曝光機的製作方法

2023-06-22 00:29:51 2

專利名稱：曝光機的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種曝光機。 技術背景曝光機主要用於半導體製造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學，微機電系統， 凹凸或覆晶設備和其他要求精細印製和精度對準的技術要求，傳統的曝光機的曝光箱蓋與 曝光箱不能做到緊密貼合，導致曝光精度不夠。

實用新型內容本實用新型提供一種曝光箱蓋與曝光箱能緊密貼合、提供曝光精度的曝光機。本實用新型為解決技術問題提供如下方案一種曝光機，包括機架、曝光機箱、曝光箱蓋，在所述曝光機箱內有曝光燈管，其特 徵在於所述曝光機箱與曝光箱蓋之間設密封橡膠圈，所述曝光箱上表面為透明玻璃面，在 所述玻璃面上開設小孔，從小孔中穿一根細軟的橡膠管，所述橡膠管一端連接曝光箱內部 的抽真空機，另一端放置在玻璃面上，當機箱蓋與機箱貼合時，抽真空機開始工作，將箱蓋 與箱體之間抽成真空，使得曝光箱蓋與曝光箱貼合的更緊密，進一步提高曝光精度。

圖1為本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式
參見附圖，一種曝光機，包括機架1、曝光機箱2、曝光箱蓋3，在所述曝光機箱2內 有曝光燈管4，所述曝光機箱2與曝光箱蓋3之間設密封橡膠圈5，所述曝光機箱2上表面 為透明玻璃面6，在所述玻璃面上開設小孔7，從小孔7中穿一根細軟的橡膠管8，所述橡膠 管8 —端連接曝光機箱2內部的抽真空機9，另一端放置在玻璃面上6，當機箱蓋3與曝光 機箱2貼合時，抽真空機開始工作，將曝光箱蓋3與曝光機箱之間抽成真空，使得曝光箱蓋 3與曝光機箱2貼合的更緊密，進一步提高曝光精度。
權利要求1. 一種曝光機，包括機架、曝光機箱、曝光箱蓋，在所述曝光機箱內有曝光燈管，其特徵 在於所述曝光機箱與曝光箱蓋之間設密封橡膠圈，所述曝光機箱上表面為透明玻璃面，在 所述玻璃面上開設小孔，從小孔中穿一根細軟的橡膠管，所述橡膠管一端連接曝光機箱內 部的抽真空機，另一端放置在玻璃面上。
專利摘要本實用新型公開了一種曝光機，包括機架、曝光機箱、曝光箱蓋，在所述曝光機箱內有曝光燈管，所述曝光機箱與曝光箱蓋之間設密封橡膠圈，所述曝光箱上表面為透明玻璃面，在所述玻璃面上開設小孔，從小孔中穿一根細軟的橡膠管，所述橡膠管一端連接曝光箱內部的抽真空機，另一端放置在玻璃面上，當機箱蓋與機箱貼合時，抽真空機開始工作，將箱蓋與箱體之間抽成真空，使得曝光箱蓋與曝光箱貼合的更緊密，進一步提高曝光精度。
文檔編號G03F7/20GK201903755SQ20102052420
公開日2011年7月20日 申請日期2010年9月7日 優先權日2010年9月7日
發明者朱慶中 申請人:蕪湖市富達技術有限公司