輸送器以及部件檢查裝置的製作方法

2023-11-08 05:05:47

專利名稱：輸送器以及部件檢查裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及輸送輸送對象的輸送器、以及具備該輸送器的部件檢查裝置。
背景技術：
通常，在檢查電子部件的電特性的部件檢查裝置中，使用在規定的託盤與檢查用插口之間輸送檢查前、檢查後的電子部件的輸送器。作為這樣的輸送器，公知有例如專利文獻I所記載的那樣具備兩個在將電子部件從規定的位置輸送到檢查用插口之後將電子部件嵌入到檢查用插口的輸送單元的輸送器。在上述專利文獻I所記載的輸送器中，在一個輸送單元將電子部件按壓在檢查用插口上並利用部件檢查裝置所具備的測試器進行檢查的期間，另一個輸送單元進行檢查後的電子部件的排出和檢查前的電子部件的供給，兩個輸送單元交替地供給電子部件以進行檢查。但是，在這樣的輸送器中，存在如下問題由於另一個輸送單元進行電子部件的排出以及供給的時間比一個輸送單元供給電子部件以進行檢查的時間長，所以無法高效地進行利用部件檢查裝置進行的電子部件的檢查。因此，以往提出了例如圖18所示那樣的輸送器。圖18是示出輸送器的側面構造的側視圖，是示出把持有測試器一次能夠處理的電子部件的個數的四倍的個數的電子部件的輸送單元的圖。如圖18的(a)所示，在輸送單元100中，四個能夠各自獨立地升降的升降機構IOOa IOOd沿一個方向排列，在四個升降機構的每一個的下端部把持有測試器一次能夠處理的個數的電子部件IlOa IlOcL進而，如圖18的(b)所示，首先，使四個升降機構中的、位於這些升降機構的排列方向的前端的升降機構IOOa的下端部下降，並通過按壓將電子部件IlOa嵌入檢查用插口 120，從而供給電子部件IlOa以進行檢查。接下來，在對該電子部件I IOa的檢查結束後，使把持有該電子部件I IOa的升降機構IOOa上升，如圖18的(c )所示，使輸送單元100整體沿水平方向移動，以便將與前端的升降機構IOOa鄰接的其他升降機構IOOb配置於檢查用插口 120的正上方。接著，通過使升降機構IOOb下降來供給電子部件IlOb以進行檢查，然後，對其他升降機構100c、100d也重複相同的動作。由此，能夠利用一個輸送單元供給相互不同的多個檢查單位的電子部件以進行檢查，而不會使輸送單元中的電子部件的排出、供給在中途停滯。進而，通過將具備多個這樣的輸送單元的輸送器應用於部件檢查裝置，該部件檢查裝置的檢查效率提高。專利文獻1:日本特開2002 - 148307號公報然而，在圖18所示的輸送器中，需要在四個升降機構的每一個設置使升降機構的下端部在規定的範圍升降的機構。此外，還需要在四個升降機構的每一個設置以將由升降機構所把持的電子部件嵌入檢查用插口的程度的大小的按壓力按壓上述電子部件的機構。因此，升降機構的結構在升降方向整體變得複雜，無法避免輸送單元的大小、重量的增加，結果，在輸送電子部件時，會導致輸送單元的移動速度降低，進而輸送效率降低。另外，這樣的問題在具備如圖18所示那樣的輸送單元的輸送器中是共通的問題，與輸送單元的個數無關。

發明內容
本發明是鑑於上述的實際情況而完成的，其目的在於提供能夠以簡易的結構高效地輸送輸送對象的輸送器、以及具備該輸送器的部件檢查裝置。本發明的一個方式涉及一種輸送器，該輸送器具備至少一個在基臺上輸送輸送對象的輸送部，上述輸送部具有多個第一升降部，該多個第一升降部與把持輸送對象的多個把持部的每一個連結，並使上述多個把持部的每一個相對於上述基臺升降；以及一個第二升降部，該一個第二升降部與全部的上述多個第一升降部連結，並使上述多個第一升降部整體相對於上述基臺升降。根據本發明的一個方式，相對於多個第一升降部，使該多個第一升降部升降的第二升降部為一個，因此，在維持輸送對象升降的範圍的前提下，輸送部的結構簡化。並且，由於能夠降低輸送部的大小、重量，因此能夠提高輸送部在輸送輸送對象時的移動速度，能夠高效地輸送輸送對象。本發明的一個方式涉及一種輸送器，該輸送器具備控制部，該控制部對上述輸送部的輸送進行控制，上述控制部驅動上述多個第一升降部中的一部分下降，並驅動其餘的上述第一升降部上升。根據本發明的一個方式，與驅動其餘的第一升降部下降、或不驅動其餘的第一升降部升降的方式相比，多個第一升降部的每一個的位置在升降方向上相互分離。因此，即便在一個把持部下降的方向上、在基臺上存在成為該一個把持部的下降的障礙的部位的情況下，能夠僅驅動上述把持部上升、並且驅動其他把持部下降，以免該把持部與上述部位幹涉。因而，由於也能夠向發生上述那樣的幹涉的部位輸送輸送對象，因此能夠在基臺上擴大能夠輸送輸送對象的範圍。本發明的一個方式涉及一種輸送器，該輸送器具備控制部，該控制部對上述輸送部的輸送進行控制，上述輸送部具備四個以上上述第一升降部，上述控制部以使相互鄰接的上述第一升降部的升降狀態相互不同的方式驅動上述多個第一升降部。根據本發明的一個方式，即便在作為輸送對象的下降目的地的基臺上的多個部位相互隔開間隔地配置的情況下，只要這樣的間隔與一個第一升降部的寬度相當，就能夠一次使輸送對象下降至多個這樣的作為下降目的地的部位。因此，能夠高效地輸送輸送對象。本發明的一個方式涉及一種輸送器，該輸送器利用單獨的馬達驅動上述第一升降部以及上述第二升降部。根據本發明的一個方式，通過利用馬達對第一升降部以及第二升降部進行電動驅動，在輸送部的各部分的驅動中，能夠進行高速驅動、弧形驅動(arch driving)。因而，能夠高效地輸送輸送對象。本發明的一個方式涉及一種輸送器，該輸送器具備控制部，該控制部對上述輸送部的輸送進行控制；以及兩個上述輸送部，直到利用一個上述輸送部進行的將輸送對象與該輸送對象的連接對象連接的連接動作結束為止，上述控制部使另一個上述輸送部與上述一個輸送部鄰接並待機。根據本發明的一個方式，兩個輸送部能夠連續地將輸送對象與連接對象連接，從而能夠高效地輸送輸送對象。本發明的一個方式涉及一種部件檢查裝置，該部件檢查裝置具備測試器，該測試器具有安裝於基臺的開口部的檢查用插口 ；以及至少一個輸送部，該至少一個輸送部在上述基臺上將電子部件朝上述檢查用插口輸送，上述輸送部具有多個第一升降部，該多個第一升降部與把持電子部件的多個把持部的每一個連結，並使上述多個把持部的每一個相對於上述檢查用插口升降；以及一個第二升降部，該一個第二升降部與全部的上述多個第一升降部連結，並使上述多個第一升降部整體相對於上述檢查用插口升降。根據本發明的一個方式，對於部件檢查裝置所具備的輸送部，相對於多個第一升降部，使多個第一升降部升降的第二升降部為一個，因此，在維持電子部件的升降的範圍的前提下，輸送部的結構簡化。並且，由於能夠降低輸送部的大小、重量，因此能夠提高輸送部在輸送電子部件時的移動速度。因而，能夠高效地輸送電子部件，進而，能夠提高部件檢查裝置的檢查效率。


