安裝端子基板和使用其的顯示裝置的製作方法

2023-10-10 20:19:29

專利名稱：安裝端子基板和使用其的顯示裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及在Sfei:具有安裝端子的安裝端子掛及和使用其的顯示裝置。例 如可以tt^利用在液晶顯g置中。
背景技術：
液晶顯示裝置是薄型、M輕、低功耗的，用作許多設備的顯示裝置。在中 型、小型的液晶顯碟置中，在形成有安裝端子的玻璃寂肚多縣用直接安裝 液晶驅動用的驅動器IC的COG (Chip On Glass:將晶片固定於玻璃上)安裝。 COG安裝多M51各向異性導電膜(ACF: Anisotropic Conductive Fi]n^以下記為 ACF)進行安裝端子和驅動器IC的導通。ACF是在絕緣性的熱固化型粘擬lJ中， 在樹脂制的球中分散了塗敷Au或Ni的導電粒子。在驅動器IC的端子上形成Au 等的凸起電極(以下，記為凸塊(bump))。 COG安劍吏部分地除去了傲戶布線或 安裝端子區域的^^膜的安裝端子上的開口部和凸i央定位，艦熱壓接經由導電 粒子導通(例如專利文獻l)。另外，在大型的液晶顯^S中，多^^用fflil在 玻璃 1:排成一列地形成的安裝端子和ACF來安裝安裝有驅動器IC的布線薄 膜基板即TAB (Tape Automated Bonding:帶式自動鍵合)的TAB安裝(例如，專 利文獻2)。日本專利公開2002-196703號公報 [專利文獻2]日本專利公JPF 9-90397號公報
旨來，可攜式設備用的小型液晶顯示M隨著高^f摔化，像素(點)節 距(pitch)變小到40 60pm左右。在這樣的狹窄的節距下難以進行TAB安裝。 對安裝端子的狹窄節距化，例如使安裝端子成為兩列的交錯隨，進行端子節距 為布線節距的兩倍的COG安裝。但是，即使是交錯隨，在狹窄節距的安裝端子 中端子節距也為35um左右。
隨著該安裝端子多翻咧方向的狹窄節距化，需要縮小安裝端子的歹i訪向的 寬度，為了取得與驅動器IC的導通，也需要縮小在安裝端子上i體的絕緣膜開口 部的列方向的寬度。其結果是，在COG安裝中，在驅動器IC上體的凸i央和安
裝端子上的開口部的定位^容限(margin)變小，產生COG安裝的^g偏移變 大和凸i央不落入開口部這樣的問題。凸i央不落入開口部，而在開口部周圍的絕緣 膜上時會產生以下問題。
il ACF的安裝中，由於凸i央和安裝端子間的重合面積減少，所以因對 導通有貢獻的導電粒子數的M^^增加導通不良的發生。進一步，安裝後即使導 通，開口部內的導電粒子也幾乎 ^，在不可以充分壓接凸±央和安裝端子時， 在l頓中會有產生導通不良這樣的可靠性問題。
另外，不MACF，在使凸塊和安裝端子直^l蟲而取得導通的安裝中，由 於凸i央和安裝端子的接觸部只是位於開口部周圍的絕緣膜上的安裝端子的端部， 所以會有因接觸面積的大幅度減少而使凸塊和安裝端子間的電阻增加這樣的導通 電阻的問題。

發明內容
本發明是為了解決J^問題而作出的，提供一種對安裝端子的狹窄節距化， 可以使COG安裝等中的定位體容限比現有技術更大的安織子對反。具體地 說，^f共具有比現有技術更大開口部的安裝端子結構。另外，提供4頓這樣的安 裝端子繊勺顯/亍體。
本發明的安裝端子基板包括安裝端子，利用在基板上設置的交錯配置 (stagger)而形戱ij;布線，由在列方向的安驟瑞子間配置的絕緣膜 ;以及開口 部，除去了安裝端子上的絕緣膜，安驟瑞子由下層導 和上層導鵬鄉誠，上 層導電膜的列方向的寬度比下層導電膜的列方向的寬度大以便覆蓋在開口部中露 出的下層導電膜，並且小於等於開口部的列方向的寬度。
