上方設有氣體擾流板；

所述第二排汙管設於所述集塵管的底部；

所述氟氣源、反應裝置、水洗塔、鹼洗塔和精餾塔依次連接。

進一步，所述純化系統還包括緩衝氣袋、冷卻器、低壓吸附器、加壓吸附器和充裝器；

所述氟氣源、反應裝置、水洗塔、鹼洗塔、緩衝氣袋、冷卻器、低壓吸附器、加壓吸附器、精餾塔和充裝器依次連接。

進一步，所述反應裝置包括依次連接的第一反應器和第二反應器；

所述第一反應器包括第一除塵器，所述第二反應器包括第二除塵器；

所述第一反應器還包括第一料倉管、預熱管和反應管；

所述第一料倉管的底部設有喇叭狀的擴容管，所述擴容管由其上端的開口向其下端的開口逐漸向內收窄；

所述第一料倉管、擴容管和預熱管均為豎向設置，所述反應管為橫向設置；

所述預熱管的上端與所述擴容管下端的開口連接，所述預熱管的下端連通於所述反應管的外壁；

所述反應管的兩端設有第一進氣口；

所述第一料倉管設有第一排氣管，其連接於所述第一除塵器；

所述第二反應器還包括第二料倉管、集氣管、加熱套管和第三排氣管；

所述集氣管設於所述第二料倉管的底部；

所述集氣管的頂部設有開口且連通至所述第二料倉管的內部；

所述集氣管的頂部開口處設有篩板；

所述集氣管設有第三進氣管，其連接於所述第一除塵器；

所述第三排氣管連接於所述第二除塵器的所述第四進氣管；

所述加熱套管具有多個，其為中空的，其橫向貫穿於所述第二料倉管；

所述加熱套管內設置加熱管。

進一步，第一料倉管的頂部設有第一加料管和放空管；

所述第一加料管的一端和放空管的一端分別連通於所述第一料倉管的頂部；

所述第一加料管的另一端和所述反應管的兩端均設有法蘭和法蘭蓋，所述法蘭蓋安裝於所述法蘭

進一步，所述第一反應器還包括冷卻箱；

所述反應管設於所述冷卻箱內，所述反應管的兩端凸出於所述冷卻箱的外部。

所述冷卻箱為矩形箱體，其頂部設有開口；

所述冷卻箱的其中一側壁的底部外壁至少設有一個進水管；

所述冷卻箱的其中一側壁的頂部近端處的外壁至少設有一個溢流管；

所述反應管設有至少一個溫度計套管；

所述溫度計套管的下端封閉且位於所述反應管內；

所述溫度計套管內設有溫度檢測器。

進一步，所述第一除塵器包括除塵管和隔板；

所述隔板包括上隔板和下隔板，所述上隔板和下隔板的數量均至少為一；

所述上隔板和下隔板等間距地焊接於所述除塵管內；

相鄰的所述上隔板和下隔板形成除塵氣路；

所述除塵管的外壁設有連通於所述除塵管內部的第二進氣管和第二排氣管，所述第一排氣管與所述第二進氣管連接。

進一步，所述除塵管的兩端均設有法蘭蓋和法蘭，所述法蘭蓋安裝於所述法蘭以密封所述除塵管；

所述上隔板的頂部與所述除塵管頂端的所述法蘭蓋的下表面貼合，所述下隔板的底部與所述除塵管底端的所述法蘭蓋的上表面貼合；

所述第一除塵器還包括擋板；

所述擋板固定於所述法蘭蓋，並且分別位於所述上隔板或下隔板的焊接處的兩側；

所述除塵管的底端設有喇叭狀的密封管；

所述除塵管的底端的所述法蘭蓋設有連通於所述除塵管內部的第一排汙管，所述第一排汙管設有閥門。

進一步，所述第二料倉管的頂部設有第二加料管，所述第二加料管的一端連通於所述第二料倉管的內部，其另一端設有法蘭和法蘭蓋，所述法蘭蓋安裝於所述法蘭；

所述第三排氣管設於所述第二加料管的外壁；

所述第二反應器還包括溫度檢測器，其設於所述第二料倉管，並靠近於所述加熱套管。

進一步，所述氣體分布器為喇叭狀；

所述氣體分布器由其上端的開口向其下端的開口逐漸向外擴張；

所述氣體分布器在其上端開口處固定於所述第四進氣管的底部；所述氣體分布器上排列滿氣孔。

進一步，所述氣體擾流板為喇叭狀；

所述氣體擾流板由其上端的開口向其下端的開口逐漸向內收窄，其上端的開口的邊沿固定於所述集塵管的內壁；