圖1是示出搭載有本發明的第一實施方式的輸送器的部件檢查裝置的整體結構的結構圖。圖2是示意性地示出該實施方式的輸送器的端面構造的端面圖。圖3是示出該實施方式的輸送器的電氣結構的框圖。圖4是該實施方式的輸送器的工作方式的時序圖，(a)是示出輸送單元的在Y方向的位置的變化的時序圖，(b)是示出第一升降機構的在Z方向的位置的變化的時序圖，(C)、Cd)是示出把持部的在Z方向的位置的變化的時序圖。圖5是示出該實施方式的工作方式的輸送單元的配置的端面圖。圖6是示出該實施方式的工作方式的輸送單元的配置的端面圖。圖7是示出該實施方式的工作方式的輸送單元的配置的端面圖。圖8是示出該實施方式的工作方式的輸送單元的配置的端面圖。圖9是示出該實施方式的工作方式的輸送單元的配置的端面圖。圖10是示出該實施方式的工作方式的輸送單元的配置的端面圖。圖11是示出該實施方式的工作方式的輸送單元的配置的端面圖。圖12是示出該實施方式的工作方式的輸送單元的配置的端面圖。圖13是示出該實施方式的工作方式的輸送單元的配置的端面圖。圖14是示出本發明的第二實施方式的輸送器的工作方式的輸送單元的配置的端面圖。圖15是示出該實施方式的工作方式的輸送單元的配置的端面圖。圖16是示出該實施方式的工作方式的輸送單元的配置的端面圖。圖17是示出該實施方式的工作方式的輸送單元的配置的端面圖。圖18中，(a) (C)是示出現有的輸送器的工作方式的輸送單元的配置的端面圖。
具體實施例方式第一實施方式
以下，參照圖1 圖13對將本發明的輸送器以及部件檢查裝置具體化了的第一實施方式進行說明。首先，參照圖1以及圖2對輸送器以及具備該輸送器的部件檢查裝置的結構進行說明。輸送器以及部件檢查裝置的結構如圖1所示，在輸送器10的基臺11上，將搭載各種機器人的搭載面Ila設置為上表面，該搭載面Ila的大部分由蓋部件12覆蓋。利用從外部供給的乾燥空氣將由上述蓋部件12和搭載面Ila圍成的空間亦即輸送空間的溼度和溫度維持在規定的值。在基臺11的搭載面11a，沿一個方向延伸的四條傳送帶在與這些傳送帶的輸送方向正交的方向排列。在四條傳送帶中，一條供給用傳送帶Cl敷設在傳送帶的排列方向亦即X方向的一側，三條回收用傳送帶C2、C3、C4敷設在X方向的另一側。進而，在供給用傳送帶Cl中，從蓋部件12的外側朝內側搬運供給用傳送帶託盤Cla。並且，利用回收用傳送帶C2、C3、C4從蓋部件12的內側朝外側搬運回收用傳送帶託盤C2a、C3a、C4a。另外，在供給用傳送帶託盤Cla收納有作為輸送對象的、檢查前的多個電子部件T，並且，在回收用傳送帶託盤C2a、C3a、C4a收納有檢查後的多個電子部件T。另外，在本實施方式的供給用傳送帶託盤Cla以及回收用傳送帶託盤C2a、C3a、C4a，呈矩陣狀地收容有在X方向排列成三列、在Y方向排列成兩列的電子部件T。在上述基臺11的搭載面Ila上搭載有在X方向相互對置的供給機器人20和回收機器人40。供給機器人20配置在供給用傳送帶Cl的Y方向，並且，回收機器人40配置在回收用傳送帶C2、C3、C4的Y方向。供給機器人20具有沿Y方向延伸的、作為固定軸的供給側固定引導件21 ;與供給側固定引導件21連結的、作為活動軸的供給側活動引導件22 ;以及與供給側活動引導件22連結並且沿供給側活動引導件22移動的供給用手單元23。供給側活動引導件22是從供給側固定引導件21向回收機器人40側延伸的活動軸，並以能夠沿Y方向去往移動以及返回移動的方式與供給側固定引導件21連結。供給用手單元23是配置於供給側活動引導件22的靠搭載面Ila側的位置的末端執行器，並以能夠沿X方向去往移動以及返回移動的方式與供給側活動引導件22連結。並且，供給用手單元23以能夠從供給側活動引導件22朝搭載面Ila下降、並能夠從搭載面Ila側朝供給側活動引導件22上升的方式與供給側活動引導件22連結。進而，供給側活動引導件22沿供給側固定引導件21向供給用傳送帶Cl側移動，並且，供給用手單元23沿供給側活動引導件22移動至供給用傳送帶託盤Cla的上方。由此，將載置於供給用傳送帶託盤Cla的電子部件T吸附於供給用手單元23的吸盤，然後將電子部件T從供給用傳送帶託盤Cla拿起。並且，通過使供給側活動引導件22從該狀態開始沿供給側固定引導件21從供給用傳送帶Cl上離開，吸附於供給用手單元23的電子部件T被供給至上述的輸送空間內的規定的位置。另外，本實施方式的供給用手單元23同時吸附保持多個電子部件。與供給機器人20相同，回收機器人40具有沿Y方向延伸的、作為固定軸的回收側固定引導件41 ;與回收側固定引導件41連結的、作為活動軸的回收側活動引導件42 ；以及與回收側活動引導件42連結並且沿回收側活動引導件42在X方向移動的回收用手單元43。
回收側活動引導件42是從回收側固定引導件41向供給機器人20側延伸的活動軸，並以能夠沿Y方向去往移動以及返回移動的方式與回收側固定引導件41連結。回收用手單元43是配置於回收側活動引導件42的靠搭載面Ila側的位置的末端執行器，並以能夠沿X方向去往移動以及返回移動的方式與回收側活動引導件42連結。並且，回收用手單元43以能夠從回收側活動引導件42朝搭載面Ila下降並能夠從搭載面Ila側朝回收側活動引導件42上升的方式與回收側活動引導件42連結。進而，回收側活動引導件42沿回收側固定引導件41向回收用傳送帶C2、C3、C4側移動，並且，回收用手單元43沿回收側活動引導件42移動至回收用傳送帶託盤C2a、C3a、C4a的上方。由此，吸附於回收用手單元43的吸盤的電子部件T被載置於回收用傳送帶託盤C2a、C3a、C4a。另外，本實施方式的回收用手單元43與供給用手單元23相同，同時吸附保持多個電子部件。並且，在蓋部件12的內側面，沿Y方向延伸的輸送引導件31固定在該內側面的X方向的大致中央。在該輸送引導件31的兩端部的下方配設有第一往復機構32、和同樣沿X方向延伸的第二往復機構35。第一往復機構32與固定設置於搭載面Ila的、沿X方向延伸的第一往復機構引導件32c連結而沿X方向去往移動以及返回移動。在第一往復機構32的靠上述供給機器人20側的位置固定有作為第一供給託盤的供給用往復託盤32a，並且，在第一往復機構32的靠上述回收機器人40側的位置固定有作為第一回收託盤的回收用往復託盤32b。在供給用往復託盤32a收納有作為輸送對象的、檢查前的電子部件T，並且，在回收用往復託盤32b收納有檢查後的多個電子部件T。進而，第一往復機構32可以配置於如下的供給位置供給用往復託盤32a配置於供給側活動引導件22下方、且回收用往復託盤32b配置於輸送引導件31下方。並且，第一往復機構32還可以配置於如下的回收位置供給用往復託盤32a配置於輸送引導件31下方、且回收用往復託盤32b配置於回收側活動引導件42下方。進而，第一往復機構32在供給位置與回收位置之間沿X方向去往移動以及返回移動。即，第一往復機構32在能夠利用供給用手單元23向供給用往復託盤32a供給電子部件T的供給位置與能夠利用回收用手單元43從回收用往復託盤32b回收電子部件的回收位置之間往復移動。同樣，第二往復機構35與固定設置於搭載面Ila的、沿X方向延伸的第二往復機構引導件35c連結而沿X方向去往移動以及返回移動。在第二往復機構35的靠上述供給機器人20側的位置固定有作為第二供給託盤的供給用往復託盤35a，並且，在第二往復機構35的靠上述回收機器人40側的位置固定有作為第二回收託盤的回收用往復託盤35b。