根據本發明，在COG安裝等中的定位(positional alignment)誤差容限可以 變大，可以得到導通可靠性好的安裝端子基板和使用該安裝端子基板的顯示裝 置。


圖1 ^出根據本發明實施方式1中液晶顯^置的安驟瑞子掛及概略的平面圖。
圖2是示出本發明實 式1中柵極安裝端子區域的平面圖。
圖3是在圖2的A-A切斷面中的剖面圖。
圖4是示出現有的柵極安裝端子區域的平面圖。
圖5是在圖4的B-B切斷面中的剖面圖。
圖6歸出在本發明實船式2中柵極安裝端子區域的咅靦圖。
圖7是示出在本發明實 式3中柵極安裝端子區域的咅靦圖。
圖8是示出在本發明實施方式4中柵極安裝端子區域的平面圖。
1鵬鎌；2柵極布線；2a延長布線；3柵極安裝端子；4、 4a、 4b、 4c、 4d絕緣騰5開口部；6下層導制莫；7上層導電騰7a ITO殘騰11驅動器IC;
12凸±央；13ACF; 14導電粒子；21源極布線；22變換部；23變換源極布線； 30柵極安裝端子區域；31源極安裝端子；32源極安裝端子區域；100安裝端子基
板；dl、 d2下層導繊的列方向的寬度；el、 e2上層導制莫的列方向的寬度；hl、 h2開口部的列方向的寬度
具體實施例方式
下面，根據

本發明的實船式。另外，在用於說明以下實船式的 全部附圖中，同一符號示出同一淑擋部分，原貝l讓，省略重複的說明。 實船式l
圖1是示出在實施方式1中液晶顯^置的安裝端子凝及概略的平面圖。圖
2歸出實船式1中安裝端子繊的柵極安裝端子區域的平面圖。圖3是在圖2 的A-A切斷面中的剖面圖。
在圖1中，構 晶顯^置的一部分，在隔著液晶層與濾色器 相對的
安驟瑞子繊100上設置像素區域50，形成多個正交的柵極布線2禾口源極布線 21，在其各交點配置的像素(僅圖示一W象素)中形淑菊莫晶體體組成的開關 元件51和像素電極52等。從像素區域50弓l出多個柵極布線2和源極布線21， 在像素區域50的下側的一邊中，形成由在柵極布線2i^接的多個柵極安裝端子 3組成的柵極安裝端子區域30、和由在源極布線21上連接的多個源極安裝端子31 組成的源極安裝端子區域32。另外，在實驗式l中，源極布線21和源極安裝 端子31的連接，通過在其間設置的變換部22變換戱n源極布線2在同一層中形 成的變J鄉極布線23,與源極安裝端子31連接。從而，柵極安裝端子3禾口源極 安裝端子31的層結構相同。
另外，柵極布線2和變J鄉極布線23在柵極安織子區域30和源極安裝端 子區域32Pf版，布線節距用18um的狹窄節距間隔進行布線。為了與該狹窄節
距安裝相對應，柵極安裝端子3和源極安裝端子31作為2歹啲交錯隨，該端子 節距P為柵極布線2和變 鄉極布線23的布線節距的2倍的36 u m。在柵極安裝 端子區域30和源極安裝端子區域32上，作為外部部件一體化了柵極布線2驅動 用的柵極驅動器和源極布線21驅動用的源極驅動器的驅動器ICll利用M3lACF 的COG安^安裝。
接著，{頓圖2和圖3詳細說明柵極安驟瑞子區域30。另外，源極安裝端子 區域32也與柵極安裝端子區域30的層結構相同。如圖2和圖3所示，在玻璃基 板1上，與柵極布線2連接的柵極安裝端子3以兩列交錯配置形成。柵極安裝端 子3由大小不同的下層導制莫6和上層導制莫7構成。下層導鵬6與A1、 Mo ^^屬膜構成的柵極布線2由相同的層鄉I^並同時形成。上層導電膜7與UO (Indiiim Tin Oxide:氧化銦錫)等的導電性氧4鵬鄉賊的像素電極52由相同的層 艦並同時形成。