所述第二排汙管向外傾斜；

所述第二排汙管一側的頂部與所述集塵管的底部平面形成的角度A為鈍角；

所述第二排汙管另一側的頂部與所述集塵管的底部平面形成的角度B為銳角；

所述第二排汙管的底部設有排汙口；

所述集塵管設有第四排氣管，其位於所述氣體擾流板的上方，並靠近於所述集塵管頂部的外壁；

所述集塵管內設有半圓形擋板，其位於所述第四進氣管內靠近於所述第四排氣管的那一側，且位於所述第四排氣管的下方；

所述半圓形擋板為向下傾斜設置。

本發明的目的在於提出一種四氟化碳的純化系統，其純化效果理想，除塵效果好。

當混雜有碳粉的四氟化碳氣體經過所述第四進氣管後從所述第四進氣管的底部排出，所述第四進氣管豎向設置，使其安裝更加方便，所述氣體分布器能夠將混雜有碳粉的四氟化碳氣體均勻分布，在所述氣體擾流板的作用下，混雜有碳粉的四氟化碳氣體會在所述集塵管內停留更長的時間，更加利於碳粉的沉降於所述第二排汙管中，所述第四排氣管位於所述氣體擾流板的上方，使最終從其中排出的四氟化碳氣體的純度更加高，混雜更加少的碳粉。

附圖說明

圖1是本發明其中一個實施例的第一反應器的正面的局部剖面圖。

圖2是本發明其中一個實施例的第一反應器的側面的局部剖面圖。

圖3是本發明其中一個實施例的第一除塵器的正面的局部剖面圖。

圖4是圖3的C處的局部放大圖。

圖5是本發明其中一個實施例的第二反應器的正面結構示意圖。

圖6是本發明其中一個實施例的集氣管的剖面結構示意圖。

圖7是本發明其中一個實施例的第二除塵器的透視圖。

圖8是本發明其中一個實施例的原理框圖。

其中：氟氣源1、第一反應器2、第一料倉管21、擴容管211、第一排氣管212、第一加料管213、放空管214、支撐座215、預熱管22、反應管23、第一進氣口231、溫度計套管232、法蘭261、法蘭蓋262、冷卻箱24、進水管241、溢流管242、第一除塵器25、除塵管251、密封管2511、隔板252、上隔板2521、下隔板2522、除塵氣路253、第二進氣管254、第二排氣管255、擋板256、第一排汙管257、第二反應器3、第二料倉管31、第三排氣管311、第二加料管312、第二支撐腳313、集氣管32、篩板321、第三進氣管322、支撐柱323、加熱套管33、溫度檢測器34、第二除塵器35、集塵管351、第四排氣管3511、半圓形擋板3512、第二排汙管352、排汙口3521、第一支撐腳3522、第四進氣管353、氣體分布器354、氣孔3541、氣體擾流板355、水洗塔4、鹼洗塔5、緩衝氣袋6、冷卻器7、低壓吸附器81、加壓吸附器82、精餾塔9、充裝器10。

具體實施方式

下面結合附圖並通過具體實施方式來進一步說明本發明的技術方案。

如圖8所示，一種四氟化碳的純化系統，包括依次連接的氟氣源1、反應裝置、水洗塔4、鹼洗塔5、緩衝氣袋6、冷卻器7、低壓吸附器81、加壓吸附器82、精餾塔9和充裝器10；

所述反應裝置包括第一反應器2和第二反應器3；

所述鹼洗塔5和緩衝氣袋6之間設有增壓泵，所述低壓吸附器81和加壓吸附器82之間設有增壓泵，為所述一種四氟化碳的純化系統提供動力。

所述第一反應器2包括第一除塵器25，所述第二反應器3包括第二除塵器35；

本實施例的氟氣源1利用電解的方法製備氟氣，氟氣從所述氟氣源1通入至所述第一反應器2與其內的碳反應生成四氟化碳氣體，但是，往往氟氣的利用率不能達到百分之百，且會混有不完全反應的碳粉，反應後的氣體變成主要含有四氟化碳、六氟乙烷、八氟丙烷、一氧化碳、二氧化碳、碳粉、氟氣、氟化氫的混合氣體；所述第一除塵器25能夠過濾部分碳粉，防止粉塵堵塞後續系統，提高四氟化碳氣體的純度。