在供給用往復託盤35a收納有作為輸送對象的、檢查前的多個電子部件T，並且，在回收用往復託盤35b收納有檢查後的多個電子部件T。進而，第二往復機構35可以配置於如下的供給位置供給用往復託盤35a配置於供給側活動引導件22下方、且回收用往復託盤35b配置於輸送引導件31下方。並且，第二往復機構35還可以配置於如下的回收位置供給用往復託盤35a配置於輸送引導件31下方、且回收用往復託盤35b配置於回收側活動引導件42下方。進而，第二往復機構35在供給位置與回收位置之間沿X方向去往移動以及返回移動。即，第二往復機構35在能夠利用供給用手單元23向供給用往復託盤35a供給電子部件T的供給位置與能夠利用回收用手單元43從回收用往復託盤35b回收電子部件T的回收位置之間往復移動。並且，在本實施方式的供給用往復託盤32a、35a以及回收用往復託盤32b、35b呈矩陣狀地收納有在X方向排列成三列、在Y方向排列成兩列的電子部件T。即，利用供給用手單元23朝供給用往復託盤32a、35a分別供給一次電子部件T，從而供給用往復託盤32a、35a裝滿電子部件T。並且，利用回收用手單元43從回收用往復託盤32b、35b分別回收一次電子部件T，從而回收全部的電子部件T。並且，在搭載面Ila中的、輸送空間的大致中央形成有貫通搭載面Ila的矩形狀的開口部45。部件檢查裝置所具備的測試器的測試頭33安裝於該開口部45。測試頭33在其上表面具有供電子部件T嵌入的檢查用插口，並與用於檢查該電子部件T的測試器內的檢查電路電連接。在安裝於測試頭33的上表面的檢查用插口，凹陷設置有檢查用凹槽33a，該檢查用凹槽33a能夠同時收納在X方向排列成三列、在Y方向排列成一列的電子部件T，並且，在檢查用凹槽33a的底面凹陷設置有能夠與電子部件T的凸形端子嵌合的多個凹形端子。進而，通過將電子部件T所具有的凸形端子嵌入檢查用凹槽33a的凹形端子，能夠利用測試器檢查電子部件T的電特性。測試器從輸送器10接收表示檢查開始的電信號而開始檢查電子部件T，並將該檢查結果輸出至輸送器10。並且,在上述輸送引導件31連結有作為輸送部的第一輸送單兀34和作為輸送部的第二輸送單元36。參照圖2對上述第一輸送單元34以及第二輸送單元36的結構進行詳細說明。另夕卜，雖然第一輸送單元34與第二輸送單元36相對於輸送引導件31的連結位置、作為移動目的地的往復機構相互不同，但是第一輸送單元34與第二輸送單元36均具有相互不同的兩種升降部，且使電子部件T升降的方式相同，因此，以下主要對第一輸送單元34的結構進行說明，並省略第二輸送單元36中的、與第一輸送單元34的結構相同的點的說明。並且，圖2是從供給機器人20側觀察第一輸送單元34的周邊構造的端面圖，示出第一輸送單元34配置在第一往復機構32的正上方的狀態。如圖2所示，在輸送引導件31連結有能夠沿該輸送引導件31去往移動以及返回移動的第二升降機構51。在該第二升降機構51的下端部形成有沿搭載面Ila擴展的板狀的連結部，且在該連結部的靠搭載面Ila側的位置以相同方式連結有兩個第一升降機構52、53。在第二升降機構51的下端部亦即連結部內置有兩個第一升降機構52、53的每一個的驅動源亦即第一升降馬達52M、53M。進而，通過使第一升降馬達52M正轉或者反轉，第一升降機構52的下端部相對於基臺11上升或者下降，並且，通過使第一升降馬達53M正轉或者反轉，第一升降機構53的下端部相對於基臺11上升或者下降。在第二升降機構51的上部內置有第二升降機構51的驅動源亦即第二升降馬達51M。進而，通過使第二升降馬達51M正轉或者反轉，第二升降機構51的下端部相對於基臺11上升或者下降。即，通過驅動第二升降馬達51M，兩個第一升降馬達52M、53M、兩個第一升降機構52、53整體上升或者下降。在兩個第一升降機構52、53的下端部分別連結有例如能夠通過真空吸附來吸附並把持電子部件T的、作為末端執行器的把持部52a、53a。另外，把持部52a、53a例如與噴嘴、同該噴嘴連接的吸引泵、向該噴嘴供給壓縮空氣的洩壓閥等連接。並且，在本實施方式中，各把持部52a、53a構成為分別能夠同時把持在X方向排列成三列、在Y方向排列成一列的電子部件T。S卩，第一輸送單兀34具有兩個把持部52a、53a,由此,能夠把持測試器一次能夠檢查的電子部件的兩倍的個數的電子部件T。另外，利用上述第二升降機構51、第二升降馬達51M、第一升降機構52、53以及第一升降馬達52M、53M構成第一輸送部。並且，利用第二升降機構51以及第二升降馬達51M構成第一輸送部的第二升降部，並利用第一升降機構52、53以及第一升降馬達52M、53M構成第一輸送部的第一升降部。並且，利用第二輸送單元的第二升降機構、第二升降馬達、第一升降機構以及第一升降馬達構成第二輸送部。並且，利用第二輸送單元的第二升降機構以及第二升降馬達構成第二輸送部的第二升降部，並利用第二輸送單元的第一升降機構以及第一升降馬達構成第二輸送部的第一升降部。輸送器以及部件檢查裝置的電氣結構其次，參照圖3以輸送器10的電氣結構為中心對輸送器以及部件檢查裝置的電氣結構進行說明。構成上述輸送器10所具備的控制部的控制裝置60以具有中央處理裝置(CPU)、非易失性存儲器(ROM)以及易失性存儲器(RAM)的微型計算機為中心而構成。控制裝置60基於在上述ROM以及RAM中存儲的各種數據以及程序，進行與輸送器10的動作相關的各種控制。在控制裝置60電連接有驅動傳送帶馬達MC旋轉的傳送帶驅動部61。在傳送帶驅動部61連接有檢測傳送帶馬達MC的旋轉位置的編碼器EMC。傳送帶驅動部61基於從控制裝置60輸入的位置指令和從編碼器EMC輸入的傳送帶馬達MC的旋轉位置生成傳送帶馬達MC的驅動電流，並將該驅動電流輸出至傳送帶馬達MC。傳送帶馬達MC通過進行與上述驅動電流對應的旋轉來驅動上述傳送帶Cl C4。另外,上述傳送帶驅動部61以及傳送帶馬達MC針對每條傳送帶Cl C4設置，並且，針對各傳送帶馬達MC設置編碼器EMC。即，控制裝置60以使各傳送帶Cl C4的動作相互獨立的方式進行控制。並且，在控制裝置60電連接有驅動X軸馬達MX旋轉的X軸引導件驅動部62。在X軸引導件驅動部62連接有檢測X軸馬達MX的旋轉位置的編碼器EMX。X軸引導件驅動部62基於從控制裝置60輸入的位置指令和從編碼器EMX輸入的旋轉位置生成X軸馬達MX的驅動電流，並且將該驅動電流輸出至X軸馬達MX。X軸馬達MX進行與輸入的上述驅動電流對應的旋轉，由此使上述手單元23、43沿活動引導件22、42去往移動以及返回移動。另夕卜，針對供給用手單元23以及回收用手單元43的每一個均設置有上述X軸引導件驅動部62以及X軸馬達MX，並且，針對各X軸馬達MX設置有編碼器EMX。在控制裝置60連接有驅動Y軸馬達MY旋轉的Y軸引導驅動部63。在Y軸引導件驅動部63連接有檢測Y軸馬達MY的旋轉位置的編碼器EMY。Y軸引導件驅動部63基於從控制裝置60輸入的位置指令和從編碼器EMY輸入的旋轉位置生成Y軸馬達MY的驅動電流，並且將該驅動電流輸出至Y軸馬達MY。Y軸馬達MY進行與輸入的上述驅動電流對應的旋轉，由此使上述活動引導件22、42沿固定引導件21、41去往移動以及返回移動。另外，針對供給側活動引導件22以及回收側活動引導件42的每一個均設置有上述Y軸引導件驅動部63以及Y軸馬達MY，並且，針對各Y軸馬達MY設置有編碼器EMY。