絕緣膜4覆蓋柵極安裝端子區域30的柵極布線2，防止柵極布線2的短路或 腐蝕。並且，為了與驅動器ICll的連接，在柵極安裝端子3上設置除去了絕緣膜 4的開口部5。
掛匕，在多個柵極安裝端子3排歹啲列方向(圖2的橫方向)，柵極安裝端 子3的列方向的寬度(以下，該歹防向的寬度簡單記為寬度)比開口部5的寬度 hl小。上層導電膜7的寬度el小於等於開口部5的寬度hl ，下層導電膜6的寬 度dl形成得比上層導電膜7的寬度el小。
上層導鵬7構成為MM出開口部5的下層導鵬6。因此，作為會^^擇 性f膽lj下層導電膜6和上層導電膜7的材料，在嫩ij下層導電膜6的溶液中，通 過不嫩lj上層導鵬7的結構，在以後的工序中，上層導EU莫7可以作為下層導 電膜6的t駭lj傲戶膜的功能。
作為具體的例子，在半MM液晶顯^S的制紅序中，有時在最終工序 中形成由Al組成的反射像素電極。柵極布線2和下層導 6與該g電極相 同用A1形成時，在開口部5露出下層導制莫6時，該RI寸像素電極的溼嫩附， 會產生下層導制莫6也被t膝啲問題。在本結構中，在與由ITO組成的it31像素 電極同一層中同時形成上層導電膜7。 g像素電極的溼1:膽ij時，若採用不蝕刻
rro的ai t頓j液，則由於下層導鵬6用上層導制莫7 M，所以不會嫩ij下
層導 6。
另外，M31^h層導鵬7為ITO等的氧化導鵬，上層導TO7與用A1、 Mo、 Cr等的金屬膜形淑目比，M:表面氧化的連接電阻增加，以M31在大氣中 的水分或ACF13等的樹脂中含有的氯^^質的腐蝕 >，從而提高在COG安裝 中的可靠性。
絕緣膜4是由氮化膜離化膜^賊的柵豐鬆色緣膜4a、開關元件51上形成的 由氮^l^m化膜組成的保護膜4b、和用於像素的高開口率化、絕緣膜平坦化和 寄生電容斷氐設計的厚的有IW脂膜4c組成的3層結構。由於具有厚的有IW月旨 膜4c，所以開口部5的深度d為2 6"m。但是，鄉機膜4不一定必需含鋪機 樹脂膜4c。
凸塊12的高度通常是15 20iim，由於比開口部5的深度d大，所以只要 凸塊12可以落入開口部5中，就可以與上層導鵬7撤蟲。
但是，即使在實方妨式l中，在COG安裝中歹防向的定位體妙，凸塊 12不能落入開口部5內而搭上歹仿向的絕緣膜4的情況下，可能產生以下問題。
i^ffil ACF13的COG安裝中，開口部5的深度d為ACF13中的導電粒子 14的直徑3 4wm的禾號以上時，導電粒子14幾乎不娜，由於柵極安裝端子3 和凸塊12的壓接不充分，所以會發生導通不良。或者，即使取得導通，可靠性也 成問題。例如，開口部5的深度d為3"m以上，在凸塊12搭上列方向的絕緣膜 4的情況下成為問題。
另外，不MACF13，在使凸塊12禾嗰極安裝端子3直繊蟲而取得導通 的COG安裝中，由於在歹防向的絕緣膜4上沒有上層導制莫7，所以不會取得導 通。例如，即^f擠口部5的深度d為0.5um左右，在凸塊12搭上絕緣膜4情況 下也有問題。
因此，在實 式1中，為了使與凸塊12的列方向的定位體容限變大， 開口部5的寬度hl設計得儘量大。但是，當全部除去位於柵極安裝端子區域30 上的絕緣膜4時，在交錯配置的結構中，由於在柵極安綴瑞子3間配置的柵極布 線2露出，所以有柵極布線2短路，蝕的可能性。在柵極布線2由絕緣膜4可 Wi也鶴的制約中，必須成為最大開口部5的寬度hl。
而且，考慮開口部5的定位體和絕緣膜4的t蟓j體，以柵極布線2由絕 緣膜4可彰也驢的方式，開口部5配置成與柵極布線2空出間隔a。