經過一級過濾後，混合氣體通過所述第二反應器3，所述第二反應器中的碳會把氟氣徹底反應，既能提高氟氣的利用率，又能避免氟氣與後續的水洗塔中的水發生劇烈的反應，所述第二除塵器25能夠過濾掉絕大部分在第一反應器2和第二反應器中反應不完全的碳粉，進一步提高四氟化碳氣體的純度。

從第二除塵器35出來的混合氣體進入所述水洗塔4，通過水洗的處理，既能夠除去混合氣體中的氟化氫，氟化氫的水溶液能夠作為副產品儲存，又能節省後續鹼洗中需要的鹼液。從所述水洗塔4出來的混合氣體經過鹼洗塔5，把在水洗過程中未能完全除去的氟化氫除去，進一步提高混合氣體中的四氟化碳氣體的純度，本實施例所用的鹼液為氫氧化鉀溶液。

從所述鹼洗塔5出來的混合氣體進入至所述緩衝氣袋6，將混合氣體臨時收集起來，能夠保證後續的工藝有足夠的氣量。在水洗的過程中，混合氣體會夾帶上大量的水，所述冷卻器7能夠除去混合氣體中大量的水，便於後續四氟化碳氣體的進一步純化；所述低壓吸附器81進一步除去混合氣體中的水分二氧化碳、一氧化碳等雜質，所述加壓吸附器82能夠更進一步除去混合氣體中的一氧化碳、二氧化碳和微量的水分，進一步提高四氟化碳氣體的純度；再經過精餾塔的精餾操作，將四氟化碳氣體分離出來，然後所述充裝器10進行充裝操作，將提純後的四氟化碳氣體充裝。

如圖1所示，所述第一反應器2還包括第一料倉管21、預熱管22和反應管23；

所述第一料倉管21的底部設有喇叭狀的擴容管211，所述擴容管211由其上端的開口向其下端的開口逐漸向內收窄；

所述第一料倉管21、擴容管211和預熱管22均為豎向設置，所述反應管23為橫向設置；

所述預熱管22的上端與所述擴容管211下端的開口連接，所述預熱管22的下端連通於所述反應管23的外壁；

所述反應管23的兩端設有第一進氣口231；

所述第一料倉管21設有第一排氣管212，其連接於所述第一除塵器25；

如圖5所示，所述第二反應器3還包括第二料倉管31、集氣管32、加熱套管33和第三排氣管311；

所述集氣管32設於所述第二料倉管31的底部；

所述集氣管32的頂部設有開口且連通至所述第二料倉管31的內部；

所述集氣管32的頂部開口處設有篩板321；

所述集氣管32設有第三進氣管322，其連接於所述第一除塵器25；

所述第三排氣管311連接於所述第二除塵器35；

所述加熱套管33具有多個，其為中空的，其橫向貫穿於所述第二料倉管31；

所述加熱套管33內設置加熱管。

本實施例的所述第一反應器2用於氟氣和碳反應生成四氟化碳，碳放置在所述第一料倉管21、預熱管22和反應管23內，所述第一進氣口231設於反應管23的兩端，一方面能夠增加單位時間內氟氣通入至所述反應管23的量，使更多的氟氣與碳充分接觸，增加反應的效率；氟氣與碳發生化學反應時放出熱量，由於所述預熱管22的下端連通於所述反應管23的外壁，大量的熱量會由反應產物四氟化碳傳遞至所述預熱管22內的碳，對這些碳進行預熱，保持反應溫度穩定，使後續碳和氟氣的反應效率更高。

隨著反應的進行，所述反應管23的碳逐漸被消耗，由於所述第一料倉管21、擴容管211和預熱管22均為豎向設置，在重力的作用下，所述預熱管22內的碳將會下落至所述反應管23以保證反應的持續進行，提高其工作的穩定性和持續性；同樣地，所述第一料倉管21內的碳會下落至所述預熱管22內保證待反應的碳得到預熱，為後續的反應做好準備。