在控制裝置60連接有手單元驅動部64，該手單元驅動部64具有手馬達驅動部64a和閥驅動部64b。其中，在手馬達驅動部64a連接有檢測手馬達MZ的旋轉位置的編碼器EMZ。手馬達驅動部64a基於從控制裝置60輸入的位置指令和從編碼器EMZ輸入的旋轉位置生成手馬達MZ的驅動電流，並且將該驅動電流輸出至手馬達MZ。手馬達MZ進行與輸入的上述驅動電流對應的旋轉，由此使上述手單元23、43上升以及下降。在閥驅動部64b連接有設置在手單元23、43的前端的吸引閥SVl和洩壓閥DVl。閥驅動部64b基於從控制裝置60輸入的吸引閥SVl的開閉指令生成吸引閥SVl的驅動信號，並且將該驅動信號輸出至吸引閥SV1。吸引閥SVl進行與輸入的上述驅動信號對應的開閉動作，由此，利用規定的吸引力吸引上述電子部件T。並且，閥驅動部64b基於從控制裝置60輸入的洩壓閥DVl的開閉指令生成洩壓閥DVl的驅動信號，並且將該驅動信號輸出至洩壓閥DV1。洩壓閥DVl進行與輸入的上述驅動信號對應的開閉動作，由此，從吸盤送出壓縮空氣。另外，針對供給用手單元23以及回收用手單元43的每一個均設置有上述手單元驅動部64、手馬達MZ、吸引閥SVl以及洩壓閥DV1，並且，針對各手馬達MZ的每一個設置有編碼器EMZ。S卩，控制裝置60以使供給用手單元23的動作和回收用手單元43的動作相互獨立的方式進行控制。並且，在控制裝置60連接有驅動往復機構馬達MS旋轉的往復機構驅動部65。在往復機構驅動部65連接有檢測往復機構馬達MS的旋轉位置的編碼器EMS。往復機構驅動部65基於從控制裝置60輸入的位置指令和從編碼器EMS輸入的旋轉位置生成往復機構馬達MS的驅動電流，並且將該驅動電流輸出至往復機構馬達MS。往復機構馬達MS進行與所輸入的上述驅動電流對應的旋轉，由此使往復機構32、35沿上述引導件32c、35c滑動。另夕卜，針對第一往復機構32以及第二往復機構35的每一個設置有上述往復機構驅動部65以及往復機構馬達MS，並且，針對各往復機構馬達MS設置有編碼器EMS。S卩，控制裝置60以使第一往復機構32的動作和第二往復機構35的動作相互獨立的方式進行控制。並且，在控制裝置60連接有輸送單元驅動部66，該輸送單元驅動部66具有:輸送馬達驅動部66a、兩個第一升降馬達驅動部66b、66c、第二升降馬達驅動部66d以及兩個閥驅動部66e、66f。在輸送馬達驅動部66a連接有檢測輸送馬達MA的旋轉位置的編碼器EMA。輸送馬達驅動部66a基於從控制裝置60輸入的位置指令和從編碼器EMA輸入的旋轉位置生成輸送馬達MA的驅動電流，並且將該驅動電流輸出至輸送馬達MA。輸送馬達MA進行與所輸入的上述驅動電流對應的旋轉，由此使上述第二升降機構51本身沿上述輸送引導件31去往移動以及返回移動。另外，針對第一輸送單元34以及第二輸送單元36的每一個設置有上述輸送馬達驅動部66a，並且，針對第一輸送單元34以及第二輸送單元36的每一個設置有編碼器EMA。在第一升降馬達驅動部66b連接有檢測第一升降馬達52M的旋轉位置的編碼器E52M。第一升降馬達驅動部66b基於從控制裝置60輸入的位置指令和從編碼器E52M輸入的旋轉位置生成第一升降馬達52M的驅動電流，並且將該驅動電流輸出至第一升降馬達52M。第一升降馬達52M進行與所輸入的上述驅動電流對應的旋轉，由此使第一升降機構52的下端部相對於基臺11上升以及下降。另外，針對第一輸送單元34以及第二輸送單元36的每一個設置有上述第一升降馬達驅動部66b，並且，針對第一輸送單元34以及第二輸送單兀36的每一個設置有編碼器E52M。在第一升降馬達驅動部66c連接有檢測第一升降馬達53M的旋轉位置的編碼器E53M。第一升降馬達驅動部66c基於從控制裝置60輸入的位置指令和從編碼器E53M輸入的旋轉位置生成第一升降馬達53M的驅動電流，並且將該驅動電流輸出至第一升降馬達53M。第一升降馬達53M進行與所輸入的上述驅動電流對應的旋轉，由此使第一升降機構53的下端部相對於基臺11上升以及下降。另外，針對第一輸送單元34以及第二輸送單元36的每一個設置有上述第一升降馬達驅動部66c，並且，針對第一輸送單元34以及第二輸送單兀36的每一個設置有編碼器E53M。這樣，控制裝置60以使第一升降馬達52M的驅動和第一升降馬達53M的驅動相互獨立的方式進行控制。在第二升降馬達驅動部66d連接有檢測第二升降馬達51M的旋轉位置的編碼器E51M。第二升降馬達驅動部66d基於從控制裝置60輸入的位置指令和從編碼器E51M輸入的旋轉位置生成第二升降馬達51M的驅動電流，並且將該驅動電流輸出至第二升降馬達51M。第二升降馬達51M進行與所輸入的上述驅動電流對應的旋轉，由此使第二升降機構51的下端部相對於基臺11上升以及下降。另外，針對第一輸送單元34以及第二輸送單元36的每一個設置有上述第二升降馬達驅動部66d，並且，針對第一輸送單元34以及第二輸送單兀36的每一個設置有編碼器E51M。在閥驅動部66e連接有設置於第一升降機構52的把持部52a的吸引閥SV2和洩壓閥DV2。閥驅動部66e基於從控制裝置60輸入的吸引閥SV2的開閉指令生成吸引閥SV2的驅動信號，並且將該驅動信號輸出至吸引閥SV2。進而，吸引閥SV2進行與所輸入的上述驅動信號對應的開閉動作，由此，利用規定的吸引力吸引上述電子部件T。並且，閥驅動部66e基於從控制裝置60輸入的洩壓閥DV2的開閉指令生成洩壓閥DV2的驅動信號，並且將該驅動信號輸出至洩壓閥DV2。進而，洩壓閥DV2進行與所輸入的上述驅動信號對應的開閉動作，由此，從第一升降機構52的把持部52a送出壓縮空氣。另外，針對第一輸送單兀34以及第二輸送單元36的每一個設置有吸引閥SV2以及洩壓閥DV2，並且，針對第一輸送單元34以及第二輸送單兀36的每一個設置有閥驅動部66e。在閥驅動部66f連接有設置於第一升降機構53的把持部53a的吸引閥SV3和洩壓閥DV3。閥驅動部66f基於從控制裝置60輸入的吸引閥SV3的開閉指令生成吸引閥SV3的驅動信號，並且將該驅動信號輸出至吸引閥SV3。進而，吸引閥SV3進行與所輸入的上述驅動信號對應的開閉動作，由此，利用規定的吸引力吸引上述電子部件T。並且，閥驅動部66f基於從控制裝置60輸入的洩壓閥DV3的開閉指令生成洩壓閥DV3的驅動信號，並且將該驅動信號輸出至洩壓閥DV3。進而，洩壓閥DV3進行與所輸入的上述驅動信號對應的開閉動作，由此，從第一升降機構53的把持部53a送出壓縮空氣。另外，針對第一輸送單兀34以及第二輸送單元36的每一個設置有吸引閥SV3以及洩壓閥DV3，並且，針對第一輸送單元34以及第二輸送單元36的每一個設置有閥驅動部66f。即，控制裝置60以使第一輸送單元34的動作和第二輸送單元36的動作相互獨立的方式進行控制。並且，在控制裝置60電連接有測試器69。