，間隔 a是3"m。由於柵極布線2的寬度m是"m，所以開口部5間的間隔sl為10u m。由於柵極安裝端子3的端子節距p是36 u m，所以開口部5的寬度hi為26 ti m。
凸塊12的節距也是36 u m，凸塊12的寬度是18 u m。開口部5的寬度hi 是26um,比凸塊12的寬度大8 u m，所以在COG安裝中列方向定位誤差容限 可以確保士4um。
另外，由在ACF13中分散的導電粒子14在凝及面方向±^賣排列弓胞的柵 極安裝端子3或凸塊12間的短路，會的多131使柵極安裝端子3或凸塊12變小以 擴大間隔來防止。但是，凸塊12由於有凸i央製造技術的制約鋼於確保凸塊12 和柵極安裝端子3的導通所必需的最小面積，所以不可以太小。另一方面，柵極 安裝端子3間的間隔與開口部5間的間隔sl可以3feii也設定。不發生由導電粒子 14導致的短路的最小間隔依賴於ACF13中導電粒子14的直徑和密度，為12 li m 左右。因此，由於是比開口部5間的間隔sl的10um更大的值，所以上層導鵬 7的寬度el小於等於開口部5的寬度hl。
在實施方式1中，上層導電膜7的寬度el為23 u m。下層導電膜6的寬度 dl為17 u m，下層導電膜6的端部比上層導電膜7的端部向內3 u m，上層導電
膜7可^t也mrf層導電膜6。
結果，柵極布線2和下層導制莫6在同一層中同時形成，下層導制莫6和柵 極布線2的間隔bl確保為8 u m。這在圖案形成中採用溼1:膽啲制紅序中，由 於l:bl常的最小間隔3 u m更大，所以，可以消除柵極布線2和下層導電膜6 的鵬。
從柵極安裝端子3延伸的延長布線2a M:掛昧圖示的靜頓策用的傲戶 電PMi^戶二極體與^5各環(short nng)連接。或者，是用於與簡易點亮檢査用端 子連接的。因此，也有不設置延長布線2a的瞎況。在該隋況下，由於成為交錯配 置的柵極布線2較長的列(在圖2中的下側的列)的柵極安裝端子3間沒有延長 布線2a的結構，所以該歹啲開口部5的寬度hl也可以更^t也設計。但是，與相 同的驅動器IC11的COG安裝中的列方向的定位^M容限，由在柵極安^子3 間具有柵極布線2的列的較窄一方的開口部5的寬度W來制約。
另外，開口部5的柵極布線2方向的長度(與歹防向正交的方向的長度。以 下，簡單記為長度)由於不是像歹仿向的狹窄節距，所以在COG安裝中的定位誤 差執艮可以設計it^跌。因此，也可以是長度方向與現有結構相同，作為比柵極
安裝端子3的下層導 6的長度小的開口部5的長度，成為在糹^^膜4上搭載 上層導 7的端部的構造。即使在該長度方向上，上層導繊7也為 開口 部5露出的下層導電膜6的結構。
掛匕，開口部5的長度是120nm，由於凸塊12的長度是110um，所以在 COG安裝中的長度方向的定位誤差容限是士5um。這是比列方向的定位誤差容 限的土4um更大的值。
接著，在實船式l的COG安裝中的定位體容限比現有結構更大，對此， fflil與現有結構比較進fiH兌明。圖4 ^出現有的安裝端子 的柵極安裝端子 區域的平面圖。圖5是圖4的B-B切斷面的剖面圖。
現有結構的柵極安裝端子3的端子節距p是與實施方式1相同的36 u m。柵 極布線2和下層導鵬6相同由A1、 Mo等鄉誠的金屬膜同時形成。 匕，由於 在圖案化形成中JOT溼紹劍，所以柵極布線2和下層導電膜6的最小間隔b2是3 um。由於柵極布線2的寬度m是4um，所以下層導電膜6的最大寬度d2為26 ti m。