喇叭狀的所述擴容管211具有擴大所述第一料倉管21容積的作用，由於所述擴容管211由其上端的開口向其下端的開口逐漸向內收窄，所以連接於所述擴容管211上端開口的第一料倉管21的橫截面積會大於連接於所述擴容管211下端開口的預熱管22的橫截面積，假設所述第一料倉管21和預熱管22在相同的長度下，所述第一料倉管21的容積會大大增加，從而減少碳的加入次數，提高所述第一反應器2工作的持續性。

混合氣體會從所述第一排氣管212排向所述第一除塵器25進行除塵處理，進行初級除塵後，混合氣體中碳粉的含量降低，四氟化碳氣體的純度提高，並且初級除塵後的混合氣體通過所述第三進氣管322進入所述集氣管32，所述篩板321是為了讓混合氣體中的碳粉落入所述集氣管32內，用以防止堵塞；氟氣和四氟化碳氣體則通過篩板321進入至所述第二料倉管31，由於所述集氣管32設於所述第二料倉管31的底部，後續清理碳粉時會更加方便快捷。

由於所述加熱套管33為中空的，方便所述加熱管放入至所述加熱套管33的內部；由於所述加熱套管33具有多個，其橫向貫穿於所述第二料倉管31，能夠有效地把更多的碳承載在所述第二料倉管31內；加熱管加熱，使被所述加熱套管33支撐起的碳的溫度升高，當氟氣與溫度升高的碳接觸反應時，反應的效率會更高，能夠更快地生成四氟化碳氣體，然後從所述第三排氣管311排出至所述第二除塵器35進行二級除塵，最終氟氣的利用率達到百分之百，碳粉的含量也降到最低，大大提升四氟化碳氣體的純度。

進一步，所述第一料倉管21的頂部設有第一加料管213和放空管214；

所述第一加料管213的一端和放空管214的一端分別連通於所述第一料倉管21的頂部；

所述第一加料管213的另一端和所述反應管23的兩端均設有法蘭261和法蘭蓋262，所述法蘭蓋262安裝於所述法蘭261。

所述第一反應器2內的碳經過反應消耗後，從設於所述第一料倉管21頂部的第一加料管213加入碳，操作更加簡單方便直接，因為所述第一加料管213的一端和放空管214的一端分別連通於所述第一料倉管21的頂部，所以碳會在重力的作用下下落至第一料倉管21、擴容管211、預熱管22和反應管23，以保證反應的持續進行；因為所述第一加料管213的另一端和所述反應管23的兩端均設有法蘭261和法蘭蓋262，所述法蘭蓋262安裝於所述法蘭261，所以在加料時和放空氣體時只需拆卸所述法蘭蓋262，便能對所述第一反應器2進行加料操作。

所述放空管214的另一端連通至廢氣處理塔，操作時只需打開放空閥門就可以進行氣體的放空。

進一步，所述反應管23的兩端分別設有法蘭261和法蘭蓋262，所述法蘭蓋262安裝於所述法蘭261以密封所述反應管23；

所述第一進氣口231設於所述法蘭蓋262。

通過安裝所述法蘭261於所述法蘭蓋262，能夠有效的密封所述反應管23，避免氣體洩漏，如反應物氟氣的洩漏和生成物四氟化碳氣體的洩漏；通過拆卸所述法蘭蓋262，能夠快速地清理所述反應管23內的反應留下的廢渣，操作簡單方便；所述第一進氣口231設於所述法蘭蓋262，保證氟氣有效地通入至所述反應管。

進一步，所述第一排氣管212橫向設於所述第一料倉管21頂部近端處的徑向位置。

所述第一排氣管212橫向設於所述第一料倉管21頂部近端處的外壁，能夠使混合氣體上升的路程增加，有利於碳粉的在重力的作用下沉降，提高四氟化碳氣體的純度。

進一步，所述第一反應器2還包括冷卻箱24；

所述反應管23設於所述冷卻箱24內，所述反應管23的兩端凸出於所述冷卻箱24的外部。

氟氣和碳反應時會放出大量的熱，所述冷卻箱24內裝有冷卻水，以降低所述反應管23的溫度，從而增加其使用壽命。所述反應管23的兩端凸出於所述冷卻箱24的外部，方便安裝在其兩端的法蘭蓋262的拆裝，避免冷卻水進入到所述反應管23內。