在利用第一輸送單元34或者第二輸送單元36將電子部件T配置於測試頭33的檢查位置後，控制裝置60對測試器69輸出表示開始進行檢查的信號。測試器69通過接收檢查開始信號而開始檢查電子部件T，若檢查結束則將表示檢查結束的信號與該檢查結果一起輸出至控制裝置60。輸送器的工作方式其次，參照圖4 圖13，以第一輸送單元34的工作方式為中心對上述結構的輸送器10的工作方式進行說明。以下說明的動作全部基於來自控制裝置60的各種指令由各驅動部進行。另外，對於第一輸送單元34的工作方式，圖4的(a)中示意性地示出了第一輸送單元34相對於基臺11的在Y方向的位置的變化，圖4的(b)中示意性地示出了因第二升降馬達51M的驅動而產生的、第一升降機構52、53相對於基臺11的在Z方向的位置的變化。同樣，圖4的(c)中示意性地示出了因第一升降馬達52M的驅動而產生的、把持部52a相對於基臺11的在Z方向的位置的變化，圖4的(d)中示意性地示出了因第一升降馬達53M的驅動而產生的、把持部53a相對於基臺11的在Z方向的位置的變化。並且，圖5 圖13中示出了圖4所示的各時刻的、第一輸送單元34的配置。首先，第一輸送單元34將在第一往復機構32上位於供給用往復託盤32a的檢查前的電子部件T 一併把持於把持部52a、53a的每一個之後，在時刻Tl沿Y方向移動至第一檢查位置。該第一檢查位置是第一升降機構52的把持部52a所把持的電子部件Ta配置於測試頭33的檢查用凹槽33a的正上方的位置(參照圖5)。在該時刻Tl，第二升降機構51的下端部、即內置於該下端部的第一升降馬達52M、53M配置於Z方向上的其活動範圍的最上方位置。並且，第一升降機構52、53的下端部、即與該下端部連結的把持部52a、53a配置於Z方向上的其活動範圍的中間位置。其次，在時刻T2，通過驅動第一升降馬達52M，把持部52a下降至因該第一升降馬達52M的驅動而把持部52a活動的活動範圍中的最下方位置。並且，此時，通過驅動第一升降馬達53M，把持部53a上升至因該第一升降馬達53M的驅動而把持部53a活動的活動範圍中的最上方位置(參照圖6)。接著，在時刻T3，通過驅動第二升降馬達51M，第二升降機構51的下端部、即內置於該下端部的第一升降馬達52M、53M下降至其活動範圍的最下方位置。伴隨於此，把持部52a、53a也一同下降，僅由把持部52a所把持的電子部件Ta嵌入測試頭33的檢查用凹槽33a (參照圖7)。進而，通過驅動第一升降馬達52M以及第二升降馬達51M來按壓電子部件Ta，對電子部件Ta進行由測試器69進行的檢查。此時，由於把持部53a配置於比把持部52a靠上方的位置，所以能夠抑制把持部53a所把持的電子部件Tb與測試頭33或其周邊的各種部件發生幹涉的情況。在利用測試器69對電子部件Ta進行的檢查結束後，在時刻T4，通過驅動第二升降馬達51M，第二升降機構51的下端部、即內置於該下端部的第一升降馬達52M、53M上升(參照圖8)。此時，不使第二升降機構51的下端部上升至其活動範圍的最上方位置，而是使其上升至下述位置伴隨第二升降機構51的下端部的上升而上升的電子部件Ta被從檢查用凹槽33a拔出，並且不與測試頭33或其周邊的各種部件發生幹涉的程度的位置。由此，能夠縮短第二升降機構51的下端部移動的距離以及第二升降機構51的下端部移動的時間。其次，在時刻T5，第一輸送單元34沿Y方向移動至第二檢查位置。該第二檢查位置是第一升降機構53的把持部53a所把持的電子部件Tb配置於測試頭33的檢查用凹槽33a的正上方的位置(參照圖9)。接著，在時刻T6，通過驅動第一升降馬達52M，把持部52a上升至由第一升降馬達52M的驅動所決定的把持部52a的活動範圍中的最上方位置。此時，通過驅動第一升降馬達53M，把持部53a下降至因第一升降馬達53M的驅動而把持部53a活動的活動範圍中的最下方位置(參照圖10)。其次，在時刻T7，通過驅動第二升降馬達51M，第二升降機構51的下端部、即內置於該下端部的第一升降馬達52M、53M下降至其活動範圍的最下方位置。伴隨於此，把持部52a、53a也一同下降，僅由把持部53a所把持的電子部件Tb嵌入測試頭33的檢查用凹槽33a (參照圖11)。進而，通過驅動第一升降馬達53M以及第二升降馬達51M來按壓電子部件Tb，對電子部件Tb進行由測試器69進行的檢查。此時，由於把持部52a配置於比把持部53a靠上方的位置，所以能夠抑制把持部52a所把持的電子部件Ta與測試頭33或其周邊的各種部件發生幹涉的情況。這樣，對第一輸送單元34所把持的電子部件Ta、Tb依次進行由部件檢查裝置進行的檢查。此處，對如上所述利用第一輸送單元34供給電子部件T以進行檢查的期間的第二輸送單元36的工作方式進行說明。在利用第一輸送單元34供給電子部件T以進行檢查的期間，第二輸送單元36向回收用往復託盤35b排出檢查後的電子部件T，並從供給用往復託盤35a供給檢查前的電子部件T (在圖5 圖11中為方便起見省略其詳細的圖示)。如圖12所示，在電子部件T的供給完畢後，第二輸送單元36在接近第一輸送單元34之後，在第二輸送單元36的Y方向上的活動範圍中的、最靠近第一輸送單元34的位置待機。接著，對第一輸送單元34所把持的電子部件Ta、Tb的檢查全部結束後的第一輸送單元34以及第二輸送單元36的工作方式進行說明。如之前的圖4所示，在利用測試器69對電子部件Tb進行的檢查結束後，在第一輸送單元34中，通過驅動第二升降馬達51M而使第二升降機構51的下端部、即內置於該下端部的第一升降馬達52M、53M上升至其活動範圍的最上方位置。此外，通過驅動第一升降馬達52M而使把持部52a下降至之前的中間位置，並且通過驅動第一升降馬達53M而使把持部53a上升至之前的中間位置。進而，在時刻T8，第一輸送單元34沿Y方向移動至第一往復機構32上方。此時,與第一輸送單兀34鄰接並待機的第二輸送單兀36與第一輸送單兀34的移動同步地移動。進而，第二輸送單元36移動至Y方向上的規定的位置、即第二輸送單元36所把持的電子部件T中的最開始成為檢查對象的電子部件T位於測試頭33的檢查用凹槽33a的正上方的位置(參照圖13)。接著，與上述的第一輸送單元34的情況相同地，利用第二輸送單元36進行用於供給電子部件T以進行檢查的動作，並且，在第一輸送單元34中進行檢查後的電子部件T的排出和檢查前的電子部件T的供給。這樣，反覆進行如下的作業在一個輸送單元供給電子部件以進行檢查的期間，在另一個輸送單元中進行電子部件T的排出與供給。這樣，在輸送單元34、36中，通過一個第二升降馬達51M的驅動使全部的如下機構升降分別具有把持部52a、53a的兩個第一升降機構52、53 ;以及與兩個第一升降機構52、53的分別對應的兩個第一升降馬達52M、53M。因此，輸送單元34、36的結構簡化與共用一個第二升降機構51作為使第一升降機構52、53整體升降的升降機構相應的量，並且，輸送單元34、36的大小、重量降低。因此，還能夠實現輸送電子部件T時的、輸送單元34、36的移動速度的提高。