現有結構也是在柵極安裝端子3上的絕緣膜4中形成開口部5，但是開口部5 的寬度h2比下層導電膜6的寬度d2更小的結構。作為這樣的結構，開口部5中 露出的材料僅是下層導制莫6，由於玻璃 1不在開口部5中露出，所以可以 不進行玻璃基板1不需要的卞據"開口部5的端^t慮到定位i^和絕緣膜4的 嫩ij體，配置在比下層導鵬6的端部靠內側有間隔c的3 u m。
結果，在現有的結構中，開口部5的寬度h2為20um，開口部5間的間隔 s2為16 u m。由於凸塊12的寬度是18 n m，所以僅能確保在COG安裝中定位誤 差容限為土l"m。對此，實施方式l中的開口部5的寬度hl是26"m，由於可 以確保COG安裝中的定位誤差容限為士4 u m，所以有可以確保比現有結構大士3 u m的容限的效果。
另外，在現有結構中，由於柵極布線2和下層導鵬6的間隔b2為最小的3 um，所以柵極布線2和下層導制莫6有可能短路。另一方面，在實 式1中， 由於形成下層導電膜6比上層導電膜7更小，所以柵極布線2和下層導電膜6的 間隔bl大到8 u m，有柵極布線2和下層導 6的^^各能比現有結構更少的效 果。
另夕卜，現有結構的開口部5的寬度h2^M5lACF13的COG安裝中，也受
上層導 7間間隔的制約。為了防lM31在ACF13中分散的導電粒子14導致 的柵極安裝端子3的短路的最小間隔與實 式1相同，是12 " m左右。因此， 由於端子節距p為36 ii m，所以上層導電膜7的寬度e2需要小於等於24 u m。
進一步，上層導 7的寬度e2以MM在開口部5中露出的下層導 6 的方式，形成得比開口部5的寬度h2更大，成為上層導電膜7的端部搭i^E鄉， 膜4上的結構。因此，考慮到開口部5以^i:層導鵬7的定位體和1:膝ij體 時，開口部5的端部需要比上層導EU莫7的端部靠內側並且間隔至少2 3 " m， 開口部5的寬度h2小於等於18 20iim。也考慮到該上層導鵬7間的間隔的制 約時，由於凸塊12的寬度是18txm，所以沒有在COG安裝中的列方向的定位誤 差容限，或僅可以確保土lPm。
這祥，在開口部5的寬度h2比下層導電膜6的寬度d2更小的現有結構中， 開口部5的寬度h2 ，咬錯配置的柵極布線2和下層導電膜6的間隔b2與上層 導電膜7間的間隔制約。另一方面，在實施方式l中，開口部的寬度hl僅是由絕 緣膜4可靠S^柵極布線2的間隔a的制約。因此，頓常的制紅藝、設計規 則中，開口部5的寬度為hl〉h2。
另外，在實方妨式l中，由於柵極安裝端子3間有S^柵極布線2的絕緣膜 4導致的臺階差，所以這也作為用於防止短路的阻壁的功能。因此，頓相同的 柵極安裝端子3間的間隔進行比較時，實施方式1有比現有結構更可以防止柵極 安裝端子3間短路的效果。
另外，在實髒式1中，^^膜4的開口部5雌是比ACF13中的導電粒 子14直徑更大的深度d。進而， 比凸±央12的高度更小。此時，幾乎不會有 導電粒子14 ^3^色緣膜4的深度d在柵極安裝端子3間在凝及面方向上遊賣排 歹ij，可以消除柵極安^子3間的矢邵各。
另外，在實施方式l中，源極安裝端子區域32由於在與柵極布線2相同層 中形成的變換源極布線23直^j乍為源極安裝端子31的下層導電膜6形成，所以 成為與柵極安裝端子區域30同層的結構。ilii^樣的層結構，柵極安裝端子區域 30和源極安裝端子區域32的端子高度可以相同。與在相同的驅動器ICll上連接 的柵極安裝端子3禾口源極安驗瑞子31的高度不同的情況相比，由於凸塊12禾口柵 極安裝端子3以及源極安裝端子31的間隔可以均勻，所以a3lACF13的COG 安裝中，導電粒子14的壓接可以均勻。另外，在不艦ACF13，使凸塊12和柵