進一步，所述冷卻箱24為矩形箱體，其頂部設有開口；

所述冷卻箱24的其中一側壁的底部外壁至少設有一個進水管241；

所述冷卻箱24的其中一側壁的頂部近端處的外壁至少設有一個溢流管242；

所述反應管23設有至少一個溫度計套管232；

所述溫度計套管232的下端封閉且位於所述反應管23內；

所述溫度計套管232內設有溫度檢測器34。

矩形的箱體容易生產，能夠裝載的冷卻水亦更多，其頂部設有的開口起到觀察和檢查所述第一反應器2作用。如圖2所示，本實施例的所述進水管241的數量為一，所述溢流管242的數量為二，所述進水管241和溢流管242均設於所述冷卻箱24的側壁，更方便其安裝；所述冷卻箱24的其中一側壁的底部外壁，當冷卻水漫過所述進水管241的進水口時，冷卻水通入至所述冷卻箱24時會更加緩慢穩定；所述溢流管242設於所述冷卻箱24的其中一側壁的頂部近端處的外壁，保證所述冷卻箱24內的冷卻水足夠多以有效地冷卻所述反應管23，避免冷卻水過多溢出。

如圖1所示，本實施例的所述溫度計套管232的數量為二，且對稱設於所述預熱管22兩側的所述反應管23上，能夠提高所述溫度檢測器34對反應管23內的溫度檢測的精準度，所述溫度計套管232的下端封閉，既能密封所述反應管23也能保護所述溫度檢測器34。

進一步，如圖3所示，所述第一除塵器25包括除塵管251和隔板252；

所述隔板252包括上隔板2521和下隔板2522，所述上隔板2521和下隔板2522的數量均至少為一；

所述上隔板2521和下隔板2522等間距地焊接於所述除塵管251內；

相鄰的所述上隔板2521和下隔板2522形成除塵氣路253；

所述除塵管251的外壁設有連通於所述除塵管251內部的第二進氣管254和第二排氣管255，所述第一排氣管212與所述第二進氣管254連接。

混合氣體經過所述第二進氣管254進入至所述除塵管251的除塵氣路253時，在所述上隔板2521和下隔板2522的阻隔作用和重力的作用下，碳粉會沉降至所述除塵管251的底部，便於後續的清理，以提高四氟化碳氣體的純度，最終被進一步純化的四氟化碳氣體從所述第二排氣管255排出至所述第三進氣管322。

本實施例的所述上隔板2521的數量為二，所述下隔板2522的數量為一，通過焊接，使得所述上隔板2521和下隔板2522更加穩固地設於所述除塵管251內。

進一步，所述除塵管251的兩端均設有法蘭蓋262和法蘭261，所述法蘭蓋262安裝於所述法蘭261以密封所述除塵管251；

所述上隔板2521的頂部與所述除塵管251頂端的所述法蘭蓋262的下表面貼合，所述下隔板2522的底部與所述除塵管251底端的所述法蘭蓋262的上表面貼合；

所述第一除塵器25還包括擋板256；

所述擋板256固定於所述法蘭蓋262，並且分別位於所述上隔板2521或下隔板2522的焊接處的兩側；

所述除塵管251的底端設有喇叭狀的密封管2511；

所述除塵管251的底端的所述法蘭蓋262設有連通於所述除塵管251內部的第一排汙管257，所述第一排汙管257設有閥門。

如圖3和圖4所示，通過拆裝所述法蘭蓋262能夠快速地清理所述除塵管251，所述上隔板2521的頂部與所述除塵管251頂端的所述法蘭蓋262的下表面貼合，所述下隔板2522的底部與所述除塵管251底端的所述法蘭蓋262的上表面貼合，儘量使混合氣體沿著所述除塵氣路253運動，而不是直接從所述法蘭蓋262與上隔板2521和下隔板2522的貼合處直接穿過，提高除碳粉的質量和四氟化碳氣體的純度。

所述擋板256能夠阻擋混合氣體直接從所述法蘭蓋262與上隔板2521和下隔板2522的貼合處直接穿過，進一步提高除碳粉的質量和四氟化碳氣體的純度。

所述除塵管251底端的所述法蘭蓋262需定期拆下排放固態碳粉，但所述除塵管251底端的直徑越大，越難密封，所以所述密封管2511設置為由其上端的開口向其下端的開口逐漸向內收窄的喇叭狀的管，提高其密封程度。