並且,輸送單兀34、36的每一個具備兩個把持部52a、53a,在供給各把持部52a、53a所把持的電子部件T以進行檢查時，把持作為檢查對象的電子部件T的把持部下降，而另一個把持部上升。由此，能夠利用各輸送單元34、36以不會在中途停止電子部件T的排出與供給的方式多次供給電子部件T以進行檢查，因此能夠實現向測試頭33輸送電子部件T的高效化。此外，在一個輸送單元供給電子部件T以進行檢查的期間，另一個輸送單元把持檢查前的電子部件T，然後，與動作中的輸送單元鄰接並待機。由此也能夠實現向測試頭33輸送電子部件T的高效化。另外，若使該待機中的輸送單元在完成使把持作為最初的檢查對象的電子部件T的把持部下降並使另一個把持部上升的動作之後待機，則能夠進一步高效地進行電子部件T的輸送。並且，在利用測試器69共計進行四次檢查時，分別具有兩個把持部52a、53a的兩個輸送單元34、36配置於測試頭33的兩側。因此，與使用圖18所示的、具有四個把持部的一個輸送單元供給電子部件T以進行檢查的結構相比，能夠縮短檢查所需要的每個輸送單元的在Y方向的輸送距離。因而，如圖13所示，能夠縮短第一往復機構32與第二往復機構35之間的寬度Wl，從而能夠使輸送器10整體小型化。附帶地說，如該圖13所示，兩個第一升降機構52、53之間的間隔dl越小，輸送單元34、36越能夠小型化，並且還能夠使上述寬度Wl更小。因此，在縮短輸送單元34、36向測試頭33輸送電子部件T的輸送動作中的輸送單兀34、36的輸送距離以及輸送時間的方面，優選將上述間隔dl設定成不妨礙兩個第一升降機構52、53的每一個的升降的範圍內的
最小值。另外，在上述的第一輸送單元34的工作方式的說明中，為了方便，對於第一輸送單元34的沿Y方向的移動、第二升降機構51的下端部的沿Z方向的移動、第一升降機構52,53的下端部的沿Z方向的移動中的各移動，設定成在沿一個方向的移動結束之後，開始沿下一個方向的移動。但是，若同時進行沿相互不同的方向的移動，則能夠縮短輸送單元34、36的輸送所耗費的時間。在該情況下，第一輸送單兀34中的把持部52a、53a的移動的軌跡為弧形狀。並且，雖然將兩個輸送單元34、36的每一個均設置為具備兩個把持部52a、53a以及與兩個把持部52a、53a的每一個對應的第一升降馬達52M、53M，但是也可以具備三個以上的把持部以及與各把持部分別對應的第一升降馬達。在該情況下，在供給各把持部所把持的電子部件T以進行檢查時，以使把持作為檢查對象的電子部件T的一個把持部下降，而使其餘的把持部上升的方式驅動與各把持部對應的第一升降馬達。進而，通過與輸送單元34,36的沿Y方向的移動配合地進行這樣的把持部的升降，依次供給電子部件T以進行檢查。如以上說明的那樣，根據本實施方式，能夠得到以下列舉的效果。(I)輸送器10的輸送單元34、36具有多個第一升降馬達52M、53M，該多個第一升降馬達52M、53M使把持電子部件T的多個把持部52a、53a的每一個升降；以及一個第二升降馬達51M，該一個第二升降馬達使上述多個第一升降馬達52M、53M的整體升降。因而，由於使第一升降馬達52M、53M以及第一升降機構52、53的整體升降的第二升降馬達51M為一個，因此輸送單元的結構變得簡單。並且，由於能夠降低輸送單元的大小、重量，因此能夠提高輸送電子部件T時的輸送單元的移動速度，從而能夠高效地輸送電子部件T。(2)藉助控制裝置60的控制，驅動多個第一升降馬達52M、53M中的一部分下降，並驅動其餘的第一升降馬達上升。由此，能夠利用具有多個把持部的一個輸送單元以不會在中途停止電子部件T的排出與供給的方式多次供給一次能夠檢查的量的電子部件T以進行檢查。因而，能夠高效地向測試頭33輸送電子部件T，進而，能夠提高利用部件檢查裝置檢查電子部件T的檢查效率。(3)並且，與在驅動一個第一升降機構下降時，也驅動其他第一升降機構下降、或者不驅動其他第一升降機構升降的方式相比，若為本實施方式的升降方式，則可使多個第一升降機構52、53的每一個的位置在升降方向分離。因此，即便在一個把持部下降的方向上、在基臺11上存在成為該一個把持部的下降的障礙的部位的情況下，也能夠僅驅動上述把持部上升而驅動其他把持部下降，以免與上述部位發生幹涉。(4)藉助輸送馬達、第一升降馬達52M、53M以及第二升降馬達51M，利用馬達進行輸送單元的沿Y方向的移動以及輸送單元的各部的沿Z方向的移動。由此，對於各部的驅動而言，能夠進行高速驅動、弧形驅動。因而，能夠高效地輸送電子部件T。(5)輸送器10具有兩個輸送單元34、36，藉助控制裝置60的控制，直到利用一個輸送單元將電子部件T與測試頭33連接的連接動作結束為止，使另一個輸送單元與上述一個輸送單元鄰接並待機。因而，兩個輸送單元34、36的每一個能夠連續地高效地向測試頭33輸送電子部件T，進而，能夠提高部件檢查裝置的、檢查電子部件T的檢查效率。第二實施方式以下，參照圖14 圖17對將本發明的輸送器以及將部件檢查裝置具體化了的第二實施方式進行說明。另外，本實施方式的輸送器以及部件檢查裝置的基本的結構也與第一實施方式相同。但是，在本實施方式中，輸送器的輸送單元所具有的第一升降機構的個數、第一升降馬達的個數、把持部的個數及其工作方式與第一實施方式不同，因此，以下以該點為中心進行說明。輸送單元的結構如圖14所示，在輸送引導件31，以能夠沿著該輸送引導件31去往移動以及返回移動的方式連結有第二升降機構71。在該第二升降機構71的下端部形成有沿著搭載面Ila擴展的板狀的連結部，在該連結部的靠搭載面Ila側的位置以相同方式連結有四個第一升降機構 72、73、74、75。在第一升降機構72 75的每一個的下端部連結有例如能夠通過真空吸附吸附並把持電子部件T的、作為末端執行器的把持部72a、73a、74a、75a。另外,與第一實施方式相同，把持部72a 75a的每一個與例如噴嘴、與該噴嘴連接的吸引泵、向該噴嘴供給壓縮空氣的洩壓閥等連接。在第二升降機構71的下端部亦即連結部內置有第一升降馬達72M、73M、74M、75M。進而，通過使第一升降馬達72M正轉或者反轉，第一升降機構72的下端部相對於基臺11上升或者下降，通過使第一升降馬達73M正轉或者反轉，第一升降機構73的下端部相對於基臺11上升或者下降。同樣，通過使第一升降馬達74M正轉或者反轉，第一升降機構74的下端部相對於基臺11上升或者下降，通過使第一升降馬達75M正轉或者反轉，第一升降機構75的下端部相對於基臺11上升或者下降。利用控制裝置60以能夠分別獨立地驅動的方式控制這些第一升降馬達72M 75M。並且，在第二升降機構71的上端部內置有第二升降馬達71M，通過使第二升降馬達71M正轉或者反轉，第二升降機構71的下端部相對於基臺11上升或者下降。即，通過驅動第二升降馬達71M，第一升降馬達72M 75M、第一升降機構72 75以及把持部72a 75a的整體上升或者下降。另外，利用上述第二升降機構71、第二升降馬達71M、第一升降機構72 75以及第一升降馬達72M 75M構成第一輸送部。並且，利用第二升降機構71、第二升降馬達71M構成第一輸送部中的第二升降部，並利用第一升降機構72 75以及第一升降馬達72M 75M構成第一輸送部中的第一升降部。