極安裝端子3以及源極安驟瑞子31直^M的COG安裝中，撒鵬力可以均勻。 因此，有可以提高COG安裝中導通的可靠性的效果。 實驗式2
實戱式2中，鄉機膜4的^h層是有柳對脂膜4c，上層導鵬7為rro結
構。此時，在有機物上形成的rro與在無機物上形成的rro的月頻不同，嫩瞇 度不同。在有機物上形成的rro比在無機物上形成的rro的t賅ij鵬快2 8倍。 由於rro的1:膽i鵬有大的差異，所以在實船式i中，為了尺寸精戱子地 加工有mM脂膜4c上形成的no *，的像素電極52和rro ^M的上層導電膜7 兩者，需要分兩次rro懶ij。 t駭膨成t頓鵬快的像素電極52後，用抗蝕齊i腕 模〈斜戶像素電極52， Siiii加懶靦除去在開口部5內的玻璃繊i上殘留的 rro。
對此，實施方式2為了MiW^ij工序，採用一次的rrot駭ij，是使作為無機
物的玻，板1上的汀O殘膜7a與開口部5的形狀自對準(self-aligned)地殘留
的結構。
圖6是示出了實驗式2中柵極安裝端子區域的剖面圖。no糹賊的上層導 電膜7結棘機樹脂膜4c上的rro t喊ij，即使^a根肖微的追加t暢啲時間點，
在開口部5內的自基板1露出的區域中，成為i;U:層導電膜7的抗蝕齊腕模位 置到開口部5的下端殘留ITO殘摸7a的,。雖然有ai對脂4c上的ITO因t膝)j ，快而可Wi也卞膽i」，但是由於開口部5內的HOt駭i腿度慢，所以與開口部5 的寬度hl匹酵也自對準形成含有ITO劍莫7a部分的上層導繊7。此時，即使 有HO歹纖7a，由於可靠t膽盯在柵極安裝端子3間存在的有柳對脂膜4c上的
no，所以即{ ^的 0:序，也有可以防止柵極安裝端子3間短路的效果。
另外，MlTO歹纖7a，由於鵬鎌1在開口部5不露出，所以在以後的
工序中，有可以防止玻璃繊1的不需要的嫩啲效果。
實船式3
圖7歸出了實方tt式3中柵極安裝端子區域的咅靦圖。在構成絕緣膜4的 有機樹脂膜4ciia—步形成由氧化膜或氮化膜鄉鵬的無拋色緣膜4d。a3i使絕緣
膜4的:fei:層為無豐形色緣膜4d，從而實現HO鄉賊的像素電極52和上層導鵬7
的t駭腿度的均勻性和尺寸精度提高。通3i^樣的結構，由於rro形鵬無機物 上，所以卞喊U鵬變慢，但是即使一次rro嫩ij，也具有可以沒有no歹娥7a
i贓原來設計i體精度好地形成像素電極52和上層導創莫7的效果。
另外，在開口部5的側面上由於露出有樹對脂膜4c，所以該側面的ITO因蝕 亥IMM夬而被可穀也除去，即^S^的t膽U工序，也有可以防止由柵極安裝端子3
間的rro歹M 7a導致的，IS各的效果。
實施方式4
圖8歸出了在實髒式4中柵極安裝端子區域的平面圖。在實船式1中， 如圖2所示，由於柵極安裝端子3的長度方向不是像列方向那樣狹窄的節距，所 以與現有結構相同，作為比下層導 6的長度更小的開口部5的長度，成為上 層導刦莫7的端部搭載在絕緣膜4上的結構。在實驗式4中，如圖8所示，即 使在柵極安裝端子3的長度方向上，也成為與實方妨式1的列方向相同的結構。 但是，1X/人柵極安裝端子3延伸柵極布線2和延長布線2a的區域，為了由與下層 導 6相同的層^M的柵極布線2和延長布線2a由上層導 7覆蓋進行保 護，成為上層導繊7的端部搭驗絕緣膜4上的現有結構。這樣，ffiil使柵極 安裝端子3的長度方向也構成與列方向相同的結構，在與實施方式1相同大小、 配置的開口部5中，有可以^^錯配置中的列間的上層導Efel莫7的長度方向的間 隔f變大的效果。或者，如果是相同的間隔f，貝岍口部5的長度可以比實施方式 l更大c