本實施例的氟氣是通過電解法生產的，所以氟氣中會混雜有氟化氫氣體，當其溫度後會變成酸液，為了清理碳粉時的安全，先打開所述第一排汙管257上的閥門，排清酸液，再拆卸法蘭蓋262清粉塵。

進一步，所述第一料倉管21還包括有至少兩個支撐座215；

所述支撐座215沿所述第一料倉管21的外壁圓周等間距地設置。

本實施例的所述支撐座215的數量為二，其沿所述第一料倉管21的外壁圓周等間距地設置，能夠更好地支撐所述第一料倉管21，使所述第一料倉管21被支撐時的受力更加均勻。

進一步，所述第二料倉管31的頂部設有第二加料管312，所述第二加料管312的一端連通於所述第二料倉管31的內部，其另一端設有法蘭261和法蘭蓋262，所述法蘭蓋262安裝於所述法蘭261；

所述第三排氣管311設於所述第二加料管312的外壁；

如圖5所示，所述第二反應器3還包括溫度檢測器34，其設於所述第二料倉管31，並靠近於所述加熱套管33。

所述第二反應器3內的碳經過反應消耗後，從設於所述第二料倉管31頂部的第二加料管312加入碳，操作更加簡單方便直接，所述第二加料管312的一端連通於所述第二料倉管31的內部，所以碳會在重力的作用下下落至所述第二料倉管31內，在加料時只需拆卸所述法蘭蓋262，便能對所述第二反應器3進行加料操作。

所述加熱套管33附近的碳與氟氣的反應效率更高，所述溫度檢測器34能夠有效地檢測所述第二料倉管31內靠近於所述加熱套管33處的溫度，從而更好地把控所述加熱管的加熱溫度，以保證碳和氟氣持續處於最佳的反應溫度。

進一步，如圖5所示，所述集氣管32的底部設有法蘭蓋262和法蘭261；

所述法蘭蓋262安裝於所述法蘭261以密封所述集氣管32。

通過安裝所述法蘭蓋262，更夠能夠有效的密封所述集氣管32，避免氣體洩漏；通過拆卸所述法蘭蓋262，能夠快速地清理所述集氣管32內的反應留下的粉塵，主要是被所述篩板321過濾的碳粉。

進一步，如圖6所示，所述集氣管32內設有支撐柱323；

所述支撐柱323的兩端分別抵住所述篩板321的底部和所述法蘭蓋262的頂部。

所述支撐柱323對所述篩板321具有支撐作用，能夠有效地支撐所述篩板321，保證其工作的穩定性，使其能夠穩定地過濾碳粉。

進一步，所述加熱套管33設於所述第二料倉管31底部的近端處。

能夠使儘量多的碳被所述加熱套管33支撐起，一方面減少後續加碳的次數，另一方面也能夠使氟氣與更多的碳接觸，提高其反應的效率。

所述第二反應器3還包括溫度檢測器34，其設於所述第二料倉管31，並靠近於所述加熱套管33。

所述加熱套管33附近的碳與氟氣的反應效率更高，所述溫度檢測器34能夠有效地檢測所述第二料倉管31內靠近於所述加熱套管33處的溫度，從而更好地把控所述加熱管的加熱溫度，以保證碳和氟氣持續處於最佳的反應溫度。

進一步，所述第二除塵器35包括集塵管351、第二排汙管352和第四進氣管353；

所述第四進氣管353連通至所述第三排氣管311；

所述第四進氣管353豎向設置，其底部位於所述集塵管351內，其頂部貫穿於所述集塵管351的頂部；

所述第四進氣管353的底部設有氣體分布器354，位於所述氣體分布器354的上方設有氣體擾流板355；

所述第二排汙管352設於所述集塵管351的底部；

所述集塵管351設有第四排氣管3511，其位於所述氣體擾流板355的上方。

所述第二料倉管31內的碳和氟氣反應生成的四氟化碳氣體中會混雜一些反應不充分的碳粉，當混雜有碳粉的四氟化碳氣體經過第三排氣管311進入至所述第四進氣管353後從所述第四進氣管353的底部排出，所述第四進氣管353豎向設置，使其安裝更加方便，所述第四進氣管353的頂部貫穿於所述集塵管351的頂部，使其與所述第三排氣管311的連接更加方便。