並且，第二輸送單元也具有相同的結構，利用第二輸送單元中的第二升降機構、第二升降馬達、四個第一升降機構以及四個第一升降馬達構成第二輸送部。並且，利用第二輸送單元中的第二升降機構、第二升降馬達構成第二輸送部中的第二升降部，利用第一升降機構以及第一升降馬達構成第二輸送部中的第一升降部。進而，在本實施方式中，在安裝於測試頭83的上表面的檢查用插口凹陷設置有檢查用凹槽83a，該檢查用凹槽83a能夠同時收納在X方向排列成三列、在Y方向排列成兩列的電子部件T。並且，在供給用往復託盤82a、85a以及回收用往復託盤82b、85b，呈矩陣狀地收納有在X方向排列成三列、在Y方向排列成四列的電子部件T。進而,第一輸送單兀70的各把持部72a 75a構成為:均能夠同時把持在X方向排列成三列、在Y方向排列成一列的電子部件T。S卩，第一輸送單兀70具有四個把持部72a 75a,由此,能夠把持測試器69一次能夠檢查的電子部件的兩倍的個數的電子部件T。輸送器的工作方式其次，參照圖14 圖17以第一輸送單元70的工作方式為中心對上述結構的輸送器10的工作方式進行說明。以下說明的動作全部由各驅動部基於來自控制裝置60的各種指令進行。首先，在將載置於第一往復機構32的供給用往復託盤82a的檢查前的電子部件T一併把持於把持部72a 75a的各把持部之後,如圖14所不,第一輸送單兀70沿Y方向移動至第一檢查位置。該第一檢查位置是第一升降機構72的把持部72a所把持的電子部件Ta以及第一升降機構74的把持部74a所把持的電子部件Tc配置於測試頭83的檢查用凹槽83a的正上方的位置。另外，以能夠實現這樣的配置方式為前提，輸送單元70以及測試頭83的在Y方向的覽度構成為如下覽度。即，將把持部72a所把持的電子部件Ta與把持部74a所把持的電子部件Tc之間的間隔設定為d2，將把持部73a所把持的電子部件Tb與把持部75a所把持的電子部件Td之間的間隔設定為d2。進而，輸送單元70以及測試頭83構成為:使得上述間隔d2與設置於測試頭83的檢查用凹槽83a的在Y方向上的兩列之間的間隔d3相互相等。其次，如圖15所示，通過驅動兩個第一升降馬達72M、74M，兩個把持部72a、74a下降至藉助第一升降馬達72M、74M活動的活動範圍的最下方位置。與此相對，通過驅動其他兩個第一升降馬達73M、75M，把持部73a、75a上升至藉助第一升降馬達73M、75M活動的活動範圍的最上方位置。接著，如圖16所示，通過驅動第二升降馬達71M，第二升降機構71的下端部、即內置於該下端部的第一升降馬達72M 75M下降至其活動範圍的最下方位置。伴隨於此，把持部72a 75a也一同下降，僅由兩個把持部72a、74a所把持的電子部件Ta、Tc嵌入測試頭83的檢查用凹槽83a。進而，將電子部件Ta、Tc供給至測試器69以進行檢查。此時，由於其他兩個把持部73a、75a配置於比之前的把持部72a、74a的位置靠上方的位置，因此能夠抑制由把持部73a、75a所把持的電子部件Tb、Td與測試頭83或其周邊的各種部件發生幹涉的情況。在利用測試器69對電子部件Ta、Tc進行的檢查結束後，通過驅動第二升降馬達71M，第二升降機構71的下端部、即內置於該下端部的第一升降馬達72M 75M上升。此外，第一輸送單元70沿Y方向移動至第二檢查位置。該第二檢查位置是由第一升降機構73的把持部73a所把持的電子部件Tb以及由第一升降機構75的把持部75a所把持的電子部件Td配置於測試頭83的檢查用凹槽83a的正上方的位置。接著，如圖17所示，通過驅動兩個第一升降馬達72M、74M，兩個把持部72a、74a上升至其活動範圍的最上方位置。與此相對，通過驅動其他兩個第一升降馬達73M、75M，其他兩個把持部73a、75a下降至其活動範圍的最下方位置。進而，通過驅動第二升降馬達71M，第二升降機構71的下端部、即內置於該下端部的第一升降馬達72M 75M下降至其活動範圍的最下方位置，將由兩個把持部73a、75a所把持的電子部件Tb、Td供給至測試器69以進行檢查。這樣，一個輸送單元70具備四個把持部72a 75a，在供給由各把持部72a 75a所把持的電子部件T以進行檢查時，把持作為檢查對象的電子部件T的把持部下降，其餘的把持部上升，以便相互鄰接的把持部的升降狀態相互不同。即，以使相互鄰接的第一升降機構72 75的升降狀態相互不同的方式驅動各第一升降馬達72M 75M。因此，即便是在作為電子部件T的下降的目的地的、基臺11上的部位隔開間隔地配置的情況下，只要如上所述使這樣的間隔與一個第一升降機構的寬度相當，就能夠使電子部件T 一次下降至作為這樣的下降目的地的多個部位。因而，能夠縮小每一個輸送單元的、檢查所需要的輸送機會、輸送距離，並能夠縮小第一往復機構32與第二往復機構35之間的寬度W2。因此，在輸送單元70向測試頭83輸送電子部件T的動作中，能夠縮短該動作所需要的時間。另外，在利用第一輸送單元70供給電子部件T以進行檢查的期間，第二輸送單元在進行檢查後的電子部件T的排出與檢查前的電子部件T的供給之後靠近第一輸送單元70，然後，在第二輸送單元的沿Y方向的活動範圍中的最靠近第一輸送單元70的位置待機。進而，在由第一輸送單元70所把持的電子部件T的檢查全部結束後，第一輸送單元70與第二輸送單元沿Y方向同步地移動，接著進行用於供給由第二輸送單元所把持的電子部件以進行檢查的動作。另外，在本實施方式中，若以使輸送單元的各部的移動的軌跡形成弧形狀的方式使輸送單元的各部同時進行沿相互不同方向移動，則能夠縮短輸送單元的移動所耗費的時間。另外，在本實施方式中，一個輸送單兀70具備四個把持部72a 75a和與這四個把持部72a 75a分別連結的第一升降機構72 75，但是也可以具備四個以上把持部以及與各把持部對應的第一升降機構。在該情況下，若以使相互鄰接的第一升降機構的升降狀態相互不同的方式驅動各第一升降部，則能夠縮短輸送單元向測試頭83輸送電子部件T的動作的輸送距離以及輸送時間。如以上說明的那樣，根據本實施方式，除了上述的第一實施方式的(I) (5)的效果之外，還能得到以下的效果。(6)輸送單元具備四個第一升降馬達72M 75M，藉助控制裝置60的控制，以使相互鄰接的第一升降機構72 75的升降狀態相互不同的方式驅動第一升降馬達72M 75M。因而，能夠縮短向測試頭83輸送電子部件T的動作的輸送距離以及輸送時間。因此，能夠高效地向測試頭83輸送電子部件T，進而，能夠提高利用部件檢查裝置檢查電子部件T的檢