在以上的實施方式中，雖然描述了COG安裝，但是不限於驅動器IC，即使 與具有凸塊的布線繊、布線薄膜Sfe等外部部件的安裝也可以應用本發明。另 夕卜，作為具有本發明安^子結構的安裝端子 ，也可以適用通常的半導體基
板或電子電鵬反。
另外，雖然描述了液晶顯^S，但是也可以適用於電致發光(EL)顯碟
置、電致變^M^a、〗頓微粒子或油等的電子紙等的顯^g中。
權利要求
1.一種安裝端子基板，其特徵在於，具備基板；安裝端子，由下層導電膜和上層導電膜組成，利用在上述基板上設置的交錯配置而形成列；布線，由在列方向的上述安裝端子間配置的絕緣膜覆蓋；以及開口部，在上述安裝端子上除去上述絕緣膜，上述上層導電膜的列方向的寬度比上述下層導電膜的列方向的寬度大以便覆蓋在上述開口部中露出的上述下層導電膜，並且小於等於上述開口部的列方向的寬度。
2. 根據權利要求1所述的安裝端子翻，期寺徵在於，布線和下層導制莫 用同一層形成。
3. 根據權利要求1所述的安裝端子繊，其特徵在於，絕緣膜含WW豐鵬 脂膜。
4. 根據權利要求3所述的安裝端子繊，欺寺徵在於，在有簡脂歡形 成有無,緣膜。
5. 根據權利要求1到4倒可一項所述的安裝端子繊，其特徵在於，下層導刦莫和上層導制難隨fim掛駭U。
6. 根據權利要求1所述的安裝端子凝反，期寺徵在於，上層導制莫是導電 性氧離
7. 根據權利要求1戶腿的安魏子凝反，其特徵在於，上層導制莫的列方 向的寬度與開口部的列方向的寬度自對^ii也形成。
8. 根據權利要求1戶腿的安裝端子M，期寺徵在於， ±的安^^子 是同一層結構以便成為同一高度。
9. 根據權利要求1戶腿的安裝端子繊，其特徵在於，安裝具有比開口部 小的凸起電極的外部部件，^J^開口部內連接戰安裝端子和戰凸起電極。
10. 根據權利要求9所述的安驟瑞子凝及，期寺徵在於，開口部至安翻子 面的深度比連接，安裝端子和凸起電極的各向異性導電膜中分散的導電粒子的 直徑大，並且比戰凸起電極的高度小。
11. 一種顯^S，期寺徵在於，艦了安裝端子繊，該安裝端子M欺寺徵是具備繊；安驗崙子，由下層導 和上層導制莫糹賊，禾,^LL^Sfei:設置的交錯 隨而形劍；布線，由在歹防向的戰安裝端子間隨的絕緣膜1M;以及 開口部，^1^安裝端子上除去±^色緣膜，，上層導電膜的列方向的寬度比上述下層導電膜的列方向的寬度大以便SM^tM開口部中露出的上述下層導電膜，並且小於等於上述開口部的列方向 的寬度。
全文摘要
本發明提供一種安裝端子基板和使用其的顯示裝置。在安裝端子的狹窄節距化中，提供可以使COG安裝等的定位誤差容限比現有技術更大的安裝端子基板。具體是提供一種具有比現有技術更大的開口部的安裝端子結構。另外，提供使用這樣的安裝端子基板的顯示裝置。具有在玻璃基板(1)上利用交錯配置而形成列的安裝端子(3)、連接到安裝端子(3)且由絕緣膜(4)覆蓋的柵極布線(2)、和除去安裝端子(3)上的絕緣膜(4)的開口部(5)，在列方向的安裝端子(3)間配置柵極布線(2)。安裝端子(3)由大小不同的下層導電膜(6)和上層導電膜(7)組成，上層導電膜(6)的列方向的寬度(e1)設計成比下層導電膜(6)的列方向的寬度(d1)大以覆蓋在開口部(5)中露出的下層導電膜(6)，並且小於等於開口部(5)的列方向的寬度(h1)。
文檔編號G02F1/13GK101174036SQ20071016762
公開日2008年5月7日 申請日期2007年7月20日 優先權日2006年7月21日
發明者上田精也, 安田尚平, 橋口隆史 申請人:三菱電機株式會社