所述氣體分布器354能夠將混雜有碳粉的四氟化碳氣體均勻分布，在所述氣體擾流板355的作用下，混雜有碳粉的四氟化碳氣體會在所述集塵管351內停留更長的時間，更加利於碳粉的沉降於所述第二排汙管352中，所述第四排氣管3511位於所述氣體擾流板355的上方，使最終從其中排出的四氟化碳氣體的純度更加高，混雜更加少的碳粉。

進一步，所述氣體分布器354為喇叭狀；

所述氣體分布器354由其上端的開口向其下端的開口逐漸向外擴張；

所述氣體分布器354在其上端開口處固定於所述第四進氣管353的底部；所述氣體分布器354上排列滿氣孔3541。

由於所述氣體分布器354的上端開口較小，所以能夠與孔徑較小的第四進氣管353匹配固定，喇叭狀的所述氣體分布器354由其上端的開口向其下端的開口逐漸向外擴張，使得混合氣體的分布更加均勻，更加利於碳粉的沉降。所述氣孔3541進一步地使混合氣體的分布更加均勻，更加利於碳粉的沉降。

進一步，所述氣體擾流板355為喇叭狀；

所述氣體擾流板355由其上端的開口向其下端的開口逐漸向內收窄，其上端的開口的邊沿固定於所述集塵管351的內壁；

所述第二排汙管352向外傾斜；

所述第二排汙管352一側的頂部與所述集塵管351的底部平面形成的角度A為鈍角；

所述第二排汙管352另一側的頂部與所述集塵管351的底部平面形成的角度B為銳角；

所述第二排汙管352的底部設有排汙口3521；

所述第四排氣管3511設於所述集塵管351靠近於頂部的外壁；

所述集塵管351內設有半圓形擋板3512，其位於所述第四進氣管353內靠近於所述第四排氣管3511的那一側，且位於所述第四排氣管3511的下方；

所述半圓形擋板3512為向下傾斜設置。

所述氣體擾流板355上端的開口的邊沿固定於所述集塵管351的內壁，所以混雜有碳粉的四氟化碳氣體能夠有效地被所述氣體擾流板355朝向所述集塵管351底部的外壁阻擋，使混合氣體有更加多的時間停留在所述集塵管351內，有利於碳粉的沉降；所述氣體擾流板355由其上端的開口向其下端的開口逐漸向內收窄，即使碳粉從所述氣體擾流板355的上方沉降，也不會堆積在所述氣體擾流板355上，也會順著所述氣體擾流板355上端的開口下落至其下端的開口，最終落入所述第二排汙管352內。

如圖7所示，本實施例的所述角度A為120°，角度B為30°，更加方便安全地清理所述第二排汙管352內的碳粉，本實施例的所述排汙口3521設有法蘭蓋262和法蘭261，通過拆卸法蘭蓋262的方式，碳粉最終從所述排汙口3521排出。

所述第四排氣管3511設於所述集塵管351靠近於頂部的外壁，使混合氣體有更多的時間停留在所述集塵管351內，有利於碳粉的沉降；所述集塵管351內設有半圓形擋板3512，其能夠阻隔混合氣體的上升，把混合氣體趕往遠離所述第四排氣管3511出口處，進一步地讓混合氣體有更多的時間停留在所述集塵管351內，更利於有利於碳粉的沉降，所述半圓形擋板3512為向下傾斜設置，碳粉不容易堆積在其上，會順勢下落。

所述第二排汙管352的外壁至少豎向設有三條第一支撐腳3522，能夠支撐起所述第二排汙管352，方便其安裝。所述第二料倉管31的外壁至少豎向設置有三條第二支撐腳313，能夠支撐起所述第二料倉管31，方便其安裝。

以上結合具體實施例描述了本發明的技術原理。這些描述只是為了解釋本發明的原理，而不能以任何方式解釋為對本發明保護範圍的限制。基於此處的解釋，本領域的技術人員不需要付出創造性的勞動即可聯想到本發明的其它具體實施方式，這些方式都將落入本發明的保護範圍之內。