查效率。另外，上述的各實施方式也能夠以下述方式適當地變更來實施。 測試頭33、83中的檢查用凹槽的個數、排列的方式、收納於供給用往復託盤32a、82a以及回收用往復託盤35b、85b的電子部件T的個數、排列的方式並不限定於上述的各實施方式的情況，而是任意的。.輸送單元的把持部所能夠把持的電子部件T的個數可以是一個也可以是多個。並且，在把持部把持多個電子部件的情況下，把持部所把持的多個電子部件的配置的方式除了可以是多個電子部件排列成一列的方式以外，還可以是多個電子部件排列成矩陣狀的方式。.並且，把持部所把持的電子部件T的個數、其排列的方式不受測試頭33、83中的檢查用凹槽的個數、其排列的方式、收納於供給用往復託盤32a、82a以及回收用往復託盤35b,85b的電子部件T的個數、其排列的方式的限制。總而言之，只要是利用與多個把持部的每一個對應的多個第一升降馬達分別使該把持部獨立地升降的結構即可，把持部所把持的電子部件T的個數、其排列的方式是任意的。.第一升降馬達、第一升降機構以及把持部也可以是一個能夠更換的單元。由此，能夠容易地調整把持部所把持的電子部件T的個數、間隔等，因此能夠提高輸送器的通用性。.在上述的各實施方式中，在第一升降機構的把持部的活動範圍的最上位置、中間位置、最下位置三處位置進行第一升降機構的把持部的位置控制，但也可以在最上位置和最下位置兩處位置進行。在該情況下，只要使輸送單元中的全部的把持部的位置處於最上位置或者最下位置來進行電子部件T的供給以及排出即可。並且，在這樣在兩處位置進行把持部的位置控制的情況下，還可以利用氣動缸等進行輸送單元中的各部的沿Z方向的移動。.在上述的各實施方式中，具備兩個相互不同的輸送單元，但輸送單元的個數也可以為一個，還也可以為三個以上。.在上述的各實施方式中，將輸送器設置於部件檢查裝置，但並不局限於此，也可以將輸送器設置於需要在基臺上進行輸送輸送對象的動作的各種裝置等。標號說明:
T、Ta、Tb、Tc、Td…電子部件；CL...供給用傳送帶；C2、C3、C4…回收用傳送帶；Cla…供給用傳送帶託盤；C2a、C3a、C4a…回收用傳送帶託盤；MA…輸送馬達；MC…傳送帶馬達;MS…往復機構馬達;MX…X軸馬達；MY…Y軸馬達；MZ…手馬達；EMA、EMC、EMS, EMX、EMY、EMZ、E51M、E52M、E53M…編碼器；SV1、SV2、SV3…吸引閥；DV1、DV2、DV3…洩壓閥；10...輸送器；11...基臺；lla…搭載面；12...蓋部件；20…供給機器人；21…供給側固定引導件；22…供給側活動引導件；23…供給用手單元；31…輸送引導件；32…第一往復機構；32a、35a、82a、85a…供給用往復託盤；32b、35b、82b、85tr..回收用往復託盤；32c…第一往復機構引導件；33、83…測試頭；33a、83a…檢查用凹槽;34…第一輸送單兀；35…第二往復機構；35c…第二往復機構引導件;36…第二輸送單兀;40…回收機器人;41…回收側固定引導件；42...回收側活動引導件；43...回收用手單元；45...開口部；51、71…第二升降機構；51M、71M…第二升降馬達；52、53、72、73、74、75…第一升降機構；52a、53a、72a、73a、74a、75a…把持部；52M、53M、72M、73M、74M、75M…第二升降馬達；60…控制裝置；61…傳送帶驅動部；62...Χ軸引導件驅動部；63...Υ軸引導件驅動部；64…手單元驅動部；64a…手馬達驅動部；64b…閥驅動部；65…往復機構驅動部；66…輸送單元驅動部；66a…輸送馬達驅動部；66b、66c…第一升降馬達驅動部；66d…第二升降馬達驅動部；66e、66f…閥驅動部；69…測 試器。
權利要求
1.一種輸送器，其特徵在於， 該輸送器具備輸送部，該輸送部在基臺上輸送輸送對象， 所述輸送部具有: 多個第一升降部，該多個第一升降部與把持輸送對象的把持部連結，並使該把持部相對於所述基臺升降；以及 第二升降部，該第二升降部使連結於該第二升降部的所述多個第一升降部一起相對於所述基臺升降。
2.根據權利要求1所述的輸送器，其特徵在於， 所述輸送器具備控制部，該控制部對所述輸送部的輸送進行控制，在同一時刻， 所述控制部驅動所述多個第一升降部中的一部分下降，並驅動所述多個第一升降部中的除了所述一部分之外的、其餘的第一升降部上升。
3.根據權利要求1或2所述的輸送器，其特徵在於， 所述輸送器具備控制部，該控制部對所述輸送部的輸送進行控制， 所述輸送部具備四個以上所述第一升降部， 所述控制部以使相互鄰接的所述第一升降部的升降方向相互不同的方式驅動所述多個第一升降部。
4.根據權利要求1或2所述的輸送器，其特徵在於， 能夠使通過驅動在所述第一升降部設置的第一升降馬達而使所述第一升降部移動的時刻與通過驅動在所述第二升降部設置的第二升降馬達而使所述第二升降部移動的時刻不同。
5.根據權利要求3所述的輸送器，其特徵在於， 能夠使通過驅動在所述第一升降部設置的第一升降馬達而使所述第一升降部移動的時刻與通過驅動在所述第二升降部設置的第二升降馬達而使所述第二升降部移動的時刻不同。
6.根據權利要求1或2所述的輸送器，其特徵在於， 所述輸送器具備: 控制部，該控制部對所述輸送部的輸送進行控制；以及 兩個所述輸送部， 直到利用一個所述輸送部進行的將輸送對象與該輸送對象的連接對象連接的連接動作結束為止，所述控制部使另一個所述輸送部與所述一個輸送部鄰接並且待機。
7.根據權利要求3所述的輸送器，其特徵在於， 所述輸送器具備: 控制部，該控制部對所述輸送部的輸送進行控制；以及 兩個所述輸送部， 直到利用一個所述輸送部進行的將輸送對象與該輸送對象的連接對象連接的連接動作結束為止，所述控制部使另一個所述輸送部與所述一個輸送部鄰接並待機。
8.根據權利要求4所述的輸送器，其特徵在於， 所述輸送器具備: 控制部，該控制部對所述輸送部的輸送進行控制；以及兩個所述輸送部， 直到利用一個所述輸送部進行的將輸送對象與該輸送對象的連接對象連接的連接動作結束為止，所述控制部使另一個所述輸送部與所述一個輸送部鄰接並待機。
9.根據權利要求5所述的輸送器，其特徵在於， 所述輸送器具備: 控制部，該控制部對所述 輸送部的輸送進行控制；以及 兩個所述輸送部， 直到利用一個所述輸送部進行的將輸送對象與該輸送對象的連接對象連接的連接動作結束為止，所述控制部使另一個所述輸送部與所述一個輸送部鄰接並待機。
10.一種部件檢查裝置，其特徵在於， 所述部件檢查裝置具備: 測試器，該測試器具有安裝於基臺的開口部的檢查用插口 ；以及 至少一個輸送部，該至少一個輸送部在所述基臺上將電子部件朝所述檢查用插口輸送， 所述輸送部具有: 多個第一升降部，該多個第一升降部與把持電子部件的多個把持部的每一個連結，並使所述多個把持部的每一個相對於所述檢查用插口升降；以及 一個第二升降部，該一個第二升降部與全部的所述多個第一升降部連結，並使所述多個第一升降部整體相對於所述檢查用插口升降。
全文摘要
本發明提供一種輸送器以及部件檢查裝置，該輸送器具備至少一個輸送部，該輸送部在基臺上輸送輸送對象，該輸送部具有多個第一升降部，該多個第一升降部使把持輸送對象的多個把持部的每一個升降；以及一個第二升降部，該一個第二升降部使上述多個第一升降部整體升降。在將輸送對象與連接對象連接時，驅動上述多個第一升降部中的一部分下降，並驅動其餘的第一升降部上升。
文檔編號G01R31/00GK103076511SQ20121032355
公開日2013年5月1日 申請日期2012年9月4日 優先權日2011年9月7日
發明者藤森廣明, 下島聰興, 長谷川信夫 申請人:精工愛普生株式會社